JP5291545B2 - 形状測定方法及び形状測定装置 - Google Patents
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Description
光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸に取り付けられた球体の形状を測定する形状測定方法であって、
前記球体と、前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材を、前記光軸上に配置する工程と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記球体の写像を前記撮像部で撮像する工程と、
前記撮像部で撮像された複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する工程と、
前記回転軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する工程と、
前記第1情報に応じて前記第2情報を補正し、その補正された第2情報に基づいて、前記球体の形状を測定する工程と、
を備えることを特徴とする。
光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸に取り付けられた球体の形状を測定する形状測定方法であって、
前記球体と、前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材を、前記光軸上に配置する工程と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記球体の写像を前記撮像部で撮像する工程と、
前記撮像部で撮像された複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する工程と、
前記回転軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する工程と、
前記回転軸及び前記光軸に直交する軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第3情報を取得する工程と、
前記第1情報に応じて前記第2情報及び前記第3情報を補正し、その補正された第2情報と第3情報とに基づいて、前記球体の形状を測定する工程と、
を備えることを特徴とする。
前記光学部材は、テレセントリックレンズであることを特徴とする。
光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸を有し、この回転軸に設けられた球体の形状を測定する形状測定装置であって、
光源と撮像部の間の光軸上に配される前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる第一回転手段と、
前記第一回転手段により前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された前記球体の複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する第1情報取得手段と、
前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる第二回転手段と、
前記第二回転手段により前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する第2情報取得手段と、
前記第1情報に応じて前記第2情報を補正し、その補正された第2情報に基づいて、前記球体の形状を測定する形状測定手段と、
を備えることを特徴とする。
光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸を有し、この回転軸に設けられた球体の形状を測定する形状測定装置であって、
光源と撮像部の間の光軸上に配される前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる第一回転手段と、
前記第一回転手段により前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された前記球体の複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する第1情報取得手段と、
前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる第二回転手段と、
前記第二回転手段により前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する第2情報取得手段と、
前記球体を前記光軸及び前記回転軸と直交する第三の軸回りに所定の角度で回転させる第三回転手段と、
前記第三回転手段により前記球体を前記第三の軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第3情報を取得する第3情報取得手段と、
前記第1情報に応じて前記第2情報及び前記第3情報を補正し、その補正された第2情報と第3情報に基づいて、前記球体の形状を測定する形状測定手段と、
