JP5246681B2 - 液封センサ - Google Patents

Description

本発明は、磁性流体をセンシングに利用した液封センサに関する。

一般に、センサは、(圧)力や、変位、速度、加速度、角速度などの物理量（又はその変化）を検出し、その検出結果を電気信号に変換して出力するものであり、これらのセンサは、各種の電子機器等に組み込まれて、状態の検出や自動制御などに幅広く利用されている。

その中でも、半導体素子からなる半導体センサは、固体であるため振動や加速度等に強く信頼性が高いといった利点がある。このため、各種の民生機器や自動車等に搭載するための様々な半導体センサが開発されている（例えば、特許文献１などを参照。）。

しかしながら、半導体センサは、更なる小型化及び薄型に伴って、半導体基板上に立体的に作り込んでいくことが困難となってきている。その結果、面内方向（Ｘ，Ｙ方向）に限らず、鉛直方向（Ｚ方向）や軸回り方向（θ方向）といった検出方向の自由度を高めることが困難となってきている。

そこで、このような従来の半導体センサとは全く異なる手法を用いて、検出方向の自由度を高めるための技術が提案されている（例えば、非特許文献１を参照。）。具体的に、この非特許文献１には、磁性体と感磁素子との組み合わせによって加速度を検出する加速度センサが記載されている。この加速度センサは、図６に示すように、磁気抵抗素子（ＭＲ素子）１０１が配置された基板１０２上に、ポール１０３を介して弾性マグネット１０４を取り付けた構造を有している。なお、ポール１０３は、ポリジメチルシロキサン(ＰＤＭＳ)からなり、弾性マグネット１０４は、このＰＤＭＳ中に磁性粉末を分散させたものからなる。この加速度センサでは、加速度が加わったときに弾性マグネット１０４がポール１０３ごと傾くことで、基板１０２上のＭＲ素子１０１は弾性マグネット１０４が傾く方向とその度合いを磁気的に検出する。そして、この検出結果から加速度の方向とその度合いを計測することが可能となっている。

しかしながら、この磁気センサの場合、加速度の検出方向を広げるという点では優れているものの、細いポール１０３の上に重量物である弾性マグネット１０４を形成する必要があるため、精度良く形成することが難しいといった欠点がある。
特開平５−２６７５４号公報 Ｋ.Ｌ.Ｐｈａｎ，Ａ.Ｍａｕｒｉｔｚ ａｎｄ Ｆ.Ｇ.Ａ.Ｈｏｍｂｕｒｇ、「Ａ ＮＯＶＥＬ ＥＲＡＳＴＯＭＥＲ−ＢＡＳＥＤ ＭＡＧＮＥＴＯＲＥＳＩＳＴＩＶＥ ＡＣＣＥＬＥＲＯＭＥＴＥＲ」、Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ＆ ＥＵＲＯＳＥＮＳＯＲＳ '０７、ｐ１４７９−１４８２

そこで、本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、検出方向の自由度を高めることができるセンサとして、磁性流体をセンシングに利用した新規な液封センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る液封センサは、界面活性剤を含む磁性流体を封入する液封部と、液封部を封止すると共に外部磁界を遮断するシールドパッケージと、シールドパッケージ内に配置されて磁性流体を磁化させるマグネットと、液封部に封入された磁性流体の磁気的な変動を検出する感磁部とを備え、液封部は、感磁部が配置された基板の面上に、磁性流体の液滴を形成し、この液滴の表面及びこの液滴が形成された基板の面上を可撓性膜で覆うことにより、液滴を気密に封止してなり、マグネットは、平面視で感磁部の中央部に位置するようにシールドパッケージ内に配置されていることを特徴とする。
この液封センサでは、液封部内の磁性流体がマグネットにより磁化されて、マグネットのある感磁部の中央部側へと引き寄せられた状態から、ある方向に加速度が加わった際に、液封部に封入された磁性流体の磁気的な変動を感磁部が検出することによって、何れの方向においても加速度に対する感度を高めることができる。すなわち、この液封センサに加速度が加わったときには、加速度が加わる方向に液封部内の磁性流体が移動する（偏る）ため、このような簡便な構成でありながら、検出方向の自由度を高めることが可能である。また、この液封センサでは、液封部に封入される磁性流体が界面活性剤を含むことで、界面活性剤が強磁性粒子の表面に吸着し、強磁性粒子が凝集したり、重力によって沈降したりすることなく、安定した分散状態を保ちながら、磁性流体が磁性を帯びた液体として機能する。さらに、この液封センサでは、液封部に封入される磁性流体の粘性を変えることによって、検出感度を容易且つ自由に設定することができる。さらにまた、液封部を簡便な構造としながら、小型且つ安価に製造することができる。

