JP5199757B2 - 平面型ランプ - Google Patents

Description

本発明は、放電ガスが封入される平面型ランプに関するものである。

従来の平面型ランプとして、平坦で均一な厚みを持つ放電空間を備えた放電用セル（気密容器）と、この放電用セルの内部に収容される放電用ガスと、放電用セルの外面に配置される主電極及び副電極とを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この平面型ランプは、主電極と副電極との間に高周波電圧を印加することによって発光することができる。
特開２００２−１５７０５号公報

ここで、上述のような平面型ランプにおいては、光の透過率を向上させるために放電用セルのガラス基板の厚さを薄くする場合は、製造時において内部空間の真空引きなどの際に負圧がかかってしまい破損してしまう可能性がある。従って、一方のガラス基板にスペーサを設けておき、負圧がかかった際に他方のガラス基板を支持することによって破損を防止するような構成が採用される。しかしながら、このような構成にあっては、他方のガラス基板とスペーサとが連結されていないため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合は、ガラス基板間隔が大きくなるのをスペーサで抑制することができず破損してしまうという問題があった。また、スペーサは、電圧が印加されるガラス基板同士を支持するものであるため、その表面で沿面放電が発生してしまい、放電エネルギーの損失を生じる可能性があった。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる平面型ランプを提供することを目的とする。

本発明に係る平面型ランプは、誘電体からなり、前面基板及び背面基板を対向させてそれぞれの外周縁部同士を周面壁で封着させることによって平板状に形成される気密容器と、気密容器の内部空間に封入され、電圧が印加されることにより発光する放電ガスと、気密容器の前面基板の外面に設けられ、発生した光を出射可能とするように形成される前面側電極と、気密容器の背面基板の外面に設けられ、内部空間を介して電極と対向する背面側電極と、内部空間に配置され、前面基板及び背面基板の間で延びるスペーサと、を備え、スペーサは、両端部で前面基板及び背面基板に連結され、背面基板の外面には、スペーサが連結される位置で内部空間側へ窪む凹部が形成されていることを特徴とする。

この平面型ランプでは、スペーサが気密容器の基板同士を連結しているため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合であっても、基板間隔を保持することができ、破損を防止することができる。また、背面基板の外面には、スペーサが連結される位置に凹部が形成されているため、背面基板の外面と背面側電極との間に絶縁領域を形成することができる。これによって、スペーサ付近の領域での放電自体を抑制することができるため、スペーサでの沿面放電を抑制することができる。以上によって、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部は、気密容器の厚み方向から見た場合に、スペーサの下端部の横断面を含むように形成されていることが好ましい。スペーサの下端部の横断面を含むように凹部を形成することによって、スペーサと背面側電極との間にスペーサの下端部の横断面よりも大きな絶縁領域を形成することができ、沿面放電を一層効果的に抑制することができる。

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部は椀状に形成され、凹部の位置での肉厚が略一定となるように背面基板が内部空間へ押し出されることによって、背面基板の内面とスペーサの間の角部には、凹部に沿った曲面が形成されることが好ましい。これによって、背面基板の内面とスペーサの間の角部に形成された曲面で、背面基板とスペーサの連結部分に集中する応力を効率よく分散させることができ、機械的強度を一層向上させることができる。

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、凹部には、誘電体が充填されていることが好ましい。凹部に誘電体を充填することによって、金属蒸着などによって背面側電極を形成したような場合であっても、凹部において背面基板と背面電極との間の距離を確実に確保することができる。

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、背面側電極は、平板状に構成されていることが好ましい。背面側電極を平板状として剛性を有する構成とすることによって、凹部で背面基板と背面側電極との間の距離を確実に確保することができる。

また、本発明に係る平面型ランプにおいて、背面側電極は、背面基板の外面との接触面に光反射性を有することが好ましい。内部空間で発生した光を背面側電極で反射させることにより、前面基板側から出射する光量を増加させることができる。

本発明に係る平面型ランプによれば、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。

以下、本発明に係る平面型ランプの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

図１は本発明の実施形態に係る発光装置の斜視図である。図１に示すように、発光装置２０は、円板状の平面型ランプ１を上下面が正方形状の筺体４内に収容すると共に、筺体４の上蓋８の中央部に円形の開口部を形成して、平面型ランプ１の出射面を露出させることによって構成されている。この発光装置２０は、平面型ランプ１の内部に封入される放電ガスに高周波電圧を印加することによって発光させ、発生した光を開口部から取り出すことができる装置である。筺体４の開口部には、平面型ランプ１の外縁部を覆うように円環状の枠状部材９が取り付けられており、筺体４の側壁には、筺体４内を冷却するためのファン１４が設けられている。

