JP5301598B2 - 液体薬品の分配方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体薬品の分配方法に関する。特に、本発明は、電子工業用薬品などの流体を分配する液体薬品の分配方法に関する。

例えば、ホトレジストなどの電子工業用薬品は、運搬用の薬品容器に貯蔵されて製造工場に納入される。このような薬品容器は、同じ容器を繰返し使用するリンク方式と、毎回新しい容器を使用するワンウェイ方式がある。特に、高純度薬品の純度に影響を与えぬためには、ワンウェイ方式の容器を使用することが好ましいが、経済的ではないという欠点がある。近年では、前記両方式を複合した複式格納型の容器が普及している。

一般に、複式格納型の容器は、予め洗浄された可撓性フィルムからなるバッグ（袋体）を有している。このフィルム・バッグは、不活性材料から形成され、外側容器の中に設けられている。フィルム・バッグから薬品を排出した後に、このフィルム・バッグは廃棄され、新たなフィルム・バッグに薬品が充填される。そして、継手などを含む外側容器は繰返し使用される。

このような複式格納型の容器として、安全、確実に液体薬品を排出できる液体薬品用容器が発明されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６−１０００８７号公報

図８は、特許文献１による容器及びディスペンサの正面図であり、要部を断面としている。本願の図８は、特許文献１の図１に相当している。

図８において、特許文献１による容器は、容器７及びディスペンサ８を備えている。容器７は、外側容器７１６と、ポート（以下、取付体という）７１８と、リテーナ７１９を備えている。又、容器７は、可撓性のバッグ７２０と、液出しチューブ７２２と、カップリング７２４と、を備えている。更に、容器７は、蓋７２６と、破断可能なシール膜７２７と、キャップ７２８と、を備えている。

図８において、外側容器７１６は、雄ネジを形成する口部７３０を有し、口部７３０の中には、リテーナ７１９及び取付体７１８が取り付けられている。バッグ７２０は、取付体７１８に取り付けられ、外側容器７１６の中に設けられている。又、カップリング７２４は、取付体７１８の中に設けられ、バッグ７２０の内部の中へ下がっている液出しチューブ７２２に接続されている。

図８において、蓋７２６は、取付体７１８、カップリング７２４及び外側容器７１６の口部７３０を包囲すると共に、破断可能なシール膜７２７によって取付体７１８及び外側容器７１６を封止している。そして、キャップ７２８は、蓋７２６の頂部をねじ止めしている。

図８において、外側容器７１６は、スチール製のドラム缶であって、地板７３２、胴体７３４、傾斜した天板７３６を備えている。又、外側容器７１６は、天板７３６に口部７３０を有し、胴体７３４は、成形された一対のハンドル７３８を有している。

図８において、ディスペンサ８は、下部コネクタ８４２と、リテーナ８４４と、プローブ８４６と、上部コネクタ８４８と、を備えている。リテーナ８４４は、下部コネクタ８４２の中に入れ子式に収容されている。プローブ８４６は、リテーナ８４４を貫通し、リテーナ８４４によって支持されている。上部コネクタ８４８は、リテーナ８４４及び下部コネクタ８４２に接続され、プローブ８４６を包囲している。

図８において、バッグ７２０が装着された取付体７１８を口部７３０に取り付けた後に、バッグ７２０に液体薬品が充填される前に、好ましくは窒素によって膨張される。その後、バッグ７２０は取付体７１８を介して液体薬品で充填される。次に、液出しチューブ７２２及びカップリング７２４を取付体７１８に挿入する。蓋７２６は、破断可能なシール膜７２７を取付体７１８の頂端部上に置き、空所７７６を封止する。又、容器７の口部７３０にキャップ７２８を設けて破断可能なシール膜７２７を覆うことができる。

容器７を運搬及びハンドリングの間に、可撓性のバッグ７２０の中に発生した気体は全て、液出しチューブ７２２のカップリング７２４によって形成された気体通路を通って流れ、液出しチューブ７２２のカップリング７２４の上端に設けられた空所７７６に溜まることができる。

特許文献１による容器７は、破断可能なシール膜７２７を備えており、ディスペンサ８に設けられるプローブ８４６がシール膜７２７を突き破ることにより、プローブ８４６は空所７９０の中に挿入することができる。容器７にディスペンサ８を接続し、ディスペンサ８及び空所７８２を介して、バッグ７２０内を窒素で加圧することにより、プローブ８４６から液体薬品を排出できる。

