JP5277834B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、移動シートの所定位置への移動と、回転とを行うことが可能な静電アクチュエータに関する。

静電アクチュエータの形態として、フィルムを利用して薄型とした静電アクチュエータの発明が公知である（特許文献１）。この静電アクチュエータは、固定子はガラスエポキシ基板の表面にエッチングにより形成した帯状電極（たとえば１．２７ｍｍ間隔で１００本）と、その上に塗布したエポキシ樹脂と、そのエポキシ樹脂上に積層されたフィルム（たとえば０．１ｍｍ厚さのＰＥＴフィルム）とからなる。また、移動子はフィルム状の絶縁体層（たとえば０．１ｍｍ厚さのＰＥＴフィルム）および高抵抗体層（たとえば０．１ｍｍ厚さのＰＥＴフィルムに帯電防止剤を塗布し表面抵抗が１０¹²〜１０¹⁶Ω／□）からなる。
この従来の静電アクチュエータにおいては、固定子を構成する絶縁体に埋め込まれた第１の電極郡、第２の電極郡、第３の電極郡から成る３つの電極郡を備えている。これらの電極郡（第１の電極郡，第２の電極郡，第３の電極郡）に対して、（＋Ｖ，−Ｖ，０）→（−Ｖ，＋Ｖ，−Ｖ）→（０，＋Ｖ，−Ｖ）→（−Ｖ，−Ｖ，＋Ｖ）→（−Ｖ，０，＋Ｖ）→（＋Ｖ，−Ｖ，−Ｖ）→（＋Ｖ，−Ｖ，０）を１周期として繰返し電圧を印加すると移動子は移動し続けることが可能である。
特開平２−２８５９７８

ところが、この従来の静電アクチュエータにおいては、移動シートの移動に対して、位置規制が行われていないときには、移動シートは位置ずれを起こし再現性のある移動を繰り返すことができなくなる。たとえば、移動シートを前後に移動している間に異物付着による局所的な摩擦抵抗増大などにて移動シートの左右の位置がずれる、移動シートが回転して傾斜した状態となるということが起きる。このように、従来の静電アクチュエータにおいては、移動シートを直線的に移動するだけであり、複雑な動きをさせることができないという問題があった。また、移動シートが位置ずれを起こしたときに修正する動きをさせることができないという問題があった。

本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、移動シートを所定の位置に移動するとともに、移動シートを回転することが可能な静電アクチュエータを提供することにある。

本発明の請求項１に係る静電アクチュエータは、移動シートに対して所定位置に向かう静電力を作用させるための向心性電極と、移動シートに対して回転する静電力を作用させるための回転性電極とを有し、前記向心性電極は電極線を前記所定位置を渦巻の中心として平面渦巻状に形成した渦巻電極パターンであり、前記渦巻電極パターンは前記渦巻の中心を一周する前に前記渦巻の中心方向へ方向転換し、さらに、前記渦巻の中心を円の中心とする円周方向へ方向転換させ、最外周から前記渦巻の中心方向に向かい前記渦巻の中心を巻回させているようにしたものである。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータは、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記回転性電極は電極線を平面放射状に形成した放射電極パターンであるようにしたものである。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータは、請求項２に係る静電アクチュエータにおいて、放射電極パターンは前記所定位置を放射の中心とする放射電極パターンであるようにしたものである。