図２は、図１に示す発光装置の分解斜視図である。図２に示すように、平面型ランプ１は、石英ガラスなどの出射光に対して透明な誘電体により円板状に形成される気密容器２と、気密容器２の前面（前面基板の外面）２ｂ全体にわたって形成されるメッシュ状の光通過電極（前面側電極）１０と、気密容器２の背面（背面基板の外面）２ｃと対向して背面２ｃと接触する円板状の平板状電極（背面側電極）３とを備えて構成されている。この平面型ランプ１の平板状電極３と光通過電極１０とは、放電ガスが封入された内部空間を介して互いに対向している。従って、光通過電極１０をグランド電位（接地電位）とし、平板状電極３及び光通過電極１０の間に高周波電圧を印加することによって内部空間の放電ガスを発光させ、発生した光を気密容器２の前面２ｂ側から出射させることができる。なお、高周波電圧とは１ＭＨｚ以上の周波数を有する交流電圧である。

平面型ランプ１の気密容器２は、出射光に対して透明な、円板状の前面基板と背面基板を所定の間隔で向かい合わせて周縁部同士を周面壁で封着することによって形成されており、その内部空間にはＸｅガスなどの放電ガスが封入される。気密容器２の背面２ｃには、製造時に内部空間を排気すると共に放電ガスを封入するために使用したチップ管が残存する（不図示）。また、気密容器２の内部空間には、排気時の大気圧や、放電時の温度上昇による放電ガスの圧力上昇に耐えるために複数のスペーサ２６が設けられている（図４参照）。このスペーサ２６の構成に関する詳細な説明は後述する。

気密容器２の前面２ｂに形成される光通過電極１０は、金属蒸着によって形成されており、前面２ｂの外縁部を除いて、ほぼ全面に形成される。より詳細には、光通過電極１０は、前面２ｂの外縁部に沿って円環状に形成される環状部１０ａと、環状部１０ａの内側領域で網状に形成されたメッシュ部１０ｂとを有している。光通過電極１０は、前面２ｂの略全面にわたって網状に形成されているため、内部空間で発生した光を前面２ｂから出射可能としている。なお、光通過電極１０自体を透光性の材料で形成することによって、光を出射可能としてもよい。

気密容器２の背面２ｃ側の平板状電極３は、平面型ランプ１の陽極として機能するものであり、平面型ランプ１とは別体に設けられている。平板状電極３は、気密容器２のガラス面である背面２ｃと直接接触しており、平板状の金属板であるために電極の剥離と言った問題が生じ難い。また、平板状電極３は、光通過電極１０の環状部１０ａと同一の外径を有するアルミニウム製の円板によって構成されている。つまり、光通過電極１０及び平板状電極３ともに、気密容器２の前面２ｂ及び背面２ｃの外縁部を除いて配置されている。よって、両電極間の沿面距離を確保することができ、両電極間の沿面放電を防止することができる。平板状電極３は、気密容器２と中心軸線が一致するように、気密容器２の背面２ｃに接触配置される。この平板状電極３には、外縁部に高周波電源と接続された配線１５が取り付けられており、気密容器２のチップ管に対応する位置に当該チップ管を回避するための貫通孔３ｂが形成されている。気密容器２との接触面となる前面３ａには、気密容器２内部で発生した光を前面２ｂ側に反射させるために、鏡面加工が施されている。

このように構成された平面型ランプ１においては、例えば、外径約３００ｍｍ、厚み約２ｍｍの一対の合成石英ガラスの間に約５ｍｍの放電距離を確保してＸｅガスを封入した場合、静電容量が約１００ｐＦであり、その放電条件の一例としては、点灯周波数が２０５０ｋＨｚ（約２ＭＨｚ）、ランプ放電電圧が約６ｋＶｐ−ｐ、ランプ電圧が約３ｋＶｐ-ｐとなる。