を備えることを特徴とする。
前記光学部材は、テレセントリックレンズであることを特徴とする。
そして、球体を回転軸回りに所定の角度で回転させる度に撮像部により撮像された、回転軸と平行な面の球体の複数の断面形状に基づき取得した第2情報に対して、第1情報に応じた補正を施すことができるので、従来技術のようにアパーチャを測定基準として用いなくても、より正確に球体の形状測定を行うことができる。
特に、アパーチャを使用せずとも、正確な球体の形状測定を行うことができるので、様々なサイズの球体の形状測定が可能となり、形状測定の作業性を向上させることができる。
形状測定装置100は、例えば、図1に示すように、光源部10と、球体200を回転支持する回転機構30と、対物レンズ40と、撮像部50と、画像処理部60と、を備え、光源部10から照射される光の光軸Lに沿い、球体200、対物レンズ40、撮像部50の順に配置されている。
第2操作棒32bは、例えば、かさ歯車やウォームギアなどを介してステム201の他端側と連結されており、第2操作棒32bを回すことで、ステム201を回動させて球体200をステム軸回りに回転させることができる。
内環部31aの外周面は、外環部31cの内周面とほぼ同じ径の円に相当する曲面を有しており、内環部31aは、外環部31cの内周面に沿って回転可能に備えられている。
そして、第1操作棒31bを掴んで内環部31aをその円周方向に回転させることで、内環部31aとともに球体200を光軸回りに回転させることができる。なお、この円環状の内環部31aの曲率中心と球体200の中心とが一致するように形成されており、内環部31aを回転させた際、球体200の中心と光軸Lの位置を調整することなく、球体200を光軸Lを中心として回転させることができる。
保持部33aのスロープ面は略半円形状の曲面を有しており、その半円の曲率中心は、球体200の中心に一致するように形成されている。従って、可動部33cをスライドさせた際、球体200の中心と光軸Lの位置を調整することなく、ステム201を所定の角度に傾けることができる。
そして、第3操作棒33bは、例えば、ラックピニオンなどを介して可動部33cと連結されており、第3操作棒33bを操作することで、可動部33cをスライド移動させて球体200を第3の軸回りに回転させることができる。
具体的には、図3に示すように、光源部10から出力された光が球体200を照射してできる写像を、対物レンズ40を通して撮像する。
表示部64は、撮像部50により撮像された写像や、画像処理結果等を表示する。
CPU61が、第1情報取得プログラム63aを実行することにより、球体200を光軸L回りに所定の角度で回転させる度に、撮像部50により撮像された球体200の複数の写像(図4参照)に基づき、光学部材である対物レンズ40の収差に関する第1情報を取得する。
つまり、CPU61は、第1情報取得プログラム63aを実行することで、第1情報取得手段として機能する。
そして、最初に撮像された球体200の一断面が360°回転するまで、球体200を光軸L回りに所定の角度で回転させる度に断面形状を撮像する一連の動作を繰り返して、複数の断面形状に関する複数の写像情報を取得し(図4参照)、その複数の写像情報に基づき対物レンズ40の収差に関する第1情報を取得する。
なお、光軸L回りに球体200を回転させて、それぞれの角度で撮像した、球体200の断面形状の写像は、球体200の同一断面を異なる回転角で撮像したものである。
対物レンズ40が、理想レンズでない限り、少なからず収差が存在する。
その収差を有する対物レンズ40で撮像した写像には、収差の影響により歪んだ誤差(系統誤差)が含まれているといえる。
そこで、固定された対物レンズ40に対し、球体200を光軸L回りに回転させて、球体200の同一断面を異なる回転角で撮像することで、写像中に対物レンズ40の収差に関する誤差成分を固定するようにして、球体200の同一断面の写像を複数撮像する。
そして、撮像して取得した複数の写像情報に対して、周知のマルチステップ法による演算処理を施すことで、写像における球体200の真の断面形状成分と、収差に関する誤差成分を分離するように求める。例えば、マルチステップ法によって球体200の一断面形状を定めた後、その定められた球体200の一断面形状と各写像情報の相違点を抽出するように処理することで、形状測定装置100の系統誤差成分である対物レンズ40の収差に関する誤差成分を求めることができる。
なお、球体200の形状成分とともに、対物レンズ40の収差など形状測定装置100の系統誤差成分を分離して求めることを可能にするマルチステップ法は周知の技術であるので、ここでは詳述しない。
CPU61が、第2情報取得プログラム63bを実行することにより、球体200をステム201軸回りに所定の角度で回転させる度に、撮像部50により撮像された球体200の複数の写像(図3参照)に基づき、ステム201を軸回りに回転させたときの、光軸Lと直交する面に平行な球体200の断面形状に関する第2情報を取得する。
つまり、CPU61は、第2情報取得プログラム63bを実行することで、第2情報取得手段として機能する。
