JPS61263034A

JPS61263034A - 電子顕微鏡

Info

Publication number: JPS61263034A
Application number: JP60104421A
Authority: JP
Inventors: Mitsuaki Ishikawa; 石川　光昭
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-05-16
Filing date: 1985-05-16
Publication date: 1986-11-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は半導体ウェハを検査する際に用いられる電子顕
微鏡に関し、特にワーキングディスタンス領域における
磁場のシールドに改良を施した走査型電子顕微鏡に係わ
る。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来、電子ビームテスタのような装置においては、該装
置のボールピースと半導体ウェハとの距離（Ｄ）が従来
の走査型電子顕微鏡より広がる傾向にある。特に、ウェ
ハなどがそのまま入ってそのウェハに駆動信号を与えて
ＬＳＩを駆動してから計れるような電子ビームテスタの
ような装置においてはそのことが顕著である。

ところで、上記距離りが大きくなると、上記装置が磁場
の影響を受は易い。これに対し、従来、磁場の対策とし
て、ボールピースにシールド材を導電テープなどで直接
貼りつけたりしており、シ−ルドの形状も適当に作って
いるのが現状であった。

（発明の目的〕本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、簡単な手段
で磁場をシールドできる電子顕微鏡を提供することを目
的とする。

〔発明の概要〕

本発明は、ボールピースを設けることにより、磁場のシ
ールド効果を得ることを図ったものである。

本発明に係る磁気シールドとしては、円筒形のもの、あ
るいは磁場方向に対し平行となるように対向して設けら
れた２枚の切片形のもの等種々挙けられる。

また、磁気シールをボールピースに取付ける手段として
は、ボールピースの先端部に溝又はネジ穴を設けてこれ
を利用する方法等が挙げられる。

〔発明の実施例〕以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

図中の１は、先端形状が筒状のボールピースである。こ
のボールピース１には、円筒形の磁気シールド２が導電
性テープ３により固定されている。

ここで、磁気シールド２の内径はボールピース１の外形
と略同じである。なお、図において、４は試料ステージ
５上に載置された試料（半導体ウェハ）を、６は電子ビ
ームを夫々示す。また、Ｄは、上記ボルルピース１の先
端とウェハ４との距離を示す。

しかして、本発明に係る電子顕微鏡によれば、ボールピ
ース１の先端部に円筒形の磁気シールド２を設けた構造
となっているため、電子顕微鏡の使用時、磁気シールド
２により磁場を遮断できる。

また、磁気シールド２の内径はボールピース１の外径と
略同じであるとともに、導電性テープにより磁気シール
度２の端部を止めているため、磁気シールド２がボール
ピース１に拘止され、磁気シールド２の取外しも容易で
ある。

なお、本発明に係る電子顕微鏡は、第１図のものに限ら
ず、例えば第２図又は第３図に示す構造のものでもよい
。

第２図の電子顕微鏡は、ボールピース１１の先端部の外
径を小さくし、この部分に円筒形の磁気シール１２を嵌
合させた構造となっている。

第３図の電子顕微鏡は、ボールピース２１の先端部の外
周面に例えば２つ溝２２ａ、２２ｂを設けるとともに、
円筒形の磁気シールド２３の上端部に上記溝２２ａ、２
２ｂに夫々対応した固定ネジ２４ａ、２４ｂを設け、前
記磁気シールド２３を固定ネジ２４ａ、２４ｂｆｆｉ前
記溝２２８，２２ｂに夫々螺合するようにボールピース
２１に取付ける構造となっている。なお、第３図では、
ボールピース２１に溝を設けたが、これに限らず、第４
図に示す如くネジ穴２５ａ、２５ｂを夫々設けてもよい
し、あるいは切込み（図示せず）でもよい。

また、本発明に係る磁気シールドとしては、前述した構
造のものに限らず、例えば第５図または第６図に示す構
造のものなどが挙げられる。第５図の磁気シールド３１
は、上部に内側に突出したストッパ３２を設けかつ下部
に外側に突出したストッパ３３を設けた部材３１ａ、３
１ｂ、３１Ｇ・・・を夫々各ストッパを介して連結した
構造となっている。したがって、第５図の磁気シールド
３１によれば、部材３１ａ、３１ｂ、・・・を多数積み
上げれば任意の長さの磁気シールドが得られる。つまり
、部材３１ａの長さｄを１０ｍｇとすれば、１０Ｍ刻み
で磁気シールドの長さを調節できる。第６図は２個の内
側に湾曲した切片４１８，４１ｂからなり、ボールピー
スに取付ける時はこれら切片４１ａ、４１ｂがｉａ場力
方向４２対して平行となるように対向して設ける。なお
、これら切片の数は２個に限定されないことは勿論のこ
とである。

〔発明の効果〕

以上詳述した如く本発明によれば、簡単な手段で磁場を
シールドできる信頼性の高い電子顕微鏡を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る電子顕微鏡の説明図、
第２図及び第３図は本発明の他の実施例に係る電子顕微
鏡の説明図、第４図は本発明に係るボールピースの説明
図、第５図及び第６図は夫々本発明に係る磁気シールド
の説明図である。１．１１．２１・・・ボールピース、２．１２．２３．３１．４１・・・磁気シールド、３・
・・導電性テープ、４・・・半導体ウェハ、６・・・電
子ビーム、２２ａ、２２ｂ”・溝、２４ａ、２４　ｂ　・・・固定ネジ、２５ａ、２５　ｂ
　・・・ネジ穴、３２．３３・・・ストッパ、４１ａ、
４１・・・切片。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第１図　　　　　　巧２図第３図　　　　　　第４図第６図４１ａ　　　　　　ｆ

Claims

【特許請求の範囲】（１）半導体ウェハを試験する際に用いられる電子顕微
鏡において、ボールピースの先端部に磁気シールドを設
けたことを特徴とする電子顕微鏡。〈２）磁気シールドの形状が円筒形であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡。（３）２枚の磁気シールドが、ボールピースの先端部に
磁場方向に対し平行となるように対向して設けられてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕
微鏡。（４）ボールピースの先端部に溝又はネジ穴を設け、こ
れを利用して磁気シールドを前記ボールピースの先端部
に係止させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電子顕微鏡。（５）磁気シールドの軸方向に沿う両端部にストッパを
設け、このストッパにより磁気シールドを複数個軸方向
に連結できるようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第２項記載の電子顕微鏡。