JP5182536B2 - スタンパー偏心量測定方法 - Google Patents

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Description

本発明は、光ディスクを射出成形で製造する際に原盤として使用されるスタンパーの偏心量を測定するスタンパー偏心量測定方法に関する。
光ディスクを射出成形で製造する場合、原盤であるスタンパーに樹脂を流し込み、スタンパーを型としてポリカーボネイト基板を作成し、この基板に反射層、保護層などの各種の層を積層している。スタンパーは光ディスクの原盤であるため、スタンパーの作成精度が悪ければ、光ディスクの作成精度も悪くなる。したがって、スタンパーに対してもジッタ、波形特性など、光ディスクと同様な検査項目について検査を行い、良品であることを確認したうえで使用される必要がある。スタンパーは光ディスクと異なって表面に透明基板であるポリカーボネイト基板を備えていないが、例えば下記特許文献１に示されているように表面に透明薄膜を形成すれば、光ディスクからデータを再生して検査する場合と同様な検査を行うことができる。そして、スタンパーの偏心量を検査したい場合も表面に透明薄膜を形成すれば、光ディスクの偏心量の測定方法をそのまま用いて偏心量を測定することができる。
光ディスクの偏心量の測定方法としては、例えば下記特許文献２に示されているように、レーザ光を対物レンズによって集光して光ディスクに照射し、トラッキングサーボを行わずに光ディスクが１回転する間にレーザ光の焦点がトラックを横切った数をカウントするという方法がある。また、下記特許文献３に示されているように、レーザ光を対物レンズにより集光して光ディスクに照射し、トラッキングサーボを行って、光ディスクが１回転する間に対物レンズが半径方向に変位する量を検出するという方法もある。そして、これらの従来技術の共通点は、光ディスクを回転させた状態で、回転中心に対する光ディスクの中心の所定の径方向におけるずれ量を少なくとも１回転において検出する点である。
特開２００９−２７１９８６号公報 特開平１０−１４３８９４号公報 特開昭６３−７１６０８号公報
しかしながら、スタンパーに透明薄膜を形成して光ディスクの偏心量を測定する場合と同じ方法で偏心量を測定しても、次のような理由により正確な偏心量を測定することができないという問題がある。すなわち、スタンパーは薄いため、光ディスクのように直接スピンドルモータなどの回転手段の回転軸に連結したクランプにスタンパーをセットすることはできず、図２２に示すように、ホルダーにスタンパーをセットし、このホルダーをクランプにセットしている。スタンパーをホルダーにセットするには、スタンパーの穴をホルダーの円筒状凸部に嵌め込めばよいが、嵌め込むためにスタンパーの穴の径は、ホルダーの円筒状凸部の外径よりやや大きく作成されており、図２３(Ａ)(Ｂ)に示すように、ホルダーの中心からのスタンパーの中心位置がランダムにずれてしまい、測定した偏心量は、このずれ分を加えたものになる。そして、このずれはランダムに変化するため、測定した偏心量から除去することができない。
本発明は、この問題を解消するためになされたもので、押し当て具を用いてホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面をホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、ホルダーをクランプにセットしてモータによりスタンパーを回転させて取得したスタンパーの所定の径方向におけるずれ量を用いてスタンパーの偏心量を測定することにより、スタンパーの偏心量を正確に測定することができるスタンパー偏心量測定方法を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。
前記目的を達成するために、本発明の特徴は、スタンパー（ＳＴ）を回転させるためのモータ（１１）と、スタンパーの中央の穴を、中央部に設けた円筒状凸部に嵌め込ませてスタンパーを保持するホルダー（１３）と、前記モータの回転軸に固定されて前記ホルダーをセットするクランプ（１２）と、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てるための押し当て具（１５）と、レーザ光源（２１）からのレーザ光を対物レンズ（２５）で集光して、前記クランプにセットされた前記ホルダーに保持されているスタンパー上に光スポットを形成し、前記光スポットによるスタンパーからの反射光をフォトディテクタ（２８）で受光して受光信号を出力する光ピックアップ装置（２０）と、前記モータの回転角度を検出する回転角度検出手段（３２）と、スタンパーの回転時における回転中心に対するスタンパーの中心の所定の径方向における径方向ずれ量を前記光ピックアップ装置との協働により検出するずれ量検出手段（３７〜４２，６１〜６３）とを備えたスタンパー偏心量測定装置を用いて、スタンパーの偏心量を測定するスタンパー偏心量測定方法であって、スタンパーの穴の内周面を一方向から前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に押し当てた際の前記ホルダーの中心とスタンパーの中心とのずれ量を測定して押し当て偏心量として記憶しておく押し当て偏心量測定工程（Ｓ１１〜Ｓ１３）と、スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することによりスタンパーを少なくとも１回転させるスタンパー回転工程（Ｓ７２，Ｓ８１，Ｓ８７）と、前記スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する径方向ずれ量取得工程（Ｓ７１，Ｓ７３〜Ｓ８０，Ｓ８２〜Ｓ８６）と、前記径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの偏心量及び偏心方向を計算する測定偏心計算工程（Ｓ８８，Ｓ８９）と、前記測定偏心計算工程で計算したスタンパーの偏心量及び偏心方向から定まる測定偏心ベクトルから、前記押し当て偏心量測定工程で記憶した押し当て偏心量及び前記スタンパー回転工程でスタンパーをホルダーに押し当てた方向から定まる押し当て偏心ベクトルを減算する減算処理の手法により、スタンパー自身の偏心量を計算するスタンパー偏心量計算工程（Ｓ９０）とを含むようにしたことにある。
この場合、前記押し当て偏心量測定工程は、例えば、スタンパーの穴の径を測定するとともに、前記ホルダーの円筒状凸部の外径を測定し、前記測定したスタンパーの穴の径から前記測定したホルダーの円筒状凸部の外径を減算して「２」で除することにより、スタンパーの穴の内周面を一方向から前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に押し当てた際の前記ホルダーの中心とスタンパーの中心とのずれ量を押し当て偏心量として計算する（Ｓ１１〜Ｓ１３）。また、前記ずれ量検出手段は、例えば、トラッキングサーボ制御をかけない状態で、前記フォトディテクタによる受光信号を用いて前記光スポットに対する前記スタンパーの径方向移動量を測定することにより、前記スタンパーの径方向ずれ量を検出するとよい（３７〜４２）。また、前記ずれ量検出手段は、トラッキングサーボ制御をかけた状態で前記対物レンズの径方向移動量を測定することにより、前記スタンパーの径方向ずれ量を検出してもよい（６１〜６３）。
前記本発明の特徴においては、スタンパー回転工程において、ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面がホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てられた状態で、スタンパーが回転される。径方向ずれ量取得工程及び測定偏心計算工程において、ホルダーの中心からのスタンパーの中心のずれが一定とされた状態で、スタンパーの偏心量及び偏心方向が計算される。そして、スタンパー偏心量計算工程において、前記のようにホルダーの中心からのスタンパーの中心のずれを一定にしたスタンパーの偏心量及び偏心方向と、前記スタンパーの穴をホルダーの円筒状凸部に押し当てた際のホルダーの中心とスタンパーの中心とのずれ量である押し当て偏心量及び押し当て方向とを用いて、ベクトルの減算処理の手法により、スタンパー自身の偏心量が計算される。その結果、ホルダーの中心からのスタンパーの中心のずれは一定となるため測定した偏心量から除去することができ、スタンパー自身の偏心量を正確に求めることができる。
