JP5283352B2 - 基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハやガラス基板などの基板に対して所定の処理を施す基板処理装置に関する。

半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハやガラス基板に対して、洗浄処理などの種々の処理が施される。
半導体ウエハやガラス基板などの基板に対する処理に用いられる基板処理装置は、プロセスレシピファイルを保存しておくためのメモリを備えている。プロセスレシピファイルは、基板に対する処理の手順および条件を既定するものである。基板処理装置では、基板に対して、そのメモリに保存されたプロセスレシピファイルに従った処理が施される。そのため、基板処理装置の使用に先立って、プロセスレシピファイルを作成し、これをメモリに入力しておかなければならない。

プロセスレシピファイルの作成のために、基板処理装置では、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ：Graphical User Interface）が採用されている。基板処理装置に備えられるディスプレイには、たとえば、基板に対する処理を構成する各ステップごとに各種条件（たとえば、基板の回転数、基板に対する薬液の供給の有無など）を入力するための欄を設けた表形式の画面が表示される。この画面において、各欄に条件（数値）を入力することにより、プロセスレシピファイルを作成することができる。
特開２００２−２３６５１４号公報

しかし、画面の構成を完全に理解している者でなければ、各種条件を適切な欄にスムーズに入力することができず、プロセスレシピファイルの作成に手間および時間を要してしまう。
そこで、本発明の目的は、プロセスレシピファイルを容易に作成することができる、基板処理装置を提供することである。

前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板に対して複数のステップからなる手順および各ステップにおける複数の条件を規定したプロセスレシピファイルに従った処理を施す基板処理装置において、表示器（２）と、標準的な処理の手順および条件からなる基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力可能なウィザード画面を前記表示器に表示させるためのシナリオファイル、および前記基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける条件を規定する部分レシピファイルを定義ファイルとして記憶する定義ファイル記憶手段（１１）と、前記定義ファイル記憶手段に記憶されている前記シナリオファイルに基づいて、前記ウィザード画面を前記表示器に表示させるウィザード画面表示手段（１３）と、前記ウィザード画面での入力に基づいて、前記所定のステップに対応する前記部分レシピファイルを更新し、その更新後の全ての前記部分レシピファイルからプロセスレシピファイルを作成するレシピファイル作成手段（１４）と、前記プロセスレシピ作成手段で作成されたプロセスレシピファイルを記憶するレシピファイル記憶手段（１２）と、前記ウィザード画面で入力可能にする前記所定の条件を選択するための選択画面を前記表示器に表示させ、前記選択画面での選択結果に基づいて、前記シナリオファイルを作成し、このシナリオファイルを各ステップに対応する前記部分レシピファイルと合わせることにより、前記定義ファイルを作成する定義ファイル作成手段（１５）とを含み、前記レシピファイル作成手段は、プロセスレシピファイルの作成時に、前記ウィザード画面で入力された前記所定の条件を特定するためのメタデータをプロセスレシピファイルに組み込み、前記メタデータに基づいて、前記ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面を前記表示器に表示させる簡易編集画面表示手段（１６）と、前記簡易編集画面での入力に基づいて、前記レシピファイル記憶手段に記憶されているプロセスレシピファイルを更新するレシピファイル更新手段（１７）とを含む、基板処理装置である。

なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、定義ファイル記憶手段には、シナリオファイルと複数の部分レシピファイルとを含む定義ファイルが記憶されている。シナリオファイルは、予め定める基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力可能なウィザード画面を表示器に表示させるためのデータである。また、部分レシピファイルは、基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける各条件を規定するデータである。ウィザード画面表示手段は、シナリオファイルに基づいて、ウィザード画面を表示器に表示させる。このウィザード画面で条件が入力されると、レシピファイル作成手段は、ウィザード画面での入力に基づいて、所定のステップに対応する部分レシピファイルを更新する。そして、更新後の全ての部分レシピファイルからプロセスレシピファイルを作成し、そのプロセスレシピファイルをレシピファイル記憶手段に記憶させる。

