JP5304772B2 - Chip varistor and method of manufacturing chip varistor - Google Patents

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Description

本発明は、チップバリスタ及びチップバリスタの製造方法に関する。   The present invention relates to a chip varistor and a method for manufacturing a chip varistor.

チップバリスタとして、バリスタ層とバリスタ層を挟むように配置された内部電極とを有するバリスタ素体と、バリスタ素体の端部に対応する内部電極に接続されるように配置された端子電極と、を備えた積層チップバリスタが知られている(たとえば、特許文献1参照)。積層チップバリスタでは、バリスタ層における内部電極で挟まれる領域が、電圧非直線特性(以下、「バリスタ特性」と称する場合もある)を発現する領域として機能する。   As a chip varistor, a varistor element having a varistor layer and an internal electrode arranged so as to sandwich the varistor layer, a terminal electrode arranged to be connected to an internal electrode corresponding to an end of the varistor element, There is known a multilayer chip varistor provided with (for example, see Patent Document 1). In the multilayer chip varistor, a region sandwiched between internal electrodes in the varistor layer functions as a region that develops a voltage nonlinear characteristic (hereinafter also referred to as “varistor characteristic”).

特開2002−246207号公報JP 2002-246207 A

しかしながら、特許文献1に記載されている積層チップバリスタは、内部電極を備えているために、以下のような問題点を有することとなる。   However, the multilayer chip varistor described in Patent Document 1 has the following problems because it includes an internal electrode.

積層チップバリスタでは、ESD(Electrostatic Discharge:静電気放電)のようなサージ電圧が印加された場合、内部電極が互いに重なり合う部分での電界分布は、内部電極が互いに重なり合う部分の端部に集中する。内部電極が互いに重なり合う部分の電界分布が端部に集中すると、ESDに対する耐量(以下、「ESD耐量」と称する)は急激に低下する。   In a multilayer chip varistor, when a surge voltage such as ESD (Electrostatic Discharge) is applied, the electric field distribution in the portion where the internal electrodes overlap with each other is concentrated at the end of the portion where the internal electrodes overlap each other. When the electric field distribution of the portion where the internal electrodes overlap with each other is concentrated at the end, the ESD tolerance (hereinafter referred to as “ESD tolerance”) is drastically reduced.

積層チップバリスタは、一般に、バリスタ層となるバリスタグリーンシートに内部電極となる電極パターンを形成し、内部電極となる電極パターンが形成されたバリスタグリーンシートなどを積層して積層体を得た後、積層体を切断して焼成し、その後端子電極を形成することにより得られる。このため、積層チップバリスタでは、バリスタグリーンシートへの電極パターンの形成精度、バリスタグリーンシートの積層ずれ、又は積層体の切断ずれなどの要因により、内部電極が互いに重なり合う部分の面積にばらつきが生じる懼れがある。内部電極が互いに重なり合う部分の面積にばらつきが生じると、内部電極が互いに重なり合う部分により発現する静電容量にばらつきが生じる。   A laminated chip varistor is generally formed by forming an electrode pattern serving as an internal electrode on a varistor green sheet serving as a varistor layer, and laminating a varistor green sheet formed with an electrode pattern serving as an internal electrode to obtain a laminate, The laminate is obtained by cutting and firing, and then forming a terminal electrode. For this reason, in the multilayer chip varistor, the area of the portion where the internal electrodes overlap with each other is caused by factors such as the accuracy of electrode pattern formation on the varistor green sheet, misalignment of the varistor green sheet, or misalignment of the laminate. There is. When the area of the portion where the internal electrodes overlap each other varies, the capacitance generated by the portion where the internal electrodes overlap each other varies.

積層チップバリスタは、上述したように、内部電極を備えるために、ESD耐量を良好に維持しつつ、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することが困難であった。   As described above, since the multilayer chip varistor includes the internal electrode, it is difficult to suppress the variation in capacitance while maintaining good ESD tolerance.

本発明の目的は、内部電極を備えることなく、ESD耐量を良好に維持しつつ、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することが可能なチップバリスタ及びチップバリスタの製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a chip varistor and a method for manufacturing a chip varistor that can suppress variation in capacitance while maintaining good ESD tolerance without providing an internal electrode. is there.

本発明に係るチップバリスタは、ZnOを主成分とする焼結体からなり、電圧非直線特性を発現するバリスタ部と、バリスタ部を挟んで配置され、バリスタ部に接続される第一主面と第一主面に対向する第二主面とをそれぞれ有する複数の導電部と、複数の導電部の第二主面に接続される複数の端子電極と、を備えていることを特徴とする。   The chip varistor according to the present invention is composed of a sintered body mainly composed of ZnO, and has a varistor part that exhibits voltage nonlinear characteristics, and a first main surface that is disposed across the varistor part and connected to the varistor part. A plurality of conductive portions each having a second main surface facing the first main surface, and a plurality of terminal electrodes connected to the second main surface of the plurality of conductive portions.

本発明に係るチップバリスタでは、バリスタ部が各導電部に挟まれ且つ接続されており、バリスタ部が、バリスタ特性を発現する領域として機能する。すなわち、本発明のチップバリスタは、上述した積層チップバリスタと異なり、内部電極を備えることなく、バリスタ特性を発現する。このため、ESDのようなサージ電圧が印加された場合でも、電界分布が集中する箇所がバリスタ部に生じることはなく、ESD耐量が低下しない。   In the chip varistor according to the present invention, the varistor part is sandwiched and connected between the conductive parts, and the varistor part functions as a region that exhibits varistor characteristics. That is, the chip varistor of the present invention exhibits varistor characteristics without providing an internal electrode, unlike the multilayer chip varistor described above. For this reason, even when a surge voltage such as ESD is applied, a portion where the electric field distribution is concentrated does not occur in the varistor part, and the ESD tolerance does not decrease.

本発明では、チップバリスタは、内部電極を備えていないことから、内部電極に起因する静電容量のばらつきが生じることはない。このため、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することができる。   In the present invention, since the chip varistor does not include the internal electrode, there is no variation in capacitance caused by the internal electrode. For this reason, it can suppress that dispersion | variation arises in an electrostatic capacitance.