平面型ランプ１を収容する筺体４は導電性材料からなり、上面側が開放された底面正方形状のアルミニウム製のケース６の内部に、ケース６の底板と中心軸線が一致するように平面型ランプ１を配置し、正方形板状の上蓋８を上方から被せることによって構成されている。この上蓋８には、平面型ランプ１と中心軸線が一致すると共に、平面型ランプ１よりも大きな径を有する開口部８ａが形成されている。この開口部８ａには、平面型ランプ１を上方から押圧するための枠状部材９が嵌め込まれる。また、筺体４のケース６内部の底板側には、収容した平面型ランプ１を支持及び位置決めするための支持ベース７が設けられている。

上蓋８の開口部８ａに嵌め込まれる円環状の枠状部材９は、アルミニウムなどの導電性材料によって形成されており、その外周側の径が開口部８ａの内径と同一とされると共に、内周側の径が光通過電極１０の環状部１０ａの内径と略同一とされている。この枠状部材９の下面側には、内周側よりも外周側が厚肉となるように、平面型ランプ１より大きな径を有する段差部９ａが設けられている（図４参照）。

ケース６の内部に設けられた支持ベース７は、ケース６の底面を覆うようにして配置される略正方形状のベース板５と、そのベース板５の四隅に設けられ、平面型ランプ１の平面方向の位置決めを行うための支持部材１１と、ベース板５上に所定の間隔で複数箇所に設けられ、平面型ランプ１を下方から支持する弾性支持部１２とを備えて構成されている。

ケース６の底面を覆うベース板５は、中心軸線が一致するようにケース６の底面と対向するように配置されている。このベース板５は、エキシマランプなどの放熱が必要なランプを使用する場合は、金属などの熱伝導性の高い部材で形成されることによって、平面型ランプ１周辺の放熱性を確保することができる。一方、水銀ランプなどの保温が必要なランプを使用する場合は、ベース板５を断熱部材で形成することによって、平面型ランプ１周辺の保温性を確保することができる。

図３は支持部材の拡大斜視図である。図３に示すように、ベース板５の四隅の支持部材１１は、セラミックスなどからなる略直方体状の絶縁部材によって構成されており、絶縁部材の一の側面がベース板５の中心軸線側へ向くようにそれぞれ配置されている。支持部材１１の上面の一部には、ベース板５の中心軸線を取り囲むような壁部を立設させることによって、平面型ランプ１の位置決めを行うためのストッパ１１ｂが形成される。このストッパ１１ｂは、中心軸線を取り囲むような緩やかな円弧状に形成されており、その内周面の円弧の径は、平面型ランプ１の気密容器２の外径よりもわずかに大きくされ、外周面の円弧の径は、枠状部材９の下面側の段差部９ａの内径と同一とされている（図４参照）。また、ストッパ１１ｂの内周面には周方向に延びる溝部が上下方向に複数形成されている。

支持部材１１の上面のうち、ストッパ１１ｂよりも内周側の領域は平面型ランプ１を載置するための載置部１１ａとされ、ストッパ１１ｂよりも外周側の領域は枠状部材９を螺合させるための座面１１ｃとされている。内周側の載置部１１ａは、周方向の中央位置に長方形状の切欠部１１ｅが形成されることによって、周方向の両端部の二箇所のみで平面型ランプ１と接触可能とされている。また、外周側の座面１１ｃには枠状部材９と電気的に接続される平板状のグランド端子１１ｄが設けられている。このグランド端子１１ｄは、上面側にネジ孔１１ｆを有すると共に、支持部材１１の外周側の側面に沿って下方にＬ字状に屈曲する屈曲部分を有しており、この屈曲部分で側面に螺合されることによって固定されている（図４参照）。この螺合部分には配線が同時に固定されており、グランド端子１１ｄは、配線を介して高周波電源のグランド端子と電気的に接続されている。

図４は、図１のIV−IV線に沿う断面図であり、平面型ランプの一端側を拡大して示す図である。図４に示すように、発光装置２０の内部において、支持ベース７のベース板５は、スペーサ１３を介することによって、ケース６の底面６ａから離間して配置されている。また、ベース板５の隅部に設けられた支持部材１１の載置部１１ａには、平面型ランプ１の平板状電極３が載置されている。載置部１１ａは、周方向の両端部のみで平板状電極３と接触可能な構成とされているため（図３参照）、支持部材１１と平面型ランプ１との接触部分の面積は極力小さくされている。載置された平面型ランプ１は、周面２ｅが支持部材１１のストッパ１１ｂの内周面と対向するように配置されており、このストッパ１１ｂの内周面によって平面方向の移動が規制されている。なお、ストッパ１１ｂの内周面に形成されている複数の溝部によって、平面型ランプ１の周面２ｅとストッパ１１ｂの内周面が接触している場合でも、平面型ランプ１の光通過電極１０と平板状電極３との間の沿面放電を抑制することができる。

