JP5330008B2

JP5330008B2 - 回転精度の評価方法および評価装置

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Publication number: JP5330008B2
Application number: JP2009026374A
Authority: JP
Inventors: 知治安藤
Original assignee: Okuma Corp
Current assignee: Okuma Corp
Priority date: 2009-02-06
Filing date: 2009-02-06
Publication date: 2013-10-30
Anticipated expiration: 2029-02-06
Also published as: JP2010181334A

Description

本発明は、転がり軸受を用いた工作機械の主軸等の回転精度（特に、非繰り返し回転精度）を評価するための評価方法および評価装置に関するものである。

主軸が転がり軸受（以下、「軸受」ともいう）によって回転可能に支持された工作機械において、主軸の回転精度を評価する場合には、主軸が定速回転しているときの振れ（回転中心に対する変位）を変位計で測定する方法が用いられる。また、当該測定において主軸の振れを繰り返し測定したときの非繰り返し成分は、ＮＲＲＯ（Non Repeatable Run Out）と呼ばれ、回転精度を評価する上で重要な指標となる。

通常、ＮＲＲＯは、主軸の回転周期毎に切り出してそれらを重畳させたときの変動幅の最大値で評価される。また、相互に直交する位置に配置した２つの変位計を利用して描画したリサージュ図形の幅で評価されることもある。さらに、特許文献１の如く、リサージュ図形のラインが互いに交鎖して主軸の振れ状態が視覚的に捉え難くなることを避けるために、測定用棒部材の測定部を回転中心から偏心させて、リサージュ図形を所定の大きさの円に対する凹凸として描かせる方法も考案されている。

また、多大な計算を行うことなく、生産ラインの中で回転体の径方向振動のＮＲＲＯ振動成分をリアルタイムに評価することを可能とするために、特許文献２の如く、互いに異なる２方向から測定して得られた振動成分の各々をフーリエ変換して周波数スペクトルを求め、それらの周波数スペクトルを用いて回転方向の各方位毎に径方向振動の振幅を算出することによって回転体の径方向振動を評価する方法も考案されている。

加えて、外輪に固定した変位計を用いて回転する内輪のＮＲＲＯを測定する場合に、外輪の形状誤差の影響を受けずに、ＮＲＲＯを正しく評価するために、特許文献３の如く、相互に直交する位置に振動検出手段を配設し、回転に同期させて所定回転角度毎に振動測定値を取得し、振動波形の変動幅の最大値および最小値およびその方位を算出する方法も考案されている。

特許第２７１６２４９号公報特許第３７８８２３１号公報特開平７−１０３８１５号公報

工作機械の主軸は、通常、低速回転時に転動体と転走面間に油膜形成が十分行われるように潤滑油の粘度を選定しているため、高速回転時には、転動体の相対的な位置決めをするための保持器と案内面間との摩擦抵抗が大きくなることに起因して、保持器が不安定な振動を生じ易い。また、高速回転時には、保持器のアンバランスに起因した振動も生じ易い。それらの保持器の不安定な振動によって、回転中の転動体の規則正しい配置が崩れて、転動体の公転周波数成分（以下、単に「ｆｃ成分」という）の主軸変位が増加し、ＮＲＲＯが悪化する事態が発生する。

上記したような現象に起因して、回転精度には経時変化が生じてしまい、たとえば、ＸＹ方向に設置した２つの変位計を用いて工作機械の主軸を回転させて、所定回数の回転分のリサージュ図形を描画させた場合には、当該リサージュ図形の幅が刻々と変化してしまう。それゆえ、どのタイミングで変位を測定したかによって、回転精度の評価結果が大きく異なってしまう。

たとえば、図４は、工作機械の主軸を所定の回転数（１５，０００ｒｐｍ）で運転した場合における主軸のＸＹ方向への変位のｆｃ成分の変化を示したものであり、図５は、その際の主軸のリサージュ図形（所定回数の回転分のもの）を示したものであるが、ＸＹ方向の各変位計のｆｃ成分が最小となったときにリサージュ図形を描画させると、当該図形の幅が細くなって（図５（ａ））、回転精度が良好であると判断されてしまい、ＸＹ方向の各変位計のｆｃが最大となったときにリサージュ図形を描画させると、当該図形の幅が太くなって（図５（ｂ））、回転精度が不良であると判断されてしまう。

