JP5234780B2 - 複合基板の製造方法及び複合基板 - Google Patents
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(a)支持基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きな圧電基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きく加熱することにより前記支持基板に接着する樹脂フィルムとを用意する工程と、
(b)前記支持基板の表面と前記圧電基板の裏面とを有機接着層を介して貼り合わせると共に前記支持基板の裏面に前記樹脂フィルムを加熱して接着させて貼り合わせ基板を形成する工程と、
(c)前記圧電基板の厚みを薄くすると共に該圧電基板の表面を鏡面研磨する工程と、
を含むものである。
支持基板と、
前記支持基板よりも熱膨張係数が大きな圧電基板と、
前記圧電基板の裏面と前記支持基板の表面とを接着する有機接着層と、
前記支持基板よりも熱膨張係数が大きく前記支持基板の裏面に接着された樹脂フィルムと、
を備えたものである。
図2は、本実施例の複合基板の製造プロセスを模式的に示す断面図である。まず、支持基板として、オリエンテーションフラット部(OF部)を有し、直径が100mm、厚さが350μmのシリコン基板12を用意した。また、圧電基板として、OF部を有し、直径が100mm、厚さが250μmのタンタル酸リチウム基板(LT基板)10を用意した。更に、樹脂フィルムとして、形状が圧電基板と同様の形状であり、直径が100mm、厚さが350μm、線膨張係数が40ppm/℃のエポキシ樹脂製の樹脂フィルム18を用意した(図2(a)参照)。LT基板10は、弾性表面波(SAW)の伝搬方向をXとし、切り出し角が回転Yカット板である36°YカットX伝搬LT基板を用いた。このLT基板10の外径は、シリコン基板12の外径(100mm)と同じ100mmとした。次いで、LT基板10の裏面にスピンコートによりエポキシ系接着剤13を塗布し、シリコン基板12の表面に重ね合わせると共に、シリコン基板12の裏面に樹脂フィルム18を重ね合わせ、この状態で180℃に加熱した。その結果、貼り合わせ基板16を得た。この貼り合わせ基板16は、エポキシ系接着剤13が固化して有機接着層14になると共に、樹脂フィルム18がシリコン基板12に接着したものである(図2(b)参照)。このときの有機接着層14の厚さは0.3μmであった。
樹脂フィルム18の厚さを表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして複合基板を作製した。作製した複合基板につき実施例1と同様にして測定したLT基板の中心の表面の熱膨張係数の測定結果を表1に示す。表1から明らかなように、樹脂フィルム18の厚さが大きい方が、LT基板の中心の表面の熱膨張係数が小さい即ち温度変化に対するLT基板の大きさの変化が小さいことが分かった。
樹脂フィルム18をシリコン基板12の裏面に接着しなかった以外は、実施例1と同様にして複合基板を作製した。作製した複合基板につき実施例1と同様にして測定したLT基板の中心の表面の熱膨張係数は、8ppm/℃であった。
Claims (6)
- (a)支持基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きな圧電基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きく加熱することにより前記支持基板に接着する樹脂フィルムとを用意する工程と、
(b)前記支持基板の表面と前記圧電基板の裏面とを有機接着層を介して貼り合わせると共に前記支持基板の裏面に前記樹脂フィルムを加熱して接着させて貼り合わせ基板を形成する工程と、
(c)前記圧電基板の厚みを薄くすると共に該圧電基板の表面を鏡面研磨する工程と、
を含み、
前記有機接着層と、前記樹脂フィルムとは同じ材質からなる、
複合基板の製造方法。 - 前記工程(b)では、前記支持基板の表面及び前記圧電基板の裏面の一方又は両方に有機接着剤を塗布して該支持基板及び該圧電基板を重ね合わせると共に前記支持基板の裏面に前記樹脂フィルムを重ね合わせた状態とした後加熱する、
請求項1に記載の複合基板の製造方法。 - (a)支持基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きな圧電基板と、該支持基板よりも熱膨張係数が大きく加熱することにより前記支持基板に接着する樹脂フィルムとを用意する工程と、
(b)前記支持基板の表面と前記圧電基板の裏面とを有機接着層を介して貼り合わせると共に前記支持基板の裏面に前記樹脂フィルムを加熱して接着させて貼り合わせ基板を形成する工程と、
(c)前記圧電基板の厚みを薄くすると共に該圧電基板の表面を鏡面研磨する工程と、
を含み、
前記工程(b)では、前記支持基板の表面及び前記圧電基板の裏面の一方又は両方に有機接着剤を塗布して該支持基板及び該圧電基板を重ね合わせると共に前記支持基板の裏面に前記樹脂フィルムを重ね合わせた状態とした後加熱する、
複合基板の製造方法。 - 前記工程(a)では、弾性表面波を伝搬可能な圧電基板を用意する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の複合基板の製造方法。 - 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム及びニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶からなる群より選ばれた材質からなり、
前記支持基板は、シリコン、サファイア、窒化アルミニウム、アルミナ、ホウ珪酸ガラス及び石英ガラスからなる群より選ばれた材質からなる、
請求項4に記載の複合基板の製造方法。 - 支持基板と、
前記支持基板よりも熱膨張係数が大きな圧電基板と、
前記圧電基板の裏面と前記支持基板の表面とを接着する有機接着層と、
前記支持基板よりも熱膨張係数が大きく前記支持基板の裏面に接着された樹脂フィルムと、
を備え、
前記有機接着層と、前記樹脂フィルムとは同じ材質からなる、
複合基板。
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