JP5291049B2 - 平面光波回路および受光デバイス - Google Patents
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Description
本発明は、前述の課題を鑑み、受光面に入射するビームの位置を調整可能にすることで、製造時に発生したビームの位置ずれによる受光感度の劣化を補償可能な受光デバイスを提供する。
図3に示す構成の光導波路回路を作成した。分波部および合波部を方向性結合器により構成し、入力側導波路304,アーム導波路308、310、出力側干渉導波路312、314をコア径7μm、コアとクラッドの屈折率差0.4%の導波路として作成した。2本の出力側干渉導波路312および314のギャップ(間隔)は3μmとした。
図7は、本発明の実施形態の受光デバイスの構成を示す。図7に示す受光デバイスは、PLC702と、PDモジュールとしてのCSP−PD414とにより構成される。PLC702は、入力側から入力側導波路704、光を等分岐するY分岐回路706、Y分岐回路に続き接続された導波路アーム708および導波路アーム710、これら導波路アームと接続された多モード干渉計720により構成される。
12 筐体
13 蓋
14、414 受光面
15 フォトダイオード
21、302、702 PLC
22、300、700 シリコン基板
23 ミラー
24、304、308、310、312、314、704、708、710 光導波路
25 ミラー溝
26 ミラー支持体
304 方向性結合器
706 Y分岐回路
720 多モード干渉計
Claims (9)
- 光が入力される光入力部と、
該光入力部に接続され、2つに前記光を分岐する分波部と、
該分波部に接続され、分岐された2つの前記光に位相差を付与する位相付与部と、
該位相付与部に接続され、分岐された2つの前記光を合波する合波部と、
該合波部に接続され、スラブ干渉導波路または2本の近接した干渉導波路を有する光出力部と
を有する平面光波回路であって、
前記分波部は、光を2分岐するY分岐回路、方向性結合器、多モード干渉計のいずれか一つであり、
前記分波部と前記合波部と前記光出力部は、前記位相付与部において付与された前記位相差がゼロの場合には、前記光出力部において干渉後の前記光のフィールド重心が前記スラブ干渉導波路または前記2本の近接した干渉導波路の出力端面の中心となり、前記位相差がπ/2の場合には、前記フィールド重心が前記出力端面の一方の端部に移動し、前記位相差が3π/2の場合には、前記フィールド重心が前記出力端面の他方の端部に移動するように構成され、
前記位相付与部は、前記出力端面から出力される光の、該光と光学的に結合させる受光素子の受光面に対する位置ずれを補正するように、前記位相差を付与する
ことを特徴とする平面光波回路。 - 前記分波部が多モード干渉計であり、
前記合波部が多モード干渉計である
ことを特徴とする請求項1に記載の平面光波回路。 - 前記分波部と前記位相調整部と前記合波部とが、アレイ導波路回折格子を構成していることを特徴とする請求項1に記載の平面光波回路。
- 前記平面光波回路は光路変換ミラーを備え、
前記干渉導波路の出力端面から出力される光は、前記光路変換ミラーにて光路を変換される
ことを特徴とする請求項1に記載の平面光波回路。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の前記平面光波回路と前記受光素子とを有する受光デバイスにおいて、
前記受光素子の受光感度が最大となるように、前記位相付与部において前記位相差を付与させるための位相付与手段を有する
ことを特徴とする受光デバイス。 - 前記位相付与手段はヒータである
ことを特徴とする請求項5記載の受光デバイス。 - 光が入力される光入力部と、該光入力部に接続され、2つに前記光を分岐する分波部と、該分波部に接続され、分岐された2つの前記光に位相差を付与する位相付与部と、該位相付与部に接続され、分岐された2つの前記光を合波する合波部と、該合波部に接続され、スラブ干渉導波路または2本の近接した干渉導波路を有する光出力部とを有する平面光波回路と、
受光素子と
を固定するステップと、
前記光入力部から光を入射するステップと、
前記受光素子が受光する光量をモニタするステップと、
前記光量が所望の値となるように、前記位相付与部において位相を調整するステップと
を有し、
前記分波部は、光を2分岐するY分岐回路、方向性結合器、多モード干渉計のいずれか一つであり、
前記分波部と前記合波部と前記光出力部は、前記位相付与部において付与された前記位相差がゼロの場合には、前記光出力部において干渉後の前記光のフィールド重心が前記スラブ干渉導波路または前記2本の近接した干渉導波路の出力端面の中心となり、前記位相差がπ/2の場合には、前記フィールド重心が前記出力端面の一方の端部に移動し、前記位相差が3π/2の場合には、前記フィールド重心が前記出力端面の他方の端部に移動するように構成され、
前記位相を調整するステップでは、前記出力端面から出力される光の前記受光素子の受光面に対する位置ずれを補正するように、前記位相差を付与する
ことを特徴とする受光デバイスの実装方法。 - 前記位相を調整するステップは、紫外線照射による位相トリミングによって行うことを特徴とする請求項7記載の受光デバイスの実装方法。
- 前記位相を調整するステップは、熱による局所クエンチを用いた位相トリミングによって行うことを特徴とする請求項7記載の受光デバイスの実装方法。
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