しかしながら、特許文献２および特許文献３の回転精度の評価方法は、回転精度の時間変動については何ら考慮されていないため、回転精度の時間変動が大きい場合には、回転精度を正しく評価することができない。

また、回転精度の経時変化の影響を払拭するために、測定時間を長くして最良値と最悪値を見つけ出すという方法が考えられるが、具体的にどのくらいの測定時間が必要なのか事前に知る手だてはなく、きわめて長い測定時間を要する事態も起こり得る。そのように長時間に亘って測定すると、測定データの容量が大きくなり、扱いにくいものとなってしまう。

本発明の目的は、上記従来の評価方法が有する問題点を解消し、工作機械の主軸等の転がり軸受を用いた回転機の回転精度を短時間の内に正確に評価することが可能な評価方法、および当該評価方法を具現化するための評価装置を提供することにある。

本発明の内、請求項１に記載された発明は、転がり軸受に支持された回転体の回転中における回転中心に対する特定部位の変位を変位計により測定することによって前記回転体の回転精度を評価する回転精度評価方法であって、前記変位計によって測定された特定部位の変位の公転周波数成分が最大である場合に、回転体の非繰り返し回転精度の最大値を求めるとともに、公転周波数成分が最小である場合に、回転体の非繰り返し回転精度の最小値を求め、それらの非繰り返し回転精度の取得数値を用いて回転体の回転精度を評価することを特徴とするものである。

請求項２に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、複数の変位計を用いて前記特定部位の変位を求めることを特徴とするものである。

請求項３に記載された発明は、転がり軸受に支持された回転体の回転中における回転中心に対する特定部位の変位を変位計により測定することによって前記回転体の回転精度を評価する回転精度評価装置であって、変位計によって測定された変位データから前記特定部位の公転周波数に対応した帯域の変位データを抽出するバンドパスフィルタと、そのバンドパスフィルタによって抽出された変位データの周期と同期した任意のタイミングで、変位計による変位測定を行う機会であるか否かを判断する測定機会判断部と、そのバンドパスフィルタによって抽出された変位データが最大および最小である場合に、変位計による変位測定を行う機会であると判断する測定機会判断部と、前記バンドパスフィルタによって抽出された変位データ、および、前記測定機会判断部の判断に基づいて変位計により測定された変位データを記録する変位データ記録部と、その変位データ記録部で記録された変位データを用いて回転体の非繰り返し回転精度の経時変化を算出する回転精度算出部と、その回転精度算出部で算出された非繰り返し回転精度の経時変化を出力する回転精度出力部とからなることを特徴とするものである。

請求項４に記載された発明は、請求項３に記載された発明において、複数の変位計を用いて前記特定部位の変位を求めることを特徴とするものである。

請求項１に記載の回転精度評価方法は、回転体の非繰り返し回転精度の経時変化を考慮して回転精度を評価するものであるため、転がり軸受を用いた回転機における回転体の回転精度を短時間の内に正確に評価することができる。

請求項２に記載の回転精度評価方法は、複数の変位計を用いて特定部位の変位を測定するので、リサージュ図形を描くことが可能となり、また、複数の変位計を用いることで回転体の形状による誤差等を補正することが可能となるため、回転体の回転精度をきわめて正確に評価することができる。

請求項３に記載の回転精度評価装置は、回転体の非繰り返し回転精度の経時変化を算出して出力するものであるため、転がり軸受を用いた回転機における回転体の回転精度を短時間の内に正確に評価することができる。

請求項４に記載の回転精度評価装置は、複数の変位計を用いて特定部位の変位を測定するので、リサージュ図形を描くことが可能となり、また、複数の変位計を用いることで回転体の形状による誤差等を補正することが可能となるため、回転体の回転精度をきわめて正確に評価することができる。

工作機械の主軸の軸方向に沿った鉛直断面（一部）を示す説明図である。工作機械の主軸を正面から見た状態を示す説明図である。測定機会判断部が測定機会を判断する際の処理内容を示すフローチャートである。主軸の変位のｆｃ成分の変化を示したものである（（ａ）はＸ方向のｆｃ成分を示したものであり、（ｂ）はＹ方向のｆｃ成分を示したものである）。主軸の変位のリサージュ図形である（（ａ）はｆｃ成分が最小値のときにおけるものであり、（ｂ）はｆｃ成分が最大値のときにおけるものである）。

