JP5308398B2

JP5308398B2 - 光導波路形成用樹脂組成物およびそれを用いた光導波路

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Publication number: JP5308398B2
Application number: JP2010109631A
Authority: JP
Inventors: 智之平山
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2010-05-11
Filing date: 2010-05-11
Publication date: 2013-10-09
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Description

本発明は、光導波路形成用樹脂組成物およびそれを用いた光導波路に関するものである。

光導波路は、コア部とクラッド部とを備えており、上記コア部とクラッド部との屈折率の違いにより、上記コア部が光路となり、光信号を伝搬する機能を発揮する。従来、光導波路の材料としては、無機系素材では石英ガラスやシリコン、有機系素材では高純度ポリイミド系樹脂・ポリアミド系樹脂・ポリエーテル系樹脂等が使用されている。

ところで、近年、光導波路の簡便な作製法として、その材料に、感光性樹脂溶液（感光性モノマー混合物溶液）を用い、この溶液からなる塗膜層に、所定パターンのマスクを介して紫外線照射し、光硬化させることにより、光導波路のコア部を形成する方法が各種開発されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、上記用途に従来から用いられている感光性樹脂溶液は、光硬化感度が高い一方、その塗膜層（未硬化層）表面にタック性（表面粘着性）を発現することから、例えばマルチコーター等の塗工機によるロール・トゥ・ロール（roll to roll）方式のような連続プロセスには適合することが難しいといった難点がある。すなわち、ロール・トゥ・ロール方式では、上記塗膜層が、その上に巻き取られる塗膜層と接触すると、両塗膜層がくっつき、その部分が破壊されるおそれがあるからである。

このため、ロール・トゥ・ロール方式を採用する場合、通常、その感光性樹脂には、常温固体のポリマー樹脂が用いられる（例えば、特許文献２参照）。

特開２００１−２８１４７５公報特開２００５−１５４７１５公報

しかしながら、上記のように常温固体のポリマー樹脂を使用する際、上記ポリマーが高分子量であればあるほど、その樹脂からなる未硬化層（硬化前段階のアモルファスフィルム）のフレキシビリティ（柔軟性）は上がるが、その一方でパターニング解像性が低下するといった問題が生じる。逆に、低分子量のものであれば、パターニング解像性は高まるが、フレキシビリティは低下する。

このように、一般的には、上記未硬化層のフレキシビリティとパターニング解像性とはトレードオフの関係にある。そのため、特に、巻取り工程を必要とするロール・トゥ・ロール方式に適した光導波路用材料が未だ得られてないのが現状である。そこで、フィルムのフレキシビリティとパターニング解像性を両立する光導波路用材料が切望されている。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ロール・トゥ・ロール方式で作製可能であり、未硬化層のフレキシビリティとパターニング解像性を両立する、光導波路形成用樹脂組成物およびそれを用いた光導波路の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は、下記の（Ａ）〜（Ｄ）成分を含有する光導波路形成用樹脂組成物であって、（Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対して、（Ａ）成分が８０〜９０重量部、（Ｂ）成分が５〜１５重量部、（Ｃ）成分が１〜１０重量部の範囲に設定されている光導波路形成用樹脂組成物を第１の要旨とする。
（Ａ）重量平均分子量（Ｍｗ）が５００〜５０００の芳香族系多官能エポキシポリマー。
（Ｂ）重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００〜５００００の芳香族系多官能エポキシポリマー。
（Ｃ）１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマー。
（Ｄ）光酸発生剤。

また、本発明は、光信号を伝搬するコア部と、クラッド部とを備えた光導波路であって、上記クラッド部およびコア部の少なくとも一方が、上記第１の要旨の樹脂組成物からなる光導波路を第２の要旨とする。

すなわち、本発明者は、前記課題を解決するため鋭意研究を重ねた。その研究の過程で、本発明者は、高分子量多官能エポキシポリマーと低分子量多官能エポキシポリマーとを複合したベースポリマーに液状エポキシモノマーを添加することを想起し、各種実験を重ねた結果、上記のように、（Ａ）〜（Ｄ）の各成分を、特定の割合で混合することにより、タック性を発現することなく、未硬化層のフレキシビリティとパターニング解像性を両立することができることを見いだし、本発明に到達した。