上記導電部は、ZnOを主成分としていてもよい。この場合、バリスタ部と導電部とが、ZnOを主成分とする焼結体からなるため、バリスタ部と導電部との界面における接続強度は強固となる。この結果、バリスタ部と導電部との接続が良好となり、バリスタ部と導電部との間での剥離の発生を抑制できる。   The conductive part may contain ZnO as a main component. In this case, since the varistor part and the conductive part are made of a sintered body containing ZnO as a main component, the connection strength at the interface between the varistor part and the conductive part becomes strong. As a result, the connection between the varistor part and the conductive part becomes good, and the occurrence of peeling between the varistor part and the conductive part can be suppressed.

更に、バリスタ部は、副成分として希土類金属及びBiからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素を含有し、複数の導電部のうち少なくとも一方の導電部は、副成分として希土類金属及びBiを実質的に含有しない焼結体からなっていてもよい。この場合、導電部を構成する焼結体は、希土類金属及びBiを実質的に含有しないため、バリスタ特性が発現し難く、比較的高い導電性を有することとなる。したがって、上記導電部において、電極としての機能が阻害されることはない。   Furthermore, the varistor portion contains at least one element selected from the group consisting of rare earth metals and Bi as subcomponents, and at least one of the plurality of conductive portions substantially includes rare earth metals and Bi as subcomponents. You may consist of the sintered compact which is not contained in. In this case, since the sintered body constituting the conductive portion does not substantially contain rare earth metal and Bi, the varistor characteristics are hardly exhibited, and the sintered body has a relatively high conductivity. Therefore, the function as an electrode is not hindered in the conductive part.

上記導電部は、金属と金属酸化物との複合材料からなっていてもよい。この場合、チップバリスタにおける熱が、導電部を通して容易に放熱されるため、放熱性に優れたチップバリスタを得ることができる。バリスタ部と導電部とが、金属酸化物を含むことから、バリスタ部と導電部との界面における接続強度は強固となる。この結果、バリスタ部と導電部との接続が良好となり、バリスタ部と導電部との間での剥離の発生を抑制できる。   The conductive part may be made of a composite material of a metal and a metal oxide. In this case, since the heat in the chip varistor is easily radiated through the conductive portion, a chip varistor with excellent heat dissipation can be obtained. Since the varistor part and the conductive part contain a metal oxide, the connection strength at the interface between the varistor part and the conductive part becomes strong. As a result, the connection between the varistor part and the conductive part becomes good, and the occurrence of peeling between the varistor part and the conductive part can be suppressed.

本発明に係るチップバリスタの製造方法は、導電部となる導体グリーン層の間にZnOを主成分とすると共に電圧非直線性を発現するバリスタ部となるバリスタグリーン層が挟まれるように導体グリーン層とバリスタグリーン層とが積層された積層体を準備する工程と、積層体を切断し、複数のグリーン素体を取得する工程と、複数のグリーン素体を焼成して、バリスタ部が導電部で挟まれた複数の素体を取得する工程と、複数の素体それぞれに、導電部がバリスタ部を挟む方向での両端側に端子電極を形成する工程と、を備えていることを特徴とする。   The method for manufacturing a chip varistor according to the present invention is such that the conductor green layer is formed such that the varistor green layer serving as a varistor part that has ZnO as a main component and exhibits voltage nonlinearity is sandwiched between the conductor green layers serving as the conductive parts. And a step of preparing a laminated body in which the varistor green layer is laminated, a step of cutting the laminated body to obtain a plurality of green body bodies, and firing a plurality of green body bodies so that the varistor part is a conductive part. A step of obtaining a plurality of element bodies sandwiched, and a step of forming terminal electrodes on both end sides in a direction in which the conductive part sandwiches the varistor part in each of the plurality of element bodies. .

本発明に係るチップバリスタの製造方法によれば、内部電極を備えておらず、ESD耐量を良好に維持しつつ、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することが可能なチップバリスタを容易に製造することができる。   According to the chip varistor manufacturing method of the present invention, it is possible to easily provide a chip varistor that does not have an internal electrode and can suppress variation in capacitance while maintaining good ESD tolerance. Can be manufactured.

本発明によれば、内部電極を備えることなく、ESD耐量を良好に維持しつつ、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することが可能なチップバリスタ及びチップバリスタの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a chip varistor and a method of manufacturing a chip varistor that can suppress variation in capacitance while maintaining good ESD tolerance without providing an internal electrode. it can.

本実施形態に係るチップバリスタを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the chip varistor concerning this embodiment. 本実施形態に係るチップバリスタの断面構成を説明する図である。It is a figure explaining the section composition of the chip varistor concerning this embodiment. 本実施形態に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the chip varistor which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the chip varistor which concerns on this embodiment. 本実施形態の変形例に係るチップバリスタを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the chip varistor which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態の変形例に係るチップバリスタの断面構成を説明する図である。It is a figure explaining the section composition of the chip varistor concerning the modification of this embodiment. 本実施形態に係るチップバリスタのコンポジット部内における導通路を示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the conduction path in the composite part of the chip varistor concerning this embodiment. 本実施形態の変形例に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the chip varistor which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態の変形例に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the chip varistor which concerns on the modification of this embodiment.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.

まず、図1及び図2を参照して、本実施形態に係るチップバリスタ1の構成を説明する。図1は、本実施形態に係るチップバリスタを示す斜視図である。図2は、本実施形態に係るチップバリスタの断面構成を説明する図である。   First, the configuration of the chip varistor 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a perspective view showing a chip varistor according to the present embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the chip varistor according to the present embodiment.

チップバリスタ1は、図1に示されるように、略直方体形状の素体3と、素体3の両端に形成された一対の端子電極5とを備えている。このチップバリスタ1は、たとえば、図示Y方向における長さが0.4mm、Z方向における高さが0.2mm、X方向における幅が0.2mmといった極小サイズ(いわゆる0402サイズ)のチップバリスタである。   As shown in FIG. 1, the chip varistor 1 includes a substantially rectangular parallelepiped element body 3 and a pair of terminal electrodes 5 formed at both ends of the element body 3. The chip varistor 1 is a chip varistor of a very small size (so-called 0402 size) having a length in the Y direction of 0.4 mm, a height in the Z direction of 0.2 mm, and a width in the X direction of 0.2 mm, for example. .