ストッパ１１ｂの外周側の座面１１ｃには、上蓋８の開口部８ａに嵌め込まれた枠状部材９が載置されている。この枠状部材９は、外周側が厚肉に形成されると共に内周側が薄肉部分に形成されており、外周側の厚肉部分の下面は、座面１１ｃのグランド端子１１ｄと接触している。また、枠状部材９の内周側の薄肉部分は、ストッパ１１ｂの上面と平面型ランプ１の外縁部を覆うと共に、下面側で平面型ランプ１の光通過電極１０の環状部１０ａと接触している。これによって、枠状部材９は、グランド端子１１ｄと平面型ランプ１の光通過電極１０とを電気的に接続するための通電部材として機能する。また、この枠状部材９は、上方からボルト２５を貫通させてネジ孔１１ｆにねじ込むことによって支持部材１１に螺合されており、これによって、平面型ランプ１を下方（平板状電極３側）へ押圧することができる。なお、枠状部材９は、図示されない他の３箇所の支持部材１１に対しても螺合されている。

ベース板５には、支持部材１１から平面方向に所定の間隔で離間するように、弾性支持部１２が設けられている。この弾性支持部１２は、ベース板５に固定されるボス部１７のガイド孔に、上方へ延びる棒状部材１６を装填することによって構成されている。ボス部１７は、その中央部で上下方向に貫通するガイド孔を有しており、ベース板５を貫通するように上面側からねじ込むことによってベース板５に固定されると共に、ガイド孔の下端を封鎖するためのキャップ１７ａをベース板５の下面側に設けることによって構成されている。

棒状部材１６は、底面６ａ側から上方の平板状電極３へ向かって略垂直に延び、平面型ランプ１を底面６ａから離間するように支持するものであり、平板状電極３を底面６ａから２０ｍｍ程度離間させている。この棒状部材１６は、外径約６ｍｍ程度のセラミックスなどの絶縁体によって形成されており、その上端部は縮径して先細となっている。従って、平板状電極３の背面全体の面積に対して、棒状部材１６の先端部分の面積を極めて小さくすることができるため、棒状部材１６は、平板状電極３を実質的に点接触で支持することができる。また、ボス部１７のガイド孔の底部には棒状部材１６に弾性力を付与する圧縮バネ１８が配置されているため、棒状部材１６は、平面型ランプ１の気密容器２の背面２ｃに平板状電極３を付勢することができる。なお、弾性支持部１２は平面型ランプ１をバランスよく支持できるように複数設けられているが、少なくとも３本設けられている必要があり、１０本程度設けられることが好ましい。

ここで、スペーサ２６の詳細な構成について、図５を参照して説明する。図５は、図４のスペーサ付近の拡大図である。

スペーサ２６は、気密容器２の内部空間２４に配置され、前面基板２１から背面基板２２へ向かって延びる円柱部材であり、各基板２１，２２と同じく石英ガラスにより形成されている。スペーサ２６の上端部２６ａは前面基板２１に接合されて連結されると共に、下端部２６ｂは背面基板２２に接合されて連結される。

スペーサ２６の下端部２６ｂ側では、背面基板２２の背面（外面）２ｃが内部空間２４側へ窪むことによって凹部２８が形成されている。凹部２８は、加熱しながら、肉厚が略一定となるように背面基板２２の一部を内部空間２４側へ押し出すことによって形成される。この凹部２８は、背面基板２２の背面２ｃに、スペーサ２６の延びる方向における中心軸線と、その中心軸線が一致するような椀状の窪みを設けることによって形成されている。これによって、平板状電極３と背面基板２２との間に、絶縁領域として機能する空間２９が形成される。

