JP5282930B2 - 光素子温度特性検査装置 - Google Patents
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Description
請求項1の発明は、複数組のペルチエ素子と冷却ジャケットを上下に結合し複数のペルチエ素子面積以上の面積を持つ一つの金属製の上板の裏面に固定し、上板5は基台の上に支柱によって支持され、冷却ジャケットの底面は空間とし、冷却ジャケットには冷媒通路を設け、冷却ジャケットには適温の冷媒を流通させ、ペルチエ素子には順逆に電流を流し、冷媒の温度、流通量とペルチエ素子電流とによって上板の温度を規定し、上板の上に複数の光素子を戴置したステージ或いは光素子を形成したウエハ−、チップを搭載したステージをおいて光素子を所定の温度にして特性を検査するようにしたので、温度精度が良く且つ速い速度で複数の光素子の特性を検査できる。
請求項2の発明は、上板は銅又は銅合金であり、金メッキ或いはニッケルメッキの表面処理が成されているものであるので熱伝導に優れている。
請求項3の発明は、基台に対して上板を保持する支柱が樹脂なので断熱性がある。
請求項4の発明は、ペルチエ素子と冷却ジャケットを一体化して、上板の裏面に懸架固定するようにしたのでペルチエ素子と上板の間に隙間が生じない。
請求項5の発明は、上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子を通り冷却ジャケットの裏面に螺子を通しナットを螺子に螺合させ上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定するようにしたので捻じ込み量によってペルチエ素子と上板の間の接触圧を加減できる。
請求項6の発明は、上板、ペルチエ素子に縦方向に螺子通し穴を穿ち、冷却ジャケットには雌螺穴を穿ち、上板の上から冷却ジャケットの雌螺穴に螺子を通し螺合して上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定するようにしたので捻じ込み量によってペルチエ素子と上板の間の接触圧を加減できる。
請求項7の発明は、上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、雌螺穴を穿ったアルミ板を冷却ジャケット底面に当て、上板の上からペルチエ素子、冷却ジャケットの裏面まで螺子を通しアルミ板の雌螺穴に螺子に螺合して上板にペルチエ素子、冷却ジャケット、アルミ板を固定するようにしたので捻じ込み量によってペルチエ素子と上板の間の接触圧を加減でき、またアルミ板は熱伝導がよいので冷却ジャケットの温度分布の均一性を高めることができる。
請求項8の発明は、上板に螺子通し穴を穿ち、冷却ジャケット上面をペルチエ素子下面に接着し、ペルチエ素子の上に雌螺穴を穿ったアルミ板を接合しペルチエ素子と冷却ジャケットを一体化して、上板5の上から螺子を通しアルミ板の雌螺穴に螺合させることによって、上板の裏面に懸架固定するようにしたので捻じ込み量によってペルチエ素子と上板の間の接触圧を加減でき、またアルミ板は熱伝導がよいので冷却ジャケットの温度分布の均一性を高めることができる。
請求項9の発明は、上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子を通り、冷却ジャケットの裏面まで螺子を通しゴムスペーサを螺子に通しナットを螺子に螺合させ、上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定し、ペルチエ素子に掛かる圧力を緩和するようにしたのでペルチエ素子を保護できる。
請求項10の発明は、断熱シートを準備し、上板、ペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シート、アルミ板に縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シートを通りアルミ板の裏面まで螺子を通しナットを螺子に螺合させ、上板にペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シート、アルミ板を固定し、ペルチエ素子に掛かる圧力を緩和するようにしたのでペルチエ素子を保護できる。また、断熱シートのために、周囲雰囲気によって冷却ジャケットが加熱され難い。
請求項11の発明は、螺子の周囲に締め過ぎ防止カラーを備え、前記カラーは全長が上板に締結する部品の合計厚みよりも短い円筒形状であるようにしたので、この構造により、締結一体化の際はボルトを締め込んでも弾性材料は設計された一定割合の変形しかしないためペルチエ素子への負荷を安定化できる。
