JP5249279B2 - 位置センサ - Google Patents
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Description
特許文献5のように、高周波の搬送波を用いて、信号波形を得ようとすると、36kHzの信号波形を得るためには、1信号当たり10個程度の搬送波を必要とするため、360kHzの搬送波を必要とする。360kHzの搬送波を用いることにより、コイルの巻き数を減らすことができる。
(1)ステータコイルが形成されたステータ固定板と、ステータ固定板と隙間を介して対向しながら動作可能に設けられ、ロータコイルが形成されたロータ可動板と、を有する位置センサであって、ステータコイルが、所定のピッチでジグザグに折り返されたコイルであること、ステータコイルと直列に接続された容量素子を有すること、ロータコイルが、ステータコイルと隙間を介して対向して配置され、所定のピッチで短絡されたショートコイルであること、ステータコイルに容量素子を介して供給される励磁信号を出力する励磁信号出力回路を有すること、ステータコイルの出力電圧の変化に基づいて、所定のピッチ分、ロータ可動板が移動したことを検出する移動検出手段を有すること、を特徴とする。
(3)(1)または(2)に記載する位置センサにおいて、前記ステータコイルが、前記ステータ固定板の表面に形成され、前記ロータコイルが、ロータ可動板の表面に形成されていること、を特徴とする。
(5)(3)または(4)に記載する位置センサにおいて、前記ステータコイルが、前記ロータコイルの全周に対して、一部のみ配置されていること、を特徴とする。
(1)ステータコイルが形成されたステータ固定板と、前記ステータ固定板と隙間を介して対向しながら動作可能に設けられ、ロータコイルが形成されたロータ可動板と、を有する位置センサであって、(a)ステータコイルが、所定のピッチでジグザグに折り返されたコイルであること、(b)ステータコイルと直列に接続された容量素子を有すること、(c)ロータコイルが、前記ステータコイルと隙間を介して対向して配置され、所定のピッチで短絡されたショートコイルであること、(d)ステータコイルに容量素子を介して供給される励磁信号(周波数をNMHzとする。)を出力する励磁信号出力回路を有すること、(e)ステータコイルの出力電圧の変化に基づいて、所定のピッチ分、ロータ可動板が移動したことを検出する移動検出手段を有すること、特徴とするので、ステータコイルに対するショートコイルの位置が、所定のピッチの半ピッチ分ずれているときには、ステータコイルのインダクタンスは変化せず(ショートコイルの影響を受けず)、共振周波数は励磁信号の周波数(NMHz)と一致する。よって、ステータコイルの出力信号の振幅は最大となる。
例えば、クランク軸の角度センサの場合には、ステータコイルのジグザグ(九十九折り)のピッチを1度とし、ショートコイルのピッチを1度としておけば、ロータの可動板がステータ固定板に対して、1度ずれる毎に、パルス信号を出力することができ、それをエンジン制御手段に送信することができる。
一方、ステータコイルとショートコイルの位置が一致しているときには、ステータコイルで発生する磁束GXにより、ショートコイルに起電力が発生し、起電力により発生した電流により、磁束GXとは逆向きの磁束GYが発生する。磁束GYの発生により、磁束GXが弱められ、その結果ステータコイルのインダクタンスは最小となり、共振周波数は最大となり、このとき共振周波数と励磁信号の周波数(NMHz)のずれは最大となる。
すなわち、第1ステータコイルで検出する第1電圧信号と、第2ステータコイルで検出する第2電圧信号に対しては、例えば、ステータ固定板とロータ可動板との隙間の変動の誤差は、等しく加減算される。したがって、同じタイミングにおいて、第1電圧信号と第2電圧信号との差分を算出することにより、発生した誤差をキャンセルすることができる。
(4)(1)または(2)に記載する位置センサにおいて、前記ステータコイルが、前記ステータ固定板の内周表面に形成され、前記ロータコイルが、ロータ可動板の外周表面に形成されていること、を特徴とするので、位置センサの径方向における寸法を小さくすることができる。また、(3)と比較して、ステータコイルとショートコイルの位置関係の精度を保つことが容易であり、製造コストを低減できる。
(5)(3)または(4)に記載する位置センサにおいて、前記ステータコイルが、前記ロータコイルの全周に対して、一部のみ配置されていること、を特徴とするので、全周に設けた場合と比較して、取り付け箇所が限られている場合にも、適用可能となる。
