JP5234502B2 - ロール状被検査物の表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
また近年、複写機等の高画質・高解像度化に伴い、検査装置には微小欠陥を高精度で検出できる能力が求められてきている。微小欠陥を検出するためには、ラインセンサの撮像位置を反射光分布が正反射光により近い位置に配置することが必要であるが、正反射光に近い位置にラインセンサを配置した場合、被検査物回転時の振れなどにより反射光分布が変化し、その光量変化を欠陥による変化と誤認してしまうという問題が生じる。被検査物回転時の振れを抑えるため、寸法精度が高い被検査物内面をコレットチャック等により保持し、回転させる方式が採用されている。
例えば、2種類のローラを製造しており、片方の種類の方が、直径、長さともに小さい場合には、被検査物の保持手段は、図11に示すように、コレットチャックの大径部(下段c1)よりも内側に小径のコレットチャック(上段c2)を配置するのが一般的である。ただし、このような構成では、配置によって図12に示すように、コレットチャックcの大径部(下段c1)が照射手段(照明手段1)からの検査光を遮蔽し、このために小径部(上段c2)に支持された被検査物Bの検査領域Tに影sができてしまう。検査領域T内に影sができると、その影が欠陥として認識(誤認)されしまうため、良否判定率が低下するという問題が生じる。
また、上記照明手段が複数の光源から構成され、上記被検査物の種類に応じて当該照明手段における各光源の点灯、消灯をそれぞれ制御することにより当該照明手段の発光領域を変化させ、当該被検査物への光の照射範囲を制御することである(請求項2)。
照明手段の発光領域を変化させることにより表面検査における表面欠陥誤認の原因となる検査光の影をなくすことができ、したがって、表面検査の精度を向上させることができる。
まず表面欠陥検査装置に係る第1の発明の実施例について説明する。
図1に示すように、表面欠陥検査装置は、ロール状の被検査物A,B(図2、図3)を支持し回転させる保持手段であるコレットチャックcと、被検査物A,Bの表面にライン状の光を照射する照明手段1と、被検査物の外観を検査するための撮像手段であり、被検査物からの反射光もしくは拡散光を検出するラインセンサ2と、照明手段1と被検査物の間に配置された遮光板3を備えている。なお、この遮光板3は照明手段1からの光の一部を選択的に遮るためのものである。
遮光板3は、その位置を制御する遮光板位置制御コントローラ(図示なし)により、光軸上にあって検査光(照明手段1から被検査物A,Bに照射される光)の一部を遮る状態と、同光を遮らない状態を選択的にとることができるようになっている。
図2に示すように、大径の被検査物Aを検査する時は、コレットチャックによって被検査物Aをその下段c1で保持し、駆動手段(図示略、以下同じ)によってコレットチャックcを回転させて被検査物Aを回転させる。単一の光源による照明手段1からライン光を照射し、その反射光あるいは拡散光をラインセンサで測定する。遮光板3は光軸から外れて照明手段1から被検査物Aへ照射される光を遮らない状態をとっている。したがって、図中に点線で示した被検査物Aの検査領域Tには光源からの光が一様に照射される。
被検査物Aの表面に欠陥がある場合には、当該欠陥部分で反射光分布が変化するので、ラインセンサで得た情報に基づいて演算処理して欠陥部の特徴量を算出して、算出した特徴量を判定スレッシュと比較することによって、被検査物の表面の欠陥の有無(表面精度の良否)の判定を行う。
この表面欠陥検査装置は前述した図1に示す構成と似ており、ロール状の被検査物Bを支持し回転させる保持手段であるコレットチャックcと、被検査物Bの表面にライン状の光を照射する照明手段11と、被検査物の外観を検査するための撮像手段であり、被検査物Bからの反射光もしくは拡散光を検出するラインセンサ2とを備えている。
小径の被検査物Bを検査する時は、コレットチャックcの上段c2によって被検査物Bを保持し、駆動手段によってコレットチャックcを回転させて、被検査物Bを回転させる。ライン状光源a,bからライン光を照射し、その反射光あるいは拡散光をラインセンサ2で測定する。このとき、ライン状光源aおよびbがともに点灯状態にあると、図12に示すように小径の被検査物Bを保持するためのコレットチャックの下段c1が照明手段11からの光の一部を遮蔽して被検査物の端部に影sができる。そしてこのように検査領域T内に影sができると、これが欠陥として誤認(誤認識)されてしまう。
T:検査領域
a,b:ライン状光源
1,11:照明手段
2:ラインセンサ
3:遮光板
10:発光領域
Claims (2)
- ロール状の被検査物を支持し回転させる被検査物保持手段と、被検査物表面にライン状の光を照射する照明手段と、その被検査物表面で反射あるいは拡散する光を検出するラインセンサを有し、そのラインセンサの出力を処理して当該被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、
上記照明手段と被検査物の間に遮光板を設けて、当該被検査物の種類に応じて当該遮光板の位置を制御することにより当該照明手段の発光領域を変化させ、当該被検査物への光の照射範囲を制御することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - ロール状の被検査物を支持し回転させる被検査物保持手段と、被検査物表面にライン状の光を照射する照明手段と、その被検査物表面で反射あるいは拡散する光を検出するラインセンサを有し、そのラインセンサの出力を処理して当該被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、
上記照明手段が複数の光源から構成され、上記被検査物の種類に応じて当該照明手段における各光源の点灯、消灯をそれぞれ制御することにより当該照明手段の発光領域を変化させ、当該被検査物への光の照射範囲を制御することを特徴とする表面欠陥検査装置。
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JP2008174217A JP5234502B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | ロール状被検査物の表面欠陥検査装置 |
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