このような作用効果を発現することができるのは、次のように考えられる。すなわち、反応性を重視した低分子量多官能エポキシポリマー〔（Ａ）成分〕と液状エポキシモノマー〔（Ｃ）成分〕の組成に対して、高分子量多官能エポキシポリマー〔（Ｂ）成分〕が、フレキシビリティを付与する反応性バインダーとしての役割を果たし、これにより、反応性を維持したまま未硬化層の高いフレキシビリティを達成していると考えられる。また、本発明の光導波路形成用樹脂組成物では、液状モノマー成分の添加量が特定範囲に設定されているため、タック性を発現することなく、良好に硬化する。

このように、本発明の光導波路形成用樹脂組成物は、重量平均分子量が特定範囲内（低分子量）の芳香族系多官能エポキシポリマー〔（Ａ）成分〕と、重量平均分子量が特定範囲内（高分子量）の芳香族系多官能エポキシポリマー〔（Ｂ）成分〕と、１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマー〔（Ｃ）成分〕と、光酸発生剤〔（Ｄ）成分〕とを含有し、上記各成分の割合が特定範囲内に設定されたものであるため、タック性を発現することなく、未硬化層のフレキシビリティと、高いパターニング解像性とを両立することができる。そのため、ロール・トゥ・ロール（roll to roll）方式のような連続プロセスに適合することができる。

つぎに、本発明を実施するための形態について説明する。

本発明の光導波路形成用樹脂組成物は、重量平均分子量（Ｍｗ）が５００〜５０００の芳香族系多官能エポキシポリマー〔（Ａ）成分〕と、重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００〜５００００の芳香族系多官能エポキシポリマー〔（Ｂ）成分〕と、１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマー〔（Ｃ）成分〕と、光酸発生剤〔（Ｄ）成分〕とを用いて得ることができ、（Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）成分の合計量１００重量部（以下、「部」と略す）に対して、（Ａ）成分が８０〜９０部、（Ｂ）成分が５〜１５部、（Ｃ）成分が１〜１０部の範囲となるよう設定されている。

上記（Ａ）成分のエポキシポリマーとしては、先に述べたように、その重量平均分子量（Ｍｗ）が５００〜５０００の範囲内のものであり、分子中に芳香環を有する多官能ポリマーであればよく、具体的には、１５７Ｓ７０（ジャパンエポキレジン社製）、ＹＤＣＮ−７００−１０（東都化成社製）等が用いられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。

また、上記（Ｂ）成分のエポキシポリマーとしては、先に述べたように、その重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００〜５００００の範囲内のものであり、分子中に芳香環を有する多官能ポリマーであればよく、具体的には、マープルーフＧ−０２５０Ｓ、マープルーフＧ−０２５０ＳＰ、マープルーフＧ−０１３０ＳＰ（ともに、日本油脂社製）等が用いられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。

そして、上記のように、（Ａ）成分のエポキシポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、５００〜５０００の範囲であり、好ましくは８００〜２０００の範囲のものである。また、上記のように、（Ｂ）成分のエポキシポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、１００００〜５００００の範囲であり、好ましくは１５０００〜３００００の範囲のものである。上記（Ａ）および（Ｂ）成分として、このような重量平均分子量のエポキシポリマーを用いることによって、反応性を維持したまま未硬化時の高いフレキシビリティを達成することができるようになる。

上記（Ａ）および（Ｂ）成分のエポキシポリマーとともに用いられる、（Ｃ）成分の液状エポキシモノマーとしては、１〜３官能であり、分子中に芳香環を有する液状のモノマーであればよく、具体的には、ＪＥＲ８２８、ＪＥＲ８２７、ＪＥＲ１５２、ＪＥＲ６３０（ともに、ジャパンエポキレジン社製）等が用いられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。

本発明の光導波路形成用樹脂組成物では、先に述べたように、（Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）成分の合計量１００部に対して、（Ａ）成分が８０〜９０部、（Ｂ）成分が５〜１５部、（Ｃ）成分が１〜１０部の範囲となるよう設定する必要があり、好ましくは、（Ａ）成分が８３〜８７部、（Ｂ）成分が８〜１２部、（Ｃ）成分が４〜６部の範囲である。すなわち、（Ａ）成分の含有割合が上記範囲未満であると、パターニング解像性が低下するからであり、逆に、（Ａ）成分の含有割合が上記範囲を超えると、未硬化時のフレキシビリティが低下するからである。また、（Ｂ）成分の含有割合が上記範囲未満であると、未硬化時のフレキシビリティが低下するからであり、逆に、（Ｂ）成分の含有割合が上記範囲を超えると、パターニング解像性が低下するからである。また、（Ｃ）成分の含有割合が上記範囲未満であると、パターニング解像性が低下するからであり、逆に、（Ｃ）成分の含有割合が上記範囲を超えると、タック性を発現するおそれがあるからである。