このように、表示器に表示されるウィザード画面で条件を入力すれば、プロセスレシピファイルが作成される。したがって、プロセスレシピファイルの作成に手間および時間がかからず、プロセスレシピファイルの作成に精通した者でなくても、プロセスレシピファイルを容易に作成することができる。

また、定義ファイル作成手段は、ウィザード画面で入力可能にする条件を選択するための選択画面を表示器に表示させる。この選択画面で条件が選択されると、定義ファイル作成手段は、選択結果に基づいて、シナリオファイルを作成し、このシナリオファイルを各ステップに対応する部分レシピファイルと合わせることにより、定義ファイルを作成する。

このように、表示器に表示される選択画面で条件を選択すれば、定義ファイルが作成される。これにより、ウィザード画面で入力可能にする条件を変更したい場合に、新たな定義ファイルを容易に作成することができる。

また、プロセスレシピファイルには、その作成時にウィザード画面で入力された条件を特定するためのメタデータが組み込まれる。簡易編集画面表示手段は、メタデータに基づいて、ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面を表示器に表示させる。この簡易編集画面で条件が再設定されると、レシピファイル更新処理手段は、その再設定の内容に基づいて、レシピファイル記憶手段に記憶されているプロセスレシピファイルを更新する。

ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面が表示器に表示されるので、プロセスレシピファイルの作成後に、ウィザード画面で入力した条件を容易に変更（再設定）することができる。
また、請求項２に記載のように、前記レシピファイル作成手段は、前記レシピファイル記憶手段に記憶されているプロセスレシピファイルを前記メタデータから独立して編集するためのレシピ編集画面を、前記表示器に表示させるレシピ編集画面表示手段と、前記表示器の表示内容を、前記簡易編集画面と前記レシピ編集画面との間で切換え制御表示内容切換制御手段とをさらに含んでいてもよい。

以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。
基板処理装置は、半導体ウエハなどの基板に対して、複数のステップからなる手順および各ステップにおける条件を規定したプロセスレシピファイルに従った処理を施すものである。処理対象となる基板としては、半導体ウエハ以外に、たとえば、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などを例示することができる。

基板処理装置は、コンピュータ１、ディスプレイ２および入力デバイス３を備えている。入力デバイス３としてキーボードやポインティングデバイスが採用されることにより、ディスプレイ２および入力デバイス３が別々に設けられていてもよいし、入力デバイス３としてタッチパネルが採用されることにより、ディスプレイ２および入力デバイス３が一体的に設けられていてもよい。

コンピュータ１は、ＣＰＵおよびメモリ（ＲＡＭ、ＲＯＭを含む。）などで構成され、定義ファイル記憶部１１、レシピファイル記憶部１２、ウィザード画面表示制御部１３、レシピファイル作成処理部１４、定義ファイル作成処理部１５、簡易編集画面表示制御部１６およびレシピファイル更新処理部１７を実質的に備えている。
定義ファイル記憶部１１およびレシピファイル記憶部１２は、メモリの記憶領域のそれぞれ一部からなる。

定義ファイル記憶部１１には、シナリオファイルと複数の部分レシピファイルとを含む定義ファイルが保存される。シナリオファイルは、後述するウィザード画面をディスプレイ２に表示させるためのデータである。基板処理装置における標準的な処理の手順および条件であるプロセスレシピを基準プロセスレシピとして、部分レシピファイルは、その基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける各条件を規定する。

レシピファイル記憶部１２には、プロセスレシピファイルが保存される。
ウィザード画面表示制御部１３、レシピファイル作成処理部１４、定義ファイル作成処理部１５、簡易編集画面表示制御部１６およびレシピファイル更新処理部１７は、ＣＰＵがメモリに保存されているプログラムを実行することにより実現される。
ウィザード画面表示制御部１３は、定義ファイル記憶部１１に保存されている定義ファイル中のシナリオファイルに基づいて、プロセスレシピファイルの作成のためのウィザード画面をディスプレイ２に表示させる。ウィザード画面では、基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力することができる。

