JP5210236B2 - 導電性微粒子、異方性導電材料、及び、接続構造体 - Google Patents
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Description
これを解決するためにハンダを球状にした、いわゆる「ハンダボール」でICやLSIを基板に接続するBGA(ボールグリッドアレイ)が開発された。この技術によれば、チップ又は基板上に実装されたハンダボールを高温で溶融し基板とチップとを接続することで高生産性、高接続信頼性を両立した電子回路を製造することができる。
以下に本発明を詳述する。
本発明の導電性微粒子は、樹脂微小粒子を内包することにより、導電接続を行った場合、基材微粒子と電極との間に樹脂微小粒子が介在する構成となる。これにより、従来の導電性微粒子を用いた場合に応力が掛かり易かった電極との接続界面においても、応力を効果的に緩和することが可能となる。
図2は、本発明の導電性微粒子を電極に実装した場合の状態を示す断面図である。図2に示すように、低融点金属層2を熱で溶融すると、樹脂微小粒子3が基材微粒子1と電極4との間に介在するような構成となる。このような構成となることで、電極との接続界面における応力を大幅に緩和することが可能となる。
上記ポリオレフィン樹脂は特に限定されず、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリイソブチレン樹脂、ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。上記アクリル樹脂は特に限定されず、例えば、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリメチルアクリレート樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
上記重合法は特に限定されず、乳化重合、懸濁重合、シード重合、分散重合、分散シード重合等の重合法が挙げられる。
上記金属微粒子は特に限定されず、例えば、アルミニウム、銅、ニッケル、鉄、金、銀等の金属からなる微粒子が挙げられる。なかでも、銅微粒子が好ましい。上記銅微粒子は、実質的に銅金属のみで形成された銅微粒子であってもよく、銅金属を含有する銅微粒子であってもよい。なお、上記基材微粒子が銅微粒子である場合は、後述する導電層を形成しなくてもよい。
K値(N/mm2)=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2
F:樹脂微粒子の10%圧縮変形における荷重値(N)
S:樹脂微粒子の10%圧縮変形における圧縮変位(mm)
R:樹脂微粒子の半径(mm)
なお、上記基材微粒子の平均粒子径は、光学顕微鏡又は電子顕微鏡を用いて無作為に選んだ50個の基材微粒子の粒子径を測定し、測定した粒子径を算術平均することにより求めることができる。
上記ポリオレフィン樹脂は特に限定されず、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリイソブチレン樹脂、ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。上記アクリル樹脂は特に限定されず、例えば、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリメチルアクリレート樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
なお、上記樹脂微小粒子の平均粒子径は、光学顕微鏡又は電子顕微鏡を用いて無作為に選んだ50個の樹脂微小粒子の粒子径を測定し、測定した粒子径を算術平均することにより求めることができる。
上記金属層を形成する金属は特に限定されず、例えば、金、銀、銅、亜鉛、鉄、鉛、錫、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム、カドミウム等が挙げられる。なかでも、導電性に優れることから、上記金属層を形成する金属は、金、銅又はニッケルであることが好ましい。
また、金属層の最外層は、錫又は錫と他の金属との合金からなる層であることが好ましい。
上記低融点金属層に含有される金属の合計に占める上記金属の含有量は特に限定されないが、好ましい下限は0.0001重量%、好ましい上限は2重量%である。上記金属の含有量が0.0001重量%未満であると、上記低融点金属層と電極との接合強度が充分に得られないことがある。上記金属の含有量が2重量%を超えると導電性微粒子の融点が変わることがある。
なお、上記低融点金属層の厚さは、無作為に選んだ10個の導電性微粒子の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)により観察して測定し、測定値を算術平均した厚さである。
上記導電層を形成する金属は特に限定されず、例えば、金、銀、銅、亜鉛、鉄、鉛、錫、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム、カドミウム等が挙げられる。なかでも、導電性に優れることから、上記導電層を形成する金属は、金、銅又はニッケルであることが好ましい。
なお、上記導電層の厚さは、無作為に選んだ10個の導電性微粒子の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)により観察して測定し、これらを算術平均した厚さである。
また、上記低融点金属微粒子の平均粒子径は、上記基材微粒子の平均粒子径の1/10以下であることが好ましい。上記低融点金属微粒子の平均粒子径が、上記基材微粒子の平均粒子径の1/10を超えると、せん断圧縮時に上記低融点金属微粒子を上記基材微粒子に付着、皮膜化させることができないことがある。
また、上記製造方法は、従来の方法のように樹脂微小粒子を付着させる工程等が必要なく、工程を簡略化することが可能となる。更に、樹脂微小粒子は内包されているため、樹脂微小粒子が脱離しにくく、ボールマウンタの吸着性も極めて良好なものとなる。
上記ビニル樹脂は特に限定されないが、例えば、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂等が挙げられる。
上記熱可塑性樹脂は特に限定されないが、例えば、ポリオレフィン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリアミド樹脂等が挙げられる。
上記硬化性樹脂は特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。なお、上記硬化性樹脂は、常温硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂、湿気硬化型樹脂であってもよい。上記硬化性樹脂は硬化剤と併用してもよい。
