JPS61164129A - 圧力センサ− - Google Patents
圧力センサ−Info
- Publication number
- JPS61164129A JPS61164129A JP630885A JP630885A JPS61164129A JP S61164129 A JPS61164129 A JP S61164129A JP 630885 A JP630885 A JP 630885A JP 630885 A JP630885 A JP 630885A JP S61164129 A JPS61164129 A JP S61164129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- electrodes
- pressure sensor
- composite dielectric
- inorg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0005—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は比較的低圧の圧力測定に利用する圧力センサ
ーに関する。
ーに関する。
圧力センサーとしては種々のものが知られておシ、流体
圧測定用としてはブルドン管式が多用され、又、固体圧
の測定にはバネや圧電振動子を用いたものがある。又、
電気的なものとして、電気抵抗圧力センサーがある。
圧測定用としてはブルドン管式が多用され、又、固体圧
の測定にはバネや圧電振動子を用いたものがある。又、
電気的なものとして、電気抵抗圧力センサーがある。
ブルドン管式、バネ式、圧電振動子式のものは機械的に
指針を動かすか、一部に機械的機構をもつものであり、
構造が複雑であったり、大型にカリやすいものであシ、
使用範囲に制約もあった。
指針を動かすか、一部に機械的機構をもつものであり、
構造が複雑であったり、大型にカリやすいものであシ、
使用範囲に制約もあった。
又、測定範囲も比較的狭いものであった。
又、電気抵抗式のものは金属の電気抵抗が圧力によって
変化することを利用するものであり、構造的には簡単な
ものであるが、主として高圧の測定用に限られるもので
あった。
変化することを利用するものであり、構造的には簡単な
ものであるが、主として高圧の測定用に限られるもので
あった。
この発明は、構造が極めて簡単で、安価に製作でき、か
つ、比較的広い測定域をもつ圧力センサ本発明による圧
力センサーは、有機材料と無機材料とから々る複合誘電
体材料の対向する２面に電極を設けた構造のものである
。
つ、比較的広い測定域をもつ圧力センサ本発明による圧
力センサーは、有機材料と無機材料とから々る複合誘電
体材料の対向する２面に電極を設けた構造のものである
。
上記構成の圧力センサーは、圧力を受けて複合誘電体材
料が変形して電極間隔及び材料密度が変化することで、
電極間の静電容量が圧力に比例して変化する。
料が変形して電極間隔及び材料密度が変化することで、
電極間の静電容量が圧力に比例して変化する。
第１図に本発明にか＼る圧力センサーの本体が示される
。
。
この圧力センサ一本体１は、有機材料、例えばＮＢＲ，
エポキシなどの樹脂の粉体と、無機材料、例工ばチタン
酸バリウム、チタン酸ストロンチウムなどのセラミック
スの粉体とを約７：３（体積比）の割合で混練し、１５
０°Ｃで３０分間ホットプレスしてシート状の複合誘電
体材料２を成型”し、これの両面にアルミニウムの蒸着
によって電極３゜４を形成して構成されている。
エポキシなどの樹脂の粉体と、無機材料、例工ばチタン
酸バリウム、チタン酸ストロンチウムなどのセラミック
スの粉体とを約７：３（体積比）の割合で混練し、１５
０°Ｃで３０分間ホットプレスしてシート状の複合誘電
体材料２を成型”し、これの両面にアルミニウムの蒸着
によって電極３゜４を形成して構成されている。
上記構成の圧力センサ一本体１は、圧力が印加されると
電極３，４間の静電容量が変化するものであり、その「
圧力−静電容量比」特性が第４図に示される。
電極３，４間の静電容量が変化するものであり、その「
圧力−静電容量比」特性が第４図に示される。
尚、図中の各特性Ａ、Ｂ、Ｃは複合誘電体材料２の組成
が下記のものである。
が下記のものである。
（Ａ）： ＮＢＲ（３６，６重量％）、チタン酸バリウ
ム（６３・４重量％） ＜Ｂ）二ＮＢＲ（５，６５重量ｑ６）、チタン酸ストロ
ンチウム（９４，３５重量％） （Ｃ）：エポキシ（６，’７０重量％）、チタン酸スト
ロンチウム（９３，３０重量％） 因みに、各特性での一定圧力（０，０１ｇ、 ／ ｍｄ
）での静電容量は下のようであった。
ム（６３・４重量％） ＜Ｂ）二ＮＢＲ（５，６５重量ｑ６）、チタン酸ストロ
ンチウム（９４，３５重量％） （Ｃ）：エポキシ（６，’７０重量％）、チタン酸スト
ロンチウム（９３，３０重量％） 因みに、各特性での一定圧力（０，０１ｇ、 ／ ｍｄ
）での静電容量は下のようであった。
（Ａ）：１８０ＰＦ、（ロ）： １４２０ＰＦ、”（Ｃ
） ： ２９６’ＯＦＦ第４図からも明らかなように、
この圧力センサーによれば４桁以上の広い範囲の測定が
可能である。但し、狭い範囲を精度よく測定するには容
量変化が大きく表われる（Ａ）特性を用いるとよい。
） ： ２９６’ＯＦＦ第４図からも明らかなように、
この圧力センサーによれば４桁以上の広い範囲の測定が
可能である。但し、狭い範囲を精度よく測定するには容