レシピファイル作成処理部１４は、ウィザード画面での条件の入力に基づいて、所定のステップに対応する部分レシピファイルを更新する。そして、更新後の全ての部分レシピファイルからプロセスレシピファイルを作成し、そのプロセスレシピファイルをレシピファイル記憶部１２に保存する。また、レシピファイル作成処理部１４は、プロセスレシピファイルの作成時にウィザード画面で入力された条件を特定するためのメタデータをプロセスレシピファイルに組み込む。

定義ファイル作成処理部１５は、後述する定義ファイル作成処理を実行することにより定義ファイルを作成し、その定義ファイルを定義ファイル記憶部１１に保存する。
簡易編集画面表示制御部１６は、レシピファイル記憶部１２に保存されているプロセスレシピファイルに含まれるメタデータを参照し、このメタデータに基づいて、ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面をディスプレイ２に表示させる。

レシピファイル更新処理部１７は、簡易編集画面での条件の入力（再設定）に基づいて、レシピファイル記憶部１２に保存されているプロセスレシピファイルを更新して、レシピファイル記憶部１２に再保存する。
図２〜図４は、ウィザード画面の例を示す図である。
基板処理装置において、基板を薬液により洗浄する薬液洗浄ステップ、薬液洗浄ステップ後の基板に付着している薬液などを純水で洗い流す純水洗浄ステップ、および純水洗浄ステップ後の基板に付着している純水を基板の高速回転によって振り切るスピン振り切りステップからなる処理が行われる場合を例にとって、プロセスレシピファイルの作成の手順を説明する。

プロセスレシピファイルの作成に際して、ユーザ（プロセスレシピ作成者）は、入力デバイス３を操作して、プロセスレシピファイルの作成のためのウィザード（プロセスレシピファイル作成ウィザード）を起動させる。このウィザード起動は、たとえば、ディスプレイ２に表示されるウィザード起動ボタン（図６に示すレシピ編集画面において右端部に配置される「Recipe Wizerd」ボタン）をクリックすることにより達成される。

ウィザードが起動すると、たとえば、図２に示すウィザード画面がディスプレイ２に表示される。図２に示すウィザード画面では、画面中央部に、純水洗浄ステップが継続される時間（純水洗浄時間）を入力する欄が配置されており、その入力欄に入力デバイス３からユーザが所望する時間を入力することができる。また、図２に示すウィザード画面の下端部には、「次へ」ボタンおよび「キャンセル」ボタンが左右に並んで配置されている。「次へ」ボタンがクリックされると、図２に示すウィザード画面から次のウィザード画面（図３に示すウィザード画面）に切り替わる。「キャンセル」ボタンがクリックされると、図２に示すウィザード画面が閉じ、このウィザードが強制終了される。

図３に示すウィザード画面では、スピン振り切りステップにおいて、基板の表面付近の雰囲気を制御するための遮断板を使用するか否かを設定することができる。具体的には、図３に示すウィザード画面では、画面中央部に、「乾燥時 遮断板を使用する」および「乾燥時 遮断板を使用しない」の表記が上下に並べて配置されており、入力デバイス３を用いて、どちらか一方の表記を選択することができる。各表記の左側には、選択マーク表示部分が設けられており、選択された表記の左側の選択マーク表示部分には、選択されたことを表すマーク「●」が表示される。また、図３に示すウィザード画面の下端部には、「戻る」ボタン、「次へ」ボタンおよび「キャンセル」ボタンが左右に並んで配置されている。「戻る」ボタンがクリックされると、図２に示すウィザード画面が再び表示される。「次へ」ボタンがクリックされると、図３に示すウィザード画面から次のウィザード画面（図４に示すウィザード画面）に切り替わる。「キャンセル」ボタンがクリックされると、図３に示すウィザード画面が閉じ、図２に示すウィザード画面で入力された条件は破棄されて、このウィザードが強制終了される。

