JP5274239B2 - 成膜装置 - Google Patents
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成膜室に接続する搬送室と、
搬送室に接続され、基板の保持位置を検出する基板待機室と、
搬送室内に設けられ、成膜室と基板待機室との間で基板を搬送する搬送手段と、
基板待機室における保持位置が検出された基板の中心を第1の基準位置に位置合わせする第1の位置合わせ機構と、
基板の中心が第1の基準位置に位置合わせされた基板について、基板の中心を成膜室の内部で第2の基準位置に位置合わせを行った後、サセプタに載置する第2の位置合わせ機構とを有し、
第2の基準位置は、サセプタの中心であることを特徴とする成膜装置に関する。
2 成膜室
3 第1の開閉部
4 搬送室
5 第1の位置合わせ機構
6 第2の位置合わせ機構
8 基板待機室
9 カセット
10 基板搬送用ロボット
11 第2の開閉部
12 第3の開閉部
13、16、19 排気口
14、15、18 導入口
17 搬送用ロボット
20、52、903 サセプタ
22 第4の開閉部
23 基板支持台
24 照明装置
25、30 CCDカメラ
31、54、904 サセプタ支え
32、55 回転軸
40 撮像領域
50 別形態の第2の位置合わせ機構
51 凹部
53 凸部
902 ウェハ
905 隙間
W 基板
Claims (3)
- 基板を載置するサセプタを内蔵し、前記サセプタを回転させながら前記基板の上に成膜処理を行う成膜室と、
前記成膜室に接続する搬送室と、
前記搬送室に接続され、前記基板の保持位置を検出する基板待機室と、
前記搬送室内に設けられ、前記成膜室と前記基板待機室との間で前記基板を搬送する搬送手段と、
前記基板待機室における前記保持位置が検出された前記基板の中心を第1の基準位置に位置合わせする第1の位置合わせ機構と、
前記基板の中心が前記第1の基準位置に位置合わせされた前記基板について、前記基板の中心を前記成膜室の内部で第2の基準位置に位置合わせを行った後、前記サセプタに載置する第2の位置合わせ機構とを有し、
前記第2の基準位置は、前記サセプタの中心であることを特徴とする成膜装置。 - 前記第1の位置合わせ機構および前記第2の位置合わせ機構のうちの少なくとも一方は、撮像素子による前記基板の撮像結果により前記基板の中心の位置情報を認識する検出機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記撮像素子はCCDカメラであることを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。
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