素体3は、バリスタ部7と、複数(本実施形態においては、二つ)の導電部9と、を有している。素体3は、外表面として、互いに対向し且つ正方形状の端面3a,3bと、端面3a,3bに直交する4つの側面3c〜3fとを有している。4つの側面3c〜3fは、端面3a,3b間を連結するように伸びている。   The element body 3 includes a varistor portion 7 and a plurality of (in this embodiment, two) conductive portions 9. The element body 3 has, as outer surfaces, square end faces 3a and 3b facing each other and four side faces 3c to 3f orthogonal to the end faces 3a and 3b. The four side surfaces 3c to 3f extend so as to connect the end surfaces 3a and 3b.

バリスタ部7は、図1及び図2に示されるように、素体3の略中央に位置する直方体形状の部分であり、バリスタ特性を発現する焼結体(半導体セラミック)からなる。バリスタ部7は、その厚み方向(図中Y方向)に対向する一対の主面7a,7bを含んでいる。バリスタ部7の厚みは、たとえば5〜200μm程度に設定される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the varistor portion 7 is a rectangular parallelepiped-shaped portion positioned substantially at the center of the element body 3 and is made of a sintered body (semiconductor ceramic) that exhibits varistor characteristics. The varistor portion 7 includes a pair of main surfaces 7a and 7b facing in the thickness direction (Y direction in the figure). The thickness of the varistor part 7 is set to about 5 to 200 μm, for example.

バリスタ部7は、ZnO(酸化亜鉛)を主成分として含むと共に、副成分としてCo、希土類金属元素、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)などの金属単体やこれらの酸化物を含む。本実施形態において、バリスタ部7は、副成分としてCo、Pr、Cr、Ca、K、及びAlを含んでいる。バリスタ部7におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、バリスタ部7を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、通常、99.8〜69.0質量%である。   The varistor part 7 contains ZnO (zinc oxide) as a main component, and Co, rare earth metal elements, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K) as subcomponents. , Rb, Cs) and alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and the like, and oxides thereof. In this embodiment, the varistor part 7 contains Co, Pr, Cr, Ca, K, and Al as subcomponents. The ZnO content in the varistor part 7 is not particularly limited, but is usually 99.8 to 69.0% by mass when the total material constituting the varistor part 7 is 100% by mass.

希土類金属元素(たとえば、Pr)は、バリスタ特性を発現させる物質として作用する。バリスタ部7における希土類金属元素の含有量は、たとえば0.01〜10原子%程度に設定される。   The rare earth metal element (for example, Pr) acts as a substance that exhibits varistor characteristics. The content of the rare earth metal element in the varistor part 7 is set to about 0.01 to 10 atomic%, for example.

導電部9は、図1及び図2に示されるように、素体3の両端側に寄った箇所に位置する略直方体形状の部分であり、バリスタ部7をその間に挟むようにバリスタ部7の両側に配置されている。導電部9は、バリスタ部7(主面7a,7b)に接続される主面9aと、主面9aに対向する主面9bと、を有している。本実施形態では、バリスタ部7の主面7a,7bの略全体が、導電部9の主面9aと接触して、接続されている。導電部9の主面9aは、バリスタ部7の主面7a,7bと略同じ形状を呈している。導電部9の主面9bは、素体3の端面3a,3bを構成する。導電部9の主面9aは、バリスタ部7に対する電極面として機能する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the conductive portion 9 is a substantially rectangular parallelepiped portion located at a position close to both ends of the element body 3, and the varistor portion 7 is sandwiched between the varistor portions 7. Located on both sides. The conductive portion 9 has a main surface 9a connected to the varistor portion 7 (main surfaces 7a and 7b), and a main surface 9b facing the main surface 9a. In the present embodiment, substantially the entire main surfaces 7 a and 7 b of the varistor portion 7 are in contact with and connected to the main surface 9 a of the conductive portion 9. The main surface 9 a of the conductive portion 9 has substantially the same shape as the main surfaces 7 a and 7 b of the varistor portion 7. The main surface 9 b of the conductive portion 9 constitutes end surfaces 3 a and 3 b of the element body 3. The main surface 9 a of the conductive portion 9 functions as an electrode surface for the varistor portion 7.

導電部9は、ZnOを主成分として含む焼結体からなる。ZnOの比抵抗は、1〜10Ω・cmであり、比較的高い導電性を有する、このため、導電部9は、電極として機能する。導電部9は、比抵抗を調整するために、副成分として、Co、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)などの金属単体やこれらの酸化物を含んでいてもよい。導電部9におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、導電部9を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、たとえば100〜69.0質量%である。   The conductive portion 9 is made of a sintered body containing ZnO as a main component. The specific resistance of ZnO is 1 to 10 Ω · cm and has a relatively high conductivity. Therefore, the conductive portion 9 functions as an electrode. In order to adjust the specific resistance, the conductive portion 9 includes Co, IIIb group elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K, Rb, Cs), and alkali as subcomponents. A simple metal such as an earth metal element (Mg, Ca, Sr, Ba) or an oxide thereof may be included. Although content of ZnO in the electroconductive part 9 is not specifically limited, When the whole material which comprises the electroconductive part 9 is 100 mass%, it is 100-69.0 mass%, for example.

導電部9が希土類金属を実質的に含有していると、導電部9がバリスタ特性を発現する懼れがある。このため、導電部9は、希土類金属を実質的に含有しないことが好ましい。導電部9は、希土類金属を実質的に含有しないことにより、バリスタ特性を発現し難い。したがって、導電部9は、電気抵抗が低く、比較的高い導電性を有する。ここで、「実質的に含んでいない」状態とは、希土類金属を、導電部9を構成する材料を調製する際に原料として意図的に含有させなかった場合の状態をいうものとする。たとえば、バリスタ部7から導電部9への拡散等によって意図せずにこれらの元素が含まれる場合は、「実質的に含有していない」状態に該当する。   If the conductive portion 9 substantially contains a rare earth metal, the conductive portion 9 may exhibit varistor characteristics. For this reason, it is preferable that the electroconductive part 9 does not contain a rare earth metal substantially. The conductive part 9 does not substantially contain a rare earth metal, and thus hardly exhibits varistor characteristics. Therefore, the conductive portion 9 has a low electrical resistance and a relatively high conductivity. Here, the “substantially free” state refers to a state in which rare earth metal is not intentionally contained as a raw material when the material constituting the conductive portion 9 is prepared. For example, when these elements are included unintentionally due to diffusion from the varistor portion 7 to the conductive portion 9, it corresponds to a “substantially not contained” state.