図1に、本実施の形態のロータリーエンコーダ1を概略構成図により示す。ロータリーエンコーダ1は、一例として、エンジン2のクランクシャフト3の端部に接続して設けられ、クランクシャフト3の動作位置(回転角度)を検出するために使用される。ロータリーエンコーダ1は、ステータ4と、ステータ4と隙間5を介して対向しながら回転可能に設けられるロータ6と、コントローラ7と、これらの部品4,6,7を収容するハウジング8とを備える。ステータ4は、本発明のステータ固定板としてのステータ平板11と、ステータ平板11のロータ6との対向面側に設けられるステータコイル12とを含む。ロータ6は、本発明のロータ可動板としてのロータ平板13と、ロータ平板13のステータ4との対向面側に設けられるロータコイル14とを含む。
ショートコイルは、例えば、導電性インクをロータ可動板13上にインクジェットプリンタにより描画して、乾燥固定することにより形成される。または、半導体製造工程で用いられているエッチング等により微細線パターンを形成し貼り付けても良い。または、プレス成形により打ち抜いたパターンを貼り付けても良い。
本実施例では、ステータコイル12のジグザグの導体パターンの径方向の長さ、線の太さは、ロータコイル14のショートコイルと同じである。導体パターンとショートコイルとで相違しているのは、ショートコイルが環状であるのに対して、導体はターンがジグザグで外側の辺が交互に存在しない点のみである。すなわち、ステータコイル12とロータコイル14とは、ステータコイル12がジグザグ(九十九折り状)に形成されているのに対して、ロータコイル14がショートコイルとして環状に形成されている点を除いては、数も同数であり、寸法も同じであり、位置も同じである。ステータコイル12の製造方法は、ロータコイル14と同じである。
ただし、ステータコイル12のジグザグの導体パターンの太さは、ロータコイル14のショートコイルの線の太さと異なっても良い。また、ステータコイル12のジグザグの導体パターンの径方向の長さは、ロータコイル14のショートコイルの径方向の長さと同じでも良いし、長くても良く、また、短くても良い。
本実施例のステータコイル12、及びロータコイル14を用いることにより、ロータリートランスを必要としないため、ロータリーエンコーダ1の径方向の寸法を小型化できる。
図3(a)では、ステータコイル12の導体パターン12A、12B、・・・に対するロータコイル14のショートコイル14A、14B・・・の位置が、所定のピッチPの半ピッチ分P/2ずれているときを示している。例えば、ショートコイル14Cに対して、隣り合う2つの導体パターン(12B,12C)の半分ずつ、つまり導体パターン12Bの後半分12Bb、導体パターン12Cの前半分12Caが対向している。
すなわち、導体パターン12Bbにより発生しショートコイル14C内を通過する磁束G(12Bb)と、導体パターン12Caにより発生しショートコイル14C内を通過する磁束G(12Ca)とは、逆向きの磁束で同じ量の磁束であり、ショートコイル14Cを通過する磁束は実質的にゼロとなり、ショートコイル14Cに起電力は発生しない。
同様に、導体パターン12Cbにより発生しショートコイル14D内を通過する磁束G(12Cb)と、導体パターン12Daにより発生しショートコイル14D内を通過する磁束G(12Da)とは、逆向きの磁束で同じ量の磁束であり、ショートコイル14Dを通過する磁束は実質的にゼロとなり、ショートコイル14Dに起電力は発生しない。
同様に、ロータコイル14の全てのショートコイル14A、14B、・・・において、起電力が発生しない。
したがって、ステータコイル12の全ての導体パターン12A、12B、・・・が発生する磁束Gを打ち消すような磁束は発生せず、インダクタンスの低下はない。よって、共振周波数は、励磁信号の周波数(NMHz)と同じである。
電極端子24、25に励磁信号が供給される。本実施例では、励磁信号として、0.65MHz(650kHz)の励磁信号を供給している。
図3(c)に、端子23で検出したステータコイルの出力電圧の波形を示す。
図中Nは、励磁信号の周波数0.65MHz(650kHz)を示している。図3(a)に示すように、ステータコイル12の導体パターン12A、12B、・・・に対するロータコイル14のショートコイル14A、14B・・・の位置が、所定のピッチPの半ピッチ分P/2ずれているときには、ステータコイル12の全ての導体パターン12A、12B、・・・が発生する磁束Gを打ち消すような磁束は発生せず、インダクタンスの低下はない。よって、共振周波数は、励磁信号の周波数(NMHz)と同じである。
すなわち、共振周波数は、インダクタンスLの関数であり、Lが小さくなると共振周波数は大きくなり、Lが大きくなると共振周波数は小さくなる。
このときには、ステータコイル12の出力電圧は、VHと最大値である。
図4(a)にステータコイル12のジグザグに形成された導体パターン12A、12B、12C、12D、12E、12F、12Gを示す。また、ロータコイル14の環状に形成されたショートコイル14A、14B、14C、14D、14E、14F、14Gを示す。
図4(a)では、ステータコイル12の導体パターンに対するロータコイル14のショートコイルの位置が、一致しているときを示している。例えば、ショートコイル14Aに対して、導体パターン12Aが一致し、ショートコイル14Bに対して、導体パターン14Bが一致している。
