JP5311402B2 - 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ - Google Patents
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特に、燃料電池自動車においては、水素燃料供給ステーションに設置された高圧水素ガス源から配管を介して水素貯蔵タンクに高圧で貯蔵され、減圧して燃料電池に一定の圧力で供給されるが、該水素貯蔵タンク等に貯蔵される水素ガスは、35MPa以上、好ましくは、更に100MPa〜1GPaと高圧であるために、水素ガス圧センサには、超高圧センサを用いる必要がある(特許文献1参照)。
また、機械的な変形を検知するものであるために、35MPa以上、更には、100MPa以上の高圧には耐えられないという問題がある。
[1]水素ガスの静水圧を、水素ガス雰囲気に配置された誘電体単結晶材料の静電容量により測定することを特徴とする水素ガス圧の測定法。
[2]前記水素ガスが、0.1MPa〜1GPaの圧力を有することを特徴とする上記[1]の方法。
[3]前記誘電体単結晶のキュリー温度が室温以下であることを特徴とする上記[1]又は[2]の方法。
[4]水素ガス雰囲気に配置して該水素ガスの静水圧を、その静電容量により測定するためのセンサであって、該センサに誘電体単結晶を用いることを特徴とする水素ガス圧センサ。
[5]前記水素ガスが、0.1MPa〜1GPaの圧力を有することを特徴とする上記[4]の水素ガス圧センサ。
[6]前記誘電体単結晶のキュリー温度が室温以下であることを特徴とする上記[4]又は[5]の水素ガス圧センサ。
これに対して、本発明の測定法は、水素ガスの静水圧を、機械的に検知するのではなく、右側に示すように、水素ガス雰囲気に配置された誘電体単結晶材料の静電容量により測定することを特徴とするものである。
図に示すとおり、本発明の測定方法は、誘電体単結晶1の対向する二面に電極2を形成したものを、圧力容器3内の水素ガス雰囲気下に配置し、電極2よりリード線を引き出し、LCRメータ又はインピーダンスアナライザーを用いて、静電容量を測定する。
前述のとおり、誘電体の静電容量は、それが配置された雰囲気の圧力の変化に伴い、直線的に変化するので、得られた静電容量から、水素ガスの圧力を知ることができる。
また、用いる誘電体単結晶の結晶方位は限定されず、例えば、チタン酸ストロンチウムの結晶方位は、(100)、(110)、(111)の何れでも良い。
また、誘電体単結晶の対向する二面に設ける電極の材料としては、電極として通常用いられるものであって、かつ、高圧水素ガス雰囲気下で劣化せずに使用できるものであれば、特に限定されないが、白金、金等の貴金属、ニッケル等が好ましい。
また、電極の形成方法も特に限定されず、例えば、スパッタリング、蒸着、焼き付けなどの通常の手段が用いられる。
(実施例)
誘電体として、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)単結晶(結晶方位(100)面)(10mm×10mm×厚さ1mm)を用い、その対向面に、白金をスパッタして電極を形成し、該電極にリード線(銅線)を半田付けした。
これを、チャンバー内にセットし、チャンバー内に水素ガスを導入して、圧力を90MPaまで徐々に上昇させ、圧力上昇に伴うSrTiO3単結晶の静電容量の変化を、300kHz及び500kHzで、LCRメーター(アジレント:4284A)を用いて測定した。
その結果を図3に示す。図中、(a)は、300kHzで測定した結果であり、(b)は、500kHzで測定した結果である。
図3に示すとおり、水素ガス圧の変化に伴い、誘電体の静電容量が直線的に変化することがわかる。
2:電極
3:圧力容器
Claims (6)
- 水素ガスの静水圧を、水素ガス雰囲気に配置された誘電体単結晶材料の静電容量により測定することを特徴とする水素ガス圧の測定法。
- 前記水素ガスが、30MPa〜1GPaの圧力を有することを特徴とする請求項1に記載の水素ガス圧の測定法。
- 前記誘電体単結晶のキュリー温度が室温以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の水素ガス圧の測定法。
- 水素ガス雰囲気に配置して該水素ガスの静水圧を、その静電容量により測定するためのセンサであって、該センサに誘電体単結晶を用いることを特徴とする水素ガス圧センサ。
- 前記水素ガスが、30MPa〜1GPaの圧力を有することを特徴とする請求項4に記載の水素ガス圧センサ。
- 前記誘電体単結晶のキュリー温度が室温以下であることを特徴とする請求項4又は5に記載の水素ガス圧センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158332A JP5311402B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009158332A JP5311402B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011013124A JP2011013124A (ja) | 2011-01-20 |
JP5311402B2 true JP5311402B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=43592175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009158332A Expired - Fee Related JP5311402B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5311402B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6850642B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-03-31 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 圧力センサ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60257336A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Nippon Denso Co Ltd | 圧力検出器 |
JPS61164129A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧力センサ− |
JPH04132921A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力検出器 |
JPH07317592A (ja) * | 1994-05-26 | 1995-12-05 | Unisia Jecs Corp | 内燃機関の筒内圧検出装置 |
US7254983B2 (en) * | 2001-10-16 | 2007-08-14 | Hera Usa Inc. | Fuel gauge for hydrogen storage media |
JP2006335576A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Nissan Motor Co Ltd | 圧電材料 |
JP2009096671A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Taiyo Yuden Co Ltd | 誘電体セラミックス及び積層セラミックコンデンサ |
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2009
- 2009-07-03 JP JP2009158332A patent/JP5311402B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011013124A (ja) | 2011-01-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120905 |
|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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