量変化が大きく表われる（Ａ）特性を用いるとよい。
尚、第２図は圧力センサ一本体１を容器５内に装填して
気体又は液体の圧力測定に利用する場合の使用形態の一
例を示し、又、第３図は剛体板６゜７０間にセンサ一本
体１を挾持して外力を間接的に、かつ全面に受けて測定
する形態の一例である。
気体又は液体の圧力測定に利用する場合の使用形態の一
例を示し、又、第３図は剛体板６゜７０間にセンサ一本
体１を挾持して外力を間接的に、かつ全面に受けて測定
する形態の一例である。
又、センサ一本体１の形状自体は特性に特に関係はガく
、円形以外に角形、その他任意の形状に設定できる。
、円形以外に角形、その他任意の形状に設定できる。
複合誘電体材料に一対の電極を設けただけの簡単力構造
であるため、シート状に構成して直接圧力を印加したり
、圧力容器に封入して流体圧の測定に用いたりすること
が容易であるとともに、安価に製作できる。
であるため、シート状に構成して直接圧力を印加したり
、圧力容器に封入して流体圧の測定に用いたりすること
が容易であるとともに、安価に製作できる。
又、後述の如く、比較的低い圧力で広範囲の圧力測定が
できるものである。
できるものである。
第１図は本発明にか＼る圧力センサーの本体を示す一部
切欠き斜視図、第２図及び第３図は夫々異った使用形態
を示す一部切欠き斜視図、第４図は「圧力−静電容量比
」特性線図である。 １・・圧力センサ一本体、２・・複合誘電体材料、３．
４・・電極。 出 願 人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀
切欠き斜視図、第２図及び第３図は夫々異った使用形態
を示す一部切欠き斜視図、第４図は「圧力−静電容量比
」特性線図である。 １・・圧力センサ一本体、２・・複合誘電体材料、３．
４・・電極。 出 願 人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀
Claims (2)
- （１） 有機材料と無機材料とからなる複合誘電体材料
２の対向する２面に電極３，４を設けて構成した圧力セ
ンサー。 - （２） 有機材料がプラスチツクであり、無機材料がセ
ラミツクス粉体である特許請求の範囲第（１）項に記載
の圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP630885A JPS61164129A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 圧力センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP630885A JPS61164129A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 圧力センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164129A true JPS61164129A (ja) | 1986-07-24 |
Family
ID=11634743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP630885A Pending JPS61164129A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 圧力センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164129A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06201491A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JPH07228969A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧力測定機能を有する複合材料 |
| EP1219940A3 (en) * | 2000-12-27 | 2004-04-07 | Omron Corporation | Capacitive pressure sensors |
| JP2011013124A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP630885A patent/JPS61164129A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06201491A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力センサー |
| JPH07228969A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧力測定機能を有する複合材料 |
| EP1219940A3 (en) * | 2000-12-27 | 2004-04-07 | Omron Corporation | Capacitive pressure sensors |
| JP2011013124A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 水素圧力の測定方法及びそのためのセンサ |
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