以下、本発明の回転精度の評価方法および評価装置の一実施形態について、図面に基づいて説明する。

＜回転精度評価装置の構造＞
図１は、本発明に係る回転精度評価装置を、立形マシニングセンタ等の工作機械の回転体（主軸）の転がり軸受（以下、単に「軸受」という）に装着した状態を示したものであり、モータ２３によって回転駆動される主軸８の先端には、軸受１が設置されている。

軸受１は、ハウジング９内で主軸８を軸支するために同心状に設けられた内輪２および外輪５と、内輪２と外輪５との間に狭持された転動体である複数のボール３，３・・と、ボール３，３・・を周方向に保持して相互の相対的な位置決めをするリング状の保持器４，４・・とを具備している。

また、主軸８を回転駆動させるためのモータ２３は、モータ制御部２２を介してＮＣ装置２１と接続されており、当該ＮＣ装置２１によるモータ２３の作動制御によって、主軸８の回転駆動が制御されるようになっている。加えて、モータ制御部２２には、回転検出部２０を介して、主軸８の回転数を検出するための回転検出器１８が接続されている。

また、軸受１の外周際には、カラー１０が設けられており、当該カラー１０には、内輪２と外輪５との間に開口するように供給孔７が貫設されている。さらに、ハウジング９には、貫通孔９ａが、半径方向に沿って貫設されておち、供給孔７と連通した状態になっている。加えて、貫通孔９ａには、供給ポンプ１２に繋がったビニールチューブ１４が接続されており、供給ポンプ１２の作動によって、供給タンク１３内の潤滑油が、供給孔７を介して内輪２と外輪５との間に供給されるようになっている。なお、供給ポンプ１２は、供給ポンプ制御部２４を介してＮＣ装置２１に接続されており、当該ＮＣ装置２１によって作動が制御されるようになっている。

一方、回転精度評価装置３１は、主軸８の回転中心に対する変位を測定するための非接触式の変位計１５，１５、変位計１５，１５によって測定された転動体の変位を電圧の変化に変換して増幅するための変位計アンプ２８、変位計１５，１５の測定タイミングを判断するための測定機会判断部１９、転動体の公転周波数を算出してフィルタ帯域を設定するためのバンドパスフィルタ１７、変位計１５，１５からの変位データを記録するための変位データ記録部２５、変位計１５，１５からの測定データに基づいて主軸８の回転精度を算出するための回転精度算出部２６、算出された主軸８の回転精度を表示するための回転精度出力部２７等によって構成されている。

また、図２は、軸受１を装着した主軸８を図１におけるＡ方向から見た状態を示したものであり、各変位計１５，１５は、ホルダ１６を介して、蓋体６に取り付けられており、それぞれ、主軸８の回転中心を通って互いに直交するＸ軸、Ｙ軸に沿った状態になっている。

一方、図１の如く、各変位計１５，１５は、変位計アンプ２８と接続されており、当該変位計アンプ２８には、測定機会判断部１９が接続されている。また、それらの変位計アンプ２８および測定機会判断部１９には、バンドパスフィルタ１７が接続されている。さらに、測定機会判断部１９には、変位データ記録部２５が接続されており、その変位データ記録部２５には、回転精度算出部２６が接続されており、当該回転精度算出部２６には、回転精度出力部２７が接続されている。一方、モータ２３に接続されたモータ制御部２２が、回転検出器１８に接続された回転検出部２０を介して、バンドパスフィルタ１７に接続された状態になっている。

＜回転精度評価装置の作動内容＞
上記の如く構成された回転精度評価装置３１においては、主軸８の回転中には、変位計１５，１５によって、主軸８のＸ方向への変位およびＹ方向への変位が、電圧の変位に変換されて出力されるようになっている。変位計１５，１５によって変換された電圧信号は、変位計アンプ２８で増幅され、バンドパスフィルタ１７によって、転動体（すなわち、ボール３、３・・）の公転周波数の信号が抽出される。すなわち、バンドパスフィルタ１７によって、回転検出部２０で検出された回転速度および軸受１の緒元（大きさや重量等）を用いて、転動体の公転周波数が算出され、フィルタ帯域が設定される。なお、転動体の公転周波数ｆｃ［Ｈｚ］は、ｎｉを内輪２の回転速度［ｍｉｎ^−１］、Ｄａを転動体の直径［ｍｍ］、ｄｍを転動体のピッチ円直径［ｍｍ］、αを接触角［°］とすれば、下式１で表すことができる。