なお、上記（Ｃ）成分として、１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマーとともに、オキセタンモノマーを併用することができる。この場合、上記（Ｃ）成分の７０重量％以内（液状芳香族系エポキシモノマーとオキセタンモノマーとの合計量の７０重量％以内）をオキセタンモノマーとすることができる。このように併用することにより、硬化速度の向上、パターニング解像度の向上といった効果が得られる。そして、上記オキセタンモノマーとしては、具体的には、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、ジ［２−（３−オキセタニル）ブチル］エーテル、３−エチル−３−フェノキシメチルオキセタン、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、１，４−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ベンゼン、１，３−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ベンゼン、１，２−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ベンゼン、４，４’−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ビフェニル、２，２’−ビス［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］ビフェニル、３，３’，５，５’−テトラメチル［４，４’−ビス（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ビフェニル、２，７−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ナフタレン、１，６−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］−２，２，３，３，４，４，５，５−オクタフルオロヘキサン、３（４），８（９）−ビス［（１−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル］−トリシクロ［５．２．１．２．６］デカン、１，２−ビス｛［２−（１−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］エチルチオ｝エタン、４，４’−ビス［（１−エチル−３−オキセタニル）メチル］チオジベンゼンチオエーテル、２，３−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシメチル］ノルボルナン、２−エチル−２−［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシメチル］−１，３−Ｏ−ビス［（１−エチル−３−オキセタニル）メチル］−プロパン−１，３−ジオール、２，２−ジメチル−１，３−Ｏ−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メチル］−プロパン−１，３−ジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−Ｏ−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メチル］−プロパン−１，３−ジオール、１，４−Ｏ−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メチル］−ブタン−１，４−ジオール、２，４，６−Ｏ−トリス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メチル］シアヌル酸等があげられる。これらは単独でもしくは二種以上併せて用いられる。

そして、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分とともに用いられる光酸発生剤〔（Ｄ）成分〕としては、紫外線照射によりカチオン重合可能な酸を発生するものが用いられる。このような光酸発生剤としては、例えば、ＳｂＦ^{6 -} ，ＰＦ^{6 -} ，ＢＦ^{4 -} ，ＡｓＦ^{6 -} ，（Ｃ₆ Ｆ₅ ）^{4 -} ，ＰＦ₄（ＣＦ₂ＣＦ₃）^{2 -}等のアニオン成分と、カチオン成分とからなるオニウム塩（ジアゾニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、セレニウム塩、ピリジニウム塩、フェロセニウム塩、ホスホニウム塩等）があげられる。これらは単独であるいは二種以上併せて用いられる。なかでも、硬化性、透明性の観点より、ＳｂＦ^{6 -}やＰＦ₄ （ＣＦ₂ＣＦ₃）^{2 -}をアニオン成分とするオニウム塩が好ましい。また、上記オニウム塩としては、アニオン生成速度の観点から、芳香族スルホニウム塩が好ましく、なかでも、この観点から特に好ましくは、トリアリールスルホニウム塩である。

上記（Ｄ）成分の光酸発生剤の配合割合は、硬化性、パターニング解像性の観点から、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分の総重量１００部に対し、２〜６部の範囲に設定することが好ましく、同様の観点から、より好ましくは３〜４部の範囲である。

本発明の光導波路形成用樹脂組成物には、上記各成分に加え、必要に応じ、溶剤が用いられる。この溶剤としては、例えば、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸ブチル等のエステル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等の極性溶剤、１，１，１−トリクロルエタン、クロロホルム等のハロゲン系溶剤、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族類、パーフルオロオクタン、パーフルオロトリ−Ｎ−ブチルアミン等のフッ素化イナートリキッド類等が用いられる。なお、上記溶剤を用いる場合の使用量は、例えば、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分の総重量１００部に対し、０〜２００部程度である。