また、本発明の他の特徴は、前述したスタンパー偏心量測定装置を用いて、スタンパーの偏心量を測定するスタンパー偏心量測定方法であって、スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第１スタンパー回転工程（Ｓ３２，Ｓ４１，Ｓ４７，Ｓ２０２，Ｓ２１１，Ｓ２１７）と、前記第１スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第１径方向ずれ量取得工程（Ｓ３１，Ｓ３３〜Ｓ４０，Ｓ４２〜Ｓ４６，Ｓ２０１，Ｓ２０３〜Ｓ２１０，Ｓ２１２〜Ｓ２１６）と、前記スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に前記第１スタンパー回転工程とは反対方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプの前記第１スタンパー回転工程と同一回転位置にセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第２スタンパー回転工程（Ｓ３２，Ｓ４１，Ｓ４７，Ｓ２０２，Ｓ２１１，Ｓ２１７）と、前記第２スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第２径方向ずれ量取得工程（Ｓ３１，Ｓ３３〜Ｓ４０，Ｓ４２〜Ｓ４６，Ｓ２０１，Ｓ２０３〜Ｓ２１０，Ｓ２１２〜Ｓ２１６）と、前記第１径方向ずれ量取得工程で前記スタンパーの回転角度に対応させて記憶した前記スタンパーの径方向ずれ量と、前記第２径方向ずれ量取得工程で前記スタンパーの回転角度に対応させて記憶した前記スタンパーの径方向ずれ量とを用いて、前記スタンパーの穴の内周面の前記ホルダーの円筒状凸部への押し当てによる影響を除去することにより、スタンパー自身の偏心量を計算するスタンパー偏心量計算工程（Ｓ４８，Ｓ４９，Ｓ１０１，Ｓ１０２，Ｓ２１８，Ｓ２２１，Ｓ２２２）とを含むようにしたことにある。
この場合、前記スタンパー偏心量計算工程を、前記第１径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第１偏心量及び第１偏心方向を計算する第１測定偏心計算工程（Ｓ４８，Ｓ４９）と、前記第２径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第２偏心量及び第２偏心方向を計算する第２測定偏心計算工程（Ｓ４８，Ｓ４９）と、前記第１測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第１偏心量及び第１偏心方向から定まる第１測定偏心ベクトルと、前記第２測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第２偏心量及び第２偏心方向から定まる第２測定偏心ベクトルとの加算処理の手法により、スタンパー自身の偏心量を計算する加算工程（Ｓ１０１，Ｓ１０２）とで構成するとよい。
また、前記スタンパー偏心量計算工程を、前記第１径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量と、前記第２径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量とをスタンパーの回転角度ごとに平均化することにより、スタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を計算する合成工程（Ｓ２１８，Ｓ２２１）と、前記合成工程により合成されたスタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を用いてスタンパーの偏心量を計算する偏心量計算工程（Ｓ２２２）とで構成してもよい。
この本発明の他の特徴においては、第１スタンパー回転工程と第２スタンパー回転工程とでは、スタンパーがホルダーに押し付けられる方向が互いに反対方向になるとともに、ホルダーがクランプの同一回転位置にセットされて、ホルダー及びスタンパーが回転される。そして、第１及び第２径方向ずれ量取得工程においてスタンパーの回転角度に対応させてスタンパーの径方向ずれ量がそれぞれ記憶され、スタンパー偏心量計算工程において、前記スタンパーの回転角度に対応させてそれぞれ記憶されたスタンパーの径方向ずれ量を用いて、スタンパーの穴の内周面のホルダーの円筒状凸部への押し当てによる影響を除去することにより、スタンパー自身の偏心量が計算される。この場合、第１測定偏心計算工程、第２測定偏心計算工程及び加算工程を利用する場合には、第１偏心量及び第１偏心方向と、第２偏心量及び第２偏心方向とを用いて、ベクトルの加算処理の手法により他の成分が打ち消され、スタンパー自身の偏心量が計算される。また、合成工程及び偏心量計算工程を利用する場合には、第１及び第２径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量の合成により他の成分が打ち消され、スタンパー自身の回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量が計算されて、スタンパー自身の偏心量が計算される。その結果、測定した偏心量からホルダーの中心からのスタンパーの中心のずれの影響を除外することができ、スタンパー自身の偏心量が正確に計算される。また、第１スタンパー回転工程と第２スタンパー回転工程とで、スタンパーがホルダーに押し付けられる方向が互いに反対方向になるようにしたので、スタンパーをホルダーに押し当てたことで発生する偏心量が自動的に除去されて、スタンパーをホルダーに押し当てたことで発生する偏心量を測定しなくても、スタンパー自身の偏心量を正確に求めることができる。
また、本発明の他の特徴は、前記のようにスタンパー偏心量測定方法において、さらに、前記モータによる前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を取得するモータ回転偏心取得工程（Ｓ３１〜Ｓ４９，Ｓ６１，Ｓ６２，Ｓ２０１〜Ｓ２１８，Ｓ２２１，Ｓ２２２）を含み、前記スタンパー偏心量計算工程は、さらに前記モータ回転偏心取得工程で取得した偏心量及び偏心方向から定まるモータ回転偏心ベクトルの減算処理の手法を加えたうえで、スタンパー自身の偏心量を計算する（Ｓ９０，Ｓ１０３）ことにある。
この場合、前記モータ回転偏心取得工程を、例えば、前記スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第３スタンパー回転工程（Ｓ３２，Ｓ４１，Ｓ４７）と、前記第３スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第３径方向ずれ量取得工程（Ｓ３１，Ｓ３３〜Ｓ４０，Ｓ４２〜Ｓ４６）と、前記第３径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第３偏心量及び第３偏心方向を計算する第３測定偏心計算工程（Ｓ４８，Ｓ４９）と、前記スタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に前記第３スタンパー回転工程と同一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記第３スタンパー回転工程とは１８０度回転させて前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第４スタンパー回転工程（Ｓ３２，Ｓ４１，Ｓ４７）と、前記第４スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第４径方向ずれ量取得工程（Ｓ３１，Ｓ３３〜Ｓ４０，Ｓ４２〜Ｓ４６）と、前記第４径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第４偏心量及び第４偏心方向を計算する第４測定偏心計算工程（Ｓ４８，Ｓ４９）と、前記第３測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第３偏心量及び第３偏心方向から定まる第３測定偏心ベクトルと、前記第４測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第４偏心量及び第４偏心方向から定まる第４測定偏心ベクトルとの加算処理の手法により、前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を計算する加算工程（Ｓ６１、Ｓ６２）とで構成するとよい。