本発明の請求項１に係る静電アクチュエータによれば、向心性電極により移動シートに対して所定位置に向かう静電力が作用し、回転性電極により移動シートに対して回転する静電力が作用する。したがって、移動シートを所定の位置に移動するとともに、移動シートを回転することが可能な静電アクチュエータが提供される。また、前記向心性電極は電極線を前記所定位置を渦巻の中心として平面渦巻状に形成した渦巻電極パターンであり、 前記渦巻電極パターンは前記渦巻の中心を一周する前に前記渦巻の中心方向へ方向転換し、さらに、前記渦巻の中心を円の中心とする円周方向へ方向転換させ、最外周から前記渦巻の中心方向に向かい前記渦巻の中心を巻回させている。したがって、電極線に交流電圧を印加することにより移動シートに対して所定位置に向かう静電力を作用させることができる。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータによれば、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記回転性電極は電極線を平面放射状に形成した放射電極パターンである。したがって、電極線に交流電圧を印加することにより移動シートに対して回転する静電力を作用させることができる。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータによれば、請求項２に係る静電アクチュエータにおいて、放射電極パターンは前記所定位置を放射の中心とする放射電極パターンである。したがって、所定位置を中心として移動シートに対して回転する静電力を作用させることができる。

次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータにおける構成の説明図を図１に示す。図１において、１は駆動シート、２は移動シート、１１は向心性電極、１２は回転性電極、１３は向心性電極リード線、１４は回転性電極リード線である。
駆動シート１は、その表面に対向して配置された移動シート２との間に静電力を発生することにより移動シート２の駆動を行うシートである。駆動シート１は向心性電極１１と回転性電極１２の少なくとも２つの電極領域を有する。向心性電極１１の電極領域に移動シート２が存在するときに、向心性電極１１に所定の駆動電圧を印加すると移動シート２には所定の位置（中心）に向かう静電力が作用する。したがって、向心性電極１１の電極領域のことを向心性駆動領域と呼ぶ。また、回転性電極１２の電極領域に移動シート２が存在するときに、回転性電極１２に所定の駆動電圧を印加すると移動シート２には回転する静電力が作用する。したがって、回転性電極１２の電極領域のことを回転性駆動領域と呼ぶ。図１に示す一例においては、駆動シート１の一角近くに向心性電極１１と回転性電極１２が設けられている。向心性電極１１は、図１において、円領域の外周近くにおける渦巻状パターンの部分である。また、回転性電極１２は、図１において、円領域の中央近くにおける放射状パターンの部分である。

図１においてＡで示す領域の拡大図を図２に示す。向心性電極リード線１３は、図２に一例を示すように、３本を一組とする帯線状パターンである。帯線状パターンが３本を一組とする理由は、３相交流の電圧を印加するためである。図２に示すように、帯線状パターンの一方の端部と、図１において円の外周近くにおける向心性電極１１の渦巻状パターンの部分とが結合している。渦巻状パターンの部分１１１は、その向心性電極リード線１３が結合した渦巻状パターンの部分であり、円領域の渦巻状パターンにおける最外周の部分である。渦巻状パターンの部分１１１は、図２に示すように、３本（３相交流におけるＵ相、Ｖ相、Ｗ相）の電極線を一組とする渦巻状パターンのである。すなわち、図１に示す向心性電極１１は、３重の電極線を所定位置を渦巻の中心として平面渦巻状に形成した渦巻電極パターンである。向心性電極１１における３重の電極線には、３相交流の電圧が印加される。渦巻状パターンの部分１１１は、渦巻の中心に対して一周すると、渦巻状パターンの部分１１２につながっている。このように、向心性電極１１は円領域の最外周の部分から回転性電極１２が形成された円領域の中央近くまで形成された渦巻状パターンである。

このような、渦巻状パターンにおいては、渦巻の中心に向かって所定の割合で曲率半径が小さく（曲率が大きく）なっている。しかし、そのような連続的な渦巻状パターンを正確に生成することは必ずしも容易ではない。そこで、連続的な渦巻状パターンの代わりに、同心円を用いて同等の作用効果を有する渦巻状パターンを生成する方法が、図２における点線内に示されている。点線内において、渦巻状パターンにおける最外周の部分１１１は同心円であり、同心円（渦巻）の中心をほぼ一周すると、渦巻状パターンの部分１１２につながっている。渦巻状パターンにおける最外周の部分１１１と渦巻状パターンの部分１１２とが干渉しないように、渦巻状パターンの部分１１２は干渉する直前の位置において中心方向へと方向転換する。さらに、渦巻状パターンの部分１１２は渦巻状パターンにおける最外周の部分１１１の直近の内側において円周方向へと方向転換する。そして、渦巻状パターンの部分１１２は半径を小さくした同心円のパターンを形成する。向心性電極１１はこのような方向転換を繰り返しながら形成された渦巻状パターンであってもよい。

