JP5304934B2 - 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
一実施形態による真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法を図1及び図2を用いて説明する。図1は、本実施形態による半導体製造システムを示す概略図である。
次に、本実施形態による真空ポンプの運転方法の評価結果について説明する。
次に、本実施形態の変形例による真空ポンプの運転方法について図3を用いて説明する。図3は、本変形例による半導体製造システムを示す概略図である。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12、12a…排気装置
14…ガス除害装置
16…処理室、真空チャンバ
18…排気口
20…ブースターポンプ
22、22a…メインポンプ、真空ポンプ
23…吸気口
24…配管
26…排気口
28…配管
30、30a…吸気口
32、32a…ケーシング
34…排気口
36、36a…内部空間、流路
38、38a…ロータ
40、40a…シャフト
42a〜42c…軸受
44、44a…モータ
46、46a…孔
48…配管
50…加熱器
52…ポンプ
54…吸気口
56…配管
58…配管
60…排気口
62…配管
64…回転制御手段
Claims (4)
- 吸気口と排気口とを有するケーシングと、前記吸気口と前記排気口との間の前記ケーシングの内部空間内に設けられたロータと、前記ロータを回転させるモータとを有する真空ポンプの運転方法であって、
前記吸気口から前記ケーシング内に導入されるガスの固化温度より前記内部空間内の温度が高くなるように、前記内部空間に達する孔を介して前記内部空間内に導入するパージガスの温度及び前記排気口側の圧力を制御しながら運転を行う
ことを特徴とする真空ポンプの運転方法。 - 請求項1記載の真空ポンプの運転方法において、
前記排気口に接続された他のポンプの回転数を制御することにより、前記排気口側の圧
力を制御する
ことを有することを特徴とする真空ポンプの運転方法。 - 吸気口と排気口とを有するケーシングと、前記吸気口と前記排気口との間の前記ケーシングの内部空間内に設けられたロータと、前記ロータを回転させるモータとを有する真空ポンプと、
前記真空ポンプに接続し、半導体基板を処理する処理室と、
を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記処理室内に前記半導体基板を配置する工程と、
前記処理室内に処理用ガスを導入し、前記半導体基板の上方に形成された被処理膜を前記処理用ガスにより処理する工程と、
前記被処理膜を処理する際に生じた前記処理室内の生成ガスを前記真空ポンプにより排気する工程とを含み、
前記生成ガスを排気する工程では、前記処理用ガスの固化温度より前記内部空間内の温度が高くなるように、前記内部空間に達する孔を介して前記内部空間内に導入するパージガスの温度及び前記排気口側の圧力を制御することを有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記排気口に接続された他のポンプの回転数を制御することにより、前記排気口側の圧
力を制御する
ことを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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