そして、最初に撮像された球体200の一断面が180°回転するまで、球体200をステム201の軸回りに所定の角度で回転させる度に断面形状を撮像する一連の動作を繰り返して、図5(球形状を表す細線)に示すように、ステム201を軸回りに回転させたときの、光軸Lと直交する面に平行な球体200の複数の断面形状に関する第2情報を取得する。
CPU61が、第3情報取得プログラム63cを実行することにより、ステム201の軸方向及び光軸L方向に直交する軸回りに球体200を所定の角度で回転させる度に、光軸Lと直交する面に平行な球体200の一断面形状を撮像部50によって撮像し、撮像された球体200の一断面形状の写像についてエッジ検出を行うことによって、球体200の断面形状に関する第3情報を取得する。
つまり、CPU61は、第3情報取得プログラム63cを実行することで、第3情報取得手段として機能する。
そして、最初に撮像された球体200の一断面が所定の角度回転するまで、ステム201の軸方向及び光軸L方向に直交する軸回りに所定の角度で回転させる度に断面形状を撮像する一連の動作を繰り返して、ステム201の軸方向及び光軸L方向に直交する軸回りに球体200を回転させたときの、光軸Lと直交する面に平行な球体200の複数の断面形状に関する第3情報を取得する。
CPU61が、形状測定プログラム63dを実行することにより、第1情報に応じて対物レンズ40の収差に関して補正された、光軸Lと直交する面に平行な球体200の断面形状に関する複数の第2情報に基づいて、球体200の立体形状を算出する。
つまり、CPU61は、形状測定プログラム63dを実行することで、形状測定手段として機能する。
具体的には、形状測定手段としてのCPU61は、第1情報に応じて対物レンズ40の収差に関して補正された第2情報である複数の断面形状を算出し、その算出された球体200の複数の断面形状それぞれについて中心位置(円の中心)を求める。そして、各中心位置が合致するように複数の断面形状を合成して得られた立体形状(図5参照)に基づいて球形状を算出する。
なお、第1情報は、球体200のエッジ位置における半径方向の収差(系統誤差)に関する情報であり、誤差の大きさの値として得られる。そして、第2情報から第1情報を減算するように、第2情報について収差の補正がなされる。
CPU61が、形状測定プログラム63dを実行することにより、第1情報に応じて対物レンズ40の収差に関して補正された、ステム201を軸回りに回転させたときの光軸Lと直交する面に平行な球体200の断面形状に関する第2情報と、X軸に平行な軸回りに球体200を回転させたときの光軸Lと直交する面に平行な球体200の断面形状に関する第3情報とに基づいて、球体200の立体形状を算出する。
つまり、CPU61は、形状測定プログラム63dを実行することで、形状測定手段として機能する。
具体的には、形状測定手段としてのCPU61は、第1情報に応じて対物レンズ40の収差に関して補正された第2情報である複数の断面形状と、第1情報に応じて対物レンズ40の収差に関して補正された第3情報である複数の断面形状を算出し、その算出された球体200の複数の断面形状それぞれについて中心位置(円の中心)を求める。そして、各中心位置が合致するように断面形状を合成して得られた立体形状(図7参照)に基づいて球形状を算出する。
このように、第2情報に対応する複数の断面形状と、第3情報に対応する複数の断面形状を求めて、より多くの断面形状を合成するようにして得られた立体形状は、より高精度に測定された球体20の立体形状であるといえる。
例えば、垂直なステム201に取り付けられた球体200の、光軸Lと直交する面に平行な断面形状と、第3の回転部33によって傾けられたステム201に取り付けられた球体200の、光軸Lと直交する面に平行な断面形状との、断面形状間の所定の拘束条件を用いることにより、第2情報取得プログラム63bの実行により取得された第2情報および第3情報取得プログラム63cの実行により取得された第3情報に基づき、球体200のステム201と平行な球体200における断面形状間の相対的な位置を求めて、それら複数の断面形状を合成するようにして球体200の立体形状を算出する、という手法をとることもできる。
具体的には、形状測定手段としてのCPU61は、第1情報に基づき対物レンズ40の収差に関して補正された第2情報および第3情報に対応する各断面形状の中心をノミナルな円の中心と合致させる。なお、このとき、各断面形状の最小二乗円を求め、この最小二乗円の中心(仮の中心)をノミナルな円の中心と合致させてもよい。
そして、互いに交差する2つのノミナルな断面(理想球体の断面)であれば、各断面による円形状は、2交点を持つはずであるが、実際には測定誤差が含まれるため、完全には一致しない。そこで、2つのノミナルな断面による円形状の交点を結ぶ直線方向に円形状を平行移動させ、同一点の位置が等しくなるようにする(差が最小となるようにする)。これについて第2情報および第3情報に対応する全ての断面の組み合わせを考えて、最小二乗法等により最適な調整量を求める。
そして、求められた調整量に基づいて、ステム201と平行な球体200の断面形状の夫々を平行移動させ合成することにより、球体200の形状のマップデータを求め、球形状を算出する。また、このデータにより、真球度(最小二乗球からの偏差や、最大内接球と最小外接球の差など)を算出することができる。
