JP5331582B2 - 冷却機能を有する加熱装置 - Google Patents
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図1に示されたように、実施の形態1における加熱装置E1が組み込まれたプラズマ処理装置Dは、互いに隣接状に設けられた第1真空室1および第2真空室2を備えてなる。これら2つの真空室1,2は、長手方向である左右へ直線状に延びる1つのケーシングを、開閉可能な1つの隔離用ゲートバルブ4によって左右2つに区画することで、構成されている。
図1および図5に示されたように、この発明の実施の形態2における加熱装置E2は、被処理物であるトレー5および基板6が載置される熱伝導性基板としてのアノード電極7と、このアノード電極7の内部にその一方端部から他方端部へかけて接触状に埋設された、アノード電極7を加熱するための加熱部としての複数の折り返し状加熱部材31,……,31と、アノード電極7の内部にその一方端部から他方端部へかけて接触状に埋設された、アノード電極7を冷却するための冷却部としての複数の折り返し状冷却部材32,……,32とを備えてなる。
図1および図6に示されたように、この発明の実施の形態3における加熱装置E3は、被処理物であるトレー5および基板6が載置される熱伝導性基板としてのアノード電極7と、このアノード電極7の内部にその一方端部から他方端部へかけて接触状に埋設された、アノード電極7を加熱するための加熱部としての複数の折り返し状加熱部材31,……,31と、アノード電極7の内部にその一方端部から他方端部へかけて接触状に埋設された、アノード電極7を冷却するための冷却部としての複数の折り返し状冷却部材32,……,32とを備えてなる。
2・・・第2真空室(プラズマ処理室)
4・・・ゲートバルブ
5・・・被処理物(トレー)
6・・・被処理物(プラズマ処理用基板)
7・・・アノード電極(熱伝導性基板)
7a・・電極半体(基板半体)
7b・・電極半体(基板半体)
8a・・溝
8b・・溝
9a・・溝
9b・・溝
10a・・対向面
10b・・対向面
14・・・真空ポンプ
16a・・開閉バルブ
16b・・圧力調整バルブ
17・・・被処理物搬入・搬出用扉
18・・・カソード電極
19・・・反応ガス導入管
20・・・リークガス導入管
21・・・コンデンサ
22・・・整合回路
23・・・高周波電源
31・・・管状ヒータ(U字部材)(加熱部材)(加熱部)
31a・・湾曲部分
31b・・直線状部分
32・・・冷却管(U字部材)(略U字部材)(冷却部材)(冷却部)
32a・・湾曲部分
32b・・直線状部分
32c・・蛇行状部分
32d・・大径部分
32e・・小径部分
33・・・ヒータ用配線
35・・・冷却促進管(冷却促進部材)
35a・・蛇行状部分
35b・・直線状部分
202・・ローラー
501・・ねじ
E1・・・加熱装置
E2・・・加熱装置
E3・・・加熱装置
Claims (6)
- 被処理物が載置される熱伝導性基板と、この基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて配設された基板を加熱するための加熱部と、基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて接触状に配設された基板を冷却するための冷却部とを備えてなり、
冷却部と基板とが接触する箇所の接触表面積は、基板の一方端部寄り箇所におけるそれよりも他方端部寄り箇所におけるそれの方が大きくされ、
加熱部は、互いに並列状に配設された複数の折り返し状加熱部材からなり、冷却部は、それぞれの加熱部材の外側あるいは内側に沿って互いに並列状に配設された複数の折り返し状冷却部材からなり、
複数の加熱部材のそれぞれは、基板の他方端部寄り箇所に平面形状がU字型の湾曲部分を有するU字部材であり、
複数の冷却部材のそれぞれは、対応する加熱部材の湾曲部分を臨む箇所に蛇行状部分を有している
加熱装置。 - 被処理物が載置される熱伝導性基板と、この基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて配設された基板を加熱するための加熱部と、基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて接触状に配設された基板を冷却するための冷却部とを備えてなり、
冷却部と基板とが接触する箇所の接触表面積は、基板の一方端部寄り箇所におけるそれよりも他方端部寄り箇所におけるそれの方が大きくされ、
加熱部は、互いに並列状に配設された複数の折り返し状加熱部材からなり、冷却部は、それぞれの加熱部材の外側あるいは内側に沿って互いに並列状に配設された複数の折り返し状冷却部材からなり、
複数の加熱部材および複数の冷却部材のそれぞれは、基板の他方端部寄り箇所に平面形状がU字型の湾曲部分を有するU字部材であり、
基板の内部において複数の加熱部材および複数の冷却部材の外側に配設された冷却促進部材をさらに備え、冷却促進部材は、基板の他方端部寄り箇所における複数の加熱部材の湾曲部分を臨む箇所に蛇行状部分を有している
加熱装置。 - 被処理物が載置される熱伝導性基板と、この基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて配設された基板を加熱するための加熱部と、基板の内部あるいは表面に基板の一方端部から他方端部へかけて接触状に配設された基板を冷却するための冷却部とを備えてなり、
冷却部と基板とが接触する箇所の接触表面積は、基板の一方端部寄り箇所におけるそれよりも他方端部寄り箇所におけるそれの方が大きくされ、
加熱部は、互いに並列状に配設された複数の折り返し状加熱部材からなり、冷却部は、それぞれの加熱部材の外側あるいは内側に沿って互いに並列状に配設された複数の折り返し状冷却部材からなり、
複数の加熱部材および複数の冷却部材のそれぞれは、基板の他方端部寄り箇所に平面形状がU字型の湾曲部分を有するU字部材であり、
複数の冷却部材のそれぞれは、対応する加熱部材の湾曲部分およびその近傍部分を臨む箇所に、冷却部材の径が他の箇所よりも大きい大径部分を有している
加熱装置。 - 基板は、厚さ方向において互いに対向するように接合される一対の基板半体から形成され、これらの基板半体の2つの対向面の少なくとも一方に加熱部材嵌合溝および冷却部材嵌合溝が形成され、
複数の加熱部材および複数の冷却部材は、それぞれの冷却部材がそれぞれの加熱部材の外側に沿って配設され、かつ、それぞれの加熱部材が前記加熱部材嵌合溝に、それぞれの冷却部材が前記冷却部材嵌合溝に嵌合された状態で、接合された前記一対の基板半体によって挟み込まれている請求項1〜3のいずれか1つに記載の加熱装置。 - 複数の加熱部材は、いずれもシーズヒーターからなり、複数の冷却部材は、いずれも冷却用ガス流通管からなる請求項1〜4のいずれか1つに記載の加熱装置。
- 複数の加熱部材は、互いに独立して加熱温度制御することができるように構成され、かつ、複数の冷却部材は、互いに独立して冷却温度制御することができるように構成されている請求項1〜5のいずれか1つに記載の加熱装置。
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JP2009136196A JP5331582B2 (ja) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 冷却機能を有する加熱装置 |
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JP2009136196A JP5331582B2 (ja) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 冷却機能を有する加熱装置 |
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