図４に示すウィザード画面では、画面中央部に、スピン振り切りステップが継続される時間（スピン振り切り時間）を入力する欄が配置されており、その入力欄に入力デバイス３からユーザが所望する時間を入力することができる。また、図４に示すウィザード画面の下端部には、「戻る」ボタン、「次へ」ボタンおよび「キャンセル」ボタンが左右に並んで配置されている。「戻る」ボタンがクリックされると、図３に示すウィザード画面が再び表示される。「次へ」ボタンがクリックされると、図４に示すウィザード画面から次のウィザード画面（図５に示すウィザード画面）に切り替わる。「キャンセル」ボタンがクリックされると、図４に示すウィザード画面が閉じ、図２および図３に示すウィザード画面で入力された各条件は破棄されて、このウィザードが強制終了される。

図５に示すウィザード画面では、「完了ボタンを押すとレシピを出力します」とのメッセージが表示される。また、図５に示すウィザード画面の下端部には、「戻る」ボタン、「完了」ボタンおよび「キャンセル」ボタンが左右に並んで配置されている。「戻る」ボタンがクリックされると、図４に示すウィザード画面が再び表示される。「完了」ボタンがクリックされると、図５に示すウィザード画面が閉じ、ディスプレイ２には、後述する図６に示すレシピ編集画面が表示される。また、レシピファイル作成処理部１４によって、プロセスレシピファイルが作成される。「キャンセル」ボタンがクリックされると、図４に示すウィザード画面が閉じ、図２、図３および図４に示すウィザード画面で入力された各条件は破棄されて、このウィザードが強制終了される。

レシピファイル作成処理部１４は、図５に示すウィザード画面で「完了」ボタンが押されると、定義ファイル記憶部１１に保存されている定義ファイルから純水洗浄ステップに対応する部分レシピファイルを読み出し、図２に示すウィザード画面で入力された純水洗浄時間に基づいて、その部分レシピファイルを更新する。また、定義ファイル記憶部１１に保存されている定義ファイルからスピン振り切りステップに対応する部分レシピファイルを読み出し、図３に示すウィザード画面で選択された条件（遮断板を使用するか否か）および図４に示すウィザード画面で入力されたスピン振り切り時間に基づいて、その部分レシピファイルを更新する。そして、それらの更新後の部分レシピファイルと定義ファイル記憶部１１に記憶されている薬液洗浄ステップに対応する部分レシピファイルとから、図２〜図４に示すウィザード画面で入力された各条件を反映したプロセスレシピファイルを作成し、これに各条件を特定するためのメタデータを組み込んで、そのプロセスレシピファイルをレシピファイル記憶部１２に保存する。

このように、ディスプレイ２に表示されるウィザード画面で条件を入力すれば、プロセスレシピファイルが作成される。したがって、プロセスレシピファイルの作成に手間および時間がかからず、プロセスレシピファイルの作成に精通した者でなくても、プロセスレシピファイルを容易に作成することができる。
図６は、レシピ編集画面の一例を示す図である。

図５に示すウィザード画面で「完了」ボタンが押された後、プロセスレシピファイルがレシピファイル記憶部１２に保存されると、図６に示すレシピ編集画面がディスプレイ２に表示される。レシピ編集画面には、表形式の条件入力欄、レシピタイトル欄、コメント欄および複数のボタンが配置されている。
条件入力欄では、各行に基板に対する処理におけるステップが１つずつ割り当てられ、各列に種々の条件が割り当てられている。たとえば、最上欄に「Ｎ１」と表記された列は、基板の回転数を入力する欄である。１行目の「Ｎ１」の欄には、「３００」と入力されているので、１行目に割り当てられたステップでは、基板が３００ｒｐｍで回転されることになる。また、最上欄に「Ｔ２」と表記された列は、各ステップが継続される時間を入力する欄である。１０行目の「Ｔ２」の欄には、「３０．０」が入力されているので、１０行目に割り当てられたステップは、３０秒間にわたって継続されることになる。