さらに、上記可撓性膜は、化学気相成長法により形成したパラキシリレン系樹脂膜からなることが好ましい。
この場合、磁性流体又は磁性粒子が分散された液体の液滴が形成された面上を化学気相成長法により形成したパラキシリレン系樹脂膜で覆うことにより、液滴を気密に封止することができる。したがって、この化学気相成長法により形成したパラキシリレン系樹脂膜は、上記可撓性膜として非常に適している。

また、上記感磁部には、磁気抵抗素子又はホール素子の何れかを用いることができる。

以上のように、本発明によれば、検出方向の自由度を高めることができる小型の液封センサを安価に提供することが可能である。

以下、本発明を適用した液封センサについて、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

先ず、第１の実施形態として図１及び図２に示す液封センサ１について説明する。
この液封センサ１は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板２上に配置された感磁部３と、この感磁部３上に配置された液封部４とを備え、この液封部４に磁性流体ＭＬが封入された構造を有している。

基板２には、例えばシリコン基板やガラス基板、プラスチック基板などの非磁性基板を用いることができるが、これらの材料に必ずしも限定されるものではない。また、基板２は、後述する感磁部３又はその一部を構成するものや、液封部４の一部を構成するものであってもよい。また、基板２には、感磁部３と電気的に接続される配線等を形成してもよい。

感磁部３は、液封部４に封入された磁性流体ＭＬの磁気的な変動を検出するものとして、磁気抵抗素子やホール素子などの感磁素子を用いることができる。具体的に、この感磁部３は、基板２の上に配置された複数の感磁素子５を有し、この感磁素子５は、基板２を平面視したときに、液封部４の中央部と、この中央部を挟んだ互いに直交する２方向の両側にそれぞれ配置されている。すなわち、この感磁素子５は、感磁部３の中央部と、この中央部を挟んだ四方の合計５箇所に配置されている。また、基板２には、図示を省略するものの、各感磁素子５と電気的に接続される配線等が設けられている。さらに、基板２の表面には、感磁素子５等を保護するために、例えば酸化膜若しくはポリイミド膜などからなる保護膜６が設けられている。

なお、感磁素子５の配置や数については、このような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば感磁素子５を中央部とこの中央部を挟んだ八方の合計９箇所に配置した構成や、感磁素子５をアレイ状に複数並べて配置した構成としてもよい。

液封部４は、磁性流体ＭＬの液滴が形成された面上を可撓性膜７で覆うことにより、磁性流体ＭＬを液滴の状態で気密に封止した構造を有している。具体的に、この液封部４は、上記保護膜６が形成された感磁部３の上に磁性流体ＭＬを適量滴下し、更に、この磁性流体ＭＬの液滴が形成された面上に、ＣＶＤ法を用いてパリレンからなる可撓性膜７を形成することによって、磁性流体ＭＬの液滴を気密に封止してなる。

磁性流体ＭＬは、微細な強磁性粒子を界面活性剤と共にベースとなる水や油、有機溶媒などの分散媒に分散させたものからなり、界面活性剤が強磁性粒子の表面に吸着することで強磁性粒子が凝集したり、重力によって沈降したりすることなく、安定した分散状態を保ちながら、磁性を帯びた液体として機能するものである。

また、液封センサ１は、基板２の上にシールドパッケージ８を被せることによって、このシールドパッケージ８と基板２との間の密閉された空間内に感磁部３及び液封部４を封入した構造となっている。（なお、図１（ａ）ではシールドパッケージ８を図示せず。）このシールドパッケージ８は、液封部４を保護すると共に、この液封部４に封入された磁性流体ＭＬが外部からの磁界の影響を受けることがないように、例えばパーマロイなどの磁気シールド材料からなる。

また、液封センサ１は、このシールドパッケージ８内に配置されて、磁性流体ＭＬを磁化させるマグネット９を備えている。このマグネット９は、液封部４の上部中央の直上、すなわち、基板２を平面視したときに、感磁部３の中央部に位置するように、シールドパッケージ８の裏面に設けられている。これにより、液封部４内の磁性流体ＭＬは、マグネット９により磁化されて、マグネット９のある感磁部３の中央部側へと引き寄せられる。