このように、最適な調整量に基づいて、ステム201と平行な球体200の断面形状の夫々を平行移動させて合成して得られた立体形状に基づき球形状を算出する手法は、周知の技術であるので、ここでは詳述しない。
次いで、第1情報取得手段としてのCPU61が、球体200の写像を撮像部50で撮像し、写像情報を取得する(ステップS2)。
次いで、第1の回転部31を操作して、球体200を光軸L回りに所定角度(例えば、18°)回転させ(ステップS3)、第1情報取得手段としてのCPU61が、その角度における球体200の写像を撮像部50で撮像し、写像情報を取得する(ステップS4)。
そして、球体200を光軸L回りに360°回転し終えていなければ(ステップS5;No)、ステップS3に戻る。
一方、球体200を光軸L回りに360°回転させて、光軸L回りの回転に対する球体200の撮像を終えていれば(ステップS5;Yes)、第1情報取得手段としてのCPU61が、得られた複数の写像情報に対して、周知のマルチステップ法による演算処理を施して、対物レンズ40の収差に関する第1情報を取得する(ステップS6)。
次いで、第2の回転部32を操作して、球体200をステム201軸回りに所定角度(例えば、18°)回転させ(ステップS8)、第2情報取得手段としてのCPU61が、その角度における球体200の写像を撮像部50で撮像し、断面形状に関する第2情報を取得する(ステップS9)。
そして、球体200をステム201の軸回りに180°回転し終えていなければ(ステップS10;No)、ステップS8に戻る。
一方、球体200をステム201の軸回りに180°回転させて、ステム201軸回りの回転に対する球体200の撮像を終えていれば(ステップS10;Yes)、ステップS11へ進む。
こうして、球体200を様々な角度から撮像した複数の写像から取得した、第1情報、第2情報、第3情報に基づき、球体200の球形状を算出することで、球体200の形状測定が行われる。
そして、第2の回転部32によって、球体200をステム201の軸回りに所定の角度で回転させる度に、球体200を撮像して得た球体200の断面形状に関する複数の第2情報、および第3の回転部33によって、球体200をステム201の軸方向及び光軸L方向に直交する軸回りに所定の角度で回転させる度に、球体200を撮像して得た球体200の断面形状に関する複数の第3情報に対して、その第1情報に応じた補正を施すことができるので、従来技術のようにアパーチャを測定基準として用いなくても、より正確に球体200の形状測定を行うことができる。
特に、アパーチャを使用せずとも、正確な球体200の形状測定を行うことができるので、直径が異なる様々なサイズの球体の形状測定が可能となり、形状測定の作業性を向上させることができる。
次に、本発明に係る形状測定装置の実施形態2について説明する。なお、実施形態1と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
第2テレセントリックレンズ22は、光軸Lに沿った平行光が球体200を照射してできる写像を、撮像部50の撮像面に結像させる光学部材である。
こうして球体200からの平行光が写像形成に関わるため、球体200の位置の変化による写像の倍率変動が小さい。
そのため、球体200の位置ずれによる写像の倍率変化を抑えることができ、特に、回転機構30により球体200を回転させた際の運動誤差によって生じる位置ずれによる写像の倍率変化を抑えることができる。また、光の回折を緩和させることができる。
その結果、好適に写像を撮像することができ、より好適な形状測定を行うことが可能になる。
なお、第1テレセントリックレンズ21と第2テレセントリックレンズ22の開口数(numerical aperture;N.A.)を一致させることが好ましい。光源部10側の第1テレセントリックレンズ21と、撮像部50側の第2テレセントリックレンズ22の開口数(N.A.)を一致させることによって、より高品質の画像を取得することが可能になる。
また、光学部材は、テレセントリックレンズであることに限らず、一般的な対物レンズなど、その他のレンズであってもよい。
21 第1テレセントリックレンズ(光学部材)
22 第2テレセントリックレンズ(光学部材)
30 回転機構
31 第1の回転部(第一回転手段)
32 第2の回転部(第二回転手段)
33 第3の回転部(第三回転手段)
40 対物レンズ(光学部材)
50 撮像部
60 画像処理部
61 CPU
63 記憶部
63a 第1情報取得プログラム
63b 第2情報取得プログラム
63c 第3情報取得プログラム
63d 形状測定プログラム
100、101 形状測定装置
200 球体
201 ステム(回転軸)
Claims (6)
- 光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸に取り付けられた球体の形状を測定する形状測定方法であって、
前記球体と、前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材を、前記光軸上に配置する工程と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記球体の写像を前記撮像部で撮像する工程と、