この凹部２８の最大径である開口側の縁部２８ａの径Ｒは、スペーサ２６の外周面の径ｒよりも大きくされている。従って、気密容器２の厚み方向から見た場合に、凹部２８は、スペーサ２６の下端部２６ｂの横断面を含むような形状となっている。なお、気密容器２の「厚み方向」とは、前面基板２１と背面基板２２が対向する方向、すなわち前面２ｂ及び背面２ｃに対して垂直な方向を示している。これによって、空間２９の最大径がスペーサ２６の径よりも大きくなり、スペーサ２６の横断面よりも大きな絶縁領域が形成される。凹部２８の深さは背面基板２２の肉厚よりも深くなっている。

また、凹部２８の位置での肉厚が略一定となるように背面基板２２が内部空間２４側へ押し出されているため、背面基板２２の内面２２ａ側には、凹部２８の形状に対応して内部空間２４側へ突出するような半球状の突出部２７が形成される。この突出部２７は、スペーサ２６及び凹部２８よりも大きな外径を有している。このように、スペーサ２６の下端部２６ｂに突出部２７が形成されることによって、背面基板２２の内面２２ａとスペーサ２６の間の角部には、凹部２８に倣って内部空間２４側に入り込むような曲面２７ａが形成される。なお、背面基板２２の内面２２ａとスペーサ２６の間の角部とは、背面基板２２とスペーサ２６とが連結されることによって形成される、背面基板２２の内面２２ａとスペーサ２６の外表面との間の境界部分である。

背面基板２２の外面側では、凹部２８の開口側の縁部２８ａに丸み付けがなされている。同様に、背面基板２２の内面２２ａ側においても、突出部２７と内面２２ａの間の角部２７ｂ、及び突出部２７とスペーサ２６の間の角部２７ｃに丸み付けがなされている。また、前面基板２１側においても、前面基板２１の内面とスペーサ２６の間の角部２１ａにも丸み付けがなされている。よって、スペーサ２６と前面基板２１及び背面基板２２との接合部の付近に集中する応力が効率よく分散される。

製造時においては、前面基板２１に連結されたスペーサ２６の下端部２６ｂに背面基板２２を当接させた状態で周面壁を封着した後、背面２ｃ側から内側へ向かって圧着器具でスペーサ２６に対して背面基板２２を加熱圧着することによって、上述のような凹部２８及び曲面２７ａが形成される。

次に、本実施形態に係る平面型ランプ１の作用・効果について説明する。

図６は、従来の平面型ランプの断面を示す図であり、図５に対応する図である。図６に示すように、従来の平面型ランプにおいては、前面基板３０から下方へ延びるスペーサ３１の下端部が、背面基板３３を接触支持している。この平面型ランプでは、背面基板３３の背面３３ａには金属蒸着によって略全面にわたって電極層３２が形成されているため、背面基板３３とスペーサ３１の接触位置における背面３３ａには電極層３２が存在している。従って、電極層３２に高周波電圧が印加されると、スペーサ３１の表面で図中の経路Ｐ１に沿った沿面放電が発生してしまい、放電エネルギーの損失を生じてしまう可能性がある。更に、放電時の高温化により放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合は、スペーサ３１は、前面基板３０と背面基板３３との間隔が大きくなるのを抑制することができず破損してしまう可能性がある。

一方、本実施形態に係る平面型ランプ１においては、図５に示すように、スペーサ２６が前面基板２１と背面基板２２とを連結しているため、放電時に放電ガスが体積膨張して陽圧がかかった場合であっても、前面基板２１と背面基板２２との間隔を保持することができ、破損を防止することができる。また、背面基板２２の背面２ｃにはスペーサ２６が連結される位置に凹部２８が形成されているため、背面２ｃと平板状電極３との間に絶縁領域として機能する空間２９を形成することができる。これによって、スペーサ２６付近の領域での放電自体を抑制することができるため、スペーサ２６での沿面放電を抑制することができる。以上によって、機械的強度を向上させると共に、放電エネルギーの損失を抑制することができる。

また、凹部２８が、気密容器２の厚み方向から見た場合に、スペーサ２６の下端部２６ｂを含むように形成されているため、スペーサ２６と平板状電極３との間にスペーサ２６の下端部２６ｂよりも大きな絶縁領域を形成することができ、沿面放電を一層効果的に抑制することができる。

更に、凹部２８が椀状に形成されると共に、背面基板２２の内面２２ａとスペーサ２６の間の角部に、凹部２８に沿った曲面２７ａを形成することによって、スペーサ２６と背面基板２２の連結部分に集中する応力を効率よく分散させることができ、機械的強度を一層向上させることができる。

また、背面側の電極として、剛性のある平板状電極３が用いられているため、凹部２８で背面基板２２と平板状電極３との間の距離を確実に確保することができる。

また、上述のような構成とした場合、沿面放電の経路は、図中のＰ２に示すように、凹部２８の縁部と平板状電極３との接触部分から上方へ向かい、突出部２７の曲面２７ａを通って、スペーサ２６の表面に沿って上方へ向かう経路となる。このように、本実施形態に係る平面型ランプ１によれば、従来の平面型ランプにおける沿面放電の経路Ｐ１（図６参照）よりも経路の距離を長くすることができるため、沿面放電を一層発生し難くすることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。

例えば、本実施形態に係る平面型ランプ１では、凹部２８と平板状電極３との間に空間２９が形成されるが、さらに、図７に示すように、凹部２８に誘電体４０を充填してもよい。誘電体４０は、凹部２８を完全に埋めると共に、背面２ｃと同一面を形成するように外面が平坦にされている。誘電体４０として、アルミナ、マイカ、あるいはガラスビーズを充填することができる。このように、凹部２８に誘電体４０を充填すれば、板状の平板状電極３を用いる代わりに、背面基板２２の背面２ｃに直接アルミニウム等の金属を蒸着させることによって電極層３２を設けることが可能となる。

なお、本実施形態においては、平面型ランプ１は円板状とされているが、これに限らず、長方形の平板状としてもよい。また、凹部の形状は椀状とされているが、これに限らず、円錐状や円柱状などの凹部を形成してもよい。また、平面型ランプ１の気密容器２は、出射光に対して透明な、円板状の前面基板と背面基板を所定の間隔で向かい合わせて形成していたが、前面２ｂ側のガラス基板のみを出射光に対して透明な材料で形成し、その他の構成部材は出射光に対して透明でない材料で形成してもよい。また、各電極を金属膜で形成した場合、その保護のために、給電に影響しない範囲内の厚さでＳｉＯ２膜を各電極の上に設けても良い。

本発明の実施形態に係る発光装置の斜視図である。 図１に示す発光装置の分解斜視図である。 図２に示す支持部材の拡大斜視図である。 図１のIV−IV線に沿う断面図であり、平面型ランプの一端側を拡大して示す図である。 図４のスペーサ付近の拡大図である。 従来の平面型ランプの断面を示す図であり、図５に対応する図である。 変形例に係る平面型ランプの断面を示す図であり、図５に対応する図である。

符号の説明

１…平面型ランプ、２…気密容器、２ｂ…前面（前面基板の外面）、２ｃ…背面（背面基板の外面）、３…平板状電極（背面側電極）、１０…光通過電極（前面側電極）、２０…発光装置、２１…前面基板、２２…背面基板、２２ａ…内面、２４…内部空間、２６…スペーサ、２７ａ…曲面、２８…凹部、４０…誘電体。

Claims (4)

1. 誘電体からなり、前面基板及び背面基板を対向させてそれぞれの外周縁部同士を周面壁で封着させることによって平板状に形成される気密容器と、
   前記気密容器の内部空間に封入され、電圧が印加されることにより発光する放電ガスと、
   前記気密容器の前記前面基板の外面に設けられ、発生した光を出射可能とするように形成される前面側電極と、
   前記気密容器の前記背面基板の外面に設けられ、前記内部空間を介して前記電極と対向する背面側電極と、
   前記内部空間に配置され、前記前面基板及び前記背面基板の間で延びるスペーサと、を備え、
   前記スペーサは、両端部で前記前面基板及び前記背面基板に連結され、
   前記背面基板の外面には、前記スペーサが連結される位置で前記内部空間側へ窪む凹部が形成されており、
   前記凹部は、前記気密容器の厚み方向から見た場合に、前記スペーサの下端部の横断面を含むように形成され、
   前記背面側電極は、平板状に構成されていることを特徴とする平面型ランプ。
2. 前記凹部は椀状に形成され、
   前記背面基板の内面と前記スペーサの間の角部には、前記凹部に倣って曲面が形成されることを特徴とする請求項１記載の平面型ランプ。
3. 前記凹部には、誘電体が充填されていることを特徴とする請求項１又は２記載の平面型ランプ。
4. 前記背面側電極は、前記背面基板の外面との接触面に光反射性を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の平面型ランプ。

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