また、前記前記モータ回転偏心取得工程を、前記第３及び第４スタンパー回転工程と、前記第３及び第４径方向ずれ量取得工程と、前記第３径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量と、前記第４径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量とをスタンパーの回転角度ごとに平均化することにより、スタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を計算する合成工程（Ｓ２１８，Ｓ２２１）と、前記合成工程により合成されたスタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を用いて、前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を計算する偏心計算工程（Ｓ２２２）とで構成してもよい。
これによれば、前記スタンパーの偏心量に、モータによるホルダーの回転時における回転中心に対するホルダーの中心のずれの影響を除外することができ、スタンパーの偏心量をより正確に求めることができる。また、第３及び第４スタンパー回転工程、第３及び第４径方向ずれ量取得工程、第３及び第４測定偏心計算工程、並びに加算工程によれば、ベクトル加算の手法による他の成分の打消しにより、モータによるホルダーの回転時における回転中心に対するホルダーの中心のずれが正確に計算される。また、第３及び第４スタンパー回転工程、第３及び第４径方向ずれ量取得工程、合成工程、並びに偏心計算工程によっても、径方向ずれ量の合成による他の成分の消し合いにより、モータによるホルダーの回転時における回転中心に対するホルダーの中心のずれが正確に計算される。
本発明の一実施形態に係るスタンパー偏心量測定装置の全体構成図である。 前記スタンパー偏心量測定装置において、ホルダーにスタンパーを押し当ててセットするとともに、ホルダーをクランプに組み付けた状態を示す正断面図である。 前記図２Ａの平面図である。 前記スタンパーをホルダーに押し当てる方向を示した図である。 コントローラによって実行される押し当て偏心量取得プログラムを示すフローチャートである。 コントローラによって実行される位置決めプログラムを示すフローチャートである。 コントローラによって実行される測定偏心ベクトル取得プログラムを示すフローチャートである。 コントローラによって実行されるモータ回転偏心ベクトル取得プログラムを示すフローチャートである。 コントローラによって実行されるスタンパー偏心ベクトル取得プログラムを示すフローチャートである。 (Ａ)はトラッキングエラー信号の波形図であり、(Ｂ)はトラッキングエラー信号の微分波形であり、(Ｃ)はトラッキングエラー信号の２値化信号である。 回転角度に対するカウント値の関係曲線を示す図である。 測定された偏心ベクトル、スタンパーの偏心ベクトル、スタンパーの押し当てによる偏心ベクトル、及びモータ回転偏心ベクトルの関係を示した図である。 (Ａ)〜(Ｄ)は、スタンパーのホルダーへの押し当て方向を９０度ずつ変更した図である。 スタンパーのホルダーに対する押し当て方向を固定して、スタンパー及びホルダーをクランプに対して９０度ずつ回転させた場合の各偏心ベクトルの関係を示した図である。 コントローラによって実行される、変形例１に係るスタンパー偏心ベクトル取得プログラムを示すフローチャートである。 変形例１に係る回転角度に対するカウント値の関係曲線を示す図である。 スタンパーとクランプとの位置関係を固定したまま、スタンパーのホルダーへの押し当て方向を９０度ずつ回転させた場合の各偏心ベクトルの関係を示した図である。 変形例２に係る電気回路の一部を示すブロック図である。 Ｒ型及びＲＷ型の光ディスクの径方向断面図である。 光スポットが一方の方向にグルーブを横切る場合におけるトラッキングエラー信号、ローパスフィルタ出力信号、ハイパスフィルタ出力信号、及び微分出力信号の波形図である。 光スポットが図１９Ａの場合と反対方向にグルーブを横切る場合におけるトラッキングエラー信号、ローパスフィルタ出力信号、ハイパスフィルタ出力信号、及び微分出力信号の波形図である。 コントローラによって実行される、変形例３に係る径方向ずれ量取得プログラムを示すフローチャートである。 コントローラによって実行される、変形例３に係る偏心量計算プログラムを示すフローチャートである。 従来の偏心量測定装置においてホルダーにセットされたスタンパーをクランプにセットした状態を示した図である。 (Ａ)(Ｂ)は、従来の偏心量測定装置においてスタンパーのホルダーにおける位置が変化する様子を示した図である。
ａ．実施形態の構成
本発明の一実施形態に係るスタンパー偏心量測定装置について図面を用いて説明する。図１は、スタンパー偏心量測定装置の全体構成図である。この場合、スタンパーＳＴはＲＯＭ型の光ディスクを作製するもの、すなわちピット列が形成されたものであるとする。スタンパー偏心量測定装置は、スタンパーＳＴを回転駆動する回転駆動装置１０と、スタンパーＳＴにレーザ光を照射するとともにレーザ光の照射によるスタンパーＳＴからの反射光を受光する光ピックアップ装置２０を備えている。
回転駆動装置１０は、スタンパーＳＴを回転駆動するためのスピンドルモータ１１を備えている。スピンドルモータ１１の回転軸１１ａの上端にはクランプ１２が固定されている。クランプ１２は、円盤状のプレート１２ａと、プレート１２ａ上に一体的に形成された円錐台部分１２ｂとからなる。このクランプ１２には、中央部分に円形の穴を有する円盤状のスタンパーＳＴを保持したホルダー１３がセットされるようになっている。ホルダー１３は、図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、中央部分に円形の穴を有する円盤状に形成されていて、穴の周囲は円筒状に盤面に対して垂直方向に突出した円筒状凸部１３ａを有する。スタンパーＳＴをホルダー１３に組み付ける際には、スタンパーＳＴの中央部分の穴内にホルダー１３の円筒状凸部１３ａを侵入させる。そして、ホルダー１３をクランプ１２にセットするには、クランプ１２の円錐台部分１２ｂをホルダー１３の円筒状凸部１３ａに貫通させる。その後、クランプ１２の円錐台部分１２ｂに対応した凹部を有するキャップ１４を、前記円錐台部分１２ｂに被せることにより、ホルダー１３をクランプ１２に固定する。
また、ホルダー１３には、スタンパーＳＴの中央部の穴の内周面をホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外周面に押し当てるための押し当て具１５が組み付けられるようになっている。押し当て具１５は、長尺状に形成された枠材本体１５ａ１と、枠材本体１５ａ１の両端から下方に突出させた一対の突出部１５ａ２，１５ａ２とを有するように、断面コ字状に一体形成した枠材１５ａを備えている。突出部１５ａ２，１５ａ２の内周面間の距離は、ホルダー１３の直径よりも僅かに大きく設定されている。枠材１５ａの一方の突出部１５ａ２には、スタンパーＳＴの外周面を押圧する押圧機構が設けられている。この押圧機構は、前記一方の突出部１５ａ２に設けた貫通孔を進退可能に貫通する連結軸１５ｂを備え、連結軸１５ｂの外側端にはノブ１５ｃが固定されるとともに、連結軸１５ｂの内側端には押し当て部材１５ｄが固定されている。前記一方の突出部１５ａ２に設けた貫通孔は外側にて細径に形成されるとともに、段差をもって内側にて大径に形成されており、押し当て部材１５ｄは前記大径に形成された貫通孔内を進退するが、前記細径に形成された貫通穴内には侵入し得ない。また、ノブ１５ｃは、前記一方の突出部１５ａ２の外側に位置し、同突出部１５ａ２に設けた貫通穴内には侵入し得ない。前記大径に形成した貫通孔内には、連結軸１５ｂを貫通させたコイルスプリング１５ｅが組み込まれており、コイルスプリング１５ｅは押し当て部材１５ｄを内側に付勢している。
これにより、スタンパーＳＴをホルダー１３に組み付け、ホルダー１３をクランプ１２にセットし、かつキャップ１４をクランプ１２に組み付けた後、押し当て具１５のノブ１５ｃを外側に引っ張った状態で押し当て具１５をホルダー１３及びキャップ１４上に押し当てて、押し当て部材１５ｄの先端をスタンパーＳＴの外周上に接触させる位置にてノブ１５ｃを離せば、スタンパーＳＴはホルダー１３の円筒状凸部１３ａに押し付けられて固定される。この状態では、図３に示すように、スタンパーＳＴの中央部の穴の内周面の一部は、ホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外周面に押し当てられている。
スピンドルモータ１１内には、スピンドルモータ１１の回転すなわち回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転を検出して、同回転を表す回転検出信号を出力するエンコーダ１１ｂが組み込まれている。この回転検出信号は、回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転位置が一つの基準回転位置に来るごとに発生されるインデックス信号Idexと、所定の微小な回転角度ずつハイレベルとローレベルを繰返すパルス列信号とからなるとともに互いにπ／２だけ位相のずれたＡ相信号φAおよびＢ相信号φBとからなる。
光ピックアップ装置２０は、レーザ光源２１、コリメートレンズ２２、偏光ビームスプリッタ２３、１／４波長板２４、対物レンズ２５、凸レンズ２６、シリンドリカルレンズ２７、フォトディテクタ２８及びフォーカスアクチュエータ２９を備えている。この光ピックアップ装置２０においては、レーザ光源２１からのレーザ光を、コリメートレンズ２２、偏光ビームスプリッタ２３、１／４波長板２４及び対物レンズ２５を介して、スタンパーＳＴに集光させ、スタンパーＳＴ上に光スポットを形成する。また、このスタンパーＳＴに形成された光スポットからの反射光は、対物レンズ２５、１／４波長板２４、偏光ビームスプリッタ２３、凸レンズ２６及びシリンドリカルレンズ２７を介して、フォトディテクタ２８に導かれて受光される。フォトディテクタ２８は、分割線で区切られた４つの同一正方形状の受光素子からなる４分割受光素子によって構成されており、各受光素子は受光量に比例した検出信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄをそれぞれ受光信号として出力する。なお、検出信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、左上から時計回りに配置された各受光素子の受光量を表している。フォーカスアクチュエータ２９は、対物レンズ２５をレーザ光の光軸方向（スタンパーＳＴの盤面の垂直方向）に駆動して光スポットを光軸方向に微動させる。
スタンパー偏心量測定装置は、スピンドルモータ制御回路３１、回転角度検出回路３２、レーザ駆動回路３３、増幅回路３４、フォーカスエラー信号生成回路３５、フォーカスサーボ制御回路３６、トラッキングエラー信号生成回路３７、微分回路３８、進行方向変化検出回路３９、２値化回路４１、カウント回路４２、コントローラ１００、入力装置１０１及び表示装置１０２も備えている。
スピンドルモータ制御回路３１は、エンコーダ１１ｂから出力されるＡ相信号φA及びＢ相信号φBを入力して、スピンドルモータ１１の回転速度を計算し、コントローラ１００に指示される回転速度でスピンドルモータ１１が回転するように、スピンドルモータ１１の回転をサーボ制御する。回転角度検出回路３２は、インデックス信号Idex、Ａ相信号φA及びＢ相信号φBを入力して、回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転角度を検出して、コントローラ１００の指示に応じて検出回転角度をコントローラ１００に出力する。なお、この場合の検出回転角度は、インデックス信号Idexが入力する位置を基準位置とした、基準位置に対する絶対回転角度である。レーザ駆動回路３３は、コントローラ１００の指示に応じて、レーザ光源２１の作動を制御する。
増幅回路３４は、フォトディテクタ２８による検出信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄをそれぞれ増幅して、フォーカスエラー信号生成回路３５及びトラッキングエラー信号生成回路３７に出力する。フォーカスエラー信号生成回路３５は、増幅回路３４を介したフォトディテクタ２８からの検出信号Ａ〜Ｄを用いた演算（具体的には、非点収差法による(Ａ＋Ｃ)−(Ｂ＋Ｄ)の演算）により、フォーカスエラー信号を生成して、フォーカスサーボ制御回路３６に出力する。フォーカスサーボ制御回路３６は、コントローラ１００からの指示に応じて作動を開始し、フォーカスエラー信号に基づいてフォーカスサーボ信号を生成してフォーカスアクチュエータ２９を駆動制御して、対物レンズ２５をレーザ光の焦点がスタンパーＳＴの表面に合うように光軸方向に変位させる制御を行う。
トラッキングエラー信号生成回路３７は、増幅回路３４を介したフォトディテクタ２８からの検出信号Ａ〜Ｄを用いた演算により、トラッキングエラー信号を生成して出力する。この場合の演算は、差動位相差法（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｐｈａｓｅ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ法（以下、単にＤＰＤ法という））に従った演算である。そして、レーザスポットがピット列を横切るように移動すると、トラッキングエラー信号生成回路３７によるトラッキングエラー信号は、図９(Ａ)に示すように、鋸歯状波形となり、レーザスポットがビット列を横切る向きが変わると鋸歯状波形の向きが変わる。本実施形態においては、レーザスポットがビット列を横切る方向がスタンパーＳＴの外側方向である場合を正方向とし、この正方向は図９(Ａ)の左側部分に対応する。
微分回路３８は、トラッキングエラー信号生成回路３７から出力されるトラッキングエラー信号を微分し、この微分した信号を進行方向変化検出回路３９に出力する。この微分した信号は、図９(Ｂ)のようになる。進行方向変化検出回路３９は、前記微分した信号を２値化し、正側のパルス幅を検出して、正側のパルス幅が所定値以上になるとカウント回路に正方向信号を出力し、その後、負側のパルス幅を検出して負側のパルス幅が所定値以上になるとカウント回路４２への正方向信号の出力を停止し、その後、正側のパルス幅を検出して、正側のパルス幅が所定値以上になるとカウント回路４２に正方向信号を再び出力する。これを連続して繰り返す。これにより、レーザスポットがピット列を横切る方向の情報をカウント回路４２に与える。この場合、レーザスポットがビット列を横切る方向がスタンパーＳＴの外側方向（又は内側方向）である場合に、進行方向変化検出回路３９は正方向信号（又は負方向信号）を出力する。
２値化回路４１は、トラッキングエラー信号生成回路３７からのトラッキングエラー信号を２値化して、この２値化信号を出力する。この２値化信号は、図９(Ｃ)のようになる。カウント回路４２は、コントローラ１００からの指示に応じて、２値化回路４１から出力されるパルス信号のパルス数をカウントし、カウント値を所定の時間間隔でコントローラに出力する。そして、進行方向変化検出回路３９からの正方向信号の有無によりカウントアップとカウントダウンを切り換える。これにより、スタンパーＳＴが１回転したときのカウント値は「０」に戻る。なお、この場合、レーザスポットがビット列を横切る方向がスタンパーＳＴの外側方向（正方向）である場合に、カウント値はカウントアップする。
コントローラ１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクなどからなるマイクロコンピュータによって構成されており、キーボード、マウスなどからなる入力装置１０１からの指示に従って図４〜８のプログラムを実行する。そして、コントローラ１００は、前記プログラムの実行により、スピンドルモータ制御回路３１、回転角度検出回路３２、レーザ駆動回路３３、フォーカスサーボ制御回路３６、カウント回路４２及び表示装置１０２を制御するとともに、エンコーダ１１ｂからのインデックス信号Idex、回転角度検出回路３２による検出回転角度及びカウント回路４２によるカウント値を入力して、スタンパー偏心量を計算して表示装置１０２に表示する。
ｂ．実施形態の動作原理
上記のように構成した実施形態の作動について説明する前に、スタンパー偏心量の検出動作原理について簡単に説明しておく。スタンパーＳＴをホルダー１３に保持させてクランプ１２にセットし、さらに押し当て具１５によりスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てた後、スピンドルモータ１１を回転させるとともに、フォーカスサーボ制御を行いながらレーザ光をスタンパーＳＴに照射する。この場合、トラッキングサーボ制御は行われていないので、スタンパーＳＴ上のレーザスポットは、スタンパーＳＴ上のビット列を径方向に横切り、スタンパーＳＴが１回転する間に１往復する。なお、実際には、スタンパーＳＴが径方向に移動することでピット列が径方向に移動する。一方、カウント回路４２は、このレーザスポットのビット列に対する径方向への横切りをカウントするとともに、横切る方向に応じてカウントダウン又はカウントアップする。本実施形態においては、レーザスポットがビット列を横切る方向がスタンパーＳＴの外側方向（正方向）である場合に、カウント値はカウントアップする。