特許文献１による容器７は、液出しチューブ７２２付きカップリング７２４を内蔵して運搬される構成となっている。液出しチューブをディスペンサ側に移動する構成とすれば、液体薬品用容器の製造原価を引き下げることも可能である。

又、特許文献１による容器７は、完全密封容器である、いわゆるキャニスター缶であり、厚肉の金属板を成形加工した堅牢な構造であるが、製造原価が高価であるという問題がある。高価なキャニスター缶に換えて、薄肉の金属板を成形加工することにより、廉価に製造できる液体薬品用ペール缶が求められる。

更に、特許文献１による容器７は、液体薬品が排出された可撓性のバッグ７２０は廃棄され、液出しチューブ７２２が洗浄された後に、新たなバッグ７２０に装着される。ワンウェイ方式のペール缶であれば、液出しチューブ７２２の洗浄の手間や、外側容器７１６へのバッグ７２０の詰め替えの手間が省け、総合的にはむしろ経済的であるといえる。

例えば、塗料を収容するペール缶は、金属缶の内壁が合成樹脂フィルムでコーティングされている。このようなペール缶は、金属と合成樹脂との分離が困難である。そして、金属と合成樹脂を分離することなく、このペール缶を廃棄することは、素材毎に資源を再利用する観点からは好ましくない。金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体可能な液体薬品用ペール缶が求められる。そして、以上のことが本発明の課題といってよい。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、廉価に製造できるペール缶であって、金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体できるワンウェイ方式の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法を提供することを目的とする。

本発明者は、成形された耐薬合成樹脂製の内側容器を金属製の外側容器で囲う二重構造のペール缶とすることにより、廉価に製造でき、金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体できることを見出し、これに基づいて、以下のような新たなワンウェイ方式の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法を発明するに至った。

（１） 筒状に形成された耐薬合成樹脂製の内側容器と、この内側容器の外殻を構成する金属製の外側容器と、を備える液体薬品用ペール缶であって、前記内側容器は、液体薬品を注入可能に開口する口部を有し、前記外側容器は、前記口部が突出する穴を有する天板と、前記内側容器の外周を囲う胴体と、前記内側容器の底面に当接する地板と、を有し、前記外側容器は、前記内側容器に加わる内圧に対して、当該内側容器の変形を防止するように剛性を有している液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

（１）の発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、耐薬合成樹脂製の内側容器と金属製の外側容器を備えている。内側容器は、筒状に形成されている。外側容器は、内側容器の外殻を構成している。内側容器は、液体薬品を注入可能に開口する口部を有している。外側容器は、天板と胴体と地板を有している。天板は、口部が突出する穴を有している。胴体は、内側容器の外周を囲っている。地板は、内側容器の底面に当接している。そして、外側容器は、内側容器に加わる内圧に対して、内側容器の変形を防止するように剛性を有している。

内側容器が筒形に形成されているとは、内側容器が直円柱状に形成される形状を含み、内側容器が上面の面積が底面の面積より大きい直円すい台状に形成される形状を含んでいる。又、内側容器が筒形に形成されているとは、内側容器の上面に口部が突出することを排除しない。本発明は、内側容器が角筒形に形成されることを必ずしも排除しない。しかし、内側容器の製作の容易性や、内部圧力による膨張などの変形に抗するためには、内側容器は角筒よりも円筒が好ましい。

耐薬合成樹脂製の内側容器とは、内側容器が耐薬合成樹脂で製造されることであってよく、内側容器がプラスチック成形されることにより大量生産できる。更に、耐薬合成樹脂製の内側容器とは、この内側容器に収容される薬品、すなわち化学物質が内側容器と接触して化学反応、例えばイオンによる汚染が困難である合成樹脂から成る内側容器を意味している。耐薬合成樹脂は、耐酸合成樹脂を含み、耐アルカリ合成樹脂を含み、耐腐蝕合成樹脂を含み、例えば、後述するポリオレフィンが好ましい。

外側容器は、内側容器を覆うべく金属板が製缶されてよく、内側容器の外殻を構成している。外側容器は、内側容器を保護し、又は、内側容器の力学的強度を補強し、吊手やつる状の取っ手など必要な付属品が取り付けられる構造を有している。