以上のような構造を有する液封センサ１は、例えば物体に加わる加速度を計測する加速度センサとして機能する。具体的に、この液封センサ１では、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、ある方向に加速度が加わった際に、液封部４内の磁性流体ＭＬが、この液封センサ１に加わる加速度の方向に移動しようとするため、その加速度が加わる方向において加速度の度合いに応じた磁性流体ＭＬの偏りが発生する。このとき、感磁部３では、磁性流体ＭＬが偏ることにより発生した磁界の変化を複数の感磁素子５が検出する。そして、液封センサ１では、この検出結果から液封部４に封入された磁性流体ＭＬの偏りの度合いと方向とを求めることによって、加速度の方向とその度合いを計測することが可能となっている。

以上のように、この液封センサ１では、ある方向に加速度が加わった際に、液封部４に封入された磁性流体ＭＬの磁気的な変動を感磁部３が検出することによって、何れの方向においても加速度に対する感度を高めることができる。すなわち、この液封センサ１に加速度が加わったときには、加速度が加わる方向に液封部４内の磁性流体ＭＬが移動する（偏る）ため、このような簡便な構成でありながら、検出方向の自由度を高めることが可能である。

また、この液封センサ１では、液封部４に封入される磁性流体Ｌの粘性を変えることによって、検出感度を容易且つ自由に設定することが可能である。さらに、この液封センサ１では、液封部４に封入された磁性流体ＭＬの磁気的な変動を感磁部３が検出する構成のため、温度による特性の変化が小さく、その検出感度を安定化させることが可能である。

なお、上記液封センサ１は、上述した加速度センサとして機能するものに限らず、例えば、物体に加わる角速度を計測する角速度センサ（ジャイロセンサ）や、物体に加わる圧力を計測する圧力センサ等として用いることができ、封入された磁性流体ＭＬをセンシングに利用したセンサとして幅広く利用することが可能である。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態として図３に示す液封センサ２０について説明する。
この液封センサ２０は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、基板２１上に配置された感磁部２２と、この感磁部２２上に配置された液封部２３とを備え、この液封部２３に磁性粒子ＭＰが分散された液体Ｌが封入された構造を有している。

基板２１には、例えばシリコン基板やガラス基板、プラスチック基板などの非磁性基板を用いることができるが、これらの材料に必ずしも限定されるものではない。また、基板２１は、後述する感磁部２２又はその一部を構成するものや、液封部２３の一部を構成するものであってもよい。また、基板２１には、感磁部２２と電気的に接続される配線等を形成してもよい。

感磁部２２は、液封部２３に封入された磁性粒子ＭＰの磁気的な変動を検出するものとして、磁気抵抗素子やホール素子などの感磁素子を用いることができる。具体的に、この感磁部２２は、基板２１の上に配置された複数の感磁素子２４を有し、この感磁素子２４は、基板２１を平面視したときに、液封部２３の中央部と、この中央部を挟んだ互いに直交する２方向の両側にそれぞれ配置されている。すなわち、この感磁素子２４は、感磁部２２の中央部と、この中央部を挟んだ四方の合計５箇所に配置されている。また、基板２１には、図示を省略するものの、各感磁素子２４と電気的に接続される配線等が設けられている。さらに、基板２１の表面には、感磁素子２４等を保護するために、例えば酸化膜若しくはポリイミド膜などからなる保護膜２５が設けられている。

なお、感磁素子２４の配置や数については、このような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば感磁素子２４を中央部とこの中央部を挟んだ八方の合計９箇所に配置した構成や、感磁素子２４をアレイ状に複数並べて配置した構成としてもよい。

液封部２３は、磁性粒子ＭＰが分散された液体Ｌの液滴が形成された面上を可撓性膜２６で覆うことにより、液体Ｌを液滴の状態で気密に封止した構造を有している。具体的に、この液封部２３は、上記保護膜２５が形成された感磁部２２の上に、磁性粒子ＭＰが分散された液体Ｌを適量滴下し、更に、この液体Ｌの液滴が形成された面上に、ＣＶＤ法を用いてパリレンからなる可撓性膜２６を形成することによって、磁性粒子ＭＰが分散された液体Ｌの液滴を気密に封止してなる。