ｆｃ＝（１／６０）・（ｎｉ／２）・｛（ｄｍ−Ｄａ・ｃｏｓα）／ｄｍ｝・・・式１

そして、上記の如く変位信号のｆｃ成分Ａｎが抽出されると、当該ｆｃ成分Ａ_ｎが、測定機会判断部１９へ送信されるとともに、変位データ記録部２５内のＡ_ｎ保管メモリに保存される。測定機会判断部１９においては、変位信号のｆｃ成分Ａ_ｎが最大値Ａｍａｘである場合には、“ＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘを取得すべき機会”であると判断され、変位信号のｆｃ成分Ａ_ｎが最小値Ａｍｉｎである場合には、“ＮＲＲＯの最小値Ｒｍｉｎを取得すべき機会”であると判断される。すなわち、Ｘ方向における変位信号のｆｃ成分Ａ_ｎが、図４（ａ）の如きものであり、Ｘ方向における変位信号に基づいて、回転精度の測定機会を判断する場合には、図４（ａ）におけるタイミングＡにおいて、“ＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘを取得すべき機会”であると判断され、タイミングＢにおいて、“ＮＲＲＯの最小値Ｒｍｉｎを取得すべき機会”であると判断される。

図３は、上記の如く測定機会判断部１９が回転精度の測定機会を判断する場合の処理内容を示したものであり、回転精度の測定機会を判断する際には、変位計信号のｆｃ成分Ａ_ｎの最大値Ａｍａｘと最小値Ａｍｉｎを検出するために、ｆｃ成分増加フラグＦが用いられる。そして、ｆｃ成分が増加中である場合にはＦ＝１に設定し、ｆｃ成分が減少中である場合にはＦ＝０に設定し、それらのｆｃ成分増加フラグＦの切り替わりによって、ｆｃ成分の最大・最小を把握する。

まず、ステップ（以下、単にＳで示す）１では、ｆｃ成分増加フラグＦの初期値を決定するために、変位計信号のｆｃ成分Ａ_ｎを２回取得し、Ａ_１＞Ａ_２の場合にはＦ＝０に設定し、Ａ_１＜Ａ_２の場合にはＦ＝１に設定する。

上記の如くｆｃ成分増加フラグＦの初期値を決定した後には、Ｔ０時間毎に、ｆｃ成分Ａ_ｎをサンプリングすることによって、ｆｃ成分の時間Ｔ０毎の増減を求める。すなわち、Ｓ２で、Ｔ０時間毎に、ｆｃ成分Ａ_ｎをサンプリングするとともに、Ｓ３で、Ｔ０時間前に取得したｆｃ成分Ａ_ｎ−１が、変位データ記録部２５のＡ_ｎ保管メモリから読み込まれ、続くＳ４で、Ａ_ｎ＞Ａ_ｎ−１であるか否か判断される。

そして、Ｓ４で“ＹＥＳ”と判断された場合には、続くＳ５で、ｆｃ成分増加フラグＦ＝０であるか否か（すなわち、ｆｃ成分が減少中であるか否か）判断される。Ｓ５で“ＹＥＳ”と判断された場合には、Ａ_ｎが最小であると判断できるから、Ｓ６で、回転精度の最良値を取得する機会と判断して、Ａｍｉｎ＝Ａ_ｎとし、Ｓ７で、変位計１５，１５によって所定回数分（たとえば、１０回転分）の変位を取得し、そのデータを変位データ記録部２５に送信するとともに、Ｓ８で、ｆｃ成分増加フラグをＦ＝１に設定する。

一方、Ｓ４で“ＮＯ”と判断された場合には、続くＳ９で、ｆｃ成分増加フラグＦ＝１であるか否か（すなわち、ｆｃ成分が増加中であるか否か）判断される。Ｓ９で“ＹＥＳ”と判断された場合には、Ａ_ｎが最大であると判断できるから、Ｓ１０で、回転精度の最悪値を取得する機会と判断して、Ａｍａｘ＝Ａ_ｎとし、Ｓ１１で、変位計１５，１５によって所定回数分（たとえば、１０回転分）の変位を取得し、そのデータを変位データ記録部に送信するとともに、Ｓ１２で、ｆｃ成分増加フラグをＦ＝０に設定する。