レシピタイトル欄およびコメント欄は、条件入力欄の上方において、左右に並べて配置されている。レシピタイトル欄には、入力デバイス３から、このレシピ編集画面で編集可能なプロセスレシピファイルのタイトルを入力することができる。また、コメント欄には、入力デバイス３から、そのプロセスレシピファイルに関するコメントを入力することができる。

複数のボタンは、レシピ編集画面の右端部および条件入力欄の下方において、整列して配置されている。レシピ編集画面の右端部に配置されたボタンには、「Recipe Wizerd」ボタン（ウィザード起動ボタン）、簡易編集画面をディスプレイ２に表示させるための「Easy Mode」ボタンなどが配置されている。
図７は、簡易編集画面の一例を示す図である。

図６に示すレシピ編集画面において、条件入力欄の各欄の条件が変更されると、これに応じて、レシピファイル記憶部１２に保存されているプロセスレシピファイルが更新保存される。したがって、ユーザは、レシピ編集画面において、プロセスレシピファイルの編集（変更）を行うことができる。しかしながら、条件入力欄の構成を完全に理解している者でなければ、各種条件を適切な欄にスムーズに入力することができない。

そこで、レシピ編集画面には、「Easy Mode」ボタンが設けられており、この「Easy Mode」ボタンをクリックすることによって、プロセスレシピファイルの作成時にウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面がディスプレイ２に表示される。この簡易編集画面は、ウィザード画面で入力された全条件を再設定可能とする画面であってもよいし、その条件の一部を再設定可能とする画面であってもよい。図７に示す簡易編集画面では、純水洗浄時間およびスピン振り切り時間を再設定することができる。

そして、簡易編集画面の右端部には、「Master Mode」ボタンを含む複数のボタンが上下に並べて配置されている。純水洗浄時間および／またはスピン振り切り時間の再設定後、「Master Mode」ボタンがクリックされると、レシピファイル更新処理部１７により、レシピファイル記憶部１２に保存されているプロセスレシピファイルが、再設定の内容を反映したプロセスレシピファイルに書き換えられる。そして、ディスプレイ２の表示が、簡易編集画面から再設定の内容が反映されたレシピ編集画面に切り替わる。

このように、ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面がディスプレイ２に表示されるので、プロセスレシピファイルの作成後に、ウィザード画面で入力した条件を容易に変更（再設定）することができる。
図８は、定義ファイル作成処理を説明するためのフローチャートである。
この基板処理装置では、定義ファイル作成処理により、プロセスレシピファイル作成ウィザードを実現するための定義ファイルを作成することができる。

定義ファイル作成処理が実行されると、図９に示す条件選択画面がディスプレイ２に表示される（ステップＳ１）。この条件選択画面には、基準プロセスレシピの各ステップにおける各種条件を表形式で表示する条件選択欄が表示される。すなわち、この条件選択欄は、図６に示すレシピ編集画面の条件入力欄と同様な構成であり、各行に基板に対する処理におけるステップが１つずつ割り当てられ、各列に種々の条件が割り当てられている。

ユーザ（定義ファイル作成者）は、入力デバイス３を操作して、条件入力欄の中から、前述のウィザード画面で入力可能な条件に対応する欄をクリックする。複数の条件をウィザード画面で入力可能とする場合には、その複数の各条件に対応する欄を連続してクリックする。その後、条件選択画面において条件選択欄の下方に配置されている「Set」ボタンをクリックすると、ウィザード画面で入力可能な条件の選択が完了する（ステップＳ２）。

こうしてユーザによる条件の選択が完了すると、その選択結果に基づいて、定義ファイルに含めるべきシナリオファイルが作成される（ステップＳ３）。そして、シナリオファイルと各ステップに対応する部分レシピファイルとが合わされることにより、定義ファイルが作成される（ステップＳ４）。こうして作成される定義ファイルは、定義ファイル記憶部１１に追加して保存または上書き保存される。