外側容器は内側容器の外殻を構成するとは、内側容器の外周全てに亘り、外側容器が当接することを必ずしも意味しない。外側容器自体の力学的強度を増加させるために、内側容器の外周を囲う胴体に輪帯を設けてよく、天板に同心円状に輪帯を設けてよく、これらの輪帯が内側容器と部分的に当接又は離反してもよい。又、口部が突出する穴を天板に設けてよく、この穴に引張り応力が集中して亀裂が生じないように、この穴の周囲に円環状の段差を設けて補強してもよい。

そして、内側容器は、液体薬品を注入可能に開口する口部を有しており、この口部から液体薬品が排出することができる。口部は、筒状に形成された内側容器の本体と一体に成形されてよく、別体の口部を内側容器の本体に溶着してもよい。又、口部の根元と外側容器との間に輪環状のパッキンを介装してよく、内側容器と外側容器との間に液体薬品が侵入しないように防水できる。

口部の外周に雄ねじを設けてよく、口部の開口をキャップで封止し、更に口部を蓋で螺合することにより、液体薬品用ペール缶が密閉される。そして、液体薬品をこぼすことなく搬送できる。又、外周に雄ねじを設ける口部を利用して、ディスペンサを着脱容易に取り付けることができる。例えば、このディスペンサは、液出しチューブと内側容器の内部に圧縮流体を通気可能な通気手段と、を備え、通気手段から内側容器内部に窒素などの圧縮流体を加圧することにより、液出しチューブから液体薬品を分配できる。

例えば、外側容器は、平板状の鋼板を円筒状に形成して胴体を製作し、天板及び地板を巻締めにより胴体に固着する、いわゆる天板固着式のペール缶であってよく、天板がバンドにより胴体に締め付けられている、いわゆる天板取り外し式バンドタイプのペール缶であってもよく、天板は周縁に複数の爪を有し、この天板が複数の爪により胴体に締め付けられている、いわゆる天板取り外し式ラグタイプのペール缶であってもよい。又、天板、及び／又は地板は、必要に応じて胴体の終端にシーム溶接されてもよい。

このように、薄肉の鋼板が成形加工されたペール缶は、厚肉の鋼板が成形加工されたキャニスター缶と比較して、製造が容易であり、廉価に製造できるというメリットがある。

（１）の発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、内側容器が窒素などの圧縮流体で加圧されて、液体薬品が排出される。ここで、外側容器は、内側容器に加わる内圧に対して、内側容器の変形を防止するように剛性を有している。剛性を有しているとは、外側容器が剛性を有する金属板で形成されていることを含んでよく、内側容器が膨張などで変形しないように、外側容器が力学的構造を備えていることを含むことができる。

（１）の発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、液出しチューブ付きカップリングを内蔵して運搬される構成となっておらず、ディスペンサ側に液出しチューブを備える構成となっているので、液体薬品用容器の製造原価を引き下げることも可能である。

又、（１）の発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、液体薬品が排出された後に廃棄されるワンウェイ方式の容器であるが、液出しチューブの洗浄の手間や、外側容器へのバッグの詰め替えの手間が省け、複式格納型の液体薬品用容器と比較して、総合的には経済的であるというメリットがある。

更に、（１）の発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、金属缶の内壁が合成樹脂フィルムでコーティングされておらず、合成樹脂から成る内側容器を金属製の外側容器が外殻を構成している。このような二重構造のペール缶は、金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体でき、資源の再利用に役立つことができる。

（２） 前記天板及び前記地板は、巻締めにより前記胴体に固着されている（１）記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

（３） 前記天板は、バンドにより前記胴体に締め付けられている（１）記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

（４） 前記天板は周縁に複数の爪を有し、当該天板は前記複数の爪により前記胴体に締め付けられている（１）記載の液体薬品用ペール缶。

（５） 前記天板に吊手を備える（２）記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

例えば、吊手を回動自在に支持する取付金具が天板にスポット溶接で接合されてもよい。吊手は、天板の略中心に配置されることが好ましい。

（６） 前記胴体の前記天板側に設けられた一対のイヤーと、当該一対のイヤーと回動可能に連結するつる状の取っ手と、を備える（３）又は（４）記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

例えば、つる状の取っ手を回動自在に支持するイヤーとなる一対の取付金具が、胴体の天板側にスポット溶接で接合されてもよい。

（７） 前記胴体は、直円柱状に形成される（１）から（６）のいずれかに記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

（８） 前記胴体は、前記天板側の面積が前記地板側の面積より大きい直円すい台状に形成される（１）から（６）のいずれかに記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

（９） 前記天板の周縁、及び／又は、前記地板の周縁に損傷保護体を設けている（１）から（８）のいずれかに記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