請求項12の発明は、上面に複数の位置決めピンと複数のボード取り付け用螺穴が設けられ内部に配線構造を有するCAN検査ステージを上板の上に置き、内部配線構造を持ち複数の光素子を取り付けた検査ボードをCAN検査ステージの上に位置決め戴置して、配線を接続し、検査ボードをCAN検査ステージに螺子で固定し、光素子の温度を所定の温度として、光素子の特性を検査するようにしたので速い速度で複数の光素子の特性を検査できる。
請求項13の発明は、上面に複数の真空引き穴が設けられたウエハ−検査ステージを上板の上に置き、複数の光素子を形成したウエハ−をウエハ−検査ステージの上に戴置して真空吸引し、ウエハ−の温度を所定の温度として、ウエハ−に形成された光素子の特性を検査するようにしたのでウエハ−が大きくても効率的に検査することができる。
請求項14の発明は、上面に複数の真空引き穴が設けられたチップ検査ステージを上板の上に置き、複数の光素子チップをチップ検査ステージの上に戴置して真空吸引し、チップの温度を所定の温度として、光素子チップの特性を検査するようにしたので多数のデバイスチップを一括して効率的に検査できる。
請求項15の発明は、上板5の四方の縁を上方へ延ばした側壁を形成して上板の上方に囲い構造を形成し検査に適した温度で露点の低い空気を囲い構造に供給することによって上板の上方に被検査光素子とほぼ同じ温度で露点の低い空気で満たされた温調空間を形成したのでデバイス、プローブなどへの水分の凝結を防ぎ、また温度勾配が減り平行状態に近くなり結露を防止できるようになる。
請求項16の発明は、上板5の四方の縁に内部に温調用空気通路を有し温調空気出口と温調空気入口を有する側管壁を形成し、上板の上方に囲い構造を形成し検査に適した温度で露点の低い空気を温調空気入口、温調用空気通路、温調空気出口を介して囲い構造に供給することによって上板の上方に被検査光素子とほぼ同じ温度で露点の低い空気で満たされた温調空間を形成したので、より熱平衡状態に近くなり結露をさらに有効に防止できるようになる。またデバイス、プローブなどへの水分の凝結も防げる。
請求項17の発明は、基台の中に分岐した排液路と給液路を設け、排液路と給液路を統合する排液出口と給液入口を基台の端部に開口させ、基台の排液出口と給液入口には外部ホースを繋ぎ、冷却ジャケットの排出用通路と基台の排液路を上下の継ぎ手を介し縦方向の排液管によって繋ぎ、冷却ジャケットの供給用通路と基台の給液路を継ぎ手を介し縦方向の給液管によって繋ぎ、一本の外部ホースから冷媒を供給し基台で分離してそれぞれの冷却ジャケットへ供給し、冷却ジャケットからの排液は基台で集合させて1本の外部ホースへ排出するようにしたので排液路と給液路は分離される。
請求項18の発明は、上下の継ぎ手での給液管、排液管の結合長さを変えることによって冷却ジャケットの上下方向の高さの差異を吸収するので外部ホースは給液に1本、排液に1本だけでよく、冷媒の流通路が整理される。
本発明は任意の複数のペルチエ素子(M個)を用いることができる。ここでは縦2個、横2個の2×2=4個のペルチエ素子(M=4)を並列配置した実施例を述べる。図3は本発明の実施例1に係る光素子検査装置の概略の縦断面図である。図4は横断平面図である。図12は冷却ジャケット、ペルチエ素子、上板部分のみの底面方向斜視図である。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する手段について述べる。図5に固定構造の断面図を示す。複数(M個)の冷却ジャケット3、ペルチエ素子4があるが同じ固定手段を取るので一つだけを図示する。実際には左右に或いは前後に複数の組の冷却ジャケット・ペルチエ素子が存在する。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図6に固定構造の断面図を示す。複数(M個)の冷却ジャケット3、ペルチエ素子4があるが同じ固定手段を取るので一つだけを図示する。
る。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図7に固定構造の断面図を示す。複数(M個)の冷却ジャケット3、ペルチエ素子4があるが同じ固定手段を取るので一つだけを図示する。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図8に固定構造の断面図を示す。複数(M個)の冷却ジャケット3、ペルチエ素子4があるが同じ固定手段を取るので一つだけを図示する。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図9に固定構造の断面図を示す。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図10に固定構造の断面図を示す。
