JP5194862B2 - 二次元画像検出器 - Google Patents
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Description
すなわち、請求項1に記載の発明の二次元画像検出器は、光を電荷に変換する変換層としての半導体層と前記半導体層の光入射側に配置され前記半導体層にバイアス電圧を印加するための共通電極とを有する光検出手段と、前記半導体層の周囲を取り囲むように前記共通電極の光入射側の面に配設された冷却手段または温度調節手段とを備え、前記冷却手段または前記温度調節手段は、前記共通電極を介して前記半導体層に熱的に接触していることを特徴とする。
本実施例に係るFPD3を備えたX線診断装置は、図1に示すように、被検体Mを載置する天板1と、その被検体Mに向けてX線を照射するX線管2と、被検体Mを透過したX線を検出するFPD3とを備えている。FPD3は、この発明における二次元画像検出器に相当する。
図2および図3に示すように、FPD3内の、X線検出部である対向基板17の面上には熱伝導性接合部材16を介して温度調節管13が配設されており、その温度調節管13の内部には、水やガスなどの熱媒体が流れている。この対向基板17は電極基板21上にX線に感応する半導体層23を積層して構成されている。上記構成により、半導体層23は熱伝導性接合部材16および電極基板21を通して温度調節管13により冷却または温度調節される。対向基板17は、本発明における光検出手段に相当する。
13 … 温度調節管
15 … 筐体
17 … 対向基板
Claims (4)
- 光を電荷に変換する変換層としての半導体層と前記半導体層の光入射側に配置され前記半導体層にバイアス電圧を印加するための共通電極とを有する光検出手段と、
前記半導体層の周囲を取り囲むように前記共通電極の光入射側の面に配設された冷却手段または温度調節手段とを備え、
前記冷却手段または前記温度調節手段は、前記共通電極を介して前記半導体層に熱的に接触している
ことを特徴とする二次元画像検出器。 - 前記光検出手段は、前記半導体層と前記共通電極との間に設けられた保持基板とを備え、
前記冷却手段または前記温度調節手段は、前記共通電極および前記保持基板を介して前記半導体層に熱的に接触している
ことを特徴とする請求項1に記載の二次元画像検出器。 - 前記半導体層がCdTe、または、CdZnTe化合物半導体で構成されている
ことを特徴とする請求項1または2記載の二次元画像検出器。 - 請求項1から3のいずれか記載の二次元画像検出器において、
格子状に配列された電極配線と、各格子点に設けられた複数のスイッチ素子と、前記スイッチ素子を介して前記電極配線に接続され、かつ前記光検出手段にて変換された電荷を蓄積する電荷蓄積容量とからなるアクティブマトリクス基板と、
前記電荷蓄積容量に蓄積された電荷を読み取る電荷読み取り器を備え、
前記電荷読み取り器に熱的に接触する別の冷却手段を設けた
ことを特徴とする二次元画像検出器。
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