図4(a)に示すように、ステータコイル12の導体パターン12A、12B、・・・と、ロータコイル14のショートコイル14A、14B、・・・の位置が一致しているときには、ステータコイル12の導体パターン12A、12B、・・・で発生する磁束GXにより、ショートコイル14A、14B、・・・に起電力が発生し、起電力により発生した電流により、磁束GXとは逆向きの磁束GYが発生する。磁束GYの発生により、磁束GXが弱められ、その結果ステータコイル12のインダクタンスは最小となり、共振周波数は最大となり、このとき共振周波数と励磁信号の周波数(NMHz)のずれは最大となる。
図4(a)に示すように、ステータコイル12の導体パターン12A、12B、・・・に対するロータコイル14のショートコイル14A、14B・・・の位置が、一致しているときには、ステータコイル12の全ての導体パターン12A、12B、・・・が発生する磁束GXを打ち消すような磁束GYが発生するため、インダクタンスは大きく低下する。よって、共振周波数Haは、約0.9MHzまで大きくなり、励磁信号の共振周波数Hから大きくずれる。
これにより、励磁コイルの共振周波数NMHzにおいて、共振周波数Haが発生する出力電圧は、VHa(V)へ低下する。
図4(c)に端子23で検出したステータコイル12の電圧波形を示す。
ステータコイル12の端子23におけるステータコイル12の出力電圧S1の波形を図6に示す。励磁信号であるNMHz(0.65MHz)の搬送波に対して、信号波が重ねられている。すなわち、励磁信号は、高周波であり、図3(c)や図4(c)に示す出力電圧は、信号波として、搬送波に重ねられている。すなわち、ステータコイル12の出力電圧は、搬送波が振幅変調された信号波となっている。
アンプは、出力電圧信号S1を増幅して信号S2とする。同期検波器32は、励磁信号NMHzにより、信号S2を同期検波し、信号S3を出力する。ローパスフィルタ33は、信号S3を平滑化し、波形信号S4とする。
すなわち、同期検波器32及びローパスフィルタ33により、信号S2から、高周波である搬送波を除去して、信号波のみの波形信号S4とする。この波形信号S4を、コンパレータ34でしきい値以上か否かにより、パルス信号S5に変換する。1つのパルス信号S5が出ると、ロータ可動板13が、所定のピッチPだけ回転したことがわかる。
このパルス信号をエンジン制御装置に出力することにより、パルス信号を受けたエンジン制御装置は、クランク軸の回転角度を、1度の分解能で正確に得ることができる。
第2の実施の形態では、その問題を解決している。第2の実施の形態の構成は、第1の実施の形態とほとんど同じであるので、相違する点のみ詳細に説明し、同じ部分については、説明を割愛する。
図9及び図10に、第2の実施の形態のロータコイル14、及びステータコイル121、122を示す。ロータコイル14は、第1の実施の形態と同じである。
第1の実施の形態では、ステータコイル12は1つであったが、第2の実施の形態では、ステータコイル121、ステータコイル122と2つのステータコイルを備えている。各ステータコイル121、122の形状、大きさは、第1実施の形態と同じである。ステータコイル121とステータコイル122とは、図9、図10に示すように、半ピッチP/2ずれて形成されている。
この状態では、図に示すように、ステータコイル121の出力電圧は最大値VHであり、ステータコイル122の出力電圧は最小値VHaである。
図10は、ステータコイル121の導体パターンが、ロータコイル14のショートコイルと半ピッチP/2ずれている場合を示している。このとき、ステータコイル122の導体パターンは、ロータコイル14のショートコイルと一致している。
この状態では、図に示すように、ステータコイル121の出力電圧は最小値VHaであり、ステータコイル122の出力電圧は最大値VHである。
ステータコイル121のポイント23における出力電圧S11の波形、及びステータコイル122のポイント23における出力電圧S12の波形を図9に示す。励磁信号であるNMHz(0.65MHz)の搬送波に対して、信号波が重ねられている。すなわち、励磁信号は、高周波であり、ステータコイル121、122の出力電圧は、信号波として、搬送波に重ねられている。すなわち、ステータコイル121、122の出力電圧は、搬送波が振幅変調された信号波となっている。
すなわち、同期検波器32及びローパスフィルタ33により、信号S13から、高周波である搬送波を除去して、信号波のみの波形信号S15とする。この波形信号S15を、コンパレータ34でしきい値以上か否かにより、パルス信号S16に変換する。1つのパルス信号S16が出ると、ロータ可動板13が、所定のピッチPだけ回転したことがわかる。
このパルス信号をエンジン制御装置に出力することにより、パルス信号を受けたエンジン制御装置は、クランク軸の回転角度を、1度の分解能で正確に得ることができる。
ステータコイル12が形成されたステータ固定板11と、ステータ固定板11と隙間を介して対向しながら動作可能に設けられ、ロータコイル14が形成されたロータ可動板13と、を有するロータリーエンコーダ1であって、(a)ステータコイル12が、所定のピッチPでジグザグに折り返された導体パターンであること、(b)ステータコイル12と直列に接続された容量素子であるコンデンサ22を有すること、(c)ロータコイル14が、ステータコイル12と隙間を介して対向して配置され、所定のピッチPで短絡されたショートコイルであること、(d)ステータコイル12にコンデンサ22を介して供給される励磁信号(周波数をNMHzとする。)を出力する励磁信号出力回路を有すること、(e)ステータコイル12の出力電圧の変化に基づいて、所定のピッチP分、ロータ可動板13が移動したことを検出する移動検出手段31、32、33、34、35を有すること、を特徴とするので、ステータコイル12の導体パターンに対するロータコイル14のショートコイルの位置が、所定のピッチPの半ピッチ分P/2ずれているときには、ステータコイル12のインダクタンスは変化せず(ショートコイルの影響を受けず)、共振周波数は励磁信号の周波数(NMHz)と一致する。よって、ステータコイルの出力信号の振幅は最大となる。
例えば、クランク軸の角度センサの場合には、ステータコイル12のジグザグ(九十九折り)のピッチを1度とし、ショートコイルのピッチを1度としておけば、ロータの可動板がステータ固定板に対して、1度ずれる毎に、パルス信号を出力することができ、それをエンジン制御手段に送信することができる。
すなわち、第1ステータコイル121で検出する第1電圧信号と、第2ステータコイル122で検出する第2電圧信号に対しては、例えば、ステータ固定板11とロータ可動板13との隙間の変動の誤差は、等しく加減算される。したがって、同じタイミングにおいて、第1電圧信号と第2電圧信号との差分を算出することにより、発生した誤差をキャンセルすることができる。
また、ステータコイル12が、ステータ固定板11の表面に形成され、ロータコイル14が、ロータ可動板13の表面に形成されていること、を特徴とするので、ロータリーエンコーダ1の軸心方向における寸法を小さくすることができる。
図12に第1変形例を示す。ロータ可動板13とロータコイル14とは、第1実施の形態または第2の実施の形態と同じである。ステータ固定板111、及びその上に形成されるステータコア123が、第1実施の形態または第2の実施の形態のステータ固定板11の、円周方向に8等分されたものの1つである。
第1の変形例によれば、ステータコイル12が、ロータコイル14の全周に対して、一部のみ配置されていること、を特徴とするので、全周に設けた場合と比較して、出力が低下し、S/N比が悪くなるが、取り付け箇所が限られている場合にも、適用可能となる。
第2変形例によれば、ステータコイル124が、ステータ固定板112の内周表面に形成され、ロータコイル141が、ロータ可動板131の外周表面131aに形成されていること、を特徴とするので、位置センサの径方向における寸法を小さくすることができる。また、第1または第2実施の形態と比較して、ステータコイル124の導体パターンと、ロータコイル141のショートコイルの位置関係の精度を保つことが容易であり、製造コストを低減できる。
図14に第3の変形例を示す。ロータ可動板131とロータコイル141とは、第2変形例と同じである。ステータ固定板113、及びその上に形成されるステータコア125が、第2変形例のステータ固定板112の、円周方向に8等分されたものの1つである。
第3の変形例によれば、ステータコイル125が、ロータコイル141の全周に対して、一部のみ配置されていること、を特徴とするので、全周に設けた場合と比較して、取り付け箇所が限られている場合にも、適用可能となる。
本実施の形態では、ステータコイル12の導体パターンと、ロータコイル14のショートコイルのピッチを中心角で1度となるように形成したが、コストはかかるが、精度の高い製造法を用いて、より細密な導体パターン、ショートコイルを形成して、分解能を向上させても良い。
本実施の形態では、角度検出用のセンサについて説明したが、ステータコイル12の導体パターン、及びロータコイル14のショートコイルを直線状に形成することにより、直線の位置センサを形成することができる。
11 ステータ固定板
12 ステータコイル
13 ロータ可動板
14 ロータコイル
22 コンデンサ
31 アンプ
32 同期検波器
33 ローパスフィルタ
34 コンパレータ
35 差動アンプ
Claims (5)
- ステータコイルが形成されたステータ固定板と、
前記ステータ固定板と隙間を介して対向しながら動作可能に設けられ、ロータコイルが形成されたロータ可動板と、
を有する位置センサにおいて、
前記ステータコイルが、所定のピッチでジグザグに折り返されたコイルであること、
前記ステータコイルと直列に接続された容量素子を有すること、
前記ロータコイルが、前記ステータコイルと隙間を介して対向して配置され、前記所定のピッチで短絡されたショートコイルであること、
前記ステータコイルに前記容量素子を介して供給される励磁信号を出力する励磁信号出力回路を有すること、
前記ステータコイルの出力電圧の変化に基づいて、前記所定のピッチ分、前記ロータ可動板が移動したことを検出する移動検出手段を有すること、
を特徴とする位置センサ。 - 請求項1に記載する位置センサにおいて、
前記ステータコイルに対し、位相が半ピッチずれた所定のピッチでジグザグに折り返された第2ステータコイルを有すること、
前記移動検出手段が、前記ステータコイルの出力電圧と、前記第2ステータコイルの出力電圧の差分に基づいて、前記所定のピッチ分、前記ロータ可動板が移動したことを検出すること、
を特徴とする位置センサ。 - 請求項1または請求項2に記載する位置センサにおいて、
前記ステータコイルが、前記ステータ固定板の表面に形成され、
前記ロータコイルが、ロータ可動板の表面に形成されていること、
を特徴とする位置センサ。 - 請求項1または請求項2に記載する位置センサにおいて、
前記ステータコイルが、前記ステータ固定板の内周表面に形成され、
前記ロータコイルが、ロータ可動板の外周表面に形成されていること、
を特徴とする位置センサ。 - 請求項3または請求項4に記載する位置センサにおいて、
前記ステータコイルが、前記ロータコイルの全周に対して、一部のみ配置されていること、
を特徴とする位置センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010095731A JP5249279B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 位置センサ |
CN 201110099925 CN102223046B (zh) | 2010-04-19 | 2011-04-19 | 位置传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010095731A JP5249279B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 位置センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011226877A JP2011226877A (ja) | 2011-11-10 |
JP5249279B2 true JP5249279B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=45042391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010095731A Expired - Fee Related JP5249279B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | 位置センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5249279B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6147658B2 (ja) * | 2013-12-18 | 2017-06-14 | 三菱重工工作機械株式会社 | 電磁誘導式位置検出器及び検出方法 |
JP6642915B2 (ja) * | 2016-01-28 | 2020-02-12 | 三菱重工工作機械株式会社 | 電磁誘導式位置検出器 |
JP7084807B2 (ja) * | 2018-07-10 | 2022-06-15 | オークマ株式会社 | 電磁誘導型位置センサ用のセンサ基板、および、センサ基板の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50156478A (ja) * | 1974-06-06 | 1975-12-17 | ||
JP2001194183A (ja) * | 2000-01-05 | 2001-07-19 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 基板形レゾルバ |
JP4615955B2 (ja) * | 2004-10-12 | 2011-01-19 | 株式会社ミツトヨ | 誘導型変位検出装置 |
-
2010
- 2010-04-19 JP JP2010095731A patent/JP5249279B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011226877A (ja) | 2011-11-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |