JP5224344B2 - 蛍光顕微鏡 - Google Patents
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Description
先ず、図示省略の制御手段から駆動パターンを励起光生成手段2に転送し、励起光生成手段2の複数のマイクロミラーにて、光軸を中心とする所定形状の楕円の円周上に位置する複数のマイクロミラーをオン駆動する。
2…励起光生成手段
3…対物レンズ
4…光検出手段
5…レーザ光源
7…検査対象物
8…蛍光物質
13…透明基板
14…遮光膜(遮光部材)
15…開口
L1…レーザ光
L2…蛍光
L3…励起光
F1…対物レンズの視野
F2…光検出手段の視野
Claims (5)
- 光源から放射された光を受けて、検査対象物の蛍光物質を励起させて蛍光を発生させる励起光を生成する励起光生成手段と、
前記励起光を前記検査対象物内部の蛍光物質の一点に集光する対物レンズと、
前記対物レンズの視野よりも狭い視野で前記対物レンズの集光点の像を捕らえて、該対物レンズの集光点で前記蛍光物質が発生する蛍光を検出する光検出手段と、
を備え、
前記励起光を前記検査対象物の表面における前記対物レンズの視野内にて前記光検出手段の視野外に対応した位置に入射させるようにしたことを特徴とする蛍光顕微鏡。 - 前記励起光は、前記対物レンズの光軸を中心とする所定半径の横断面リング状を成したものであることを特徴とする請求項1記載の蛍光顕微鏡。
- 前記対物レンズは、前記励起光生成手段側がテレセントリックな片側テレセントリックレンズであることを特徴とする請求項1又は2記載の蛍光顕微鏡。
- 前記励起光生成手段は、個別に傾動する複数のマイクロミラーをマトリクス状に配列したマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蛍光顕微鏡。
- 前記励起光生成手段は、遮光部材に所定形状の開口を形成したマスクであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蛍光顕微鏡。
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