JP5242244B2 - オゾン濃縮装置 - Google Patents
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- オゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する分離部と、この分離部により分離された前記液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、前記液体オゾンと前記非凝縮気体との分離境界面と前記気化部との間を液封する液封部と、前記液封部に充填されて毛細管力を発現し前記気化部の入口を通して内部に進入する充填材と、を具備したオゾン濃縮装置において、
前記分離部と前記気化部との差圧が設定値Pとなるように、前記分離部へのガス流入量、前記分離部からのガス排出量及び前記気化部からのガス排出量の少なくとも一つを制御する制御手段を備え、
前記気化部の入口を、前記分離部の前記分離境界面高さに、前記差圧設定値Pに相当するヘッド高さを加えた高さより高い位置に設け、
前記気化部の出口に接続され濃縮オゾンが流れるガス流路と、
このガス流路に設けられ、前記気化部の圧力が設定圧力となるように前記濃縮オゾンの流量を調節する第一調節弁と、
前記ガス流路の前記第一調節弁より下流位置で分岐する分岐ガス流路と、
この分岐ガス流路に設けられ、前記第一調節弁より下流の圧力が前記気化部の圧力より低い設定値となるように前記濃縮オゾンの流量を調節する第二調節弁と、を有することを特徴とするオゾン濃縮装置。 - 前記分離部と前記気化部との差圧を取得する差圧取得手段を有することを特徴とする請求項1記載のオゾン濃縮装置。
- 前記気化部の圧力を測定する気化部圧力測定手段と、
前記分離部の圧力を測定する分離部圧力測定手段と、を備え
前記制御手段は、前記気化部圧力測定手段で測定された気化部の圧力が設定圧力となるように、前記気化部からのガス排出量を制御すると共に、前記分離部圧力測定手段で測定された分離部の圧力が前記気化部の設定圧力より設定値Pだけ高くなるように、前記分離部へのガス流入量及び前記分離部からのガス排出量の少なくとも一つを制御することを特徴とする請求項1記載のオゾン濃縮装置。 - 前記分離部の前記分離境界面の位置を取得する分離境界面位置取得手段を有し、
前記制御手段は、前記分離境界面の位置が所定の位置に位置するように、前記液体オゾンの生成量を制御することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のオゾン濃縮装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008144861A JP5242244B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | オゾン濃縮装置 |
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JP2009292657A JP2009292657A (ja) | 2009-12-17 |
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JP (1) | JP5242244B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5425612B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-02-26 | 住友重機械工業株式会社 | オゾンガス濃縮装置 |
JP5474526B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-04-16 | 住友重機械工業株式会社 | オゾン濃縮装置 |
JP2011132101A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | オゾンガス生成装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3338482B2 (ja) * | 1992-10-05 | 2002-10-28 | 株式会社鈴木商館 | オゾンビーム発生装置 |
JP4653023B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2011-03-16 | 住友重機械工業株式会社 | オゾン濃縮装置 |
JP4653024B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2011-03-16 | 住友重機械工業株式会社 | オゾン濃縮装置及びオゾン濃縮装置の運転方法 |
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JP2009292657A (ja) | 2009-12-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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