JP5226132B2 - 多光軸磁気レンズ - Google Patents
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Description
〔第1実施形態〕
〔第2実施形態〕
〔第3実施形態〕
〔第4実施形態〕
〔第5実施形態〕
〔第6実施形態〕
〔第7実施形態〕
〔第8実施形態〕
2 ビーム
3 ビーム
4〜9 ホール(hole)
10 サブレンズ(sub-lens)
11 偏向磁界
12 偏向磁界
20 サブレンズ
30 サブレンズ
31 偏向磁界
32 偏向磁界
35 光軸(Optical Axis)
40 上端磁気導体板(upper magnetic conductor plate)
41 下端磁気導体板(lower magnetic conductor plate)
42 四極子磁界
220 共通励磁コイル(common excitation coil)
230 コイル・ヨーク(coil york)
310 磁気導体リング(magnetic insert ring)
310−1 磁気導体リング
310−2 磁気導体リング
315 磁気層(magnetic layer)
420 非磁性体間隙(non-magnetic material gap)
430 多層間隙
431,433 非磁性材料層
432 磁気導体材料層
520 非磁性体ライニング(non-magnetic lining)
530 磁気遮蔽管(magnetic shielding tube)
530−1 磁気遮蔽管
530−2 磁気遮蔽管
1020−1 磁気遮蔽箱(magnetic shielding house)
1020−2 磁気遮蔽箱
1021 磁気遮蔽箱上端蓋
1022 磁気遮蔽箱底板
1023 磁気遮蔽箱壁
1130 磁気遮蔽板(magnetic shielding plate)
Claims (14)
- 多光軸磁気レンズであって、
共通励磁コイルと、
荷電粒子ビームが通過する複数個のホールを有する一対の平行な磁気導体板であって、前記一対の磁気導体板の上端磁気導体板のそれぞれのホールと下端磁気導体板のホールは同軸位置に配置されている磁気導体板と、
前記磁気導体板のそれぞれのホールに挿入され、前記ホールと同軸位置に配置される複数個の磁気導体リングと、
ホール内壁と前記磁気導体リング外壁の間に設けられる複数個の間隙とを含み、
ここでは、これにより、複数個のサブレンズモジュールが形成され、それぞれのサブレンズモジュールはそれぞれ上端磁気導体板と下端磁気導体板に位置づけられる前記ホール、一対と、
それぞれ前記ホールに挿入される前記磁気導体リング、一対と、
それぞれ前記ホール内壁と前記磁気導体リング外壁の間に設けられる前記間隙,一対とを含み、
前記磁気導体リングは前記サブレンズの一対のポールピースとなり、
また、前記共通励磁コイルは前記サブレンズモジュールに磁束を供給し、それにより、それぞれの前記サブレンズモジュールはそれを通過する荷電粒子ビームに収束レンズ作用をもたらすことを特徴とする、多光軸磁気レンズ。 - それぞれの前記間隙は少なくとも一つの真空層、あるいは、非磁性材料が充填される層を有することを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- さらに複数個の磁気遮蔽管を含み、それぞれの前記磁気遮蔽管はそれぞれの前記サブレンズモジュールの上方と下方にそれぞれの前記ホールに対して同軸位置に配置され、前記磁気導体板との間が真空間隙や、非磁性ライニングによって、隔てられることを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- それぞれ前記上端磁気導体板に位置づけられる前記磁気導体リングは上に向かって延長し、前記上端磁気導体板と前記上端磁気遮蔽管の間の隙間を覆い、ここでは、それぞれ前記下端磁気導体板に位置づけられる前記磁気導体リングは下に向かって延長し、前記下端磁気導体板と前記下端磁気遮蔽管の間の隙間を覆うことを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- 前記上端磁気導体板に位置づけられる前記上端磁気導体リングは下に向かって延長し、その下端が前記下端磁気導体板の前記下端磁気導体リングの内側に位置づけられることを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- さらに、二つのそれぞれ前記上端磁気導体板の上側と前記下端磁気導体板の下側に位置づけられる磁気遮蔽箱を含むことを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- 前記磁気導体板対のサンプル側に位置づけられる前記磁気遮蔽管は複数個のホールを有する磁気遮蔽板によって取り換えられることを特徴とする、請求項3に記載の多光軸磁気レンズ。
- 前記磁気導体板対の一端に位置づけられる前記磁気遮蔽箱は複数個のホールを有する磁気遮蔽板によって取り換えられることを特徴とする、請求項6に記載の多光軸磁気レンズ。
- それぞれの前記間隔は同じ厚さの非磁性体間隙であることを特徴とする、請求項2に記載の多光軸磁気レンズ。
- それぞれの前記間隔は異なる厚さの非磁性体間隙であることを特徴とする、請求項2に記載の多光軸磁気レンズ。
- それぞれの前記間隙は多層間隙を有することを特徴とする、請求項1に記載の多光軸磁気レンズ。
- 前記多層間隙は少なくとも一つの磁気導体材料層を二つの非磁性材料層の間に挿入することを特徴とする、請求項11に記載の多光軸磁気レンズ。
- 前記磁気導体材料層と前記二つの非磁性材料層の一つは交互に配列されることを特徴とする、請求項12に記載の多光軸磁気レンズ。
- 一対の平行な磁気導体板上に構成される複数個のサブレンズモジュールであって、
ここでは、前記一対の平行な磁気導体板の上端磁気導体板上のそれぞれのホールは、前記一対の平行な磁気導体板の下端磁気導体板上のホールと同軸位置に配置され、上記下端磁気導体板上のホールと対を成し、複数個の荷電粒子ビームは、それぞれ一対のホールを通過する。
複数個のサブレンズモジュールはさらには
それぞれ前記磁気導体板上のホールに挿入され、これら前記ホールと同軸位置に配置される複数個の磁気導体リングと、
前記それぞれの磁気導体リングの外壁と前記磁気導体板の前記それぞれのホールの内壁の間に設けられる複数の間隙とを含み、
ここでは、それぞれの前記一対の磁気導体リングはサブレンズモジュールの一対のポールピースとして機能し、前記サブレンズモジュールの磁束は共通励磁コイルによって提供され、それぞれの前記サブレンズモジュールは荷電粒子ビームを収束させることを特徴とする、複数個のサブレンズモジュール。
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