JP5310065B2 - 凹凸形状の形成方法、光学素子アレイの製造方法、光学素子アレイ、及びマイクロレンズアレイ - Google Patents
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Description
上記課題を解決するこの発明のマイクロレンズアレイは、請求項5又は6に記載の方法により製造されたことを特徴とする。
11 単位レンズ部
13 光学基材
15 基材
20 フォトレジスト層
21 領域
23 単位形状部
30 形状用グレースケールマスク
31 単位形状透過領域
40 距離用グレースケールマスク
41 単位距離透過領域
50 中子
51 転写面
60 成形型
Claims (8)
- 光学素子アレイの複数の光学素子部に対応し、同一表面形状で基準面からの距離の異なる複数の単位形状部をフォトレジスト層に形成する凹凸形状の形成方法であって、
前記単位形状部の表面形状に応じた透過光分布を有する単位透過領域を備えた形状用グレースケールマスクを用いて、前記フォトレジスト層の前記複数の単位形状部に対応する領域を露光する形状露光工程と、
前記各単位形状部の基準面からの距離に応じた透過光分布を有する単位透過領域を備えた距離用グレースケールマスクを用いて、前記フォトレジスト層の前記複数の単位形状部に対応する複数の領域を露光する距離露光工程と、
前記形状露光工程及び前記距離露光工程後に前記フォトレジスト層を現像する現像工程とを備えたことを特徴とする凹凸形状の形成方法。 - 前記形状露光工程後に前記距離露光工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の凹凸形状の形成方法。
- 前記複数の単位形状部が等ピッチで配置されたものであり、
前記形状露光工程では、前記単位形状部の表面形状に応じた前記単位透過領域を、前記単位形状部の配置ピッチに応じた配置ピッチで複数有する前記形状用グレースケールマスクを用い、前記フォトレジスト層の露光領域を前記単位透過領域の配置ピッチの整数倍毎に順次位置を変えて繰り返し露光することを特徴とする請求項1又は2に記載の凹凸形状の形成方法。 - 前記距離露光工程では、全ての前記単位形状部に対応する前記単位透過領域を備えた前記距離用グレースケールマスクを用い、全ての前記単位形状部を一度に露光することを特徴とする請求項3に記載の凹凸形状の形成方法。
- 前記フォトレジスト層に、請求項1乃至4の何れか一つに記載の凹凸形状の形成方法により前記凹凸形状を形成し、その凹凸形状の転写面からなる型面を備えた成形型を作製し、前記成形型で光学基材を成形することで光学素子アレイを製造することを特徴とする光学素子アレイの製造方法。
- 光学基材の表面に形成された前記フォトレジスト層に、請求項1乃至4の何れか一つに記載の方法により前記凹凸形状を形成した後、前記フォトレジスト層及び前記光学基材をエッチングすることで光学素子アレイを製造することを特徴とする光学素子アレイの製造方法。
- 請求項5又は6に記載の方法により製造されたことを特徴とする光学素子アレイ。
- 請求項5又は6に記載の方法により製造されたことを特徴とするマイクロレンズアレイ。
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