JP5212865B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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Description
この発明によると、半導体試験装置の電源投入時に、処理制御装置で起動されるオペレーティングシステムが、制御装置から処理制御装置に直接転送されるとともに、複数の処理装置の各々で起動されるオペレーティングシステムが、制御装置から処理制御装置を介することなく複数の処理装置の各々に対して直接転送される。
また、本発明の半導体試験装置は、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置が、前記制御装置によって管理されるアドレス空間(AS)に一部の領域(R1、R11〜Rn1)が割り当てられたメモリ(31、41a〜41n)をそれぞれ備えており、前記制御装置は、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置の各々が備えるメモリの前記アドレス空間に割り当てられた領域を指定することで、前記オペレーティングシステムを前記複数の処理装置の各々に転送することを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記制御装置によって転送される前記オペレーティングシステムは、所定の圧縮方式によって圧縮されており、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置は、前記制御装置により転送された前記オペレーティングシステム(12)をそれぞれ伸長してから起動することを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記制御装置が、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置のうちの前記オペレーティングシステムの転送を完了したものに対して転送完了を示す転送完了通知を行い、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置は、前記制御装置からの前記転送完了通知を受けてから前記制御装置により転送された前記オペレーティングシステムをそれぞれ伸長することを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記複数の処理装置が、前記半導体デバイスに生じた不良の救済を行う上で必要なデータを前記半導体デバイスの試験結果を用いて作成するリダンダンシ演算を、前記所定の処理としてそれぞれ行うことを特徴としている。
10 テスタコントローラ
12 圧縮OS
30 リダンダンシ制御装置
31 メモリ
40a〜40n リダンダンシ演算装置
41a〜41n メモリ
AS アドレス空間
B バス
R1 公開領域
R11〜Rn1 公開領域
Claims (5)
- 半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
所定のオペレーティングシステムが起動されている状態で、所定の処理を行う複数の処理装置と、
所定のバスを介して前記複数の処理装置と接続されており、所定のオペレーティングシステムが起動されている状態で、前記複数の処理装置を制御する処理制御装置と、
前記バスを介して前記複数の処理装置及び前記処理制御装置と接続されており、電源投入時に、前記処理制御装置で起動される前記オペレーティングシステムを前記処理制御装置に転送するとともに、前記複数の処理装置の各々で起動される前記オペレーティングシステムを、前記処理制御装置を介することなく前記複数の処理装置にそれぞれ転送する制御装置と
を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記複数の処理装置及び前記処理制御装置は、前記制御装置によって管理されるアドレス空間に一部の領域が割り当てられたメモリをそれぞれ備えており、
前記制御装置は、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置の各々が備えるメモリの前記アドレス空間に割り当てられた領域を指定することで、前記オペレーティングシステムを前記複数の処理装置の各々に転送する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記制御装置によって転送される前記オペレーティングシステムは、所定の圧縮方式によって圧縮されており、
前記複数の処理装置及び前記処理制御装置は、前記制御装置により転送された前記オペレーティングシステムをそれぞれ伸長してから起動する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体試験装置。 - 前記制御装置は、前記複数の処理装置及び前記処理制御装置のうちの前記オペレーティングシステムの転送を完了したものに対して転送完了を示す転送完了通知を行い、
前記複数の処理装置及び前記処理制御装置は、前記制御装置からの前記転送完了通知を受けてから前記制御装置により転送された前記オペレーティングシステムをそれぞれ伸長する
ことを特徴とする請求項3記載の半導体試験装置。 - 前記複数の処理装置は、前記半導体デバイスに生じた不良の救済を行う上で必要なデータを前記半導体デバイスの試験結果を用いて作成するリダンダンシ演算を、前記所定の処理としてそれぞれ行うことを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の半導体試験装置。
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