そして、スタンパーＳＴが１回転する間すなわちレーザスポットが１往復する間のカウント値を検出するとともに、カウント開始時のカウント値を「０」とすれば、このレーザスポットの１往復の間には、カウント回路４２によるカウント値は、「０」から減少（又は増加）して最小値（又は最大値）を通過した後、増加（又は減少）して最大値（又は最小値）を通過した後、「０」に戻る。すなわち、スタンパーＳＴの回転角度に対するカウント値は、図１０に示すように正弦波状に変化する。この場合、最大値と最小値のカウント値の差にピット列間距離（ピッチ）を乗算し、１／２にしたものが偏心量である。なお、ピット列間距離（ピッチ）はＣＤは１．６μｍ、ＤＶＤは０．７４μｍ、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクは０．３２μｍと規格で決まっている値である。そして、偏心方向は、最大値の回転角度である。なお、カウント値は、単に定数を乗算するだけで偏心量に一致するので、最大値と最小値の差はスタンパーＳＴの偏心量に相当すると同時に、特に、本願発明における、スタンパーの回転の際の回転中心に対するスタンパーの中心の所定の径方向における径方向ずれ量に対応する。
この偏心量及び偏心方向を表すベクトルは、図１１に測定された偏心として示されている。しかし、この測定された偏心には、（ａ）スタンパーＳＴの偏心、（ｂ）スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心、（ｃ）スピンドルモータ１１による回転中心に対するホルダー１３の中心のずれによる偏心（以後、モータ回転の偏心という）からなる３つ偏心が含まれている。したがって、図１１に示すように、測定された偏心量と偏心方向（偏心ベクトル）から（ｂ）スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心ベクトルと、（ｃ）モータ回転の偏心ベクトルを減算することにより、(ａ)スタンパー偏心ベクトル（必要とするのは偏心量）を求めることができる。
この場合、（ｂ）スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心量及び偏心方向（偏心ベクトル）と、（ｃ）モータ回転の偏心量及び偏心方向（偏心ベクトル）とを予め次のようにして求めておく。（ｂ）スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心ベクトルに関しては、スタンパーＳＴの穴の直径とホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を精密な測定器で測定し、{(スタンパーＳＴの穴の直径)−(ホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径)}・１/２を偏心量とし、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向を偏心方向とする。このスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心ベクトルは、図１１に押し当てによる偏心として示されている。
また、(ｃ)モータ回転の偏心ベクトルに関しては、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向はホルダー１３に対して一定方向とし、図１２のようにクランプ１２に対しては正反対を含む４つの異なる方向にして、それぞれにおいて偏心量と偏心方向（偏心ベクトル）を測定する。図１２では偏心ベクトルの加減算を分かり易くするために、０度、９０度、１８０度、２７０度としているが、正反対の方向を含む４つの異なる方向であればどのような方向であってもよい。このとき４つの偏心量と偏心方向（偏心ベクトル）が測定されるが、この４つの偏心ベクトルは、図１３に示すように、モータ回転の偏心ベクトル、スタンパーＳＴの偏心ベクトル及びスタンパーＳＴの押し当てによる偏心ベクトルの３つの偏心ベクトルをそれぞれ含んでいる。ここでモータ回転の偏心ベクトルは一定の方向であるが、スタンパーＳＴの偏心ベクトル及びスタンパーＳＴの押し当てによる偏心ベクトルは、方向が９０度ずつずれた同じ大きさの偏心ベクトルである。よって、測定された４つの偏心ベクトルを加算すると、モータ回転の偏心ベクトルを４倍したベクトルとなり、測定された４つの偏心ベクトルを平均すればモータ回転の偏心ベクトルとなる。このモータ回転の偏心ベクトルは、図１１にモータ回転の偏心として示されている。
ｃ．実施形態の具体的な作動
（押し当て偏心量の取得工程）
上記のように構成した実施形態の具体的な作動について説明する。まず、作業者は、（ｂ）スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てることによる偏心量を求めておく。この場合、作業者は、スタンパーＳＴの穴の直径とホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を精密な測定器で測定して、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００に押し当て偏心量取得プログラムを実行させる。コントローラ１００は、図４のステップＳ１０にて押し当て偏心量取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１１，Ｓ１２にて、表示装置１０２を用いて、スタンパーＳＴの穴の直径及びホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径の入力を促す。作業者が、入力装置１０１を用いてスタンパーＳＴの穴の直径及びホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を入力すると、コントローラ１００は、ステップＳ１１，Ｓ１２にて前記入力されたスタンパーＳＴの穴の直径及びホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を取り込む。
そして、コントローラ１００は、ステップＳ１３にて、スタンパーＳＴの穴の直径からホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を減算し、減算結果を「２」で除算することにより、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てた際の偏心量すなわち押し当て偏心量を計算して記憶し、ステップＳ１４にてこの押し当て偏心量取得プログラムの実行を終了する。なお、後述するように、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てたことによる偏心量を求めることは、スタンパーＳＴ自身の偏心量を求める際にスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てた方向をベクトル方向とするので、実質的には、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てたことによる偏心ベクトルを求めたことと同じである。
（モータ回転偏心ベクトルの取得工程）
次に、作業者は、スピンドルモータ１１の回転を開始させる際にスピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転位置が常に一定となるようにするために、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に位置決めプログラムを実行させる。この位置決めプログラムの実行はステップＳ２０にて開始され、コントローラ１００は、ステップＳ２１にて、スピンドルモータ制御回路３１を制御して、スピンドルモータ１１を低速で回転させる。そして、ステップＳ２２にて、スピンドルモータ１１のエンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexの入力を待つ。スピンドルモータ１１の回転により、エンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexが出力されると、コントローラ１００は、ステップＳ２２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３にてスピンドルモータ制御回路３１を制御してスピンドルモータ１１の回転を停止させて、ステップＳ２４にてこの位置決めプログラムの実行を終了する。この場合、スピンドルモータ１１の回転速度を遅くしているために、エンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexが出力された直後の回転位置にてスピンドルモータ１１は回転を停止する。このスピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の停止位置を基準位置とし、次にスピンドルモータ１１の回転を開始させるときには、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２はこの基準位置から回転し始める。
