JP5243802B2 - 超音波棒変換器 - Google Patents
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 12
- 239000003570 air Substances 0.000 description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 241001661918 Bartonia Species 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
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- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
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Claims (17)
- 内部空間を画定し、その内側面(32)が前記内部空間に面しカラー(28)と底部(29)とから成る少なくとも1つの外壁を有する筐体(10)と、
2つの端面を有し、前記筐体(10)の前記内部空間に収容された圧電変換器(8)と、
前記筐体(10)の外側に配置された共振器(2)と、
前記圧電変換器(8)を前記共振器(2)に接続し、少なくとも一部が前記筐体(10)から突出する連接要素(7)と、
内部空間を有するカップ形状に形成され、底部(36)が前記圧電変換器(8)の表面に音響的及び熱的に結合され、前記外壁の前記内側面(32)に隙間(34)を形成して隣接して延びる少なくとも1つの表面(24)を有し、前記圧電変換器(8)の損失熱を前記隙間(34)を介して前記外壁に伝達する伝熱要素(9)と、を備え、
前記筐体(10)は、中空構造であり前記底部(29)から内側に突出し前記伝熱要素(9)の前記内部空間に配置される突出部(38)を有し、
前記突出部(38)は、前記伝熱要素(9)の前記内部空間に配置されたときに、前記伝熱要素(9)の内側面との間に隙間ができるように形成されている、
液体に超音波を発生させる超音波棒変換器(1)。 - 前記内部空間は、円筒の断面を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記伝熱要素(9)は、円筒状の外側面を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記伝熱要素(9)は、星形状の断面を有し、
前記カラー(28)の前記内側面(32)は、前記伝熱要素(9)に沿うように断面が星形状となるように形成され、
前記内部空間は、星形状の断面を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。 - 前記星形状は、中心領域、及び、この中心領域から突出する複数の突起から構成されるものである、ことを特徴とする請求項4に記載の超音波棒変換器。
- 前記複数の突起は、夫々同様の形状を有する、ことを特徴とする請求項5に記載の超音波棒変換器。
- 前記突起は、断面に見て、概略三角形である、ことを特徴とする請求項5又は6に記載の超音波棒変換器。
- 前記カラー(28)は、円筒の外表面を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記筐体(10)は、円筒状のカラー(28)とカップ底部(29)とから成る、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記筐体(10)は、その内部に、角柱状の内部空間を画定する、ことを特徴とする請求項9に記載の超音波棒変換器。
- 前記隙間(34)の幅は、0.5mmと3mmの間である、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記連接要素(7)は、その外径が、前記内部空間の内寸幅より大きい、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記圧電変換器(8)は、その間に電極(18)が挿入された多数の隣接して配置された圧電ウェハ(17)から形成される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記圧電変換器(8)は、2つの端面部を有し、伝熱要素(9)は、一の端面部に配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記圧電変換器(8)は、音響的に結合された2つの区分を有し、前記伝熱要素(9)は、前記2つの区分の間に配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
- 前記液体に発生する前記超音波の波長をλとした場合、
前記伝熱要素(9)は、振動軸に平行な方向に、λ/2の長さを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。 - 前記連接要素(7)は、一部が、前記筐体(10)の外側に配置される、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波棒変換器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005007056.6 | 2005-02-15 | ||
DE102005007056A DE102005007056A1 (de) | 2005-02-15 | 2005-02-15 | Ultraschall-Stabschwinger |
PCT/EP2006/000251 WO2006087053A1 (de) | 2005-02-15 | 2006-01-13 | Ultraschall-stabschwinger zur erzeugung von ultraschall in flüssigkeiten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008529777A JP2008529777A (ja) | 2008-08-07 |
JP5243802B2 true JP5243802B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=36529318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007555468A Active JP5243802B2 (ja) | 2005-02-15 | 2006-01-13 | 超音波棒変換器 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7688681B2 (ja) |
EP (1) | EP1859436B8 (ja) |
JP (1) | JP5243802B2 (ja) |
CN (1) | CN101142619B (ja) |
BR (1) | BRPI0607338B1 (ja) |
DE (1) | DE102005007056A1 (ja) |
DK (1) | DK1859436T3 (ja) |
ES (1) | ES2392946T3 (ja) |
PL (1) | PL1859436T3 (ja) |
WO (1) | WO2006087053A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005007056A1 (de) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Dieter Weber | Ultraschall-Stabschwinger |
WO2012045755A1 (de) | 2010-10-04 | 2012-04-12 | Dr. Hielscher Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur verspannung von elektromechanischen verbund-hochfrequenzschwingsystemen (vfhs) |
DE102012109405B4 (de) * | 2011-10-05 | 2020-11-12 | Dr. Hielscher Gmbh | Ultraschallsystem mit Ultraschallerzeuger, Resonator und Lichtquelle |
JP6270505B2 (ja) * | 2014-01-27 | 2018-01-31 | オリンパス株式会社 | 積層型超音波振動デバイス、積層型超音波振動デバイスの製造方法および超音波医療装置 |
DE102014210886A1 (de) | 2014-06-06 | 2015-12-17 | Weber Ultrasonics Gmbh | Ultraschall-Konverter |
CN104275329B (zh) * | 2014-10-24 | 2016-01-06 | 王峰 | 一种色谱柱或保护柱超声清洗装置 |
EP3101441B1 (de) * | 2015-06-03 | 2018-05-16 | Pepperl + Fuchs GmbH | Ultraschallwandler |
DE202017100958U1 (de) | 2017-02-21 | 2017-03-06 | Weber Ultrasonics AG | Ultraschallschneidelement |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE124010C (ja) | ||||
US3689783A (en) * | 1971-03-11 | 1972-09-05 | David A Williams | Ultrasonic transducer with half-wave separator between piezoelectric crystal means |
US3772538A (en) * | 1973-01-08 | 1973-11-13 | Kane Corp Du | Center bolt type acoustic transducer |
DD124010A1 (ja) * | 1976-03-12 | 1977-02-02 | ||
ATE75974T1 (de) * | 1990-03-09 | 1992-05-15 | Walter Martin Ultraschalltech | Ultraschall-resonator. |
US6039059A (en) * | 1996-09-30 | 2000-03-21 | Verteq, Inc. | Wafer cleaning system |
DE19836229C1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-03-23 | Hielscher Gmbh | Anordnung zur Wärmeableitung, insbesondere für Ultraschallwandler mit hoher Leistung |
GB0117881D0 (en) * | 2001-07-21 | 2001-09-12 | Rawson F F | Piezoelectric transducers |
US7287537B2 (en) * | 2002-01-29 | 2007-10-30 | Akrion Technologies, Inc. | Megasonic probe energy director |
US6924585B2 (en) * | 2002-09-23 | 2005-08-02 | The Crest Group, Inc. | Sleeved ultrasonic transducer |
DE102005007056A1 (de) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Dieter Weber | Ultraschall-Stabschwinger |
-
2005
- 2005-02-15 DE DE102005007056A patent/DE102005007056A1/de not_active Ceased
-
2006
- 2006-01-13 CN CN200680004937XA patent/CN101142619B/zh active Active
- 2006-01-13 PL PL06700984T patent/PL1859436T3/pl unknown
- 2006-01-13 JP JP2007555468A patent/JP5243802B2/ja active Active
- 2006-01-13 WO PCT/EP2006/000251 patent/WO2006087053A1/de active Application Filing
- 2006-01-13 US US11/884,332 patent/US7688681B2/en active Active
- 2006-01-13 DK DK06700984.5T patent/DK1859436T3/da active
- 2006-01-13 BR BRPI0607338-7A patent/BRPI0607338B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2006-01-13 EP EP06700984A patent/EP1859436B8/de active Active
- 2006-01-13 ES ES06700984T patent/ES2392946T3/es active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080212408A1 (en) | 2008-09-04 |
BRPI0607338A2 (pt) | 2010-03-23 |
US7688681B2 (en) | 2010-03-30 |
WO2006087053A1 (de) | 2006-08-24 |
EP1859436B8 (de) | 2012-08-15 |
EP1859436A1 (de) | 2007-11-28 |
DK1859436T3 (da) | 2012-10-15 |
CN101142619A (zh) | 2008-03-12 |
EP1859436B1 (de) | 2012-07-11 |
DE102005007056A1 (de) | 2006-08-24 |
BRPI0607338B1 (pt) | 2017-11-07 |
ES2392946T3 (es) | 2012-12-17 |
CN101142619B (zh) | 2011-06-08 |
JP2008529777A (ja) | 2008-08-07 |
PL1859436T3 (pl) | 2013-01-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081222 |
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|
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|
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|
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|
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|
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