端子電極5は、素体3の各端面3a,3b(導電部9の主面9b)を覆うように多層に形成されている。端子電極5は、第一電極層5aと、第二電極層5bと、第三電極層5cと、を有している。第一電極層5aは、素体3の導電部9に直接接続され且つAg等を主成分とした導電性粉末及びガラスフリットを含む。第二電極層5bは、第一電極層5aを覆うように形成され且つNiを主成分とする。第三電極層5cは、第二電極層5bを覆うように形成され且つSnを主成分とする。   The terminal electrode 5 is formed in multiple layers so as to cover the end faces 3 a and 3 b (main surface 9 b of the conductive portion 9) of the element body 3. The terminal electrode 5 has a first electrode layer 5a, a second electrode layer 5b, and a third electrode layer 5c. The first electrode layer 5a includes a conductive powder and glass frit which are directly connected to the conductive portion 9 of the element body 3 and mainly contain Ag or the like. The second electrode layer 5b is formed so as to cover the first electrode layer 5a and contains Ni as a main component. The third electrode layer 5c is formed so as to cover the second electrode layer 5b and contains Sn as a main component.

続いて、図3及び図4を参照して、上述した構成を有するチップバリスタ1の製造過程の一例について説明する。図3及び図4は、本実施形態に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。   Next, an example of a manufacturing process of the chip varistor 1 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 3 and 4 are diagrams for explaining a manufacturing process of the chip varistor according to the present embodiment.

まず、バリスタ部7を構成する主成分であるZnOと、Co、Pr、Cr、Ca、K、及びAlの金属又は酸化物等の微量添加物とを所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合してバリスタ材料を調整する。その後、このバリスタ材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して所定の厚さ(たとえば30μm程度)の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離して第一のグリーンシートを得る。   First, after weighing ZnO which is a main component constituting the varistor part 7 and trace additives such as Co, Pr, Cr, Ca, K, and Al metals or oxides so as to have a predetermined ratio, respectively. The varistor material is prepared by mixing each component. Then, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, etc. are added to this varistor material, and it mixes and grind | pulverizes using a ball mill etc., and obtains a slurry. This slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a predetermined thickness (for example, about 30 μm). The film thus obtained is peeled from the film to obtain a first green sheet.

また、導電部9を構成するZnOに有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。ZnO以外に、上記副成分を含有させる場合には、ZnOと、副成分を構成する添加物と、を所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合して導電部9用の材料を調整する。導電部9用の材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して所定の厚さ(たとえば30μm程度)の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離して第二のグリーンシートを得る。   Moreover, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, etc. are added to ZnO which comprises the electroconductive part 9, and it mixes and grind | pulverizes using a ball mill etc., and obtains a slurry. In addition to ZnO, when the subcomponent is contained, ZnO and the additive constituting the subcomponent are weighed so as to have a predetermined ratio, and then each component is mixed to be used for the conductive portion 9. Adjust the material. An organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, or the like is added to the material for the conductive portion 9 and mixed and pulverized using a ball mill or the like to obtain a slurry. This slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a predetermined thickness (for example, about 30 μm). The film thus obtained is peeled from the film to obtain a second green sheet.

次に、第一のグリーンシートと第二のグリーンシートとを所定の枚数ずつ重ね、第一のグリーンシートからなるバリスタグリーン層と第二のグリーンシートからなる導体グリーン層とが、バリスタグリーン層が導体グリーン層の間に挟まれるように積層する。その後、積層されたグリーンシートに圧力を加えて各グリーンシートを互いに圧着させる。バリスタグリーン層の厚みは、第一のグリーンシートの枚数により調整される。導体グリーン層の厚みは、第二のグリーンシートの枚数により調整される。第一のグリーンシートの枚数は、少なくとも1枚でよい。   Next, a predetermined number of first green sheets and second green sheets are stacked, and a varistor green layer made of the first green sheet and a conductor green layer made of the second green sheet are Laminate so as to be sandwiched between conductive green layers. Thereafter, pressure is applied to the stacked green sheets to press the green sheets together. The thickness of the varistor green layer is adjusted by the number of first green sheets. The thickness of the conductor green layer is adjusted by the number of second green sheets. The number of first green sheets may be at least one.

以上により、図3に示されるように、バリスタグリーン層L1と導体グリーン層L2とが積層された積層体LBが準備されることとなる。   As described above, as shown in FIG. 3, a laminated body LB in which the varistor green layer L1 and the conductor green layer L2 are laminated is prepared.

次に、積層体LBを乾燥させた後、図4に示されるように、チップ単位に切断し、複数のグリーン素体GC(焼成前の素体3)を得る。積層体LBの切断は、たとえばダイシングソーなどにより行う。   Next, after drying the stacked body LB, as shown in FIG. 4, the stacked body LB is cut into units of chips to obtain a plurality of green bodies GC (element body 3 before firing). The laminated body LB is cut by, for example, a dicing saw.