次に、作業者は、モータ回転の偏心ベクトルを取得する作業に入る。このモータ回転の偏心ベクトルは、前述のように、スピンドルモータ１１による回転中心に対するホルダー１３の中心のずれによる偏心を表すものである。そして、ホルダー１３の円筒状凸部１３ａ及びクランプ１２の円錐台部分１２ｂは精度よく製作されていると同時に、ホルダー１３をクランプ１２に組み付けた際には円筒状凸部１３ａが円錐台部分１２ｂに密着するので、ホルダー１３を如何なる回転位置でクランプ１２に組み付けても、ホルダー１３の中心は常に固定される。また、このモータ回転の偏心量はそれほど大きくはない。
モータ回転の偏心ベクトルの取得作業においては、作業者は、まず、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、スタンパーＳＴをホルダー１３に保持させ、ホルダー１３をクランプ１２にセットし、かつキャップ１４をクランプ１２に組み付ける。その後、枠材本体１５ａ１を予め決めた方向（図２Ｂの横方向）に延設させるとともに、ノブ１５ｃを外側に引っ張った状態で押し当て具１５をホルダー１３及びキャップ１４上に押し当てて、押し当て部材１５ｄの先端をスタンパーＳＴの外周上に接触させる位置にてノブ１５ｃを離す。これにより、スタンパーＳＴは、図２Ｂ及び図３にて示されているように、右方向にホルダー１３の円筒状凸部１３ａに押し付けられて固定される。このスタンパーＳＴのクランプ１２に対する組み付け位置を基準位置とし、図３の右方向を０度、下方向を９０度、左方向を１８０度、かつ上方向を２７０度として定める。
なお、本実施形態では、レーザスポットは、前記０度と１８０度を結ぶライン上であって、中心から１８０度方向に向かうライン上を移動するものとする。これにより、後述する測定偏心ベクトルの方向を決定する際には、カウント値が最大となる回転角度をベクトルの方向としてそのまま採用すればよく、測定偏心ベクトルの導出が簡単になる。なお、レーザスポットは必ずしも前記ライン上になくてもよく、レーザスポットが形成される回転角度を検出しておけば、カウント値が最大となる回転角度をレーザスポットが形成される回転角度で補正してやればよい。
この状態で、作業者は、入力装置１０１を操作することにより、コントローラ１００に測定偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。この測定偏心ベクトル取得プログラムの実行は図６のステップＳ３０にて開始され、コントローラ１００は、ステップＳ３１にて変数ｎを初期値「０」に設定する。この変数ｎは、所定時間ごとに後述するカウント値及び回転角度の取り込みを行わせるための変数である。前記ステップＳ３１の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ３２にてスピンドルモータ制御回路３１にスピンドルモータ１１の回転開始を指示する。スピンドルモータ制御回路３１は、スピンドルモータ１１を所定の方向に所定の速度で回転させ始め、ホルダー１３にセットされたスタンパーＳＴも所定の速度で回転し始める。
次に、コントローラ１００は、ステップＳ３３にてレーザ駆動回路３３にレーザ光の照射開始を指示し、ステップＳ３４にてフォーカスサーボ制御回路３６にフォーカスサーボ制御の開始を指示する。レーザ駆動回路３３はレーザ光源２１の駆動を開始し、レーザ光源２１はレーザ光を出射し始める。レーザ光源２１からのレーザ光は、コリメートレンズ２２、偏光ビームスプリッタ２３、１／４波長板２４及び対物レンズ２５を介して、スタンパーＳＴに集光されて、スタンパーＳＴ上に光スポットが形成される。そして、スタンパーＳＴに形成された光スポットからの反射光が、対物レンズ２５、１／４波長板２４、偏光ビームスプリッタ２３、凸レンズ２６及びシリンドリカルレンズ２７を介して、フォトディテクタ２８に導かれて受光される。フォトディテクタ２８による検出信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、増幅回路３４によって増幅されて、フォーカスエラー信号生成回路３５に導かれる。フォーカスエラー信号生成回路３５は、フォーカスエラー信号を生成して、フォーカスエラー信号をフォーカスサーボ制御回路３６に供給する。フォーカスサーボ制御回路３６は前記ステップＳ３４の処理により作動開始しているので、フォーカスサーボ制御回路３６によるフォーカスアクチュエータ２９の制御により、スタンパーＳＴ上に照射されるレーザ光はフォーカスサーボ制御されて、スタンパーＳＴ上に常にレーザ光の焦点が合うように光スポットが形成される。
一方、トラッキングエラー信号生成回路３７は、トラッキングエラー信号（図９(Ａ)参照）を生成して、生成したトラッキングエラー信号を２値化回路４１及び微分回路３８に供給する。２値化回路４１は、供給されたトラッキングエラー信号を２値化した２値化信号（図９(Ｃ)参照）をカウント回路４２に出力する。一方、微分回路３８は、前記供給されたトラッキングエラー信号を微分した微分信号（図９(Ｂ)参照）を進行方向変化検出回路３９に出力する。進行方向変化検出回路３９は、前記微分信号に基いて、レーザスポットがビット列を横切る方向がスタンパーＳＴの外側方向（又は内側方向）である場合に正方向信号（又は負方向信号）をカウント回路４２に出力する。
ふたたび、図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの説明に戻ると、コントローラ１００は、前記ステップＳ３４の処理後、ステップＳ３５にてスピンドルモータ１１のエンコーダ１１ｂからのインデックス信号Idexの到来を待つ。そして、インデックス信号Idexが到来すると、コントローラ１００は、ステップＳ３５にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ３６にてカウント回路４２にカウント開始を指示する。このカウント開始の指示に応答して、カウント回路４２は、カウント値「０」からカウント動作を開始して、レーザスポットがビット列をスタンパーＳＴの外側方向に向けて横切るたびに「１」ずつカウントアップし、レーザスポットがビット列をスタンパーＳＴの内側方向に向けて横切るたびに「１」ずつカウントダウンするカウント値を出力する。前記ステップＳ３６の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ３７にて時間計測を開始する。そして、ステップＳ３８において、計測時間が変数ｎに予め決めた周期Ｔを乗算した時間値ｎ・Ｔ以上であるか否かを判定する。計測時間が時間値ｎ・Ｔ以上になるまで、コントローラ１００はステップＳ３８にて「Ｎｏ」と判定し続ける。
計測時間が時間値ｎ・Ｔ以上になると、コントローラ１００はステップＳ３８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ３９にてカウント回路４２からカウント値を取り込み、ステップＳ４０にて回転角度検出回路３２から回転角度を取り込む。なお、初期の状態では、カウント値及び回転角度として「０」が取り込まれている。前記ステップＳ４０の処理後、ステップＳ４１にてスピンドルモータ１１のエンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexを入力したか否かを判定する。エンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexがコントローラ１００に入力されるまで、コントローラ１００は、ステップＳ４１にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ４２にて変数ｎに「１」を加算して、ステップＳ３８の判定処理に戻る。そして、計測時間が時間値ｎ・Ｔ以上になるごとに、ステップＳ３９，４０の処理により、カウント値及び回転角度を取り込み、回転角度に対応させてカウント値を記憶する。これらのステップＳ３８〜Ｓ４２からなる循環処理中、エンコーダ１１ｂからインデックス信号Idexが入力されると、コントローラ１００は、ステップＳ４１にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ４３以降の処理を実行する。したがって、この時点では、スタンパーＳＴの１回転分のカウント値及び回転角度がコントローラ１００に取り込まれている。
