JP5189437B2 - 研磨パッドおよびその製造方法 - Google Patents
研磨パッドおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5189437B2 JP5189437B2 JP2008224541A JP2008224541A JP5189437B2 JP 5189437 B2 JP5189437 B2 JP 5189437B2 JP 2008224541 A JP2008224541 A JP 2008224541A JP 2008224541 A JP2008224541 A JP 2008224541A JP 5189437 B2 JP5189437 B2 JP 5189437B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- layer
- surface layer
- polishing pad
- polysaccharide component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 236
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 84
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 66
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 claims description 54
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 claims description 54
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical group CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 claims description 53
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 40
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 40
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 claims description 34
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 claims description 34
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 claims description 34
- 230000008961 swelling Effects 0.000 claims description 34
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 claims description 31
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 24
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 22
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 16
- 230000002522 swelling effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 12
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 9
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 5
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 5
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims 1
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 description 30
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 230000021736 acetylation Effects 0.000 description 15
- 238000006640 acetylation reaction Methods 0.000 description 15
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 12
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 11
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 10
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 6
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 6
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000850 deacetylating effect Effects 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000006196 deacetylation Effects 0.000 description 3
- 238000003381 deacetylation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001661 Chitosan Polymers 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000020176 deacylation Effects 0.000 description 2
- 238000005947 deacylation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 229920001353 Dextrin Polymers 0.000 description 1
- 239000004375 Dextrin Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 229920001131 Pulp (paper) Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910001860 alkaline earth metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000004063 butyryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004807 desolvation Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 235000019425 dextrin Nutrition 0.000 description 1
- 229920005994 diacetyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
研磨パッド20は、図2に示すように、ポリウレタン樹脂およびアセチルセルロースが有機溶媒に略均一に溶解された溶液(以下、混合液という。)を調製する準備工程、準備工程で調製された混合液をシート状に展延し、混合液から有機溶媒を脱溶媒させてアセチルセルロースが含有されたポリウレタン体を凝固再生させる凝固再生工程(再生工程)、凝固再生工程で凝固再生されたポリウレタン体をアルカリ処理して少なくともアセチルセルロースの一部を脱アセチル化することで表面層1aを形成する表面層形成工程(形成工程)、表面層1aが形成されたポリウレタン体を洗浄・乾燥して研磨シート1を形成する洗浄・乾燥工程および研磨シート1に両面テープ7を貼付するラミネート工程の各工程を経て製造されるが、以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の研磨パッド20の作用等について説明する。
実施例1では、ポリウレタン樹脂として、ポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂のDMF溶液100部に対して、顔料のカーボンブラックを30重量%含むDMF分散液の40部、疎水性活性剤の2部を混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。部分アシル化多糖類成分として、酢化度54.3%、重合度270のアセチルセルロースを用い、アセチルセルロース溶液を調製した。発泡を除く研磨シート1にアセチルセルロースが10重量%含有されるように、ポリウレタン樹脂溶液にアセチルセルロース溶液を混合して混合液を調製した。混合液をPET製の成膜基材に塗布した後、凝固再生により形成されたポリウレタン体を洗浄してから、5%の水酸化ナトリウム水溶液(pH13)にポリウレタン体を50℃で7分間浸漬し表面層1aを形成し、洗浄・乾燥させて研磨パッド20を製造した。
比較例1では、アセチルセルロースを含有しないこと以外は実施例1と同様にして研磨パッドを製造した。すなわち、アセチルセルロースを含有しない(ポリウレタン樹脂溶液にアセチルセルロース溶液を混合していない)ポリウレタン樹脂溶液をPET製の成膜基材に塗布した後、凝固再生により形成されたポリウレタン体を洗浄・アルカリ処理・洗浄・乾燥させて研磨シートを形成し研磨パッドを製造した。なお、比較例1では、アセチルセルロースを含有させていないため、実施例1のような表面層1a、内部層1bが形成されないが、実施例1と同様にアルカリ処理したことから、表面側の厚み100μm程度の部分を表面層、それ以外を内部層として以下説明する。
次に、実施例1、比較例1の研磨シート表面で水の接触角をそれぞれ測定した。また、実施例1、比較例1の研磨シートおよび表面層の膨潤度をそれぞれ測定した。水の接触角は、自動接触角計(協和界面科学株式会社製 DropMaster500)による液滴法にて測定した。すなわち、自動接触角計の注射器に蒸留水を入れ、温度20℃、湿度60%の条件の下に、注射針から水滴1滴を研磨シート表面に滴下し、滴下してから10秒後の接触角を読み取った。膨潤度は、研磨シートを4cm×4cmの正方形に切り抜いてサンプルとし、温度20℃、湿度60%の条件の下に12時間置いた後、元の重量Aを精密天秤にて測定した。次にこのサンプルを蒸留水中に浸漬し、24時間水に浸漬した後、サンプルを取り出し、表面の水分のみを拭き取り、サンプルの水浸漬後の重量Bを精密天秤にて測定した。これらの重量の値を用い、以下の式にて膨潤度を算出した。すなわち、膨潤度(%)={(B−A)/A}×100。同様に、研磨シートの表面層を100±10μm研削除去した内部層を、4cm×4cmの正方形に切り抜いてサンプルとし、温度20℃、湿度60%の条件の下に12時間置いた後、元の重量aを精密天秤にて測定した。次にこのサンプルを蒸留水中に浸漬し、24時間水に浸漬した後、サンプルを取り出し、表面の水分のみを拭き取り、サンプルの水浸漬後の重量bを精密天秤にて測定した。これらの重量の値を用い、以下の式にて研磨シートの表面層の膨潤度を算出した。膨潤度(%)=〔{(B−b)−(A−a)}/(A−a)〕×100。実施例1、比較例1の水の接触角の測定結果を下表1に示す。また、実施例1、比較例1の研磨シートおよび表面層の膨潤度の測定結果を下表1に合わせて示す。
次に、実施例1および比較例1の研磨パッドを用いて、以下の研磨条件でハードディスク用のアルミニウム基板の研磨加工を行い、研磨レートを測定した。研磨レートは、1分間当たりの研磨量を厚さで表したものであり、研磨加工前後のアルミニウム基板の重量減少から求めた研磨量、アルミニウム基板の研磨面積および比重から算出した。また、研磨加工によるアルミニウム基板上のスクラッチの有無を目視にて判定した。研磨レート、スクラッチの有無の測定結果を下表2に示す。
(研磨条件)
使用研磨機:スピードファム社製、9B−5Pポリッシングマシン
研磨速度(回転数):30rpm
加工圧力:100g/cm2
スラリ:コロイダルシリカスラリ(pH:11.5)
スラリ供給量:100cc/min
被研磨物:ハードディスク用アルミニウム基板
(外径95mmφ、内径25mm、厚さ1.27mm)
1a 表面層(研磨層の一部)
1b 内部層(研磨層の一部)
2 発泡(セル)
20 研磨パッド
P 研磨面
Claims (8)
- ポリウレタン樹脂を主成分とし、被研磨物を研磨加工するための研磨面を有する研磨層を備え、該研磨層がセルが形成された発泡構造を有する研磨パッドにおいて、前記セルを除く研磨層には少なくとも一部がアシル化された多糖類成分であって、前記ポリウレタン樹脂を溶解可能な有機溶媒に溶解可能であり水に難溶ないし不溶の部分アシル化多糖類成分が含有されており、前記研磨層の研磨面側には少なくとも前記部分アシル化多糖類成分の一部がアルカリ処理により脱アシル化され所定厚を有する表面層が形成されており、前記表面層が該表面層を除く前記研磨層に比べて大きい親水性および膨潤性を有することを特徴とする研磨パッド。
- 前記表面層は、厚みが50μm〜150μmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記表面層は、前記研磨面に水滴を滴下したときの水に対する接触角が30°以下であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記表面層は、膨潤度が8%〜20%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層は、膨潤度が5%以下であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記セルを除く研磨層には、前記部分アシル化多糖類成分が5重量%〜40重量%の範囲で含有されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記部分アシル化多糖類成分は、アセチルセルロースであることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 請求項1に記載の研磨パッドの製造方法であって、
前記ポリウレタン樹脂および前記部分アシル化多糖類成分が有機溶媒に略均一に溶解された溶液を調製する準備工程と、
前記準備工程で調製した溶液をシート状に展延し、該溶液から前記有機溶媒を脱溶媒させて前記部分アシル化多糖類成分が含有されたポリウレタン体を再生させる再生工程と、
前記再生工程で再生されたポリウレタン体をアルカリ処理して少なくとも前記部分アシル化多糖類成分の一部を脱アシル化することで前記表面層を形成する形成工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224541A JP5189437B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 研磨パッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224541A JP5189437B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 研磨パッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010058193A JP2010058193A (ja) | 2010-03-18 |
JP5189437B2 true JP5189437B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=42185587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008224541A Active JP5189437B2 (ja) | 2008-09-02 | 2008-09-02 | 研磨パッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5189437B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7000032B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2022-01-19 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69108049T2 (de) * | 1990-12-04 | 1995-10-19 | Eastman Kodak Co | Beschichtungszusammensetzung und diese enthaltende verbundträger und elemente. |
JP2001308045A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-11-02 | Asahi Kasei Corp | セルロース系硬化物よりなる研磨パッド |
JP2002059357A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-26 | Toray Ind Inc | 研磨パッドおよび研磨装置ならびに研磨方法 |
JP2002158197A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Toray Ind Inc | 研磨用パッドおよびそれを用いた研磨装置ならびに研磨方法 |
JP3956364B2 (ja) * | 2001-04-09 | 2007-08-08 | 東洋ゴム工業株式会社 | ポリウレタン組成物および研磨パッド |
JP2005342881A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-12-15 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド、研磨方法および研磨装置 |
JP4562598B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2010-10-13 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨布 |
-
2008
- 2008-09-02 JP JP2008224541A patent/JP5189437B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010058193A (ja) | 2010-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4555559B2 (ja) | 研磨布及び研磨布の製造方法 | |
KR101492297B1 (ko) | 연마 패드 | |
JP5632267B2 (ja) | 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 | |
JP4889507B2 (ja) | 保持パッド | |
JP5189440B2 (ja) | 研磨加工方法 | |
JP5371661B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5189437B2 (ja) | 研磨パッドおよびその製造方法 | |
JP5520062B2 (ja) | 保持パッド | |
JP2016190313A (ja) | 研磨パッド | |
JP5873910B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5398454B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5683194B2 (ja) | 保持パッド | |
JP7000032B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5632144B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5544124B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5355004B2 (ja) | 研磨パッドおよびその製造方法 | |
JP4364291B1 (ja) | 研磨パッド | |
JP5534694B2 (ja) | 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 | |
JP5912770B2 (ja) | 保持パッド | |
JP5885183B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5502539B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5371662B2 (ja) | 保持パッド | |
JP5534768B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP6189013B2 (ja) | 研磨布 | |
JP6935214B2 (ja) | 研磨パッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130124 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5189437 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |