JP5206025B2 - 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
10 基板
11 軟磁性層
13 イオン制御層
14 記録層
20,20’ マスクパターン
Claims (5)
- 基板上に軟磁性層を形成する工程と、
上記軟磁性層上にイオン制御層を形成する工程と、
上記イオン制御層上に磁性材料からなる記録層を形成する工程と、
上記記録層上に開口部を有するマスクパターンを形成する工程と、
上記マスクパターンの上記開口部から上記記録層に対してイオン照射を行う工程とを含んでおり、
上記イオン照射を行う工程においては、Neイオンより重い希ガスイオンを照射し、
上記イオン制御層は、上記希ガスイオンより重い元素からなることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。 - 上記希ガスイオンは、Arイオン、Krイオン、またはXeイオンである、請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 上記イオン制御層を構成する元素はPtである、請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 基板と、
上記基板上に形成された軟磁性層と、
上記軟磁性層上に形成され、Arイオン、Krイオン、またはXeイオンより重い元素からなるイオン制御層と、
上記イオン制御層上に形成され、磁性材料からなり、上記Arイオン、Krイオン、またはXeイオンを含まない磁性部と上記Arイオン、Krイオン、またはXeイオンを含む非磁性部とを含む記録層と、
を有することを特徴とする、磁気記録媒体。 - 上記イオン制御層を構成する元素はPtである、請求項4に記載の磁気記録媒体。
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