上記熱可塑性ブロック共重合体は特に限定されないが、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体の水素添加物、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体の水素添加物等が挙げられる。
上記エラストマーは特に限定されないが、例えば、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル−スチレンブロック共重合ゴム等が挙げられる。
これらの樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
また、上記バインダー樹脂と、本発明の導電性微粒子とを混合することなく、別々に用いて異方性導電材料としてもよい。
テトラメチロールメタンテトラアクリレートとジビニルベンゼンとの共重合体からなる樹脂微小粒子(平均粒子径10μm)の表面に、電気めっきにより厚さ1μmの銅層を形成した後、得られた樹脂微小粒子と、錫96.5銀3.5合金微粒子(粒子径分布〜2μm)とをシータコンポーザ(徳寿工作所社製)に投入して、混合した。これにより、錫96.5銀3.5合金微粒子を樹脂微小微粒子の表面に付着、皮膜化させて、樹脂微小粒子の表面に厚さ2.5μmの錫96.5銀3.5合金層を形成し、導電性微小粒子を得た。
次いで、テトラメチロールメタンテトラアクリレートとジビニルベンゼンとの共重合体からなる樹脂微粒子(平均粒子径260μm)の表面に、電気めっきにより厚さ10μmの銅層を形成した後、得られた基材微粒子及び導電性微小粒子に加えて、錫96.5銀3.5合金微粒子(粒子径分布5〜15μm)をシータコンポーザに投入して、混合した。これにより、導電性微小粒子と錫96.5銀3.5合金微粒子を基材微粒子に付着、皮膜化させて、基材微粒子の表面に、樹脂微小粒子が内包された厚さ25μmの錫96.5銀3.5合金層を形成し、導電性微粒子を得た。なお、導電性微粒子全体に対する樹脂微小粒子の含有量は5vol%であった。
樹脂微小粒子の含有量、又は、樹脂微小粒子の平均粒子径を表1に示すように変更した以外は実施例1と同様にして導電性微粒子を作製した。
テトラメチロールメタンテトラアクリレートとジビニルベンゼンとの共重合体からなる樹脂微小粒子(平均粒子径10μm)の表面に、電気めっきにより厚さ1μmの銅層を形成し、更にその表面に電気共析めっきにより厚さ2.5μmの錫96.5銀3.5合金層を形成し、導電性微小粒子を得た。
次いで、テトラメチロールメタンテトラアクリレートとジビニルベンゼンとの共重合体からなる樹脂微粒子(平均粒子径260μm)の表面に、電気めっきにより厚さ10μmの銅層を形成した。更に、めっき液に導電性微小粒子を添加した後、電気共析めっきを行うことにより、基材微粒子の表面に、樹脂微小粒子が内包された厚さ25μmの錫96.5銀3.5合金層を形成し、導電性微粒子を得た。なお、導電性微粒子全体に対する樹脂微小粒子の含有量は5vol%であった。
樹脂微小粒子の含有量、又は、樹脂微小粒子の平均粒子径を表1に示すように変更した以外は実施例10と同様にして導電性微粒子を作製した。
樹脂微小粒子の含有量、又は、樹脂微小粒子の平均粒子径を表1に示すように変更した以外は実施例1と同様にして導電性微粒子を作製した。
樹脂微小粒子の含有量、又は、樹脂微小粒子の平均粒子径を表1に示すように変更した以外は実施例10と同様にして導電性微粒子を作製した。
導電性微小粒子を投入せず、基材微粒子及び錫96.5銀3.5合金微粒子(粒子径分布〜5μm)のみをシータコンポーザ(徳寿工作所社製)に投入した以外は実施例1と同様にして導電性微粒子を作製した。
めっき液に導電性微小粒子を添加せず、電気共析めっきを行った以外は実施例10と同様にして導電性微粒子を作製した。
錫、銀及び銅からなる、はんだボール(千住金属工業社製「M705」、平均粒子径300μm(錫:銀:銅=96.5重量%:3重量%:0.5重量%))を導電性微粒子とした。
実施例及び比較例で得られた導電性微粒子について以下の評価を行った。結果を表1に示した。
得られた導電性微粒子を、銅電極を有するシリコンチップ上に112個搭載し、270℃に設定したリフロー炉に投入し溶融させた。次いで、導電性微粒子を実装したシリコンチップを、銅電極を有する基板上に搭載し、270℃に設定したリフロー炉に投入し溶融させることで接続構造体を得た。
次に、得られた接続構造体の落下強度試験をJEDEC規格JESD22−B111に準拠した方法で行った。具体的には、接続構造体の断線が確認されるまで落下を行い、断線が起こるまでの落下回数を求めた。
Claims (9)
- 基材微粒子の表面に、低融点金属層が形成されている導電性微粒子であって、前記低融点金属層中に、前記基材微粒子の粒子径よりも小さい樹脂微小粒子を内包し、前記樹脂微小粒子は、平均粒子径が低融点金属層の厚さの15〜75%、かつ、含有量が2〜15vol%であることを特徴とする導電性微粒子。
- 樹脂微小粒子の表面に、1層以上の金属層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の導電性微粒子。
- 金属層の最外層が錫又は錫と他の金属との合金からなる層であることを特徴とする請求項2記載の導電性微粒子。
- 低融点金属層は、錫又は錫と他の金属との合金からなることを特徴とする請求項1、2又は3記載の導電性微粒子。
- 基材微粒子は、樹脂微粒子であることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の導電性微粒子。
- 基材微粒子は、銅微粒子であることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の導電性微粒子。
- 基材微粒子は、更に、基材微粒子と低融点金属層との間に導電層を有することを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の導電性微粒子。
- 請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の導電性微粒子がバインダー樹脂に分散されてなることを特徴とする異方性導電材料。
- 請求項1、2、3、4、5、6或いは7記載の導電性微粒子、又は、請求項8記載の異方性導電材料を用いてなることを特徴とする接続構造体。
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