JP5315646B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5315646B2 JP5315646B2 JP2007223957A JP2007223957A JP5315646B2 JP 5315646 B2 JP5315646 B2 JP 5315646B2 JP 2007223957 A JP2007223957 A JP 2007223957A JP 2007223957 A JP2007223957 A JP 2007223957A JP 5315646 B2 JP5315646 B2 JP 5315646B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- photomask
- layer
- height
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
μm以上16μm以下の正方形開口部と、該正方形開口部と中心を共有する正方形の輪郭を成すスリット状開口部とを形成したフォトマスクで、前記スリット状開口部が、前記正方形開口部の正方形の辺の2倍の長さの辺を持つ正方形の輪郭を成すスリットから成り、該スリットの幅が0.5μm以上2μm以下であるフォトマスクであり、前記フォトマスクを介して前記フォトレジスト層に露光光を照射する第3の工程を有し、次に、前記フォトレジスト層を現像することにより、前記開口部に対応する中央部分と前記スリット状開口部に対応する裾野部分を有するフォトスペーサを形成し、前記裾野部分の高さを前記中央部分の高さの80%以下にする第4の工程を有し、前記第1の工程が、前記ブラックマトリックス上の前記着色画素層間に前記着色画素層の高さよりも高い突出樹脂層を形成し、前記着色画素層上と前記突出樹脂層上に前記透明導電膜を形成する工程を含み、前記第4の工程が、前記突出樹脂層上の透明導電膜を前記中央部分で覆ったフォトスペーサを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
以下に本発明の第1の実施形態を詳細に説明する。本実施形態では、カラーフィルタ4のフォトスペーサ(PS)1を形成するフォトレジスト層2としてネガ型のフォトレジストを用いる。そのフォトレジストは、例えば、JSR製ネガ型アクリル系材料(NN810またはNN700)、または新日鐵化学製V−259PA等を使用する。図1は、本実施形態によるカラーフィルタ4の製造方法におけるフォトマスク3とカラーフィルタ4の断面図である。本実施形態では、フォトスペーサ1形成用のフォトレジスト層2を露光するのに用いるフォトマスク3のパターンとして、開口部3aを設けてフォトスペーサ1の中央部分1aを形成するために用い、開口部3aの周囲に、波長が365nmの紫外線(i線)の光透過率が5%以上で約30%以下のハーフトーン部分3bを設けて光強度を減らすことで高さの低いフォトスペーサ1の裾野部分1bを形成するために用いる。
(ブラックマトリックスの形成)
先ず、ガラス基板や透明樹脂基板などの透明基板5上に図2のようにブラックマトリックス6を形成する。ブラックマトリックス6は、着色画素7間のマトリックス部6Aと、着色画素7が形成された領域(表示部)の周辺部を囲む額縁部6Bとで構成されている。ブラックマトリックス6は、カラーフィルタ4の着色画素7の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
を形成し、この金属薄膜をフォトエッチングすることによって形成する。或いは、透明基板5上に、ブラックマトリックス6形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス6を形成する。
着色画素7の形成は、このブラックマトリックス6が形成された透明基板5上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成する。
透明導電膜8の形成は、ブラックマトリックス6、着色画素7が形成された透明基板5上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜8を形成する。
次に、図1に示すように、ブラックマトリックス6、着色画素7、透明導電膜8が形成された透明基板5上に、フォトスペーサ1を形成するために例えばNN810のフォトレジストをスリットスピンコータで塗布し、ホットプレートで90℃、2分乾燥することで、ネガ型のフォトレジスト層2を1.5μmから5μmの厚さに形成する。次に、フォトレジスト層2の上方に、近接露光のギャップGを設けて、膜面9をフォトレジスト層2に対向させフォトマスク3を配置する。近接露光のギャップGは形成するパターンの大きさ等によって異なるものであるが、通常50μm〜400μmの範囲内、好ましくは100μm〜200μmの範囲内に設定する。
図1のように、フォトスペーサ1形成用のフォトマスク3には、膜面9にクロム膜をフォトエッチングして形成したパターンを設置する。そのフォトマスク3のパターンは、フォトスペーサ1の位置に、幅Waが6μmから15μmの開口部3aを形成し、その開口部3aを囲むハーフトーン部分3bを設ける。ハーフトーン部分3bの幅Wbを開口部3aの幅Waより大きくし、ブラックマトリックス6の幅より小さくする。すなわち、ブラックマトリックス6の幅が40μmの場合は、ハーフトーン部分3bの幅Wbは12μmから40μm、好ましくは約30μmに設ける。すなわち、ハーフトーン部分3bの幅Wbは開口部3aの幅Waの2倍から4倍程度に形成する。ハーフトーン部分3bは、紫外線を減衰させる薄膜、例えばITOなどの金属酸化物膜、で形成し、或いは、フォトマスク3の膜面9のクロム膜をメッシュ状に形成する等でハーフトーン部分3bを形成する。そして、そのハーフトーン部分3bの外側に遮光部3cを形成する。フォトマスク3のパターンは、ハーフトーン部分3bのパターンを、ブラックマトリックス6の位置のフォトレジスト層2に投影するように形成する。
フォトマスク3の上方からの露光光Lは、主な波長が365nmの紫外線(i線)の露光光Lを超高圧水銀灯で発生させ、その露光光Lをフォトマスク3の開口部3aを経てフォトレジスト層2に照射させる。露光条件は、例えば10秒で、i線強度が約200mJ/cm2で露光する。フォトマスク3の開口部3aの下のフォトレジスト層2に照射される露光光Lは、近接露光のギャップGが充分にあると、開口部3aの直下の部分のフォトレジスト層2に照射されるのみではなく、開口部3a端での光の回折効果により、フォトマスク3のハーフトーン部分3bの下方に光が回り込む。そのため、開口部3a下方のフォトレジスト層2を現像して得るフォトスペーサ1の形状は、図3のように、開口部3aの直下の真中に開口部3aの幅Wa程度の幅W1aの上底を有し、透明基板5側ではそれより大きい下底を有する台形状の中央部分1aを持つ。この中央部分1aの側面の透明基板5からの傾斜角度は45度から90度の範囲に形成することが望ましい。