図１においてＢで示す領域の拡大図を図３に示す。Ｂで示す領域は向心性電極１１と回転性電極１２との境界領域である。向心性電極１１は所定位置を渦巻の中心とする渦巻電極パターンである。また、回転性電極１２は、図３に示す一例においては、その所定位置を放射の中心とする放射電極パターンである。したがって、図３に示すように、帯線状の電極である向心性電極１１の帯線の延びる方向（長手方向）と、帯線状の電極である回転性電極１２の帯線の延びる方向（長手方向）とのなす角度は９０度（ほぼ９０度）である。
向心性電極１１は、図１においてＡで示す領域において最外周の渦巻状パターンの部分１１１の端部が形成され、前述したように、その部分に向心性電極リード線１３が結合している。また、向心性電極１１は、図１においてＢで示す領域において最内周の渦巻状パターンの部分１１３の端部が形成され、図３に示すように、その端部は開放されている。
回転性電極１２は、向心性電極１１とは独立した電極であり、互いの電極の間には結合関係はない。回転性電極１２は、３本の電極線を一組とする放射状パターンである。３本（３相交流におけるＵ相、Ｖ相、Ｗ相）の電極線を一組とし、その放射状パターンの一組を円周方向に配列し全周方向に放射する放射状パターンとした構成となっている（図４参照）。すなわち、図３においては平行線のようであるが、実際は３重の電極線を平面放射状に形成した放射電極パターンである。また、放射電極パターンは所定位置を放射の中心としており、その所定位置を中心として移動シートに対して回転する静電力を作用させる。

図１においてＣで示す領域の拡大図を図４（Ｃ）に示す。図４（Ｃ）に示す回転性電極１２は平行な電極線で示されているが、実際は図４（Ｃ）において右側が放射の中心に向かって狭まり、左側がその中心から放射状に広がっている。また、図４（Ｃ）に示すＵ相結合線（１）、Ｕ相結合線（２）、Ｖ相結合線（１）、Ｖ相結合線（２）、Ｗ相結合線の各々、および向心性電極１１は直線で示されているが、実際は放射の中心を円の中心とする円を描いている。
回転性電極１２は多数の放射状に配列した電極線を有するが、それらの電極線の各々は３本（３相交流におけるＵ相、Ｖ相、Ｗ相）の電極線のいずれかに統合結合される。その結合を行うのが結合線である。
Ｕ相結合線は、図４（Ｃ）に示す回転性電極１２の左側において縦方向に延びるＵ相結合線（１）とＵ相結合線（２）として示す結合線である。Ｕ相結合線（１）とＵ相結合線（２）とは、図４（Ｃ）においては切り離されているように見えるが、実際はＵ相結合線は円を描いており、その円のほぼ一周する弧として連続した一本の結合線である。
Ｖ相結合線は、図４（Ｃ）に示す回転性電極１２の左側と右側の２箇所において縦方向に延びるＶ相結合線（１）とＶ相結合線（２）として示す結合線である。Ｖ相結合線（１）は電極線が形成されている表面の側からＶ相電極線を結合するとともに、他の相の電極線に対しては絶縁層を介する等により電気的に結合しない構成の結合線である。また、Ｖ相結合線（２）は電極線が形成されている表面の反対側からスルーホール等を介してＶ相電極線を結合する構成の結合線である。
Ｗ相結合線は、図４（Ｃ）に示す回転性電極１２の右側において縦方向に延びる結合線である。

