JP5195808B2 - 固体撮像素子及びデジタルカメラ - Google Patents
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以下、本発明の第1の実施の形態について、図1から図10を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施の形態について、図11を用いて説明する。この第2の実施の形態は、CCD100のマイクロレンズ107を所謂「エッチバック法」にて形成したものである。
次に、CCD100の製造方法に係る第3の実施の形態について、図12を用いて説明する。上記した第1、第2の実施の形態では、受光領域110の中心部110Aと周辺部110Eとで、マイクロレンズ107の光透過率を異ならせるに当たって、マイクロレンズ107又はマイクロレンズ膜161に対する「後露光」時の紫外線の照射量を異ならせる例をあげたが、この第3の実施の形態では、半球状のマイクロレンズ107に対し温度分布が異なる加熱処理を施して、温度分布に従った光透過率を得るようにしている。
次に、本発明の第4の実施の形態について、図13から図15を用いて説明する。この第4の実施の形態のCCD400は、その中心部410Aと周辺部410Eにおける入射光の透過量を、マイクロレンズ407の下方にある平坦化膜403の光透過率を異ならせることで変化させたものである。
次に、本発明の第5の実施の形態について、図16〜図19を用いて説明する。
次に、本発明の第6の実施の形態について、図20を用いて説明する。この第6の実施の形態は、第5の実施の形態のCCD500で、その透過量の調整のために用いられた透過率制御膜(EC膜)600,700に代えて、透過率制御膜(EC膜)800が用いられるものである。
Claims (6)
- 半導体基板の主面に複数の光電変換素子が配列されて、複数の画素からなる受光領域が形成され、前記光電変換素子の上方に有機系材料による膜が設けられた固体撮像素子において、
前記有機系材料による膜は、マイクロレンズを形成するための膜であり、かつ、前記有機系材料による膜の透明度は、前記受光領域の中心部から周辺部に向かうほど高く設定されており、
前記受光領域上の各画素の間で前記マイクロレンズの形状及びサイズは共通に設定されている
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1に記載の固体撮像素子において、
前記受光領域は、同心の矩形、同心円又は短冊形の複数の部分領域に分割され、
前記有機系材料による膜の透明度は、前記部分領域毎に設定されている
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の固体撮像素子において、
前記有機系材料による膜は、紫外線の照射量が高いほど透明度の高くなる膜である
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項3の何れかに記載の固体撮像素子において、
前記有機系材料による膜は、加熱温度が高いほど透明度の低くなる膜である
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項4の何れかに記載の固体撮像素子において、
前記有機系材料による膜の透明度は、画素毎に設定されている
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項5の何れかに記載の固体撮像素子が搭載されていることを特徴とするデジタルカメラ。
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