JP5327447B2 - 圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 - Google Patents
圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5327447B2 JP5327447B2 JP2009024824A JP2009024824A JP5327447B2 JP 5327447 B2 JP5327447 B2 JP 5327447B2 JP 2009024824 A JP2009024824 A JP 2009024824A JP 2009024824 A JP2009024824 A JP 2009024824A JP 5327447 B2 JP5327447 B2 JP 5327447B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- displacement
- spindle
- processing apparatus
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
この種の微少上下動を得るために、圧電素子の変位を利用することが考えられるが、圧電素子の変位は、通常約25μm程度しか変位しないので、通常、圧電素子を用いる場合には、変位拡大機構が使用される。
従来、この種の圧電素子変位拡大機構としては、例えば、特開2007−166714号に開示のものが知られている。
そこで、本願発明者らは、従来から存在する加工装置のスピンドルツール部等の切削具への装着を前提として、本発明は、このような従来装置への装着が容易で、かつ、表面テクスチャのシボ加工において操作容易なシボ加工を達成することができるシボ加工装置用変位拡大機構を必要とする。
しかしながら、圧電素子をそのまま使用する場合には、最大約25μm程度の変位しか取り出すことができない。そのため、上記のシボ加工を敢行する場合には、最大約200μm程度の範囲で切削工具を上下動させつつXY方向に移動することによって従来から使用される加工装置(例えば、モデリングマシン (MDX−650))が必要となる。
また、本願請求項2に係る発明は、前記請求項1に係る圧電素子変位拡大機構において、前記圧電素子固定盤、前記変位拡大盤、前記弾性体支持盤のそれぞれには、その中心部に前記スピンドルを挿通するスピンドル貫通孔が設けられたことを特徴とする。
さらに、本願請求項3に係る発明は、前記請求項1に係る圧電素子変位拡大機構において、前記圧電素子固定盤、前記変位拡大盤、前記弾性体支持盤のそれぞれが透明樹脂材質によって成型されたものであることを特徴とする。
また、本願請求項4に係る発明は、表面テクスチャ加工装置であって、前記請求項1に係る圧電素子変位拡大機構と、制御PCと、ファンクションジェネレータと、圧電素子ドライバと、XYZ軸ステージとからなり、前記圧電素子ドライバと同期駆動する表面テクスチャ加工プログラムを前記制御PCに格納したことを特徴とする。
なお、前記弾性体突起9a、9bは、数1に示されるバネ定数を有する材質で、図10に示す形状のものを使用した。
検証は、本実施例1に係る前記変位拡大機構1から、前記可動円盤7と前記スピンドル8及び前記弾性体支持盤6を外した場合と、前記可動円盤7と前記スピンドル8及び前記弾性体支持盤6を装着した場合の二つの場合に分けて検証した。
本実施例1に係る前記変位拡大機構から、前記可動円盤7と前記スピンドル8及び前記弾性体支持盤6を外した場合には、前記変位拡大盤3の裏面の半球10にアルミ板を水平になるように両面テープで固定し、当該アルミ板にレーザー変位計のレーザーを照射し、その移動変位を測定した。
図17から図23は、本実施例1に係る前記変位拡大機構1に前記可動円盤7と前記スピンドル8及び前記弾性体支持盤6を装着した場合について、それぞれの周波数、電圧についての、直流電圧、正弦波、矩形波、三角波について検証を行った。図17は、直流波形(−10〜+10)を前記圧電素子2に与え、その出力(v)並びに変位(μm)を測定した結果を示す図である。図18は、その電圧に対する変位のグラフ図である。
この検証により、本実施例1に係る変位拡大機構1によれば、約25μmの圧電素子の変位を1.5倍の約40μmの変位に拡大できることが検証された。
図25は、前記制御PC内に格納される前記本実施例1に係る圧電素子変位拡大機構1を駆動するための動作フローを示す図であり、その動作は、次のようなフローによって達成される。
図27は、正弦波についての検証結果を示す図であり、図28は、三角波についての検証結果を示す図であり、図29は矩形波についての検証結果を示す図である。
しかし、本実施例1に係る圧電素子変位拡大機構1は、大学実験室内で生まれた発明に係るもので、学生実習において学生に理解容易なように、前述の各部材を原則としてアクリル樹脂により製作した。すなわち、本実施例3に係る圧電素子変位拡大機構30において、前記圧電素子固定盤4を透明アクリル樹脂からなる圧電素子固定盤31に、前記変位拡大盤3を透明アクリル樹脂からなる変位拡大盤32に、前記弾性体支持盤6を透明アクリル樹脂からなる弾性体支持盤33としたものである。なお、本実施例3においては、前記可動盤34は、前記半球10で押圧されるため強度不足・摩耗性を懸念して金属製の可動盤34としたが、これは、上述と同じようにアクリル樹脂製の可動盤としても良く、あるいは、アクリル製の両表面に金属円盤を別途貼り合わせたものであっても良いものである。
2,2a、2b 圧電素子
3 変位拡大盤
3a、3b 変位拡大盤部材
4 圧電素子固定盤
5 マシン固定部
7 可動円盤
8 スピンドル
9a、9b 弾性体突起
10、10a、10b 半球
11 ブッシュ
12,12a、12b 半球
13 ネジ
14,14a、14b 圧電素子取付け穴
15 スピンドル貫通孔
16、16a、16b 切り欠き部
17 分割面
18 圧電素子挿通孔
19 切り溝
20 表面テクスチャ加工装置システム
21 制御PC
22 ファンクションジェネレータ
23 圧電素子ドライバ
24 XYZ軸ステージ
30 変位拡大装置
31 圧電素子固定盤
32 変位拡大盤
33 弾性体支持盤
34 可動盤
Claims (4)
- 回転工具を含む加工装置の回転軸部に取付け可能な盤構造の圧電素子変位拡大機構であって、
先端に切削工具を取り付けるスピンドルと、
当該スピンドルに固定される可動盤と、
加工装置のツーリング部に固定される圧電素子固定盤と、