ステップＳ４３においては、コントローラ１００は、カウント回路４２のカウント動作を停止させる。その後、コントローラ１００は、ステップＳ４４にて時間計測を停止し、ステップＳ４５にてフォーカスサーボ制御回路３６にフォーカスサーボ制御を停止させ、ステップＳ４６にてレーザ駆動回路３３を制御してレーザ光源２１によるレーザ光の照射を停止させ、ステップＳ４７にてスピンドルモータ制御回路３１を制御してスピンドルモータ１１の回転を停止させる。
次に、コントローラ１００は、ステップＳ４８にて、前記ステップＳ３９，Ｓ４０の処理によって取り込んだカウント値及び回転角度を用いて、回転角度に対するカウント値の関係曲線を作成して記憶する。この場合、回転角度は０度から３６０度に亘って周期Ｔに対応した角度ずつ変化する角度を表している。一方、カウント値は、スタンパーＳＴが１回転する間に、レーザスポットがビット列をスタンパーＳＴの外側方向に向けて横切るたびに「１」ずつカウントアップし、レーザスポットがビット列をスタンパーＳＴの内側方向に向けて横切るたびに「１」ずつカウントダウンするカウント値を表している。したがって、前記関係曲線は、正弦波状に変化する曲線となる。より具体的には、カウント値の初期値は「０」であり、初期の回転角度はインデックス信号Idexの発生に合わせた０度であるので、前記関係曲線は、例えば図１０に示すように、「０」から減少して最小値に達し、その後に上昇して最大値に達して、その後に減少して「０」に戻る曲線となる。
前記ステップＳ４８の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ４９にて測定偏心ベクトルを計算し、ステップＳ５０にてこの測定偏心ベクトル取得プログラムの実行を終了する。この測定偏心ベクトルの取得においては、前記作成した回転角度に対するカウント値の関係曲線における最大値から最小値を減算する。そして、減算結果にスタンパーＳＴのピット列間距離（ピッチ）を乗算し、乗算結果を「２」で除算することにより、偏心量を計算する。そして、カウント値が最大となる回転角度を偏心方向として決定して、この偏心方向と前記計算した偏心量を測定偏心ベクトルとする。この測定偏心ベクトルは、例えば図１３に測定された偏心（０度方向）として示されている。
次に、作業者は、押し当て具１５によりスタンパーＳＴの中央部の穴の内周面をホルダー１３の円筒状凸部１３ａに押し当てた状態のまま、スタンパーＳＴを、ホルダー１３、キャップ１４及び押し当て具１５と共に一体的にクランプ１２から取り外し、９０度回転させて、ふたたびクランプ１２にセットする。すなわち、ホルダー１３に対するスタンパーＳＴの組み付け位置を変更することなく、スタンパーＳＴ及びホルダー１３がクランプ１２に対して図１２(Ａ)の方向から図１２(Ｂ)の方向に変更されてクランプ１２にセットされることになる。
次に、作業者は、入力装置１０１を操作することにより、コントローラ１００に測定偏心ベクトル取得プログラムを再度実行させる。この測定偏心ベクトル取得プログラムの実行開始は、前回の図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行により、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の停止位置が前回の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行開始時と同じであること、すなわちスピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始位置が基準位置にあることを条件とする。もし、前回の図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行によって、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の停止位置が正確に基準位置になかったり、その後に基準位置から動かされている場合には、スタンパーＳＴ、ホルダー１３等をクランプ１２にセットする前に、作業者は入力装置１０１を操作して前述したコントローラ１００に位置決めプログラムを実行させて、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始位置を基準位置に再度設定する。
この測定偏心ベクトル取得プログラムの実行により、スタンパーＳＴ及びホルダー１３が図１２(Ａ)の状態から９０度回転された図１２(Ｂ)の状態に設定された状態における測定偏心ベクトルが計算される。この測定偏心ベクトルは、例えば図１３の測定された偏心（９０度方向）として示されている。
次に、作業者は、図１２(Ｂ)の状態にあるスタンパーＳＴ及びホルダー１３を、前述した場合と同様にして、さらに９０度回転させてクランプ１２にセットする。すなわち、ホルダー１３に対するスタンパーＳＴの組み付け位置を変更することなく、スタンパーＳＴ及びホルダー１３が図１２(Ｂ)の方向から図１２(Ｃ)の方向に変更されてクランプ１２にセットされることになる。そして、作業者は、入力装置１０１を操作することにより、コントローラ１００に測定偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。この場合も、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始位置が基準位置にあることを条件とする。もし、基準位置になければ、前述のように、コントローラ１００に位置決めプログラムを実行させて、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始位置を基準位置に再度設定する。そして、この測定偏心ベクトル取得プログラムの実行により、スタンパーＳＴ及びホルダー１３が図１２(Ｃ)の状態に設定された場合の測定偏心ベクトルが計算される。この測定偏心ベクトルは、例えば図１３の測定された偏心（１８０度方向）として示されている。
次に、作業者は、図１２(Ｃ)の状態にあるスタンパーＳＴ及びホルダー１３を、前述した場合と同様にして、さらに９０度回転させてクランプ１２にセットする。すなわち、ホルダー１３に対してスタンパーＳＴの組み付け位置を変更することなく、スタンパーＳＴ及びホルダー１３が図１２(Ｃ)の方向から図１２(Ｄ)の方向に変更されてクランプ１２にセットされることになる。そして、作業者は、入力装置１０１を操作することにより、コントローラ１００に測定偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。この場合も、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始位置が基準位置にあることを条件とする。もし、基準位置になければ、前述のように、コントローラ１００に位置決めプログラムを実行させて、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２の回転開始止位置を基準位置に再度設定する。そして、この測定偏心ベクトル取得プログラムの実行により、スタンパーＳＴ及びホルダー１３が図１２(Ｃ)の状態に設定された場合の測定偏心ベクトルが計算される。この測定偏心ベクトルは、例えば図１３の測定された偏心（２７０度方向）として示されている。
このようにして、０度、９０度、１８０度及び２７０度の４つの測定偏心ベクトルの導出後、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００にモータ偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。コントローラ１００は、図７のステップＳ６０にてモータ偏心ベクトル取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ６１に前記４つの測定偏心ベクトルを加算する。次に、コントローラ１００は、ステップＳ６２にて、前記加算したベクトルの大きさを「４」で除算して、この除算したベクトルをモータ偏心ベクトルとして記憶し、ステップＳ６３にてこのモータ偏心ベクトル取得プログラムの実行を終了する。