また、本発明の光導波路形成用樹脂組成物には、上記各成分に加え、他の添加剤として、必要に応じ、レベリング剤、接着付与剤、可撓性付与剤、酸化防止剤、消泡剤等を適宜配合することができる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。そして、これら他の添加剤は、樹脂組成物全体の５重量％以下の範囲内で用いることが、本発明の作用効果を阻害しない観点から、好ましい。

本発明の光導波路形成用樹脂組成物（ワニス）は、例えば、樹脂成分である上記（Ａ）〜（Ｃ）成分を、適宜、溶剤に混合し、４０〜１００℃で加熱して、上記各成分を完溶させた後、室温まで冷却し、ついで（Ｄ）成分の光酸発生剤を加えて混合することにより、調製することができる。

なお、本発明の光導波路形成用樹脂組成物（ワニス）の粘度としては、好ましくは１０００〜３０００ｍＰａ・ｓ（２５℃）、より好ましくは１５００〜２５００ｍＰａ・ｓ（２５℃）である。上記粘度は、例えば、ブルックフィールド社製の粘度計（ＤＶ−Ｉ＋）を用いて測定される。

上記樹脂組成物（ワニス）を用いてなる本発明の光導波路は、例えば、次のような構造のものがあげられる。すなわち、光信号を伝搬するコア部と、クラッド部とを備え、上記クラッド部およびコア部の少なくとも一方が、上記樹脂組成物からなる光導波路である。上記コア部は、所定パターン（光導波路パターン）で形成されており、上記クラッド部は、コア部よりも屈折率を小さくする必要がある。この屈折率の違いは、上記クラッド部とコア部の材料割合や材料そのものの違い等によりコントロールすることが可能である。

また、本発明の光導波路は、基材とクラッド層（アンダークラッド層）とを兼用し、その基材上に、上記所定パターンのコア部を設け、上記コア部を空気に露呈させた構造のものであってもよい。この場合、コア部の屈折率を、空気の屈折率より大きくすることにより、コア部からの光の散逸を防ぐことができる。また、本発明の光導波路は、基材とアンダークラッド層とを分け、アンダークラッド層上に、上記所定パターンのコア部を設け、さらにその上から、オーバークラッド層を形成するようにしてもよい。

そして、上記光導波路は、例えば、次のようにして作製することができる。すなわち、まず、ロール・トゥ・ロール方式における、第１のロールから繰り出された屈曲性基材上に、上記樹脂組成物（ワニス）を塗工し、適宜、熱乾燥を行い、未硬化層（塗膜層）を形成した後、これを、第２のロールに巻き取る。つぎに、上記第２のロールから繰り出された屈曲性基材上の未硬化層に、所定パターンで紫外線照射し、その後、６０〜１５０℃×５〜３０分の加熱処理を行い、上記未硬化層の紫外線照射領域を硬化させて、光導波路のコア部を形成した後、これを、第３のロールに巻き取る。つぎに、上記第３のロールから繰り出された屈曲性基材上の未硬化部分（紫外線未照射領域）を、現像液（スプレー現像）により溶解除去した後、これを、第４のロールに巻き取る。このような工程を経由して、上記光導波路を作製する。そして、上記樹脂組成物が、タック性を発現することなく、未硬化層のフレキシビリティと、高いパターニング解像性とを両立することができるといった特徴を有することから、上記のような巻き取り作業を要するロール・トゥ・ロール方式に、好ましく適合することができる。その結果、生産性に優れるようになる。

上記コア部の形成における、所定パターン（光導波路パターン）の紫外線照射は、例えば、フォトマスクを介して紫外線露光等の光照射を行なうことによりなされる。そして、上記光照射には、光源として、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ等を用いて、行うことができ、照射量としては１００〜３０００ｍＪ／ｃｍ²が好ましい。

また、上記紫外線照射により、上記塗膜層の露光領域はコア部となるが、非露光領域（紫外線未照射領域）は、現像液による溶解除去を行ったり、また、それ以外にも、例えば、加熱処理により熱硬化させて、光導波路のクラッド部とすることができる。

上記屈曲性基材としては、例えば、光硬化エポキシフィルム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリイミドフィルム、銅箔やステンレス箔等の金属箔等があげられる。そして、その厚みは、通常、１０μｍ〜５ｍｍの範囲内に設定される。