天板の周縁、及び／又は、地板の周縁に損傷保護体を設けることにより、移送中の損傷を防止できる。

（１０） 前記内側容器は、ポリオレフィンで成形されている（１）から（９）のいずれかに記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

ポリオレフィンは、ポリエチレン（ＰＥ）を含み、ポリプロピレン（ＰＰ）を含むことができる。

（１１） 前記液体薬品は、感光性樹脂組成物を含む（１）から（１０）のいずれかに記載の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法。

本発明は、成形された耐薬合成樹脂製の内側容器を金属製の外側容器で囲う二重構造のペール缶であって、廉価に製造でき、金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体できるワンウェイ方式の液体薬品用ペール缶を用いた液体薬品の分配方法を提供できる。

本発明に用いられる液体薬品用ペール缶の一実施形態を示す斜視外観図である。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶に接続するディスペンサの一実施形態を示す正面図であり、要部を断面で示している。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶に前記実施形態によるディスペンサが接続された状態図であり、ディスペンサは分解組立図となっている。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板取り外し式バンドタイプの液体薬品用ペール缶を示している。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板取り外し式ラグタイプの液体薬品用ペール缶を示している。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板の周縁、及び地板の周縁に損傷保護体を設け、胴体がテーパに形成されるＴ型の液体薬品用ペール缶を示している。 前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板の周縁、及び地板の周縁に損傷保護体を設け、胴体がストレートに形成されるＳ型の液体薬品用ペール缶を示している。 従来技術による容器及びディスペンサの正面図であり、要部を断面としている。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。

図１は、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶の一実施形態を示す斜視外観図である。図２は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶に接続するディスペンサの一実施形態を示す正面図であり、要部を断面で示している。図３は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶に前記実施形態によるディスペンサが接続された状態図であり、ディスペンサは分解組立図となっている。

図４は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板取り外し式バンドタイプの液体薬品用ペール缶を示している。図５は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板取り外し式ラグタイプの液体薬品用ペール缶を示している。

図６は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板の周縁、及び地板の周縁に損傷保護体を設け、胴体がテーパに形成されるＴ型の液体薬品用ペール缶を示している。図７は、前記実施形態による液体薬品用ペール缶の斜視外観図であり、天板の周縁、及び地板の周縁に損傷保護体を設け、胴体がストレートに形成されるＳ型の液体薬品用ペール缶を示している。

最初に、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶の構成を説明する。図１において、液体薬品用ペール缶１０（以下、容器１０という）は、耐薬合成樹脂製の内側容器１と金属製の外側容器２を備えている。内側容器１は、筒状に形成されている。外側容器２は、内側容器１の外殻を構成している。内側容器１は、液体薬品を注入可能に開口する口部１１を有している。

図１において、外側容器２は、天板２１と胴体２２と地板２３を有している。天板２１は、口部１１が突出する穴２ａを有している。胴体２２は、内側容器１の外周を囲っている。地板２３は、内側容器１の底面に当接している。

図１に示された内側容器１は、上面の面積が底面の面積より大きい直円すい台状に形成されている。内側容器１は、耐薬合成樹脂で成形されている。内側容器１は、口部１１が一体でプラスチック成形されている。

図１において、外側容器２は、内側容器１を覆うべく金属板が製缶されており、内側容器１の外殻を構成している。外側容器２は、内側容器１の外周全てに亘り、必ずしも当接していない。図４又は図５において、内側容器１（図示せず）の外周を囲う胴体２２には、輪帯２２ａが設けられており、外側容器２自体の力学的強度を増加させている。輪帯２２ａは、内側容器１と部分的に離反している。

図１において、天板２１には、同心円状に複数の輪帯２１ａが設けられおり、外側容器２自体の力学的強度を増加させている。輪帯２１ａは、内側容器１と部分的に当接している。又、穴２ａの周囲に円環状の段差２１ｂが設けられ、穴２ａに引張り応力が集中して亀裂が生じないように補強されている（図２参照）。

図１において、口部１１の外周には雄ねじ１１ａが形成されている（図２参照）。口部１１の開口をキャップ３１で封止し、更に口部１１を蓋３２で螺合することにより、容器１０が密閉される。そして、液体薬品をこぼすことなく運搬できる。