前記撮像部で撮像された複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する工程と、
前記回転軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する工程と、
前記第1情報に応じて前記第2情報を補正し、その補正された第2情報に基づいて、前記球体の形状を測定する工程と、
を備えることを特徴とする形状測定方法。 - 光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸に取り付けられた球体の形状を測定する形状測定方法であって、
前記球体と、前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材を、前記光軸上に配置する工程と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記球体の写像を前記撮像部で撮像する工程と、
前記撮像部で撮像された複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する工程と、
前記回転軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する工程と、
前記回転軸及び前記光軸に直交する軸回りに前記球体を所定の角度で回転させる度に、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の断面形状に関する第3情報を取得する工程と、
前記第1情報に応じて前記第2情報及び前記第3情報を補正し、その補正された第2情報と第3情報とに基づいて、前記球体の形状を測定する工程と、
を備えることを特徴とする形状測定方法。 - 前記光学部材は、テレセントリックレンズであることを特徴とする請求項1又は2に記載の形状測定方法。
- 光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸を有し、この回転軸に設けられた球体の形状を測定する形状測定装置であって、
光源と撮像部の間の光軸上に配される前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる第一回転手段と、
前記第一回転手段により前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された前記球体の複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する第1情報取得手段と、
前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる第二回転手段と、
前記第二回転手段により前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する第2情報取得手段と、
前記第1情報に応じて前記第2情報を補正し、その補正された第2情報に基づいて、前記球体の形状を測定する形状測定手段と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 光源から撮像部に向かって出射される光の光軸に対して直交する方向に延在する回転軸を有し、この回転軸に設けられた球体の形状を測定する形状測定装置であって、
光源と撮像部の間の光軸上に配される前記球体に光を照射してできる写像を前記撮像部に結像させる光学部材と、
前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる第一回転手段と、
前記第一回転手段により前記球体を前記光軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された前記球体の複数の写像に基づき、前記光学部材の収差に関する第1情報を取得する第1情報取得手段と、
前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる第二回転手段と、
前記第二回転手段により前記球体を前記回転軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第2情報を取得する第2情報取得手段と、
前記球体を前記光軸及び前記回転軸と直交する第三の軸回りに所定の角度で回転させる第三回転手段と、
前記第三回転手段により前記球体を前記第三の軸回りに所定の角度で回転させる度に、前記撮像部により撮像された、前記光軸と直交する面に平行な前記球体の複数の断面形状に基づき、前記球体の断面形状に関する第3情報を取得する第3情報取得手段と、
前記第1情報に応じて前記第2情報及び前記第3情報を補正し、その補正された第2情報と第3情報に基づいて、前記球体の形状を測定する形状測定手段と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記光学部材は、テレセントリックレンズであることを特徴とする請求項4又は5に記載の形状測定装置。
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