このように、ディスプレイ２に表示される条件選択画面で条件を選択すれば、定義ファイルが作成される。これにより、ウィザード画面で入力可能にする条件を変更したい場合に、新たな定義ファイルを容易に作成することができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明を他の形態で実施することも可能である。たとえば、前述の実施形態では、基板に対する処理の例として、薬液および純水を用いた処理を取り上げたが、基板に対する処理は、処理流体（処理液または処理ガス）を用いた処理に限らず、熱処理（加熱処理または冷却処理）であってもよい。

また、基板処理装置は、基板を１枚ずつ処理する枚葉型、複数枚の基板を一括して処理するバッチ型の種別は問わない。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

本発明の一実施形態に係る基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。 ウィザード画面の一例を示す図である。 図２に示すウィザード画面の次に表示されるウィザード画面の一例を示す図である。 図３に示すウィザード画面の次に表示されるウィザード画面の一例を示す図である。 図４に示すウィザード画面の次に表示されるウィザード画面の一例を示す図である。 レシピ編集画面の一例を示す図である。 簡易編集画面の一例を示す図である。 定義ファイル作成処理を説明するためのフローチャートである。 条件選択画面の一例を示す図である。

符号の説明

２ ディスプレイ
１１ 定義ファイル記憶部
１２ レシピファイル記憶部
１３ ウィザード画面表示制御部
１４ レシピファイル作成処理部
１５ 定義ファイル作成処理部
１６ 簡易編集画面表示制御部
１７ レシピファイル更新処理部

Claims (2)

1. 基板に対して複数のステップからなる手順および各ステップにおける複数の条件を規定したプロセスレシピファイルに従った処理を施す基板処理装置において、
   表示器と、
   標準的な処理の手順および条件からなる基準プロセスレシピ中の所定のステップにおける所定の条件を入力可能なウィザード画面を前記表示器に表示させるためのシナリオファイル、および前記基準プロセスレシピ中の各ステップに対応して用意され、それぞれ対応するステップにおける条件を規定する部分レシピファイルを定義ファイルとして記憶する定義ファイル記憶手段と、
   前記定義ファイル記憶手段に記憶されている前記シナリオファイルに基づいて、前記ウィザード画面を前記表示器に表示させるウィザード画面表示手段と、
   前記ウィザード画面での入力に基づいて、前記所定のステップに対応する前記部分レシピファイルを更新し、その更新後の全ての前記部分レシピファイルからプロセスレシピファイルを作成するレシピファイル作成手段と、
   前記プロセスレシピ作成手段で作成されたプロセスレシピファイルを記憶するレシピファイル記憶手段と、
   前記ウィザード画面で入力可能にする前記所定の条件を選択するための選択画面を前記表示器に表示させ、前記選択画面での選択結果に基づいて、前記シナリオファイルを作成し、このシナリオファイルを各ステップに対応する前記部分レシピファイルと合わせることにより、前記定義ファイルを作成する定義ファイル作成手段とを含み、
   前記レシピファイル作成手段は、プロセスレシピファイルの作成時に、前記ウィザード画面で入力された前記所定の条件を特定するためのメタデータをプロセスレシピファイルに組み込み、
   前記メタデータに基づいて、前記ウィザード画面で入力された条件のみを再設定可能な簡易編集画面を前記表示器に表示させる簡易編集画面表示手段と、
   前記簡易編集画面での入力に基づいて、前記レシピファイル記憶手段に記憶されているプロセスレシピファイルを更新するレシピファイル更新手段とを含む、基板処理装置。
2. 前記レシピファイル作成手段は、前記レシピファイル記憶手段に記憶されているプロセスレシピファイルを前記メタデータから独立して編集するためのレシピ編集画面を、前記表示器に表示させるレシピ編集画面表示手段と、
   前記表示器の表示内容を、前記簡易編集画面と前記レシピ編集画面との間で切換え制御表示内容切換制御手段とをさらに含む、請求項１記載の基板処理装置。

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