図２又は図３において、外周に雄ねじ１１ａを設ける口部１１を利用して、ディスペンサ４０を着脱容易に取り付けることができる。そして、ディスペンサ４０は、円筒状のプラグ本体４１と、内側容器の内部に圧縮流体を通気可能な通気手段４２と、液出しパイプ４３と、を備えている。

図２又は図３において、プラグ本体４１は、中央部が開口されたシールリング４１ａを遊動自在に内装しており、プラグ本体４１を口部１１に締結することにより口部１１を密封できる。通気手段４２は、エルボ形（Ｌ字形）の継手４２ａと、プラグ本体４１の外部から口部に向かって貫通する開口４２ｂと、を含んでいる。継手４２ａを開口４２ｂに接続して、内側容器１の内部に圧縮流体を通気できる。液出しパイプ４３は、一端が内側容器１の底面に到達し、他端がプラグ本体４１から突出し、プラグ本体４１に密封可能に装着される。そして、通気手段４２から内側容器１内部に窒素などの圧縮流体を加圧することにより、液出しパイプ４３から液体薬品を分配できる。

図１に示された外側容器２は、平板状の鋼板を円筒状に形成して胴体２２を製作し、天板２１及び地板２３を巻締めにより胴体に固着する、いわゆる天板固着式のペール缶となっている。又、図１に示された外側容器２は、天板２１に吊手２４を備えている。そして、吊手２４を回動自在に支持する取付金具２４ａは、天板２１にスポット溶接で接合されている。吊手２４は、天板２１の略中心に配置されている。

図４に示された外側容器２は、平板状の鋼板を円筒状に形成して胴体２２を製作し、天板２１がバンド２ｂにより胴体２２に締め付けられている、いわゆる天板取り外し式バンドタイプのペール缶となっている。又、図４に示された外側容器２は、胴体２２の天板２１側に設けられた一対のイヤー２５ａ・２５ｂと、一対のイヤー２５ａ・２５ｂと回動可能に連結するつる状の取っ手２５と、を備えている。そして、一対のイヤー２５ａ・２５ｂとなる取付金具は、胴体２２の天板２１側にスポット溶接で接合されている。

図５に示された外側容器２は、天板２１の周縁に複数の爪２ｃを有している。そして、平板状の鋼板を円筒状に形成して胴体２２を製作し、天板２１が複数の爪２ｃにより胴体２２に締め付けられている、いわゆる天板取り外し式ラグタイプのペール缶となっている。又、図５に示された外側容器２は、胴体２２の天板２１側に設けられた一対のイヤー２５ａ・２５ｂと、一対のイヤー２５ａ・２５ｂと回動可能に連結するつる状の取っ手２５と、を備えている。そして、一対のイヤー２５ａ・２５ｂとなる取付金具は、胴体２２の天板２１側にスポット溶接で接合されている。

図１又は図６に示されるように、胴体２２は、天板２１側の面積が地板２３側の面積より大きい直円すい台状に形成されてもよく、図７に示されるように、胴体２２は、直円柱状に形成されてもよい（図４及び図５参照）。

又、図６及び図７に示されるように、天板２１の周縁と地板２３の周縁と両方に、損傷保護体２６を設けることにより、移送中の容器１０の損傷を防止できる。例えば、損傷保護体２６は、長手方向に溝を形成する屈曲自在な合成樹脂帯であり、前記溝を天板２１の周縁と地板２３の周縁に嵌合させて取り付ける。図６に示された円錐体の容器１０であれば、天板２１側のみに損傷保護体２６を設けてもよい。円錐体の容器１０を縦横に並設配置したときに、天板２１の周囲の損傷を防止できる。

次に、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶の作用を説明する。

本発明に用いられる容器１０は、内側容器１が窒素などの圧縮流体で加圧されて、液体薬品が排出される。外側容器２は、内側容器１に加わる内圧に対して、内側容器１の変形を防止するように剛性を有している。剛性を有しているとは、外側容器２が剛性を有する金属板で形成されていることを含んでよく、内側容器１が膨張などで変形しないように、外側容器２が力学的構造を備えていることを含むことができる。

例えば、図１に示された容器１０は、定格容量が２０リットルのペール缶であり、耐力が０．５ｋｇｆ／ｃｍ^２となっている。内側容器１は、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）などのポリオレフィンで成形されてよく、感光性樹脂組成物を含む液体薬品が収容される。

本発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、外側容器が薄肉の鋼板で成形加工されたペール缶となっており、厚肉の鋼板が成形加工されたキャニスター缶と比較して、製造が容易であり、廉価に製造できるというメリットがある。