Ｓ８あるいはＳ１３でｆｃ成分増加フラグを“０”あるいは“１”に設定した後には、Ｓ１３で、ＡｍａｘとＡｍｉｎの両方の取得を完了したか否か判断し、“ＹＥＳ”と判断された場合には、処理を終了する。一方、Ｓ５、Ｓ９またはＳ１３で“ＮＯ”と判断された場合には、Ｓ１４で、Ａ_ｎを変位データ記録部のＡ_ｎ保管メモリに保管し、Ｓ１５で、ｎに１を加算するとともに、Ｓ２で、時間Ｔ０後に再びＡ_ｎを取得する。

上記した処理によって、ＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘ・最小値Ｒｍｉｎの取得機会と判断された場合には、回転検出部２０からの回転信号を用いて定めた回転分の変位計信号が、変位データ記録部２５のＲ_ｎ保管メモリに保存される。そして、ＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘと最小値Ｒｍｉｎ両方の変位計信号が保存された場合には、変位計１５，１５による主軸の変位の測定を終了させる。

しかる後、回転精度算出部２６によって、記録した変位計信号からＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘと最小値Ｒｍｉｎが算出される。そして、下式２を用いて、変位信号のｆｃ成分Ａ_ｎがＡ_ｎ’と正規化され、当該Ａ_ｎ’およびＮＲＲＯの最大値Ｒｍａｘ，最小値Ｒｍｉｎから、下式３を用いて、ＮＲＲＯの経時変化Ｒ_ｎが算出される。

Ａ_ｎ’＝（Ａ_ｎ−Ａｍｉｎ）／（Ａｍａｘ−Ａｍｉｎ）・・・式２
Ｒ_ｎ＝Ａ_ｎ’・（Ｒｍａｘ−Ｒｍｉｎ）＋Ｒｍｉｎ・・・式３

上記の如く回転精度算出部２６で算出されたＮＲＲＯの経時変化Ｒ_ｎは、変位計信号表示部２７に表示される（Ｘ方向、Ｙ方向の各方向毎に別々に表示される）。かかる変位計信号表示部２７への経時変化Ｒｎの表示によって、使用者は、主軸の回転精度を詳細に把握することが可能となる。なお、変位信号のｆｃ成分の増減割合は、Ｘ方向とＹ方向でほぼ一致するため、Ｘ方向・Ｙ方向どちらの信号をＡ_ｎとしても問題はない。

＜回転精度評価装置（評価方法）の効果＞
回転精度評価装置３１は、上記の如く、変位計１５，１５によって得られた変位データから転動体（ボール３）の公転周波数に対応した帯域の変位データを抽出するバンドパスフィルタ１７と、そのバンドパスフィルタ１７によって抽出された変位データの周期と同期した任意のタイミング（時間間隔）で、変位計１５，１５による変位測定を行う機会であるか否かを判断する測定機会判断部１９と、バンドパスフィルタ１７によって抽出された変位データ、および、測定機会判断部１９の判断に基づいて変位計１５，１５により測定された変位データを記録する変位データ記録部２５と、その変位データ記録部２５で記録された変位データを用いて主軸８の非繰り返し回転精度（すなわち、ＮＲＲＯ）の経時変化を算出する回転精度算出部２６と、その回転精度算出部２６で算出されたＮＲＲＯの経時変化を出力する回転精度出力部２７とからなるものである。したがって、回転精度評価装置３１によれば、主軸８の回転精度を短時間の内に正確に評価することができる。

また、回転精度評価装置３１は、２つの非接触式の変位計１５，１５を用いて主軸の変位を求めるものであるため、主軸８の回転精度をきわめて正確に評価することができる。

＜回転精度評価装置（評価方法）の変更例＞
本発明に係る回転精度評価装置の構成は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、変位計、バンドパスフィルタ、測定機会判断部、変位データ記録部、回転精度算出部、回転精度出力部等の形状、構造等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。加えて、本発明に係る回転精度評価方法の構成も、上記実施形態において回転精度評価装置により具現化された方法に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。

たとえば、本発明に係る回転精度評価装置を搭載する装置あるいは機械は、上記実施形態の如く、転がり軸受を備えた工作機械に限定されず、電動機（携帯可能なものを含む）等に変更することも可能である。加えて、本発明に係る回転精度評価装置を上記実施形態の如く工作機械に搭載する場合であっても、その工作機械の構成は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、主軸、軸受（転がり軸受）、変位計、回転検出器、供給ポンプ、供給ポンプ制御部、ＮＣ装置、モータ、モータ制御部、回転検出部等の形状、構造等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。

