JP5183374B2 - 角速度検出装置 - Google Patents
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Description
かかる構成により、角速度による振動体の変位信号の位相のずれを補正して、安定的な動作が可能となる。
図1は、本発明の第1の実施形態による角速度検出装置の構成を示すブロック図である。図2は、本発明の第1の実施形態による角速度検出装置のタイミングチャートである。
図3は、本発明の第2の実施形態による角速度検出装置の構成を示すブロック図である。なお、図3において、図1と同一符号は、同一部分を示している。図4は、本発明の第2の実施形態による角速度検出装置のタイミングチャートである。
図5は、本発明の第3の実施形態による角速度検出装置の構成を示すブロック図である。なお、図5において、図1と同一符号は、同一部分を示している。図6は、本発明の第3の実施形態による角速度検出装置のタイミングチャートである。
2,3…固定電極
4…振動子
5,6…固定電極
17…容量検出器
18…ΔΣ変調器
19,20…乗算器
22…加算器
23,24…係数器
25,26…加算器
27,28…遅延回路
29…ローパスフィルタ
30,31…乗算器
32…加算器
33…反転器
34,35…加算器
41,42…同期検波部
43…位相補正演算部
44,45…積分演算部
46…帰還信号生成部
47…バイアス加算部
48…検波位相調整部
49…出力利得調整部
50,51…遅延回路
52…増幅率調整回路
53,54…乗算器
Claims (4)
- 互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体と、
該振動体を第1の方向に振動させた状態において、前記振動体が第2の方向にコリオリ力により変位する量を検出する変位検出手段と、
前記振動体に働く前記コリオリ力を打ち消すように、前記振動体に外力を作用する外力発生手段と、
前記変位検出手段により検出された信号に対して、前記振動体の振動変位と同位相の第1の検波信号により検波する第1の検波手段と、
前記変位検出手段により検出された信号に対して、前記振動体の振動変位に対して90度の位相遅れを有する第2の検波信号により検波する第2の検波手段と、
前記第1の検波手段の出力及び前記第2の検波手段の出力を用いて、漏れ振動による前記振動体の変位を抑制するように働くサーボ系とを有し、
前記サーボ系の印加する力の大きさに基づいて、角速度を検出する角速度検出装置であって、
前記振動体より出力する角速度による変位量を示す信号およびまたは漏れ振動を示す信号と、前記第1の検波信号又は前記第2検波信号との間の位相変動を、前記第1の検波手段の出力および前記第2の検波手段の出力の両者を用いて補正する補正手段を備えることを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1記載の角速度検出装置において、
前記サーボ系は、
前記第1の検波手段の出力に対し積分演算を行う第1の積分手段と、
前記第2の検波手段の出力に対し積分演算を行う第2の積分手段と、
前記第1の積分手段の出力に対し前記振動体の振動と同位相の交流信号を乗算したものと、前記第2の積分手段の出力に対し前記振動体の振動と90度の位相遅れを持つ交流信号を乗算したものを加算した帰還信号を生成する帰還信号生成手段と、
該帰還信号生成手段の出力に所定のバイアスを加算した上で、前記外力発生手段に供給して漏れ振動による前記振動体の変位を抑制するバイアス加算手段とを備えることを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1記載の角速度検出装置において、
前記補正手段は、前記第1の検波手段により検出された信号を、前記第2の検波手段により検出された信号に加算して補正信号を求める位相補正演算部であり、
前記サーボ系に前記補正信号を供給して、位相変動を補正することを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1記載の角速度検出装置において、
前記補正手段は、前記位相変動に応じて、前記第1及び第2の検波手段の出力信号の振幅の増幅率を変更する出力利得調整部であり、
前記第1及び第2の検波手段の出力の利得を変えることで、位相変動を補正することを特徴とする角速度検出装置。
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