図１においてＤで示す領域の拡大図を図４（ｂ）に示す。回転性電極リード線１４は、図４（ｂ）に示すように、放射状パターンである向心性電極１１の外側に配置されている。一方、前述した渦巻状パターンである向心性電極１１のリード線は、図１に示す一例においては、回転性電極リード線１４の反対側に配置されている。
回転性電極リード線１４は、図４に一例を示すように、３本を一組とする帯線状パターンである。帯線状パターンが３本を一組とする理由は、３相交流の電圧を印加するためである。
回転性電極リード線１４のＵ相は、図４（Ｃ）、（ｂ）に示すように、電極線が形成されている表面の側からＵ相結合線（１）を結合するとともに、向心性電極１１等の他の相の電極線に対しては絶縁層を介する等により電気的に結合しない構成のリード線である。
回転性電極リード線１４のＶ相は、同様に、電極線が形成されている表面の側からＶ相結合線（１）を結合するとともに、向心性電極１１等の他の相の電極線に対しては絶縁層を介する等により電気的に結合しない構成のリード線である。
回転性電極リード線１４のＷ相は、同様に、電極線が形成されている表面の側からＷ相結合線を結合するとともに、向心性電極１１等の他の相の電極線に対しては絶縁層を介する等により電気的に結合しない構成のリード線である。
なお、リード線と、その各々に結合する結合線と、電極線とは３系統に一体化した導電線であり、リード線、結合線、電極線という区別は無意味にも思えるが、ここではその役割において区別する。すなわち、電源部から電力を供給する導電線の部分がリード線であり、リード線と電極線とを結合し電力を伝送する導電線の部分が結合線であり、移動シート２と駆動シート１における静電力が作用する主要な導電線の部分が電極線である。

以上、駆動シート１に形成された向心性電極、回転性電極、等について説明した。次に、それらの電極を備えた静電アクチュエータの構成の一例について説明する。
向心性電極と回転性電極を有する静電アクチュエータの構成の一例を図５に示す。図５において、１は駆動シート、２は移動シート、３は駆動シート、１１は向心性電極、１２は回転性電極である。
駆動シート１は、図１において向心性電極１１の部分（向心性駆動領域）と回転性電極１２の部分（回転性駆動領域）を有することを図示したが、図５に一例を示すように、それらとともにＸ方向駆動電極線の部分（Ｘ方向駆動領域）を有している。Ｘ方向駆動領域はＹ方向に延びる電極線によって構成される。
駆動シート３は、図５に一例を示すように、Ｙ方向駆動電極線の部分（Ｙ方向駆動領域）を有し、その部分が全領域となっている。Ｙ方向駆動領域はＸ方向に延びる電極線によって構成される。

駆動シート１のＸ方向駆動領域および駆動シート３のＹ方向駆動領域における電極構成について説明する。Ｘ方向駆動領域およびＹ方向駆動領域における電極線のパターンの一例を図６に示す。駆動シート１および駆動シート３において移動シート２との対向面に沿う方向に複数本が互いに平行となるように配列しているＸ方向駆動電極線およびＹ方向駆動電極線は、図６に示すパターンの一例においては中央部分に存在する。その中央部分を挟む左側部分と右側部分は、電極線の複数本をリード線に結合するための結合線である。
図６においては、Ｕ相結合線が左側部分に配置し、Ｗ相結合線が右側部分に配置している。また、Ｕ相結合線とＷ相結合線とは駆動シート１における表面に配置している。一方、Ｖ相結合線は駆動シート１における裏面に配置している。Ｖ相結合線は、図６に示すパターンの一例においては、左側部分と右側部分に分かれて配置している。Ｖ相電極線を表面に配置するためには、裏面に配置しているＶ相結合線からスルーホールにより表面に配置しているＶ相結合線に電気的な結合を行ない、その表面に配置しているＶ相結合線とＶ相電極線とを結合するパターンとする。

移動シート２は駆動シート１の表面にその一方の表面が対向するように配置される。駆動シート１のＸ方向駆動領域に対向する移動シート２の一方の表面はＸ方向駆動領域から駆動力を得て駆動シートに対して相対的に移動する。また、駆動シート１の向心性駆動領域に対向する移動シート２の表面は向心性駆動領域から駆動力を得て駆動シート１に対して相対的に移動する。また、駆動シート１の回転性駆動領域に対向する移動シート２の表面は回転性駆動領域から駆動力を得て駆動シート１に対して相対的に移動する。すなわち、移動シート２は、Ｘ方向駆動領域と向心性駆動領域と回転性駆動領域の組合せまたはいずれか１つの駆動力を受けて移動を行う。
移動シート２は、Ｘ方向駆動領域から駆動力を受けたときにはその駆動力の方向に従って左方向または右方向に移動する。また、向心性駆動領域から駆動力を受けたときには渦巻状パターンの中心方向に移動する。また、回転性駆動領域から駆動力を受けたときには放射状パターンの中心の回りに回転する。なお、向心性電極１１に印加する３相交流電圧の位相によっては、中心方向に近づく移動ではなく、中心方向から離れる移動、すなわち遠心性の移動を行うこともできる。しかし、移動シート２の位置決めをするという目的においては中心方向に近づく移動だけが意味を有する。また、回転性電極１２に印加する３相交流電圧の位相によって回転方向を制御することができる。この場合には、回転方向の制御は、移動シート２を所望の角度とする回転を最短時間で行うという意味を有する。
また、移動シート２は駆動シート３の表面にその他方の表面が対向するように配置される。駆動シート３のＹ方向駆動領域に対向する移動シート２の他方の表面はＹ方向駆動領域から駆動力を得て駆動シートに対して相対的に移動する。
移動シート２は、Ｙ方向駆動領域から駆動力を受けたときにはその駆動力の方向に従って上方向または下方向に移動する。

このような移動シート２は、駆動シート１、駆動シート３との間で静電力が働くことによって駆動シート１、駆動シート３に対して相対的な移動を行なうことができる。その移動は駆動シート１、駆動シート３に設けられた電極線に電源部から電圧を印加することにより行なわれる。その電圧の印加形態は制御部が電源部を制御することによって変化させることができる。そして、その電力の供給形態によって移動シート２の向心性または遠心性の移動方向の別と移動速度と移動量、回転性の移動における回転方向と回転速度と回転角度、ＸＹ方向の移動における移動方向と移動速度と移動量を変化させることができる。
特に、渦巻パターンの中心である所定の位置を中心として駆動シート１を回転させるときには、向心性の移動を行う３相交流電圧を向心性電極１１に印加し続けた状態で、回転性の移動を行う３相交流電圧を回転性電極１２に印加すればよい。これにより、移動シート２は回転中心のずれが自動補正されて、回転軸を有するかのように回転中心の安定した回転を行うことが可能となる。移動シート２の位置を検出してフィードバック制御を行う等の複雑な機構を必要としない。

移動シート２はその面が駆動シート１の面に対向して移動可能に配置され、その対向面に駆動シート１の電極電位に応じた電荷が誘起される。そして、その誘起された電荷と駆動シート１の電極電位との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって駆動シート１に対して相対的な移動を行う。すなわち、移動シート２には電極電位に応じた電荷が誘起される必要性がある。したがって、移動シート２は一般的には絶縁材料（誘電体）であり、たとえば、ポリエステルフィルム、ポロプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ塩化ビニール、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、等のプラスチックフィルムを使用することができる。また、そのような絶縁材料を駆動シート２との対向面にラミネートした（貼り合せた）紙、等の複合材料を使用することができる。移動シート２の表面は、表面抵抗率が約１０¹²〜１０¹⁵Ω□程度が好適である。この場合微弱な電気が流れるため、駆動シート２の電極線によって移動シート２に誘起された電荷は、電極線における電圧の瞬間的な変化に対して遅れて追従することになる。このような表面物性は材料表面の処理に大きく影響されることがあるため、使用することができる材料は上記に限定されず、コーティング処理で表面低効率を最適化してもよい。

本発明の静電アクチュエータの駆動シート１と駆動シート３は、たとえば、基材、電極（電極線、結合線、端子、等）、絶縁体、ハードコート層、潤滑層を順番に積層した構成とすることができる。次に、それらの構成の１つ１つについて説明する。
基材はその表面に形成した電極の電極形状を保持するための基材となるフィルムである。固定子基材としては、電気的な絶縁性を有し、かつハンダ付における耐熱性を有するプラスチックフィルム、たとえばＰＩ（PolyImide）フィルム、ＰＥＴ（PolyEthyleneTerephthalate）フィルム、ＰＡＩ（PolyAmideImide）フィルム、等、あるいはプラスチックフィルムではない他の材料として、ガラス基板、ガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、フッ素樹脂基板、コンポジット基板、等を使用することができる。

電極はプリント回路を形成する周知の方法によって形成することができる。プリント回路の材料として銅箔とフィルムまたは基板を貼り合わせた銅貼フィルムが使用される。電極と固定子基材はその銅貼フィルムにおける銅箔の部分とフィルムの部分である。銅貼フィルムの銅箔面にエッチングレジストのパターンを形成してエッチングすることにより銅箔をパターン化することができる。帯線状の電極は、このパターン化した銅箔の部分として固定子基材の表面に形成される。
また、バックライトを透過させる等のために、電極として透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極を形成することができる。たとえば、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはＩＴＯペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。

絶縁体は電極の露出している側の表面を被覆する絶縁体である。電極の固定子基材に貼り付いている側の表面は、当然ながら、固定子基材よって被覆されており電気的な絶縁性が確保されている。絶縁体はその表面に対して反対側となる固定子基材と電極の表面に密着して形成される。絶縁体は電気的な絶縁性を得るためだけではなく、駆動シート１と直角方向駆動シート３の全体の剛性を高くして変形を小さくし、移動子基材に対面する固定子基材の表面の平坦性を確保する働きを有している。
ハードコート層は固定子基材と移動子基材との摩擦による磨耗から、保護するためのハードコート層である。ハードコート層は基材と移動シート２とが対向する側の基材の表面に形成する。このハードコート層は、基材の厚さを極めて薄くしたときには（たとえば、２０μｍ以下）、静電アクチュエータの耐久性において特に顕著な効果を示す構成要件となる。ハードコート層としては、周知のハードコート層を適用することができる。たとえば、フィルムに熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、等を塗布して硬化させ形成したハードコート層を適用することができる。
潤滑層は固定子と移動子との間で発生する摩擦力を軽減するために固定子と移動子とが対面する（接触する）面の間に設けた潤滑層である。潤滑層を設けることにより駆動の効率性、安定性、等を向上させることができる。潤滑層としては流動体を使用することができる。たとえば、シリコーンオイル、フッ素系液体（たとえば、フロリナート（商標））、等の不活性かつ電気絶縁性を有する液体を使用すると好適である。また、滑り抵抗ではなく、潤滑層と同様の作用効果を有する直径１０〜２０μｍ程度のビーズを使用し転がり抵抗としてもよい。

次に、本発明の静電アクチュエータにおける電源部について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成の一例を図７に示す。図７において、１０１は入力器、１０２は制御器、１０３は高電圧電源、１０４は復号器、１０５は切替器であり、これらによって電源部が構成される。
入力器１０１は、制御の態様を指令する信号を入力し、制御器１０２に対してその信号を出力する部分である。すなわち、インタフェース、バッファ等の役割を有する部分である。その信号にはＵＰ、ＤＯＷＮ、ＳＴＡＲＴ、ＳＴＯＰ、ＳＰＥＥＤが存在する。ＵＰは移動シート２を上昇移行させる指令信号であり、ＤＯＷＮは移動シート２を下降移行させる指令信号である。また、ＳＴＡＲＴは高電圧電源の電力供給を開始する指令信号であり、ＳＴＯＰは高電圧電源の電力供給を停止する指令信号である。また、ＳＰＥＥＤは３相交流における周波数を決定する指令信号である。

制御器１０２は入力器１０１から入力した指令信号に基づいて高圧電源１０３と復号器１０４を操作する操作信号を出力する制御器である。
高電圧電源１０３はグランドに対してプラス高電圧とマイナスの高電圧を出力する電源である。高電圧電源１０３は制御器１０２が出力する操作信号に基づいてプラス高電圧とマイナスの高電圧における出力電圧を変化することができる。出力電圧の範囲は、たとえば、２００〜２０００ボルト（Ｖ）である。
復号器１０４は、制御器１０２が出力する操作信号を切替器１０５を動作させる切替信号に複合化する。
切替器１０５は、復号器１０４が複合化する切替信号によって、高圧電源１０３の出力を切替える。その切替によって得られる出力は、たとえば、（１）３相正向進行波、（２）３相逆向進行波、（３）３つの出力をすべてプラス高電圧、（４）３つの出力をすべてマイナス高電圧、（５）３つの出力をすべてグランド（０電圧）のいずれかである。

上述の図７に示す電源部は、向心性駆動領域用の電源部、向心性駆動領域用の電源部、Ｘ方向駆動領域用の電源部、Ｙ方向駆動領域用の電源部の４つが存在する。それら電源部の各々は、向心性電極リード線１３、回転性電極リード線１４、Ｘ方向駆動電極リード線（図示せず）、Ｙ方向駆動電極リード線（図示せず）の各々に電力を供給する。
それら電源部の各々の入力器１０１が、各々の制御の態様を指令する信号を入力することによって、それら電源部の各々の切替器１０５から、各々の制御の態様に対応した電圧波形の電力が供給される。
以上から明らかなように、駆動シート１の向心性駆動領域、回転性駆動領域、Ｘ方向駆動領域、駆動シート３のＹ方向駆動領域は、各々が独立した制御の態様を受けることができる。したがって、移動シート２は向心性の移動、回転、Ｘ方向の移動、Ｙ方向の移動、回転、およびそれらを組み合わせた任意の移動を行うことができる。

本発明の静電アクチュエータにおける構成の説明図である。本発明の静電アクチュエータにおけ構成を示す説明図である。 図１においてＡで示す領域の拡大図である。 図１においてＢで示す領域の拡大図である。 図１においてＣで示す領域の拡大図である。 図１においてＤで示す領域の拡大図である。 Ｘ方向駆動領域およびＹ方向駆動領域における電極線のパターンの一例を示す図である。 本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成の一例を示す図である。

符号の説明

１ 駆動シート
２ 移動シート
１１ 向心性電極
１２ 回転性電極
１３ 向心性電極リード線
１４ 回転性電極リード線
１０１ 入力器
１０２ 制御器
１０３ 高電圧電源
１０４ 復号器
１０５ 切替器

Claims (3)

1. 移動シートに対して所定位置に向かう静電力を作用させるための向心性電極と、
   移動シートに対して回転する静電力を作用させるための回転性電極とを有し、
   前記向心性電極は電極線を前記所定位置を渦巻の中心として平面渦巻状に形成した渦巻電極パターンであり、
   前記渦巻電極パターンは前記渦巻の中心を一周する前に前記渦巻の中心方向へ方向転換し、さらに、前記渦巻の中心を円の中心とする円周方向へ方向転換させ、最外周から前記渦巻の中心方向に向かい前記渦巻の中心を巻回させていることを特徴とする静電アクチュエータ。
   
2. 請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、前記回転性電極は電極線を平面放射状に形成した放射電極パターンであることを特徴とする静電アクチュエータ。
3. 請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、放射電極パターンは前記所定位置を放射の中心とする放射電極パターンであることを特徴とする静電アクチュエータ。

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