盤中心から放射状に所定の深さを有する切り欠き部を有し、圧電素子底部が前記切り欠き部から「Y」の距離だけ離れた位置で接し、前記切り欠き部の中心から「X」の距離だけ離れた周縁位置裏面が当該可動盤表面に接し、前記圧電素子固定盤に固定された圧電素子の変位を受けて、X/Y倍に拡大して前記可動盤に伝達する変位拡大盤と、
前記可動盤裏面で前記圧電素子固定盤と所定の間隔で固定配置され、前記可動盤に接し、配置される弾性体突起で、前記変位拡大盤からの変位がないときに前記可動盤を復帰位置まで戻す弾性体支持盤と、
からなることを特徴とする圧電素子変位拡大機構。 - 前記圧電素子固定盤、前記変位拡大盤、前記弾性体支持盤のそれぞれには、その中心部に前記スピンドルを挿通するスピンドル貫通孔が設けられたことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子変位拡大機構。
- 前記圧電素子固定盤、前記変位拡大盤、前記弾性体支持盤のそれぞれが透明樹脂材質によって成型されたものであることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子変位拡大機構。
- 前記請求項1に記載の圧電素子変位拡大機構と、制御PCと、ファンクションジェネレータと、圧電素子ドライバと、XYZ軸ステージとからなり、前記圧電素子ドライバと同期駆動する表面テクスチャ加工プログラムを前記制御PCに格納したことを特徴とする表面テクスチャ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009024824A JP5327447B2 (ja) | 2009-02-05 | 2009-02-05 | 圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009024824A JP5327447B2 (ja) | 2009-02-05 | 2009-02-05 | 圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010183731A JP2010183731A (ja) | 2010-08-19 |
JP5327447B2 true JP5327447B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=42764803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009024824A Expired - Fee Related JP5327447B2 (ja) | 2009-02-05 | 2009-02-05 | 圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5327447B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61100344A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-19 | Inoue Japax Res Inc | 工作機械装置 |
JPH05177486A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-20 | Toyoda Mach Works Ltd | 主軸装置 |
JP2005177943A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Alps Electric Co Ltd | 表面加工機 |
-
2009
- 2009-02-05 JP JP2009024824A patent/JP5327447B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010183731A (ja) | 2010-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10315518B2 (en) | Haptic feedback device for a motor vehicle | |
US7467535B2 (en) | Stamping machine | |
JP4296041B2 (ja) | 圧電モータ及び圧電モータ付き電子機器 | |
JP2007034991A (ja) | タッチパネルディスプレイ装置、タッチパネルディスプレイ装置を備えた電子機器、及びタッチパネルディスプレイ装置を備えたカメラ | |
JP2013092513A (ja) | 三次元触覚感知フィードバック発生方法とポータブル電子装置 | |
JP2006503529A (ja) | 高分解能圧電モータ | |
JP6866041B2 (ja) | 応答力発生装置 | |
JP4881406B2 (ja) | 圧電モータ及び圧電モータ付き電子機器 | |
JP6919275B2 (ja) | 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置およびプリンター | |
JP2007326179A (ja) | 微細形状加工装置 | |
WO2018143021A1 (ja) | 触覚呈示装置 | |
JP5327447B2 (ja) | 圧電素子変位拡大機構及びそれを利用する表面テクスチャ加工装置 | |
JP2005511333A (ja) | 圧電ベンダを含む微細操作装置 | |
JP2008014913A (ja) | 電動テーブル装置及び顕微鏡ステージ | |
JP4350661B2 (ja) | ペン入力装置 | |
JP2009216463A (ja) | 振動特性測定装置 | |
JP2015186329A (ja) | 圧電モーター | |
JP6152019B2 (ja) | 超音波モータを用いたリニア駆動ユニット | |
JP5376323B2 (ja) | コントローラ | |
JP2015230540A (ja) | 触覚呈示装置 | |
JP2023062963A (ja) | 触覚付与装置 | |
JP2021146436A (ja) | 工作機械の振動特性の変化を計測する方法および装置 | |
JP2019217609A (ja) | 圧電アクチュエータ及びマニピュレータ | |
JP2020102113A (ja) | タッチパネル付き表示装置 | |
JP2013136130A (ja) | 超音波加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |