JP5255493B2 - レーザバー保持装置 - Google Patents
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Description
前記本体部は、前記レーザバーの前記成膜面を露出させるための開口部と前記成膜面を整列させるための基準面を有する整列部材を有し、
前記押圧部は、前記板状弾性部材の前記窪み部に対応する領域の一部であって、前記板状弾性部材の長手方向の中央部で幅方向の前記レーザバーの露出端面側からみて中央よりも奥側の領域を押圧することにより、前記間接押圧部を前記基準面に向かう分圧が生じるように斜めに押圧することを特徴とする。
となる。
また、この構成によると、押圧部が板状弾性部材の窪み部に対応する一部のみを押圧するので、板状弾性部材や押圧部材の微小凹凸によって押圧力が付与される位置が変動したり、偏在することを防止することが可能となり、間接押圧部材及びレーザバーに対してより均等かつ確実な押圧力を付与することが可能となる。
さらに、板状弾性部材の中央部奥側を押圧することにより、間接押圧部材をレーザバーの露出端面(成膜面)を基準面側に押し付ける水平方向の応力を付与する。この応力により各レーザバー端面(成膜面)が基準面側に押し付けられる。
を備え、
前記間接押圧部材は、前記底面部とは反対側の面に、中央部から両端部に向かって延びる窪み部を備えており、
前記本体部は、前記レーザバーの前記成膜面を露出させるための開口部と前記成膜面を整列させるための基準面を有する整列部材を有し、
前記間接押圧部は、前記窪み部側の幅方向面が、前記レーザバーの露出面側が高く他方が低い傾斜面となっており、該傾斜面上に配置された前記板状弾性部材を前記押圧部で押圧することにより、前記間接押圧部を前記基準面に向かう分圧が生じるように斜めに押圧することを特徴とする。
この態様によると、板状弾性部材の板状弾性部材の当接面が、レーザバーの露出端面側が高く他方が低くなるように斜めに傾斜しているため、間接押圧部材をレーザバーの露出端面の基準面側に押し付ける水平方向の応力が付与される。この応力により各レーザバー端面(成膜面)が基準面側に押し付けられる。
この態様によると、板状弾性部材の中央部奥側を押圧することにより、間接押圧部材をレーザバーの露出端面(成膜面)を基準面側に押し付ける水平方向の応力を付与する。この応力により各レーザバー端面(成膜面)が基準面側に押し付けられる。
成膜処理する際のレーザバー93のレーザバー保持装置10へのセット手順を説明する。まず、本体11からスライド枠体14を取り外し、その後、成膜処理の対象となるレーザバー93を本体11の上側からガイド部11aと11bの間に挿入して積み重ねる。その後、レーザバー93の上から間接押圧部材21と板状弾性部材20をガイド部11aと11bの間に挿入した後、スライド枠体14を挿入する。スライド枠体14は、スライド枠体11に設けられた押圧ねじ15の先端部15a(図2参照)が板状弾性部材20に当接する位置で、固定ねじ18により、本体11に固定される。固定ねじ18は本体11にねじ込んで締め付けることができるように構成されており(図示せず)、スライド枠体14は、固定ねじ18と本体11の間に挟み込まれた状態で締め付けることにより固定される。スライド枠体14の高さ方向の移動は、スライド枠体14の裏面に設けられた溝17(図3参照)によって可能となる。
図5(a)に本発明に使用する間接押圧部材の第2の実施形態を説明する。
図5(a)は第2の実施形態にかかる間接押圧部材31の斜視図を示し、図5(b)にその使用状態を示すレーザバー保持装置の斜視図を示す。なお、混乱を避けるために、第2の実施形態にかかる間接部材31を使用しているレーザバー保持装置を、第1の実施形態と区別して、第2の実施形態にかかるレーザバー保持装置30として説明することとする。
図5(b)に示すように、この構造により、板状弾性部材20の押圧力は間接押圧部材31の下面の両端凸部33a、33bによりレーザバー93を押圧することになる。これにより、レーザバーを押圧する面の一部に微少凸部が存在する等の理由で押圧力が偏在することを防止できるので、間接押圧部材31によりレーザバー93をさらに均等に押圧することが可能となる。
図6を用いて、本発明の第3の実施形態にかかるレーザバー保持装置40を説明する。図6に示すレーザバー保持装置40では、押圧ねじ15の先端15aが板状弾性部材21の中心部よりやや奥側(前より2/3程度奥の位置)を押圧している。このように、中心よりやや奥を押圧することにより、板状弾性部材20が偏った方向に変形し、間接押圧部材21を斜め前に押す力F1が生じる。この力F1は垂直方向の力Faと水平方向押圧する力Fbとに分力される。この水平方向の分力Fbにより、間接押圧部材21は、レーザバー93を前面に設けられている整列枠板12の裏面である基準面12aに押し付けるように作用する。
図7及び図8を用いて、本発明の第4の実施形態にかかるレーザバー保持装置50について説明する。図7は、第3の実施形態にかかる間接押圧装置51とその上で押圧される板状弾性部材20の変形状態を示す斜視図であり、図8は、図7に示す間接押圧部材51を用いた第4の実施形態にかかるレーザバー保持装置50の中央断面状態を示す斜視図である。
11 本体部
11a、11b ガイド部
12 整列枠板
12a 基準面
13 底面部
14 スライド枠体
14a 突出部
15 押圧ねじ
15a 先端部
16 押圧部
17 スライド溝
18 固定ねじ
19 開口部
20 板状弾性部材
21,31、51 間接押圧部材
21a、21b、31a、31b、51a、51b 外壁上端部
22、32、52 窪み部
90 半導体ウエハ
91 電極
92 劈開面
93 レーザバー
94 成膜面
Claims (3)
- 半導体レーザ用の半導体ウエハをバー状に劈開したレーザバーの出射側端面および/または反射側端面に成膜を行うために、該レーザバーを保持するレーザバー保持装置であって、
対向して平行に配置された一対のガイド部と底面部とを備え、前記レーザバーの成膜面が露出するように前記レーザバーを積層可能に前記底面部の上に配置する本体部と、
前記一対のガイド部の間に該一対のガイド部に沿って前記底面部に向かって移動可能に配置される間接押圧部材と、
前記間接押圧部材の上に配置される板状弾性部材と、
前記板状弾性部材を押圧する押圧部と、
を備え、
前記間接押圧部材は、前記底面部とは反対側の面に、中央部から両端部に向かって延びる窪み部を備えており、
前記本体部は、前記レーザバーの前記成膜面を露出させるための開口部と前記成膜面を整列させるための基準面を有する整列部材を有し、
前記押圧部は、前記板状弾性部材の前記窪み部に対応する領域の一部であって、前記板状弾性部材の長手方向の中央部で幅方向の前記レーザバーの露出端面側からみて中央よりも奥側の領域を押圧することにより、前記間接押圧部を前記基準面に向かう分圧が生じるように斜めに押圧することを特徴とするレーザバー保持装置。 - 半導体レーザ用の半導体ウエハをバー状に劈開したレーザバーの出射側端面および/または反射側端面に成膜を行うために、該レーザバーを保持するレーザバー保持装置であって、
対向して平行に配置された一対のガイド部と底面部とを備え、前記レーザバーの成膜面が露出するように前記レーザバーを積層可能に前記底面部の上に配置する本体部と、
前記一対のガイド部の間に該一対のガイド部に沿って前記底面部に向かって移動可能に配置される間接押圧部材と、
前記間接押圧部材の上に配置される板状弾性部材と、
前記板状弾性部材を押圧する押圧部と、
を備え、
前記間接押圧部材は、前記底面部とは反対側の面に、中央部から両端部に向かって延びる窪み部を備えており、
前記本体部は、前記レーザバーの前記成膜面を露出させるための開口部と前記成膜面を整列させるための基準面を有する整列部材を有し、
前記間接押圧部は、前記窪み部側の幅方向面が、前記レーザバーの露出面側が高く他方が低い傾斜面となっており、該傾斜面上に配置された前記板状弾性部材を前記押圧部で押圧することにより、前記間接押圧部を前記基準面に向かう分圧が生じるように斜めに押圧することを特徴とするレーザバー保持装置。 - 前記押圧部は、前記板状弾性部材の長手方向の中央部で幅方向の前記レーザバーの露出端面側からみて中央よりも奥側の領域を押圧することを特徴とする請求項2に記載のレーザバー保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009064504A JP5255493B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | レーザバー保持装置 |
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JP2009064504A JP5255493B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | レーザバー保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010219312A JP2010219312A (ja) | 2010-09-30 |
JP5255493B2 true JP5255493B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=42977829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009064504A Active JP5255493B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | レーザバー保持装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106112868A (zh) * | 2016-08-24 | 2016-11-16 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于夹持半导体器件的夹具 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02208808A (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-20 | Nippon Mining Co Ltd | コアブロックのギャップ形成治具 |
JP2007281390A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ素子の整列・分離装置 |
-
2009
- 2009-03-17 JP JP2009064504A patent/JP5255493B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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