なお、上記屈曲性基材は、場合によっては、それ自体でクラッド層となりうるものであるが、必要に応じ、上記屈曲性基材上にアンダークラッド層を形成し、その後、上記コア部の形成を行ってもよい。また、必要に応じ、上記コア部上に、オーバークラッド層の形成を行ってもよい。詳しくは、上記屈曲性基材上に、クラッド部材料の塗膜形成および硬化を行い、アンダークラッド層を形成し、上記アンダークラッド層上で、コア部材料の塗膜形成および所定パターンの露光による紫外線硬化を行い、その後、現像液による未硬化部分の溶解除去を行い、コア部を形成し、さらにその上から、クラッド部材料の塗膜形成および硬化を行い、オーバークラッド層を形成するといった手順で、作製する。なお、上記両クラッド層の硬化は、熱硬化であっても紫外線硬化であってもよい。

上記光導波路の製法において、塗膜層の形成法は、ロール・トゥ・ロール方式以外にも、例えば、スピンコーター，コーター，円コーター，バーコーター等による塗工法、スクリーン印刷法、静電塗装法を適用することもできる。

また、ロール・トゥ・ロール方式を適用しないのであれば、上記基材として、例えば、石英ガラス板、シリコンウエハ、セラミック基板、ガラスエポキシ樹脂基板等の非屈曲性基材を用いることも可能である。

なお、上記のようにして得られた光導波路は、基材を剥離除去することにより、フィルム状光導波路とすることも可能である。このような構成とした場合、より可撓性に優れたものとなる。

そして、本発明の光導波路は、例えば、直線光導波路、曲がり光導波路、交差光導波路、Ｙ分岐光導波路、スラブ光導波路、マッハツェンダー型光導波路、ＡＷＧ型光導波路、グレーティング、光導波路レンズ等として用いることができる。そして、これら光導波路を用いた光素子としては、波長フィルタ，光スイッチ，光分岐器，光合波器，光合分波器，光アンプ，波長変換器，波長分割器，光スプリッタ，方向性結合器、さらにはレーザダイオードやフォトダイオードをハイブリッド集積した、光伝送モジュール等があげられる。

つぎに、実施例について、比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。

まず、実施例および比較例に先立ち、下記に示す各材料を準備した。

〔低分子量エポキシポリマーＡ１（Ａ成分）〕
１５７Ｓ７０（Ｍｗ：９００、芳香族系多官能エポキシポリマー）、ジャパンエポキレジン社製

〔低分子量エポキシポリマーＡ２（Ａ成分）〕
ＹＤＣＮ−７００−１０（Ｍｗ：１４００、芳香族系多官能エポキシポリマー）、東都化成社製

〔高分子量エポキシポリマーＢ１（Ｂ成分）〕
マープルーフＧ−０２５０ＳＰ（Ｍｗ：２００００、芳香族系多官能エポキシポリマー）、日本油脂社製

〔高分子量エポキシポリマーＢ２（Ｂ成分）〕
マープルーフＧ−０１３０ＳＰ（Ｍｗ：１００００、芳香族系多官能エポキシポリマー）、日本油脂社製

〔液状エポキシモノマー（Ｃ成分）〕
ＪＥＲ８２８（２官能の芳香族系エポキシモノマー）、ジャパンエポキレジン社製

〔オキセタンモノマー〕
ＴｒｉｓＰ−ＲＫ−ＯＸ、本州化学社製

〔乳酸エチル〕
乳酸エチル、和光純薬工業社製

〔光酸発生剤（Ｄ成分）〕
ＣＰI-２００Ｋ、サンアプロ社製

〔実施例１〕
上記高分子量多官能エポキシポリマーＡ１を１０ｇと、低分子量多官能エポキシポリマーＢ１を８５ｇと、液状エポキシモノマー５ｇとを、乳酸エチル５５ｇに混合し、８５℃加熱下にて、これらを完溶させた。その後、上記混合物を、室温まで冷却し、さらに光酸発生剤４ｇを加えて混合することにより、光導波路形成用樹脂組成物（ワニス）を得た。

そして、このようにして得られたワニスを、光硬化エポキシフィルム層（厚み：１５
）上にアプリケーターを用いて塗工（アプリケーターギャップ：１２０μｍ）し、１５０℃の乾燥炉で３分間の熱乾燥を行い、未硬化コアフィルム層を得た。ついで、上記未硬化コアフィルム層に、フォトマスクを介して、露光装置による紫外線（ｉ線）露光（２０００ｍＪ／ｃｍ²）を行い、その後、１００℃×１０分間の加熱を行い、部分的に硬化させた。その後、スプレー現像機を用い、γ−ブチルラクトンによる現像を行い、さらに、水洗、乾燥することにより、導波路パターン（パターニングされたコア層）を作製した。なお、上記コア層のパターニングは、その断面凸部の幅と、断面凹部（溝部）の幅とが、ともに１５μｍであり、アスペクト比（縦横比）は約３となるよう形成した。

〔実施例２〜７、比較例１〜６〕
後記の表１および表２に示すように、各成分材料の配合量等を変更する以外は、実施例１に準じて、光導波路形成用樹脂組成物（ワニス）を調製した。そして、このワニスを用いること以外は、実施例１と同様の方法で、導波路パターンを作製した。

このようにして得られた実施例品および比較例品に関し、下記の基準に従って、各特性の評価を行った。その結果を、後記の表１および表２に併せて示した。

〔フレキシビリティ〕
紫外線照射前の未硬化コアフィルム層が形成された光硬化エポキシフィルムに対し、その未硬化コアフィルム層側を外に向けて曲げ（Ｒ＝１ｃｍ）を行った。そして、この曲げにより未硬化コアフィルム層にクラックが発生しなかったものを○、クラックが発生したものを×と評価した。なお、実用に問題ない程度のクラックが発生したものは△と評価した。本発明においては、△以上の評価（○および△）が要求される。

〔解像度〕
導波路パターン（パターニングされたコア層）の断面形状を、顕微鏡写真にとり、その写真から、コア層の断面凸部の倒れや揺らぎが確認されなかったものを○、コア層の断面凸部の倒れは確認されないが揺らぎは確認されたものを△、コア層の断面凸部の倒れ及び揺らぎが確認されたものを×と評価した。なお、本発明においては、△以上の評価（○および△）が要求される。

〔タック性〕
光導波路形成用樹脂組成物（ワニス）を、塗工乾燥させて未硬化フィルムを作製した。そして、その表面のタック性を、次のようにして評価した。すなわち、上記未硬化フィルム上にＳＵＳ板を置き、さらに３ｋｇの重石を載せ、一晩放置した後、上記ＳＵＳ板を剥がす際に未硬化フィルムが貼り付いているか否かを確認し、タック性（表面粘着性）が認められたものを×、タック性が認められなかったものを○と評価した。

上記結果から、実施例品は、タック性を発現することなく、未硬化層のフレキシビリティと、高いパターニング解像性との両立がなされている。そのため、ロール・トゥ・ロール（roll to roll）方式のような連続プロセスに適合することができる。

これに対し、比較例品は、低分子量エポキシポリマー（Ａ成分）と高分子量エポキシポリマー（Ｂ成分）と液状エポキシモノマー（Ｃ成分）との割合が、本発明で規定する特定範囲内にないことから、上記のような実施例品の作用効果が得られなかった。

Claims

下記の（Ａ）〜（Ｄ）成分を含有する光導波路形成用樹脂組成物であって、（Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対して、（Ａ）成分が８０〜９０重量部、（Ｂ）成分が５〜１５重量部、（Ｃ）成分が１〜１０重量部の範囲に設定されていることを特徴とする光導波路形成用樹脂組成物。
（Ａ）重量平均分子量（Ｍｗ）が５００〜５０００の芳香族系多官能エポキシポリマー。
（Ｂ）重量平均分子量（Ｍｗ）が１００００〜５００００の芳香族系多官能エポキシポリマー。
（Ｃ）１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマー。
（Ｄ）光酸発生剤。
上記（Ｃ）成分が、１〜３官能の液状芳香族系エポキシモノマーとともに、オキセタンモノマーを併用したものである請求項１記載の光導波路形成用樹脂組成物。
光信号を伝搬するコア部と、クラッド部とを備えた光導波路であって、上記クラッド部およびコア部の少なくとも一方が、請求項１または２記載の樹脂組成物からなることを特徴とする光導波路。