図5(a)に、第2の実施形態で用いるフォトマスク3のパターンの平面図を示し、図5(b)に、図5(a)のフォトマスクで近接露光した場合のシミュレーション結果の、フォトレジスト層2に照射する光強度分布の等高線を平面図で示す。第2の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、フォトマスク3のパターンを、図5(a)のように、中心の開口部3aと、その周囲に形成した環状開口部3dを形成したパターンにすることである。このパターンのフォトマスク3を用いて、フォトレジスト層2を近接露光することで、フォトスペーサ1を、中央部分1aとその周囲の裾野部分1bを有する形に形成する。
第3の実施形態は、第1の実施形態と同様にハーフトーン部分3bを形成したフォトマスク3を用いる。
(突出樹脂層の形成)
本実施形態が第1の実施形態および第2の実施形態と異なる点は、図6のように、ブラックマトリックス6上に他の着色画素層7の高さより高い突出樹脂層10を重ねて段差を付けた点である。この突出樹脂層10は、ブラックマトリックス層の上に通常の着色画素層7を形成した上に更に第2の着色画素層を突出樹脂層10として積層することで、通常の着色画素層7の高さより高い突出樹脂層10を形成することができる。あるいは、通常の着色画素層7を形成した後に、通常の着色画素層7よりも厚い突出樹脂層10を、例えばインクジェット方により、ブラックマトリックス6上に加えることで他の着色画素層7の高さより高い突出樹脂層10を設置することができる。
次に、着色画素層7および突出樹脂層10の上に透明導電膜8を形成する。
(フォトスペーサの形成)
次に、着色画素層7、突出樹脂層10および透明導電膜8の上に、フォトレジスト層2を形成する。突出樹脂層10が着色画素層7の高さより高い段差があるため、形成したフォトレジスト層2にうねりが発生する。突出樹脂層10の上のフォトレジスト層2をフォトスペーサ1の中央部分1aに形成し、突出樹脂層10の周囲の部分のフォトレジスト層2を裾野部分1bに形成する。これにより、フォトスペーサ1の中央部分1aと裾野部分1bの高さの差が拡大される。そのため、裾野部分1bを形成するフォトマスク3のハーフトーン部分3bの光透過率を20%より高くしても裾野部分1bの高さHbを中央部分1aの高さHaの8割以下にしたフォトスペーサ1を形成できる。そのため、フォトマスク3の製造コストを低減できる効果がある。
なお、本実施形態の変形例1として、第2の実施形態と同様に、フォトマスク3としてハーフトーン部分3bを形成しないフォトマスク3を用い、そのパターンとして、中心の開口部3aと、その周囲に形成した環状開口部3dを形成したフォトマスク3を用いて、フォトスペーサ1を形成することができる。この変形例1では、環状開口部3dを通る光量を第2の実施形態より多くしても裾野部分1bの高さHbを中央部分1aの高さHaの8割以下にしたフォトスペーサ1を形成できるので、環状開口部3dのスリットの幅を第2の実施形態のフォトマスク3より広くできるので形成するパターンの精度を緩くできる効果がある。そのため、フォトマスク3の製造コストを第2の実施形態で低減するよりも更に低減できる効果がある。
1a・・・中央部分
1b・・・裾野部分
2・・・フォトレジスト層
3・・・フォトマスク
3a・・・開口部
3b・・・ハーフトーン部分
3c・・・遮光部
3d・・・環状開口部
4・・・カラーフィルタ
5・・・透明基板
6・・・ブラックマトリックス
6A・・・マトリックス部
6B・・・額縁部
7・・・着色画素
8・・・透明導電膜
9・・・膜面
10・・・突出樹脂層
G・・・近接露光のギャップ
Ha・・・フォトスペーサの中央部分1aの高さ
Hb・・・フォトスペーサの裾野部分1bの高さ
L・・・露光光
Wa・・・フォトマスクの開口部3aの幅
Wb・・・フォトマスクのハーフトーン部分3bの幅
W1a・・・フォトスペーサの中央部分1aの上底の幅
W1b・・・フォトスペーサの裾野部分1bの上底の幅
W1c・・・フォトスペーサの裾野部分1bの下底の幅
Claims (1)
- 透明基板上にブラックマトリックスと着色画素層と透明導電膜を形成する第1の工程と、前記透明導電膜上にフォトスペーサ形成用のネガ型のフォトレジスト層を形成する第2の工程を有し、次に、前記フォトレジスト層上に近接露光のギャップを隔ててフォトマスクを設置し、該フォトマスクは、一辺の長さが5μm以上16μm以下の正方形開口部と、該正方形開口部と中心を共有する正方形の輪郭を成すスリット状開口部とを形成したフォトマスクで、前記スリット状開口部が、前記正方形開口部の正方形の辺の2倍の長さの辺を持つ正方形の輪郭を成すスリットから成り、該スリットの幅が0.5μm以上2μm以下であるフォトマスクであり、前記フォトマスクを介して前記フォトレジスト層に露光光を照射する第3の工程を有し、次に、前記フォトレジスト層を現像することにより、前記開口部に対応する中央部分と前記スリット状開口部に対応する裾野部分を有するフォトスペーサを形成し、前記裾野部分の高さを前記中央部分の高さの80%以下にする第4の工程を有し、前記第1の工程が、前記ブラックマトリックス上の前記着色画素層間に前記着色画素層の高さよりも高い突出樹脂層を形成し、前記着色画素層上と前記突出樹脂層上に前記透明導電膜を形成する工程を含み、前記第4の工程が、前記突出樹脂層上の透明導電膜を前記中央部分で覆ったフォトスペーサを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007223957A JP5315646B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007223957A JP5315646B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009058607A JP2009058607A (ja) | 2009-03-19 |
JP5315646B2 true JP5315646B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=40554435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007223957A Expired - Fee Related JP5315646B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5315646B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120086901A1 (en) * | 2009-06-16 | 2012-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device and method for manufacturing the same |