冷却ジャケット3と横方向の寸法がほぼ等しいゴム製などの断熱シート82を準備する。断熱シート82には螺子9の通るべき部位に螺子通し穴84を穿つ。上板5の上面に凹部92を形成する。上板5を上下方向に貫通するよう螺子通し穴93を穿つ。ペルチエ素子4、冷却ジャケット3には縦方向に貫通するように螺子通し穴94、95を穿つ。断熱シート82、冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を重ね上板5の裏面に沿わせる。
冷却ジャケット3、ペルチエ素子4を上板5に固定する他の手段について述べる。図11に固定構造の断面図を示す。
上板5の上には金属製のステージを戴置する。これは試験対象の態様によって2種類のものがある。CANパッケージにチップを固定し、リードピンと電極をワイヤボンデイングし製品となった光素子を多数検査用ソケットに差し込んで試験するCAN検査と、ウエハ−のまま或いはチップの状態で試験するウエハ−・チップ検査とである。ここではCAN検査のためのステージ52について述べる。図13にCAN検査ステージ52の斜視図を示す。CAN検査ステージ52は上板5とほぼ同じ広がりの金属板である。上面には幾つかの位置決めピン53、53、…が上向きに植えられている。これは検査ボードの取り付け位置を正確に決めるためのピンである。CAN検査ステージ52上面にはボード取り付け用螺穴54が複数個穿孔されている。さらにCAN検査ステージ52は光素子に電流、電圧を印加するのに必要な内部配線機構(図示しない)を有する。これは微細な行列構造を持つ。配線機構は本発明の目的でないので詳しく述べない。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
ペルチエ素子4の寸法と数によって、CAN検査ステージ52、検査ボード55の大きさが限定される。検査用ソケット56の数は例えば100個〜300個程度である。これは完成した光素子の試験に使われる。
上板5の上には金属製のステージを戴置する。ウエハ−のままの状態で試験するウエハ−検査ステージ58を図16に示す。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
光素子をチップの状態で検査するために、上板5の上には金属製のチップ検査ステージ58´を戴置する。チップステージ58´はウエハ−検査ステージ58と良く似た構造を持つ。やはり図16、17に示すような真空引き穴59を上面に有する。チップを対象とするからウエハ−検査ステージ58より密でより細かい真空引き穴59がより多く上面に設けられる。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
上板5はこれまで平坦な金属板であった。実施例12は上板5の四方の縁から金属壁を上方へ延伸して四方に側壁を作る。図20にその断面図を示す。上板5の下に、ペルチエ素子4、冷却ジャケット3が懸架されている構造はこれまでのものと共通である。ここでは上板5の端に金属の隆起部を形成して側壁50とする。側壁50で囲まれた上板5の上に検査ステージ52、58、58´などを置くようにする。これらステージは側壁によって四方が包囲され供給された適温で露点の低い雰囲気ガスで囲まれる。側壁の高さは目的によるが10mm〜50mm程度である。上方まで伸びた側壁によって囲い構造を形成する。ここへ検査温度に近い水分を含まない空気を供給する。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
囲い構造を形成する側壁の内部を空洞にして温調用の空気を流通させるようにしたのが実施例13である。図21に縦断面図を、図22に横断平面図を示す。上板5の下に、ペルチエ素子4、冷却ジャケット3が懸架されている構造はこれまでのものと共通である。ここでは上板5の四周に金属製の空洞を含む側間壁51を形成する。側管壁51で囲まれた上板5の上にCAN検査ステージ52、ウエハ−、チップ検査ステージ58、58´などを置くようにする。これらステージ52、58などは側管壁51によって四方が包囲される。側壁の高さは目的によるが30mm〜70mm程度である。上方まで伸びた側壁によって囲い構造を形成する。温調空気入口68から検査温度に近い温度を持ち露点の低い温調用空気74が側管壁51の内部へ導入される。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