また、本発明に係る回転精度評価装置は、上記実施形態の如く、ＮＲＲＯの最大値と最小値を直接測定することでより正確なＮＲＲＯの最大値と最小値を得て、それらのＮＲＲＯの最大値と最小値からＮＲＲＯの径時変化を算出するものに限定されず、任意の時間に複数回測定したＮＲＲＯから径時変化を算出するもの等に変更することも可能である。さらに、ＮＲＲＯの最大値と最小値のみを出力し径時変化を出力しないものでも良い。かかる構成を採用することによって、計算量や記録容量を減らして評価装置の構造を簡素化することが可能となる。

加えて、本発明に係る回転精度評価装置および評価方法は、上記実施形態の如く、主軸の回転中心からの変位に基づいて回転精度を評価するものに限定されず、電動機用の軸等、他の特定部位の回転中心からの変位に基づいて回転精度を評価するものに変更したり、軸受外輪側に設けられ回転するものの特定部位の回転中心からの変位に基づいて回転精度を評価するものに変更することも可能である。また、変位を測定する特定部位は実施例のように円筒部ではなく球状部分を測定すると精度をより正確に測定することができる。さらに、単一の特定部位の回転中心からの変位に基づいて回転精度を評価するものに限定されず、回転体の長手方向（あるいは長手方向と直交する方向）に亘って複数の特定部位を設定し、それらの特定部位の回転中心からの変位に基づいて回転精度を評価するもの等に変更することも可能である。

さらに、本発明に係る回転精度評価装置および評価方法は、上記実施形態の如く、互いに直交するように配置された２つの変位計によって測定された変位データより得たリサージュ図形に基づいて回転精度を評価するものに限定されず、２つの変位計の配置が同軸上でなければ直交していなくてもリサージュ図形に基づいて回転精度を正確に評価することも可能であるし、単一の変位計によって測定された変位データに基づいて回転精度を評価するものに変更することも可能である。加えて、場合によっては、回転体の形状による誤差や回転体の軸方向への変位等を補正するために複数の変位計を設置することも可能である。

１・・軸受（転がり軸受）
３・・ボール
８・・主軸
１７・・バンドパスフィルタ
１９・・測定機会判断部
２５・・変位データ記録部
２６・・回転精度算出部
２７・・回転精度出力部

Claims

転がり軸受に支持された回転体の回転中における回転中心に対する特定部位の変位を変位計により測定することによって前記回転体の回転精度を評価する回転精度評価方法であって、
前記変位計によって測定された特定部位の変位の公転周波数成分が最大である場合に、回転体の非繰り返し回転精度の最大値を求めるとともに、公転周波数成分が最小である場合に、回転体の非繰り返し回転精度の最小値を求め、それらの非繰り返し回転精度の取得数値を用いて回転体の回転精度を評価することを特徴とする回転体の回転精度評価方法。
複数の変位計を用いて前記特定部位の変位を求めることを特徴とする請求項１に記載の回転精度評価方法。
転がり軸受に支持された回転体の回転中における回転中心に対する特定部位の変位を変位計により測定することによって前記回転体の回転精度を評価する回転精度評価装置であって、
変位計によって測定された変位データから前記特定部位の公転周波数に対応した帯域の変位データを抽出するバンドパスフィルタと、
そのバンドパスフィルタによって抽出された変位データの周期と同期した任意のタイミングで、変位計による変位測定を行う機会であるか否かを判断する測定機会判断部と、
そのバンドパスフィルタによって抽出された変位データが最大および最小である場合に、変位計による変位測定を行う機会であると判断する測定機会判断部と、
前記バンドパスフィルタによって抽出された変位データ、および、前記測定機会判断部の判断に基づいて変位計により測定された変位データを記録する変位データ記録部と、
その変位データ記録部で記録された変位データを用いて回転体の非繰り返し回転精度の経時変化を算出する回転精度算出部と、
その回転精度算出部で算出された非繰り返し回転精度の経時変化を出力する回転精度出力部とからなることを特徴とする回転精度評価装置。
複数の変位計を用いて前記特定部位の変位を求めることを特徴とする請求項３に記載の回転精度評価装置。