KR101319355B1 (ko) * | 2010-11-04 | 2013-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 표시 패널 및 그의 제조 방법 |
KR102362091B1 (ko) | 2015-03-19 | 2022-02-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치, 광마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
KR102256306B1 (ko) | 2015-03-23 | 2021-05-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치용 마스크 및 이를 이용하여 제조된 표시장치 |
KR101755318B1 (ko) | 2015-11-19 | 2017-07-10 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 컬럼 스페이서의 제조방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002049051A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Toray Ind Inc | 液晶表示装置用基板および液晶表示装置 |
EP2031438B1 (en) * | 2003-10-16 | 2010-10-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate with spacer, panel, and method for producing panel |
JP2006178038A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2007148214A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Seiko Epson Corp | グレイスケールマスク、回折光学素子及びプロジェクタ |
JP4929707B2 (ja) * | 2005-12-20 | 2012-05-09 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ用フォトマスク及びカラーフィルタの製造方法 |
JP2007178662A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
-
2007
- 2007-08-30 JP JP2007223957A patent/JP5315646B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009058607A (ja) | 2009-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7440048B2 (en) | Method of forming a color filter having various thicknesses and a transflective LCD with the color filter | |
JP5315646B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP2005266011A (ja) | カラーフィルタ基板及びそれを用いた表示装置 | |
JP4793063B2 (ja) | カラーフィルタ用フォトマスク及びカラーフィルタの製造方法 | |
WO2010061494A1 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP2009009058A (ja) | カラーフィルタ基板、その製造に用いるフォトマスク、及び液晶表示装置 | |
TW200302393A (en) | Mask for photolithography, method of forming thin film, liquid crystal display device, and method of producing the liquid crystal display device | |
JP5011973B2 (ja) | フォトマスク | |
JP5034203B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2007101992A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2009151071A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ | |
JP5151742B2 (ja) | フォトマスク | |
JP2007327985A (ja) | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ | |
JP5061617B2 (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP4779413B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4775113B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
CN112198728B (zh) | 阵列基板及其制作方法、液晶显示面板 | |
JP5029192B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP2008015072A (ja) | カラーフィルタ用フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ | |
JP5369890B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP2011252990A (ja) | カラーフィルタ基板および液晶表示パネル | |
JP2006221015A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
CN107422522B (zh) | 一种彩色滤光片基板及其制作方法 | |
JP2008304507A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
JP4887958B2 (ja) | フォトマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130624 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |