JP5239782B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Description
2 水晶振動片
3 ベース
B 導電性バンプ
Claims (3)
- 一対の励振電極が形成された振動部と前記励振電極が引き出されて接続電極が形成された保持部とを有する矩形状の圧電振動片と、前記圧電振動片を保持するベースと、前記ベースに保持した前記圧電振動片を気密封止するためにベースの封止部で接合する蓋とが設けられ、前記ベースの搭載部に前記圧電振動片の保持部が導電性バンプにより接合された圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片は、当該圧電振動片の振動部と保持部の間に切欠き部と連結部を形成しており、
前記圧電振動片の一端部の両端部である保持部の角付近に接続電極を形成しており、当該接続電極で導電性バンプを介して前記ベース上に圧電振動片の一端部の両端部の二つの保持部領域で電気的機械的に接合され、
前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の素地が露出した前記連結部に近接した一つの保持部領域か、もしくは前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の前記連結部に近接した保持部領域に対向するベースの素地が露出した一つのベース搭載部のいずれか一方で導電性バンプが当接した状態で前記ベース上に圧電振動片が片保持されてなることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 一対の励振電極が形成された薄肉の振動部と前記励振電極が引き出されて接続電極が形成された厚肉の保持部とを有する矩形状の逆メサ型の圧電振動片からなることを特徴とする特許請求項1記載の圧電振動デバイス。
- 一対の励振電極が形成された振動部と前記励振電極が引き出されて接続電極が形成された保持部とを有する矩形状の圧電振動片と、前記圧電振動片を保持するベースと、前記ベースに保持した前記圧電振動片を気密封止するためにベースの封止部で接合する蓋とを有し、前記ベースの搭載部に前記圧電振動片の保持部が導電性バンプにより超音波接合する圧電振動デバイスの製造方法において、
前記圧電振動片は、当該圧電振動片の振動部と保持部の間に切欠き部と連結部を形成しており、
前記圧電振動片の一端部の両端部である保持部の角付近に接続電極を形成しており、当該接続電極が形成された圧電振動片の一端部の両端部の二つの保持部領域と、
前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の素地が露出した前記連結部に近接した一つの保持部領域とベースの搭載部の間か、もしくは前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の前記連結部に近接した保持部領域とこれに対向するベースの素地が露出した一つのベース搭載部の間のいずれか一方で導電性バンプを介在させ、
前記圧電振動片の上面部から超音波ボンディングツールにより加圧しながら、前記圧電振動片の前記接続電極で導電性バンプを介して前記ベース上に圧電振動片の一端部の両端部の二つの保持部角付近の領域で電気的機械的に接合し、かつ前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の素地が露出した前記連結部に近接した一つの保持部領域か、もしくは前記圧電振動片の一対の接続電極と当該一対の接続電極間の領域以外で圧電振動片の前記連結部に近接した保持部領域に対向するベースの素地が露出した一つのベース搭載部のいずれか一方で導電性バンプが当接した状態で前記ベース上に圧電振動片が片保持することを特徴とする圧電振動デバイスの製造方法。
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