複数の冷却ジャケット3、3…を持つので冷媒の供給管や排出管も複数になる。ゴムホースをそれぞれの冷却ジャケットの供給用通路6、排出用通路7の端に繋ぐこともできる。例えば4組の冷却ジャケットとペルチエ素子があれば、8本のゴムホースで冷媒の供給排出を行なうことができる。それでも良いのであるが、ここでは基台8を利用して冷媒の流通をより効率的に行なうような工夫を与える。図23にそれを示す。
ペルチエ素子にかかる圧力を3kg/cm2(大気圧を含め0.4MPa)以下とした。
3冷却ジャケット
4ペルチエ素子
5上板
6供給用通路
7排出用通路
8基台
9螺子
19支柱
22給液管
23排液管
25上継ぎ手
26下継ぎ手
29隙間
31、32、33、34冷却ジャケット
41、42、43、44ペルチエ素子
50側壁
51側管壁
52CAN検査ステージ
53位置決めピン
54ボード取り付け螺穴
55検査ボード
56検査ソケット
57被検査光素子
58ウエハ−検査ステージ
58´チップ検査ステージ
59真空引き穴
60真空路
61真空路出口
62真空引き配管
63デバイスウエハ−
64デバイスチップ
65止め螺子
66通し穴
67温調空気通路
68温調空気入口
69温調空気出口
70温調空間
72位置決め穴
74温調空気
76アルミ板
77螺穴
78アルミ板
79雌螺穴
80ゴム製スペーサ
82断熱シート
83締め過ぎ防止カラー
84螺子通し穴
85排液路
86排液出口
87給液路
88給液入口
89アルミ板
90螺子頭
91皿小螺子
92凹部
93螺子通し穴
94螺子通し穴
95螺子通し穴
96凹部
97雄螺子部
98ナット
99雌螺穴
100アルミ板の螺子通し穴
Claims (18)
- ペルチエ素子と冷却ジャケットを上下に1対1に対応させ一体化したペルチエ素子と冷却ジャケットの複数の組を、複数のペルチエ素子面積以上の面積を持つ一つの金属製の上板の裏面にペルチエ素子が上板裏面に接するよう縦横方向に並べて懸架固定し、上板は基台の上に支柱によって支持され、冷却ジャケットの底面と基台の間は空間とし、冷却ジャケットには冷媒通路を設け、冷却ジャケットには適温の冷媒を流通させ、ペルチエ素子には順逆に電流を流し、冷媒の温度、流通量とペルチエ素子電流とによって上板の温度を規定し、上板の上に複数の光素子を戴置したステージ或いは光素子を形成したウエハ−、チップを搭載したステージをおいて光素子を所定の温度にして特性を検査するようにしたことを特徴とする光素子温度特性検査装置。
- 上板は銅又は銅合金であり、金メッキ或いはニッケルメッキの表面処理が成されているものであることを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 基台に対して上板を保持する支柱が樹脂であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光素子温度特性検査装置。
- ペルチエ素子と冷却ジャケットを直接に接触させ一体化した複数のペルチエ素子と冷却ジャケットの組をペルチエ素子、冷却ジャケットを貫く螺子によって上板の裏面に懸架固定し、ペルチエ素子に掛かる圧力が3kg/cm 2 以下とするようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子を通り冷却ジャケットの裏面に螺子を通しナットを螺子に螺合させ上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定するようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板、ペルチエ素子に縦方向に螺子通し穴を穿ち、冷却ジャケットには雌螺穴を穿ち、上板の上から冷却ジャケットの雌螺穴に螺子を通し螺合して上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定するようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、雌螺穴を穿ったアルミ板を冷却ジャケット底面に当て、上板の上からペルチエ素子、冷却ジャケットの裏面まで螺子を通しアルミ板の雌螺穴に螺子に螺合して上板にペルチエ素子、冷却ジャケット、アルミ板を固定するようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板に螺子通し穴を穿ち、冷却ジャケット上面をペルチエ素子下面に接着し、ペルチエ素子の上に雌螺穴を穿ったアルミ板を接合しペルチエ素子と冷却ジャケットを一体化して、上板 の上から螺子を通しアルミ板の雌螺穴に螺合させることによって、上板の裏面に懸架固定するようにしたことを特徴とする請求項4に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板、ペルチエ素子、冷却ジャケットに縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子を通り、冷却ジャケットの裏面まで螺子を通しゴムスペーサを螺子に通しナットを螺子に螺合させ、上板にペルチエ素子、冷却ジャケットを固定し、ペルチエ素子に掛かる圧力を緩和するようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 断熱シートを準備し、上板、ペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シート、アルミ板に縦方向の螺子通し穴を穿ち、上板の上からペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シートを通りアルミ板の裏面まで螺子を通しナットを螺子に螺合させ、上板にペルチエ素子、冷却ジャケット、断熱シート、アルミ板を固定し、ペルチエ素子に掛かる圧力を緩和するようにしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光素子温度特性検査装置。
- 請求項9、10の何れかに記載の光素子温度特性検査装置であって、螺子の周囲に締め過ぎ防止カラーを備え、前記カラーは全長が上板に締結する部品の合計厚みよりも短い円筒形状であることを特徴とする光素子温度特性検査装置。
- 上面に複数の位置決めピンと複数のボード取り付け用螺穴が設けられ内部に配線構造を有するCAN検査ステージを上板の上に置き、内部配線構造を持ち複数の光素子を取り付けた検査ボードをCAN検査ステージの上に位置決め戴置して、配線を接続し、検査ボードをCAN検査ステージに螺子で固定し、光素子の温度を所定の温度として、光素子の特性を検査するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上面に複数の真空引き穴が設けられたウエハ−検査ステージを上板の上に置き、複数の光素子を形成したウエハ−をウエハ−検査ステージの上に戴置して真空吸引し、ウエハ−の温度を所定の温度として、ウエハ−に形成された光素子の特性を検査するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上面に複数の真空引き穴が設けられたチップ検査ステージを上板の上に置き、複数の光素子チップをチップ検査ステージの上に戴置して真空吸引し、チップの温度を所定の温度として、光素子チップの特性を検査するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板 の四方の縁を上方へ延ばした側壁を形成して上板の上方に囲い構造を形成し検査に適した温度で露点の低い空気を囲い構造に供給することによって上板の上方に被検査光素子とほぼ同じ温度で露点の低い空気で満たされた温調空間を形成したことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上板 の四方の縁に内部に温調用空気通路を有し温調空気出口と温調空気入口を有する側管壁を形成し、上板の上方に囲い構造を形成し検査に適した温度で露点の低い空気を温調空気入口、温調用空気通路、温調空気出口を介して囲い構造に供給することによって上板の上方に被検査光素子とほぼ同じ温度で露点の低い空気で満たされた温調空間を形成したことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 基台の中に分岐した排液路と給液路を設け、排液路と給液路を統合する排液出口と給液入口を基台の端部に開口させ、基台の排液出口と給液入口には外部ホースを繋ぎ、冷却ジャケットの排出用通路と基台の排液路を上下の継ぎ手を介し縦方向の排液管によって繋ぎ、冷却ジャケットの供給用通路と基台の給液路を継ぎ手を介し縦方向の給液管によって繋ぎ、一本の外部ホースから冷媒を供給し基台で分離してそれぞれの冷却ジャケットへ供給し、冷却ジャケットからの排液は基台で集合させて1本の外部ホースへ排出するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光素子温度特性検査装置。
- 上下の継ぎ手での給液管、排液管の結合長さを変えることによって冷却ジャケットの上下方向の高さの差異を吸収することを特徴とする請求項17に記載の光素子温度特性検査装置。
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