本発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、液出しチューブ付きカップリングを内蔵して運搬される構成となっておらず、ディスペンサ側に液出しチューブを備える構成となっているので、液体薬品用容器の製造原価を引き下げることも可能である。

又、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、液体薬品が排出された後に廃棄されるワンウェイ方式の容器であるが、液出しチューブの洗浄の手間や、外側容器へのバッグの詰め替えの手間が省け、複式格納型の液体薬品用容器と比較して、総合的には経済的であるというメリットがある。

更に、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶は、金属缶の内壁が合成樹脂フィルムでコーティングされておらず、合成樹脂から成る内側容器を金属製の外側容器が外殻を構成している。このような二重構造のペール缶は、金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体でき、資源の再利用に役立つことができる。

本発明に用いられる液体薬品用ペール缶と特許文献１による容器のそれぞれにホトレジストを収容し、このホトレジストに含有される水分（％）と金属原子量（ｐｐｂ）との径時変化を比較した結果を表１に示す。なお、表１において、丸番１は、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶に収容されたホトレジストを示し、丸番２は、特許文献１による容器に収容されたホトレジストを示している。

表１に示されるように、３ヶ月経過した段階においても、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶と特許文献１による容器とでは、収容される液体薬品の品質にほとんど違いがないことが実証された。

その他にも、ホトレジストの感度、粘度、膜厚などの径時変化を比較してみたが、本発明に用いられる液体薬品用ペール缶と特許文献１による容器とでは、収容される液体薬品の品質にほとんど違いがないことが実証された。液体薬品が空気層に触れる面積が大きいペール缶であっても、収容される液体薬品の品質に影響を及ぼさないことが実証されたことから、廉価に提供できる本発明に用いられる液体薬品用ペール缶の普及が期待される。

１ 内側容器
２ 外側容器
２ａ 穴
１０ 液体薬品用ペール缶（容器）
１１ 口部
２１ 天板
２２ 胴体
２３ 地板

Claims (11)

1. 筒状に形成されて液体薬品を注入可能に開口する口部を有する耐薬合成樹脂製の内側容器、及びこの内側容器の外殻を構成する金属製の外側容器と、を備える液体薬品用ペール缶と、前記口部に取り付けられるディスペンサと、前記口部に取り付けられて液体薬品用ペール缶を密閉する蓋と、を用いた液体薬品の分配方法であって、
   前記外側容器は、前記口部が突出する穴を有する天板と、前記内側容器の外周を囲う胴体と、前記内側容器の底面に当接する地板と、を有し、
   前記外側容器は、前記内側容器に加わる内圧に対して、当該内側容器の変形を防止するように剛性を有しており、
   前記内側容器は、前記口部の外周に、前記蓋及び前記ディスペンサを着脱自在に取り付けるための雄ねじを有し、
   前記ディスペンサは、前記内側容器の内部に圧縮流体を通気可能な通気手段と、前記内側容器の内部から液体薬品を排出可能な液出しパイプと、を有している液体薬品の分配方法。
2. 前記天板及び前記地板は、巻締めにより前記胴体に固着されている請求項１記載の液体薬品の分配方法。
3. 前記天板は、バンドにより前記胴体に締め付けられている請求項１記載の液体薬品の分配方法。
4. 前記天板は周縁に複数の爪を有し、当該天板は前記複数の爪により前記胴体に締め付けられている請求項１記載の液体薬品の分配方法。
5. 前記天板に吊手を備える請求項２記載の液体薬品の分配方法。
6. 前記胴体の前記天板側に設けられた一対のイヤーと、当該一対のイヤーと回動可能に連結するつる状の取っ手と、を備える請求項３又は４記載の液体薬品の分配方法。
7. 前記胴体は、直円柱状に形成される請求項１から６のいずれかに記載の液体薬品の分配方法。
8. 前記胴体は、前記天板側の面積が前記地板側の面積より大きい直円すい台状に形成される請求項１から６のいずれかに記載の液体薬品の分配方法。
9. 前記天板の周縁、及び／又は、前記地板の周縁に損傷保護体を設けている請求項１から８のいずれかに記載の液体薬品の分配方法。
10. 前記内側容器は、ポリオレフィンで成形されている請求項１から９のいずれかに記載の液体薬品の分配方法。
11. 前記液体薬品は、感光性樹脂組成物を含む請求項１から１０のいずれかに記載の液体薬品の分配方法。

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