液体Ｌとしては、パリレンにより封入可能なものであればよく、例えば、シリコーンオイルや、キシレンオイル、グリスなどを用いることができる。その中でも、シリコーンオイルは、耐熱性及び耐寒性に優れ、粘度の温度依存性も小さいことから、上記液封部４に封入される液体Ｌとして非常に適している。
磁性粒子ＭＰとしては、例えばフェライトなどの強磁性体粒子を用いることができる。

また、液封センサ２０は、基板２１の上にシールドパッケージ２７を被せることによって、このシールドパッケージ２７と基板２との間の密閉された空間内に感磁部２２及び液封部２３を封入した構造となっている。（なお、図２（ａ）ではシールドパッケージ２７を図示せず。）

また、液封センサ２０は、このシールドパッケージ２７内に配置されて、磁性粒子ＭＰを磁化させるマグネット２８を備えている。このマグネット２８は、液封部２３の上部中央の直上、すなわち、基板２１を平面視したときに、感磁部２２の中央部に位置するように、シールドパッケージ２７の裏面に設けられている。これにより、液封部２３内の磁性粒子ＭＰは、マグネット２８により磁化されて、このマグネット２８に引き寄せられながら液封部２３内の上部中央に凝集することになる。

以上のような構造を有する液封センサ２０は、例えば物体に加わる加速度を計測する加速度センサとして機能する。具体的に、この液封センサ２０では、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、ある方向に加速度が加わった際に、液封部２３内の液体Ｌが、この液封センサ２０に加わる加速度の方向に移動しようとするため、その加速度が加わる方向において加速度の度合いに応じた液体Ｌの偏りが発生すると共に、この液体Ｌ中の磁性粒子ＭＰも、マグネット９の磁気的な吸引力に抗して加速度が加わる方向へと移動することになる。

このとき、感磁部２２では、磁性粒子ＭＰが移動することにより発生した磁界の変化を複数の感磁素子２４が検出する。そして、液封センサ２０では、この検出結果から液封部２３に封入された磁性粒子ＭＰの偏りの度合いと方向とを求めることによって、加速度の方向とその度合いを計測することが可能となっている。なお、液封部２３内の磁性粒子ＭＰは、加速度が無くたった後は、マグネット２８に引き寄せられて、再び液封部２３内の上部中央に凝集することになる。

以上のように、この液封センサ２０では、ある方向に加速度が加わった際に、液封部２３に封入された磁性粒子ＭＰの磁気的な変動を感磁部２２が検出することによって、何れの方向においても加速度に対する感度を高めることができる。すなわち、この液封センサ２０に加速度が加わったときには、加速度が加わる方向に液封部２３内の磁性粒子ＭＰが移動する（偏る）ため、このような簡便な構成でありながら、検出方向の自由度を高めることが可能である。

また、この液封センサ２０では、液封部２３に封入される液体Ｌの粘性を変えることによって、検出感度を容易且つ自由に設定することが可能である。さらに、この液封センサ２０では、液封部２３に封入された磁性粒子ＭＰの磁気的な変動を感磁部２２が検出する構成のため、温度による特性の変化が小さく、その検出感度を安定化させることが可能である。

なお、上記液封センサ２０は、上述した加速度センサとして機能するものに限らず、例えば、物体に加わる角速度を計測する角速度センサ（ジャイロセンサ）や、物体に加わる圧力を計測する圧力センサ等として用いることができ、封入された磁性流体ＭＬをセンシングに利用したセンサとして幅広く利用することが可能である。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態として図５に示す液封センサ４０について説明する。
この液封センサ４０は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、基板４１の両面に配置された第１の感磁部４２及び第２の感磁部４３と、これら第１及び第２の感磁部４２，４３上に配置された一対の液封部４４ａ，４４ｂとを備え、これら一対の液封部４４ａ，４４ｂに磁性流体ＭＬが封入された構造を有している。

基板４１には、例えばシリコン基板やガラス基板、プラスチック基板などの非磁性基板を用いることができるが、これらの材料に必ずしも限定されるものではない。また、基板２は、後述する第１及び第２の感磁部４２，４３又はその一部を構成するものや、液封部４４の一部を構成するものであってもよい。また、基板２には、第１及び第２の感磁部４２，４３と電気的に接続される配線等を形成してもよい。

第１及び第２の感磁部４２，４３は、一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入された磁性流体ＭＬの磁気的な変動を検出するものとして、磁気抵抗素子やホール素子などの感磁素子を用いることができる。具体的に、これら第１及び第２の感磁部４２，４３は、それぞれ基板４１の上に配置された複数の感磁素子４５を有し、この感磁素子４５は、基板４１を平面視したときに、一対の液封部４４ａ，４４ｂの中央部と、この中央部を挟んだ互いに直交する２方向の両側にそれぞれ配置されている。すなわち、この感磁素子４５は、第１及び第２の感磁部４２，４３の中央部と、この中央部を挟んだ四方の合計５箇所（×２）に配置されている。また、基板４１には、図示を省略するものの、各感磁素子４５と電気的に接続される配線等が設けられている。さらに、基板４１の両面には、感磁素子４５等を保護するための保護膜４６が設けられている。

なお、感磁素子４５の配置や数については、このような構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば感磁素子４５を中央部とこの中央部を挟んだ八方の合計９箇所（×２）に配置した構成や、感磁素子４５をアレイ状に複数並べて配置した構成としてもよい。

一対の液封部４４ａ，４４ｂは、上記液封部４と同様に、磁性流体ＭＬの液滴が形成された面上を可撓性膜４７で覆うことにより、磁性流体ＭＬを液滴の状態で気密に封止した構造を有している。具体的に、これら一対の液封部４４ａ，４４ｂは、上記保護膜４６が形成された第１及び第２の感磁部４２ａ，４３ｂの上に、磁性流体ＭＬを適量滴下し、更に、この磁性流体ＭＬの液滴が形成された面上に、ＣＶＤ法を用いてパリレンからなる可撓性膜４７を形成することによって、磁性流体ＭＬの液滴を気密に封止してなる。

また、液封センサ４０は、基板４１の両面にシールドパッケージ４８を被せることによって、これらシールドパッケージ４８と基板４１との間の密閉された空間内に第１及び第２の感磁部４２．４３及び一対の液封部４４ａ，４４ｂを封入した構造となっている。（なお、図５（ａ）ではシールドパッケージ４８を図示せず。）

また、液封センサ４０は、これらシールドパッケージ４８内に配置されて、磁性流体ＭＬを磁化させるマグネット４９を備えている。このマグネット４９は、一対の液封部４４ａ，４４ｂの上部中央の直上、すなわち、基板４１を平面視したときに、第１及び第２の感磁部４２，４３の中央部に位置するように、シールドパッケージ４８の裏面にそれぞれ設けられている。これにより、一対の液封部４４ａ，４４ｂ内の磁性流体ＭＬは、マグネット４９により磁化されて、マグネット４９のある第１及び第２の感磁部４２，４３の中央部側へと引き寄せられる。

以上のような構造を有する液封センサ４０は、例えば物体に加わる加速度を計測する加速度センサとして機能する。具体的に、この液封センサ４０では、ある方向に加速度が加わった際に、一対の液封部４４ａ，４４ｂ内の磁性流体ＭＬが、この液封センサ４０に加わる加速度の方向に移動しようとするため、その加速度が加わる方向において加速度の度合いに応じた磁性流体ＭＬの偏りが発生する。このとき、第１及び第２の感磁部４２，４３では、磁性流体ＭＬが偏ることにより発生した磁界の変化を複数の感磁素子５が検出する。そして、液封センサ４０では、この検出結果から一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入された磁性流体ＭＬの偏りの度合いと方向とを求めることによって、加速度の方向とその度合いを計測することが可能となっている。

特に、このような構造を有する液封センサ４０では、基板４１と直交する方向（以下、鉛直方向という。）の加速度に対する感度を高めることができる。具体的に、この液封センサ４０では、図５（ｂ）に示すように、鉛直方向に加速度が加わった際に、一対の液封部４４ａ，４４ｂ内の液体Ｌが、この液封センサ４０に加わる加速度の方向に移動しようとする。すなわち、第１の感磁部４２では、一方の液封部４４ａ内の磁性流体ＭＬが感磁素子４５から離間する方向に移動し、第２の感磁部４３では、他方の液封部４４ｂ内の磁性流体ＭＬが感磁素子４５に近接する方向に移動することになる。この場合、第１及び第２の感磁部４２，４３の感磁素子４５が検出する磁界の変化は正反対となる。これにより、液封センサ４０では、鉛直方向の加速度に対する感度を高めることが可能である。

以上のように、この液封センサ４０では、ある方向に加速度が加わった際に、一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入された磁性流体ＭＬの変動を第１及び第２の感磁部４２，４３が検出することによって、何れの方向においても加速度に対する感度を高めることができる。すなわち、この液封センサ４０に加速度が加わったときには、加速度が加わる方向に一対の液封部４４ａ，４４ｂ内の磁性流体ＭＬが移動する（偏る）ため、このような簡便な構成でありながら、検出方向の自由度を高めることが可能である。

また、この液封センサ４０では、一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入される磁性流体ＭＬの粘性を変えることによって、検出感度を容易且つ自由に設定することが可能である。さらに、この液封センサ４０では、一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入された磁性流体ＭＬの変動を第１及び第２の感磁部４２，４３が検出する構成のため、温度による特性の変化が小さく、その検出感度を安定化させることが可能である。

なお、本発明は、上記液封センサ４０の構成に必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記液封センサ４０では、上記磁性流体ＭＬの代わりに、磁性粒子ＭＰを分散させた液体Ｌを上記一対の液封部４４ａ，４４ｂに封入した構成とすることも可能である。

また、上記液封センサ４０は、上述した加速度センサとして機能するものに限らず、例えば、物体に加わる角速度を計測する角速度センサ（ジャイロセンサ）や、物体に加わる圧力を計測する圧力センサ等として用いることができ、封入された液体をセンシングに利用したセンサとして幅広く利用することが可能である。

図１は、第１の実施形態として示す液封センサであり、（ａ）は、その平面図（ｂ）は、その断面図である。 図２は、図１に示す液封センサのセンシングを説明するための断面図であり、（ａ）は、一方の側に加速度が加わった状態、（ｂ）は、静止した状態、（ｃ）は、他方の側に加速度が加わった状態を示す図である。 図３は、第２の実施形態として示す液封センサであり、（ａ）は、その平面図（ｂ）は、その断面図である。 図４は、図３に示す液封センサのセンシングを説明するための断面図であり、（ａ）は、一方の側に加速度が加わった状態、（ｂ）は、静止した状態、（ｃ）は、他方の側に加速度が加わった状態を示す図である。 図５は、第３の実施形態として示す液封センサの変形例であり、（ａ）は、その平面図（ｂ）は、その断面図である。 従来の加速度センサの一例を示す断面図である。

符号の説明

１…液封センサ（第１の実施形態） ２…基板 ３…感磁部 ４…液封部 ５…感磁素子 ６…保護膜 ７…可撓性膜 ８…シールドパッケージ ９…マグネット
２０…液封センサ（第２の実施形態） ２１…基板 ２２…感磁部 ２３…液封部 ２４…感磁素子 ２５…保護膜 ２６…可撓性膜 ２７…シールドパッケージ ２８…マグネット
４０…液封センサ（第３の実施形態） ４１…基板 ４２…第１の感磁部 ４３…第２の感磁部 ４４ａ，４４ｂ…一対の液封部 ４５…感磁素子 ４６…保護膜 ４７…可撓性膜 ４８…シールドパッケージ ４９…マグネット
ＭＬ…磁性流体 ＭＰ…磁性粒子 Ｌ…液体

Claims (4)

1. 界面活性剤を含む磁性流体を封入する液封部と、
   前記液封部を封止すると共に外部磁界を遮断するシールドパッケージと、
   前記シールドパッケージ内に配置されて前記磁性流体を磁化させるマグネットと、
   前記液封部に封入された磁性流体の磁気的な変動を検出する感磁部とを備え、
   前記液封部は、前記感磁部が配置された基板の面上に、前記磁性流体の液滴を形成し、この液滴の表面及びこの液滴が形成された基板の面上を可撓性膜で覆うことにより、前記液滴を気密に封止してなり、
   前記マグネットは、平面視で前記感磁部の中央部に位置するように前記シールドパッケージ内に配置されていることを特徴とする液封センサ。
2. 前記可撓性膜が、化学気相成長法により形成したパラキシリレン系樹脂膜からなることを特徴とする請求項１に記載の液封センサ。
3. 前記液封部及び前記感磁部が、前記基板の両面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液封センサ。
4. 前記感磁部が、磁気抵抗素子又はホール素子からなることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液封センサ。

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