次に、複数のグリーン素体GCに、所定の条件(たとえば、180〜400℃で且つ0.5〜24時間)で加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、所定の条件(たとえば、1000〜1400℃で且つ0.5〜8時間)で焼成を行う。この焼成によって、第一のグリーンシートからなるバリスタグリーン層L1はバリスタ部7となり、第二のグリーンシートからなる導体グリーン層L2は導電部9となり、バリスタ部7が導電部9で挟まれた複数の素体3が得られることとなる。バリスタグリーン層L1と導体グリーン層L2とは、一体に焼成される。焼成後、必要に応じて素体3にバレル研磨を施してもよい。バレル研磨は、焼成前、すなわち積層体LBの切断後に行ってもよい。   Next, the plurality of green element bodies GC are subjected to heat treatment under predetermined conditions (for example, 180 to 400 ° C. and 0.5 to 24 hours) to perform binder removal, and further, predetermined conditions ( For example, baking is performed at 1000 to 1400 ° C. and 0.5 to 8 hours. By this firing, the varistor green layer L1 made of the first green sheet becomes the varistor part 7, the conductor green layer L2 made of the second green sheet becomes the conductive part 9, and the varistor part 7 is sandwiched between the conductive parts 9 The element body 3 is obtained. The varistor green layer L1 and the conductor green layer L2 are integrally fired. After firing, the element body 3 may be subjected to barrel polishing as necessary. The barrel polishing may be performed before firing, that is, after cutting the stacked body LB.

次に、素体3の両端面3a,3bを覆うように導電性ペーストを付与して、熱処理を施すことにより導電性ペーストを素体3に焼付けて、第一電極層5aを形成する。その後、第一電極層5aを覆うように、Niめっき及びSnめっき等の電気めっき処理を施すことにより第二及び第三電極層5b,5cを形成する。これらにより、素体3の両端側に端子電極5が形成されることとなる。端子電極5は、素体3における、導電部9がバリスタ部7を挟む方向での両端側に形成されている。導電性ペーストは、例えば金属粉末にガラスフリット及び有機ビヒクルを混合したものを用いることができる。金属粉末は、たとえばCu、Ag、又はAg−Pd合金を主成分とするもの用いることができる。   Next, a conductive paste is applied so as to cover both end faces 3a and 3b of the element body 3, and the conductive paste is baked onto the element body 3 by performing heat treatment to form the first electrode layer 5a. Then, the 2nd and 3rd electrode layers 5b and 5c are formed by performing electroplating processes, such as Ni plating and Sn plating, so that the 1st electrode layer 5a may be covered. As a result, the terminal electrodes 5 are formed on both end sides of the element body 3. The terminal electrode 5 is formed on both ends of the element body 3 in the direction in which the conductive portion 9 sandwiches the varistor portion 7. As the conductive paste, for example, a metal powder mixed with glass frit and an organic vehicle can be used. As the metal powder, for example, a material mainly composed of Cu, Ag, or an Ag—Pd alloy can be used.

これらの過程により、チップバリスタ1が得られる。必要に応じて、以下の処理を追加してもよい。   By these processes, the chip varistor 1 is obtained. The following processing may be added as necessary.

追加の処理では、素体3の露出表面(側面3c〜3f)からアルカリ金属(たとえば、Li、Na等)を拡散させる。ここでは、まず、端子電極5が形成された素体3の表面(側面3c〜3f)にアルカリ金属化合物を付着させる。アルカリ金属化合物の付着には、密閉回転ポットを用いることができる。アルカリ金属化合物としては、特に限定されないが、熱処理することにより、アルカリ金属が素体3の表面から拡散できる化合物であり、アルカリ金属の酸化物、水酸化物、塩化物、硝酸塩、硼酸塩、炭酸塩及び蓚酸塩等が用いられる。   In the additional treatment, alkali metal (for example, Li, Na, etc.) is diffused from the exposed surface (side surfaces 3c to 3f) of the element body 3. Here, first, an alkali metal compound is attached to the surface (side surfaces 3c to 3f) of the element body 3 on which the terminal electrodes 5 are formed. A sealed rotating pot can be used for adhesion of the alkali metal compound. Although it does not specifically limit as an alkali metal compound, It is a compound which an alkali metal can diffuse from the surface of the element | base_body 3 by heat processing, and an alkali metal oxide, hydroxide, chloride, nitrate, borate, carbonic acid Salts and oxalates are used.

そして、このアルカリ金属化合物が付着している素体3を電気炉で、所定の温度及び時間で熱処理する。この結果、アルカリ金属化合物からアルカリ金属が素体3の表面(側面3c〜3f)から内部に拡散する。好ましい熱処理温度は、700〜1000℃であり、熱処理雰囲気は大気である。熱処理時間(保持時間)は、好ましくは10分〜4時間である。アルカリ金属の代わりに、Ag又はCuを拡散させてもよい。   And the element | base_body 3 to which this alkali metal compound has adhered is heat-processed by predetermined temperature and time with an electric furnace. As a result, the alkali metal diffuses from the surface of the element body 3 (side surfaces 3c to 3f) to the inside from the alkali metal compound. A preferable heat treatment temperature is 700 to 1000 ° C., and the heat treatment atmosphere is air. The heat treatment time (holding time) is preferably 10 minutes to 4 hours. Ag or Cu may be diffused instead of the alkali metal.

素体3(バリスタ部7及び導電部9)におけるアルカリ金属が拡散した部分は、高抵抗化及び低静電容量化が図られる。素体3の端面3a,3b(導電部9の主面9b)は、端子電極5により覆われていることから、アルカリ金属が端面3a,3bから拡散することはない。したがって、アルカリ金属が、端子電極5と導電部9との電気的な接続に支障になることはない。   In the element body 3 (varistor portion 7 and conductive portion 9), the portion where the alkali metal is diffused can achieve high resistance and low capacitance. Since the end surfaces 3a and 3b (main surface 9b of the conductive portion 9) of the element body 3 are covered with the terminal electrode 5, the alkali metal does not diffuse from the end surfaces 3a and 3b. Therefore, the alkali metal does not hinder the electrical connection between the terminal electrode 5 and the conductive portion 9.

以上のように、本実施形態では、バリスタ部7が各導電部9に挟まれ且つ接続されており、バリスタ部7が、バリスタ特性を発現する領域として機能する。すなわち、チップバリスタ1は、いわゆる積層チップバリスタと異なり、内部電極を備えることなく、バリスタ特性を発現する。このため、チップバリスタ1では、ESDのようなサージ電圧が印加された場合でも、電界分布が集中する箇所がバリスタ部7に生じることはなく、ESD耐量が低下しない。   As described above, in the present embodiment, the varistor part 7 is sandwiched and connected between the conductive parts 9, and the varistor part 7 functions as a region that develops varistor characteristics. That is, unlike the so-called multilayer chip varistor, the chip varistor 1 exhibits varistor characteristics without having an internal electrode. For this reason, in the chip varistor 1, even when a surge voltage such as ESD is applied, a portion where the electric field distribution is concentrated does not occur in the varistor portion 7, and the ESD tolerance is not lowered.

本実施形態では、チップバリスタ1は、内部電極を備えていないことから、内部電極に起因する静電容量のばらつきが生じることはない。このため、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することができる。   In this embodiment, since the chip varistor 1 does not include an internal electrode, there is no variation in capacitance caused by the internal electrode. For this reason, it can suppress that dispersion | variation arises in an electrostatic capacitance.

本実施形態では、バリスタ部7と導電部9とが、ZnOを主成分とする焼結体からなるため、バリスタ部7と導電部9との界面における接続強度は強固となる。この結果、バリスタ部7と導電部9との接続が良好となり、バリスタ部7と導電部9との間での剥離の発生を抑制できる。   In this embodiment, since the varistor part 7 and the conductive part 9 are made of a sintered body containing ZnO as a main component, the connection strength at the interface between the varistor part 7 and the conductive part 9 becomes strong. As a result, the connection between the varistor part 7 and the conductive part 9 becomes good, and the occurrence of peeling between the varistor part 7 and the conductive part 9 can be suppressed.

本実施形態では、導電部9は、ZnOを主成分とすると共に、バリスタ部7が副成分として含有している希土類金属を実質的に含有しない焼結体からなる。導電部9(焼結体)は、希土類金属を実質的に含有しないため、バリスタ特性が発現し難く、比較的高い導電性を有することとなる。したがって、導電部9において、電極としての機能が阻害されることはない。   In the present embodiment, the conductive part 9 is made of a sintered body containing ZnO as a main component and substantially free of rare earth metal contained in the varistor part 7 as a subcomponent. Since the conductive portion 9 (sintered body) does not substantially contain a rare earth metal, the varistor characteristic is hardly exhibited and the conductive portion 9 has a relatively high conductivity. Therefore, in the conductive part 9, the function as an electrode is not hindered.

続いて、図5及び図6を参照して、本実施形態の変形例に係るチップバリスタ1の構成を説明する。図5は、本実施形態の変形例に係るチップバリスタを示す斜視図である。図6は、本実施形態の変形例に係るチップバリスタの断面構成を説明する図である。   Subsequently, the configuration of the chip varistor 1 according to a modification of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a perspective view showing a chip varistor according to a modification of the present embodiment. FIG. 6 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of a chip varistor according to a modification of the present embodiment.

変形例に係るチップバリスタ1も、図5に示されるように、略直方体形状の素体3と、素体3の両端に形成された一対の端子電極5とを備えている。素体3は、バリスタ部7と、複数(本実施形態においては、二つ)のコンポジット部11と、を有している。   As shown in FIG. 5, the chip varistor 1 according to the modification also includes a substantially rectangular parallelepiped element body 3 and a pair of terminal electrodes 5 formed at both ends of the element body 3. The element body 3 includes a varistor part 7 and a plurality (two in this embodiment) of composite parts 11.

コンポジット部11は、図5及び図6に示されるように、素体3の両端側に寄った箇所に位置する略直方体形状の部分であり、バリスタ部7をその間に挟むようにバリスタ部7の両側に配置されている。コンポジット部11は、バリスタ部7(主面7a,7b)に接続される主面11aと、主面11aに対向する主面11bと、を有している。本実施形態では、バリスタ部7の主面7a,7bの略全体が、コンポジット部11の主面11aと接触して、接続されている。コンポジット部11の主面11aは、バリスタ部7の主面7a,7bと略同じ形状を呈している。コンポジット部11の主面11bは、素体3の端面3a,3bを構成する。コンポジット部11の主面11aは、バリスタ部7に対する電極面として機能する。   As shown in FIGS. 5 and 6, the composite portion 11 is a substantially rectangular parallelepiped portion located at a position near both ends of the element body 3, and the varistor portion 7 is sandwiched between the varistor portions 7. Located on both sides. The composite part 11 has a main surface 11a connected to the varistor part 7 (main surfaces 7a, 7b), and a main surface 11b facing the main surface 11a. In the present embodiment, substantially the entire main surfaces 7 a and 7 b of the varistor portion 7 are in contact with and connected to the main surface 11 a of the composite portion 11. The main surface 11 a of the composite part 11 has substantially the same shape as the main surfaces 7 a and 7 b of the varistor part 7. The main surface 11 b of the composite part 11 constitutes end faces 3 a and 3 b of the element body 3. The main surface 11 a of the composite part 11 functions as an electrode surface for the varistor part 7.

コンポジット部11は、Ag−Pd合金とZnOとの複合材料からなる。コンポジット部11を構成する複合材料において、Ag−Pd合金は、ZnO中に分散された状態となっており、図7に示されるように、Ag−Pd合金によって、端子電極5とバリスタ部7との間を繋ぐ導通路11cが形成される。図7では説明を容易にするため、一つの導通路11cのみを示しているが、各コンポジット部11には、多数の導通路11cが形成されるようになっている。すなわち、コンポジット部11は、導電部として機能する。   The composite part 11 is made of a composite material of an Ag—Pd alloy and ZnO. In the composite material constituting the composite part 11, the Ag—Pd alloy is dispersed in ZnO. As shown in FIG. 7, the terminal electrode 5 and the varistor part 7 are made of Ag—Pd alloy. A conduction path 11c that connects the two is formed. In FIG. 7, only one conduction path 11 c is shown for ease of explanation, but a large number of conduction paths 11 c are formed in each composite portion 11. That is, the composite part 11 functions as a conductive part.

コンポジット部11におけるZnOの含有量は、コンポジット部11を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、たとえば10〜80質量%である。コンポジット部11におけるAg−Pd合金の含有量は、コンポジット部11を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、たとえば20〜90質量%である。コンポジット部11は、含有金属として、Ag−Pd合金に代えて、Ag,Au,Pd,Pt等の何れかを含むようにしてもよい。コンポジット部11に含有される金属酸化物は、バリスタ部7に含有される金属酸化物と同じであるZnOが好ましいが、ZnOに代えて、CoO、NiO、又はTiOなどの金属酸化物であってもよい。 The content of ZnO in the composite part 11 is, for example, 10 to 80% by mass when the entire material constituting the composite part 11 is 100% by mass. The content of the Ag—Pd alloy in the composite part 11 is, for example, 20 to 90% by mass when the total material constituting the composite part 11 is 100% by mass. The composite part 11 may include any of Ag, Au, Pd, Pt, and the like as the contained metal instead of the Ag—Pd alloy. The metal oxide contained in the composite part 11 is preferably ZnO which is the same as the metal oxide contained in the varistor part 7, but instead of ZnO, a metal oxide such as CoO, NiO, or TiO 2 is used. May be.

続いて、図8及び図9を参照して、本変形例に係るチップバリスタ1の製造過程の一例について説明する。図8及び図9は、本実施形態の変形例に係るチップバリスタの製造過程を説明するための図である。   Next, an example of a manufacturing process of the chip varistor 1 according to this modification will be described with reference to FIGS. 8 and 9 are diagrams for explaining a manufacturing process of a chip varistor according to a modification of the present embodiment.

まず、上述した実施形態と同じく、第一のグリーンシートを得る。また、コンポジット部11を構成するZnOとAg−Pd合金とを所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合してコンポジット部11用の材料を調整する。その後、このコンポジット部11用の材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して所定の厚さ(たとえば30μm程度)の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離して第二のグリーンシートを得る。   First, as in the embodiment described above, a first green sheet is obtained. Moreover, after weighing each of ZnO and Ag—Pd alloy constituting the composite part 11 so as to have a predetermined ratio, each component is mixed to adjust the material for the composite part 11. Thereafter, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, and the like are added to the material for the composite portion 11 and mixed and pulverized using a ball mill or the like to obtain a slurry. This slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a predetermined thickness (for example, about 30 μm). The film thus obtained is peeled from the film to obtain a second green sheet.

次に、第一のグリーンシートと第二のグリーンシートとを所定の枚数ずつ重ね、第一のグリーンシートからなるバリスタグリーン層と第二のグリーンシートからなるコンポジットグリーン層とが、バリスタグリーン層がコンポジットグリーン層の間に挟まれるように積層する。その後、積層されたグリーンシートに圧力を加えて各グリーンシートを互いに圧着させる。コンポジットグリーン層の厚みは、導体グリーン層と同じく、第二のグリーンシートの枚数により調整される。   Next, a predetermined number of first green sheets and second green sheets are stacked, and a varistor green layer made of the first green sheet and a composite green layer made of the second green sheet are Laminate so as to be sandwiched between composite green layers. Thereafter, pressure is applied to the stacked green sheets to press the green sheets together. The thickness of the composite green layer is adjusted by the number of second green sheets in the same manner as the conductor green layer.

以上により、図8に示されるように、バリスタグリーン層L1とコンポジットグリーン層L3とが積層された積層体LBが準備されることとなる。   As described above, as shown in FIG. 8, a laminate LB in which the varistor green layer L1 and the composite green layer L3 are laminated is prepared.

次に、積層体LBを乾燥させた後、図9に示されるように、チップ単位に切断し、複数のグリーン素体GC(焼成前の素体3)を得る。   Next, after drying the laminated body LB, as shown in FIG. 9, the laminate LB is cut into chip units to obtain a plurality of green element bodies GC (element body 3 before firing).

次に、複数のグリーン素体GCに、所定の条件(たとえば、180〜400℃で且つ0.5〜24時間)で加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、所定の条件(たとえば、1000〜1400℃で且つ0.5〜8時間)で焼成を行う。この焼成によって、第一のグリーンシートからなるバリスタグリーン層L1はバリスタ部7となり、第二のグリーンシートからなるコンポジットグリーン層L3はコンポジット部11となり、バリスタ部7がコンポジット部11で挟まれた複数の素体3が得られることとなる。バリスタグリーン層L1とコンポジットグリーン層L3とは、一体に焼成される。   Next, the plurality of green element bodies GC are subjected to heat treatment under predetermined conditions (for example, 180 to 400 ° C. and 0.5 to 24 hours) to perform binder removal, and further, predetermined conditions ( For example, baking is performed at 1000 to 1400 ° C. and 0.5 to 8 hours. By this firing, the varistor green layer L1 made of the first green sheet becomes the varistor part 7, the composite green layer L3 made of the second green sheet becomes the composite part 11, and the varistor part 7 is sandwiched between the composite parts 11. The element body 3 is obtained. The varistor green layer L1 and the composite green layer L3 are integrally fired.

次に、上述した実施形態と同様に、素体3(コンポジット部11)に端子電極5を形成し、素体3の露出表面(側面3c〜3f)からアルカリ金属(たとえば、Li、Na等)を拡散させる。   Next, similarly to the above-described embodiment, the terminal electrode 5 is formed on the element body 3 (composite portion 11), and an alkali metal (for example, Li, Na, etc.) is formed from the exposed surface (side surfaces 3c to 3f) of the element body 3. To diffuse.

これらの過程により、変形例に係るチップバリスタ1が得られる。   Through these processes, the chip varistor 1 according to the modification is obtained.

以上のように、本変形例においても、バリスタ部7が各コンポジット部11に挟まれ且つ接続されており、バリスタ部7が、バリスタ特性を発現する領域として機能する。すなわち、チップバリスタ1は、いわゆる積層チップバリスタと異なり、内部電極を備えることなく、バリスタ特性を発現する。このため、チップバリスタ1では、ESDのようなサージ電圧が印加された場合でも、電界分布が集中する箇所がバリスタ部に生じることはなく、ESD耐量が低下しない。   As described above, also in this modification, the varistor part 7 is sandwiched and connected between the composite parts 11, and the varistor part 7 functions as a region that develops varistor characteristics. That is, unlike the so-called multilayer chip varistor, the chip varistor 1 exhibits varistor characteristics without having an internal electrode. For this reason, in the chip varistor 1, even when a surge voltage such as ESD is applied, a portion where the electric field distribution is concentrated does not occur in the varistor portion, and the ESD tolerance is not lowered.

本変形例でも、チップバリスタ1は、内部電極を備えていないことから、静電容量にばらつきが生じるのを抑制することができる。   Also in this modified example, since the chip varistor 1 does not include the internal electrode, it is possible to suppress the variation in capacitance.

本変形例では、コンポジット部11が、Ag−Pd合金と、ZnOとの複合材料からなるため、チップバリスタ1における熱が、コンポジット部を通して容易に放熱されるため、放熱性に優れたチップバリスタ1を得ることができる。   In this modification, since the composite part 11 is made of a composite material of an Ag—Pd alloy and ZnO, the heat in the chip varistor 1 is easily radiated through the composite part, so that the chip varistor 1 having excellent heat dissipation is provided. Can be obtained.

本変形例では、バリスタ部7とコンポジット部11とが、ZnOを含むことから、バリスタ部7とコンポジット部11との界面における接続強度は強固となる。このため、バリスタ部7とコンポジット部11との接続が良好となり、バリスタ部7とコンポジット部11との間での剥離の発生を抑制できる。   In this modification, since the varistor part 7 and the composite part 11 contain ZnO, the connection strength at the interface between the varistor part 7 and the composite part 11 becomes strong. For this reason, the connection between the varistor part 7 and the composite part 11 becomes good, and the occurrence of peeling between the varistor part 7 and the composite part 11 can be suppressed.

本実施形態及び変形例に係るチップバリスタ1は、導電部9の対向方向が外部基板などの実装面と平行となるようにはんだ付けにより実装される。バリスタ部7は、導電部9の対向方向の対向方向に見て、素体3の略中央に位置することから、はんだ付けの際に、バリスタ部7にはんだが到達し難い。この結果、チップバリスタ1は、はんだ実装の際に、バリスタ部7にはんだが付着してバリスタ部7の機能が阻害されるのを防ぐことができる。   The chip varistor 1 according to the present embodiment and the modification is mounted by soldering so that the facing direction of the conductive portion 9 is parallel to a mounting surface such as an external substrate. Since the varistor part 7 is located in the approximate center of the element body 3 when viewed in the opposing direction of the conductive part 9, it is difficult for the solder to reach the varistor part 7 during soldering. As a result, the chip varistor 1 can prevent the function of the varistor part 7 from being disturbed by the solder attaching to the varistor part 7 during solder mounting.

以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本実施形態及び変形例では、バリスタ部7を挟むように配置された一対の導電部(導電部9又はコンポジット部11)は、同じ構成とされているが、これに限られない。たとえば、一方の導電部が導電部9であり、他方の導電部がコンポジット部11であってもよい。   In the present embodiment and the modification, the pair of conductive parts (conductive part 9 or composite part 11) arranged so as to sandwich the varistor part 7 have the same configuration, but is not limited thereto. For example, one conductive part may be the conductive part 9 and the other conductive part may be the composite part 11.

バリスタ部7は、希土類金属の代わりに、Biを含有していてもよい。この場合、上述したように、導電部9は、Biを含有していないことが好ましい。バリスタ部7は、希土類金属及びBiを含有していてもよい。この場合、導電部9は、希土類金属及びBiを含有していないことが好ましい。   The varistor part 7 may contain Bi instead of the rare earth metal. In this case, as described above, the conductive portion 9 preferably does not contain Bi. The varistor part 7 may contain a rare earth metal and Bi. In this case, it is preferable that the conductive part 9 does not contain a rare earth metal and Bi.

1…チップバリスタ、3…素体、3a,3b…端面、5…端子電極、7…バリスタ部、7a,7b…主面、9…導電部、9a,9b…主面、11…コンポジット部、11a,11b…主面、11c…導通路、GC…グリーン素体、L1…バリスタグリーン層、L2…導体グリーン層、L3…コンポジットグリーン層、LB…積層体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chip varistor, 3 ... Element body, 3a, 3b ... End surface, 5 ... Terminal electrode, 7 ... Varistor part, 7a, 7b ... Main surface, 9 ... Conductive part, 9a, 9b ... Main surface, 11 ... Composite part, 11a, 11b ... main surface, 11c ... conduction path, GC ... green body, L1 ... varistor green layer, L2 ... conductor green layer, L3 ... composite green layer, LB ... laminate.

Claims (1)

ZnOを主成分として含むと共に副成分を含む複数のグリーンシートが積層され焼成されて得られた形成された焼結体からなり、電圧非直線特性を発現するバリスタ部と、
ZnOを主成分として含むと共に副成分を含む複数のグリーンシートが積層され前記バリスタ部と同時に焼成されて得られた焼結体からなり、前記バリスタ部を挟んで配置され、前記バリスタ部に接続される第一主面と前記第一主面に対向する第二主面とをそれぞれ有する複数の導電部と、
前記複数の導電部の前記第二主面に接続される複数の端子電極と、を備え
前記バリスタ部は、前記副成分として希土類金属元素、Co、IIIb族元素、Cr、アルカリ金属元素、及びアルカリ土類金属元素を含み、
前記複数の導電部は、前記副成分として希土類金属元素を実質的に含まないと共に希土類金属元素を除き前記バリスタ部と同じ副成分を含んでいることを特徴とするチップバリスタ。
A varistor portion that is formed of a sintered body formed by laminating and firing a plurality of green sheets containing ZnO as a main component and also containing subcomponents, and expressing voltage nonlinear characteristics;
A plurality of green sheets containing ZnO as a main component and subcomponents are stacked and sintered and fired at the same time as the varistor part, and are arranged with the varistor part interposed therebetween and connected to the varistor part. A plurality of conductive portions each having a first main surface and a second main surface facing the first main surface;
A plurality of terminal electrodes connected to the second main surface of the plurality of conductive portions ,
The varistor part includes a rare earth metal element, Co, a group IIIb element, Cr, an alkali metal element, and an alkaline earth metal element as the auxiliary component,
The chip varistor is characterized in that the plurality of conductive parts do not substantially contain a rare earth metal element as the subcomponent and contain the same subcomponent as the varistor part except for the rare earth metal element .
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