この場合、前述したように、４つの測定偏心ベクトルは、図１３に示すように、モータ回転の偏心ベクトル、スタンパーＳＴの偏心ベクトル及びスタンパーＳＴの押し当てによる偏心ベクトルの３つの偏心ベクトルを含んでいる。ここでモータ回転の偏心ベクトルは一定の方向であるが、スタンパーＳＴの偏心ベクトル及びスタンパーＳＴの押し当てによる偏心ベクトルは、方向がそれぞれ９０度ずつずれた同じ大きさの偏心ベクトルである。よって、４つの測定偏心ベクトルを加算すると、モータ回転の偏心ベクトルを４倍したベクトルとなり、測定された４つの偏心ベクトルを平均すればモータ回転の偏心ベクトルとなる。
なお、このモータ回転の偏心ベクトルは、スタンパーＳＴ及びホルダー１３とは無関係に、スピンドルモータ１１及びクランプ１２によって決まる偏心であるので、一度測定して記憶しておけば、新たなスタンパーＳＴの偏心ベクトルを測定する際に新たに測定する必要はない。また、このモータ回転の偏心ベクトルは小さいので、無視できる場合もある。
（スタンパー偏心ベクトルの取得工程）
次に、スピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２が基準位置にある状態で、偏心ベクトルを測定しようとするスタンパーＳＴをクランプ１２に対して基準位置にセットする（前述した図３の状態）。そして、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００にスタンパー偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。コントローラ１００は、図８のステップＳ７０にてスタンパー偏心ベクトル取得プログラムの実行を開始する。このスタンパー偏心ベクトル取得プログラムのステップＳ７１〜Ｓ８９の処理は、前述した図６の測定偏心ベクトル取得プログラムのステップＳ３１〜Ｓ４９の処理と同じである。このステップＳ７１〜Ｓ８９の処理により、測定しようとするスタンパーＳＴの偏心ベクトルが導出される。なお、この測定しようとするスタンパーＳＴが、前述したモータ回転の偏心ベクトルを導出するために用いたスタンパーＳＴと同じであれば、図１２(Ａ)に示すようにスタンパーＳＴ及びホルダー１３をクランプ１２にセットして導出した偏心ベクトルを記憶しておけば、前記図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行によって取得された測定偏心ベクトルを利用できる。
いずれの場合も、コントローラ１００は、ステップＳ９０にて、前記導出された測定偏心ベクトルから押し当て偏心ベクトル及びモータ回転の偏心ベクトルを減算して、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルを計算する。なお、この場合、押し当て偏心ベクトルに関しては実際には取得されておらず、前記図４の押し当て偏心プログラムによって押し当て偏心量だけが取得されている。しかし、クランプ１２を基準位置にした状態で、スタンパーＳＴのホルダー１３に対する押し当て方向を基準角度である０度方向にしているので、押し当て偏心量に等しい大きさを有する０度方向のベクトルが押し当て偏心ベクトルとなる。前述のように、測定偏心ベクトルには、図１１に示すように、スタンパーＳＴの偏心ベクトル、スタンパーＳＴの押し当て偏心ベクトル、及びモータ回転の偏心ベクトルが含まれている。したがって、前記減算処理により、図１１に示すようなスタンパーＳＴの偏心ベクトルを導出することができる。なお、モータ回転の偏心ベクトルが無視できるほど小さな場合には、モータ回転の偏心ベクトルの取得及びモータ回転の偏心ベクトルの減算処理は不要となる。このステップＳ９０の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ９１にてスタンパーＳＴの偏心ベクトルを表示装置１０２に表示して、ステップＳ９２にてこのスタンパー偏心ベクトル取得プログラムの実行を終了する。
このスタンパーＳＴの偏心ベクトルの取得後、新たなスタンパーＳＴの偏心ベクトルを取得したい場合には、作業者は、新たなスタンパーＳＴに対して前述した押し当て偏心量の取得工程及びスタンパー偏心ベクトルの取得工程を実行する。なお、この場合、モータ偏心ベクトルに関しては、前回のスタンパーＳＴの偏心ベクトルの測定時と同じであるので、前回記憶しておいてモータ回転の偏心ベクトルを利用すればよく、モータ回転偏心ベクトルの取得工程を実行する必要はない。
上記説明からも理解できるように、上記実施形態によれば、図８のステップＳ７２，Ｓ８１，Ｓ８７の処理によって、スタンパーＳＴがスピンドルモータ１１によって回転される際、ホルダー１３に保持されたスタンパーＳＴの穴の内周面がホルダー１３の円筒状の円筒状凸部１３ａの外周面に一方向から押し当てられている。図８のステップＳ７１，Ｓ７３〜Ｓ８０，Ｓ８２〜Ｓ８６，Ｓ８８，Ｓ８９の処理により、カウント値が取り込まれるとともに回転角度が取り込まれて、スタンパーＳＴの測定偏心ベクトルが計算される際には、ホルダー１３の中心からのスタンパーＳＴの中心のずれが一定とされている。そして、図８のステップＳ９０の処理により、前記のようにホルダー１３の中心からのスタンパーＳＴの中心のずれを一定にしたスタンパーＳＴの偏心ベクトルと、図４の押し当て偏心量取得プログラムを用いて生成した押し当て偏心ベクトルとを用いて、ベクトルの減算処理の手法により、スタンパーＳＴ自身の偏心量が計算される。その結果、ホルダー１３の中心からのスタンパーＳＴの中心のずれは一定となるため測定した偏心量から除去することができ、スタンパーＳＴの偏心量を正確に求めることができる。
また、図８のステップＳ９０においては、図６の測定偏心ベクトル取得プログラム及び図７のモータ回転偏心ベクトル取得プログラムの処理を用いて生成したモータ偏心ベクトルをも、スタンパーＳＴの測定偏心ベクトルから減算することにより、スタンパーＳＴの偏心量に、スピンドルモータ１１によるホルダー１３の回転時における回転中心に対するホルダー１３の中心のずれの影響を除外することができ、スタンパーＳＴの偏心量をより正確に求めることができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。
（変形例１）
上記実施形態では、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てて１回転させて測定したスタンパーＳＴの偏心ベクトルから、別途測定して記憶しておいた押し当て偏心量に基づく押し当て偏心ベクトル及び別途測定して記憶しておいたモータ回転偏心ベクトルを減算してスタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルを計算するようにした。しかし、これに代えて、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルとモータ回転偏心ベクトルとを加算した偏心ベクトルを測定して、この測定した偏心ベクトルからモータ回転偏心ベクトルを減算してスタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルを取得するようにしてもよい。
この場合、スタンパーＳＴの回転開始時におけるスタンパーＳＴとクランプ１２との位置関係を固定したまま、押し当て具１５によるスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向を９０度ずつ変更して、前記押し当て方向が異なる４種類のスタンパーＳＴの偏心ベクトルを測定する。本実施形態では、図１２(Ａ)〜(Ｄ)に示すように、０度、９０度、１８０度及び２７０度の４方向に、スタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる。なお、上述したモータ回転の偏心ベクトルを求める際には、ホルダー１３に対するスタンパーＳＴの押し当て方向を変更することなく、スタンパーＳＴ及びホルダー１３を回転させることを図１２(Ａ)〜(Ｄ)で示している。しかし、この場合には、スタンパーＳＴ及びホルダー１３はクランプ１２に対して常に同じ回転位置に保たれていて、スタンパーＳＴをホルダー１３に対して押し当てる方向が、図示左方向を０度、下方向を９０度、右方向を１８０度及び上方向を２７０度となるように変更している。これは理解を容易にするためのもので、９０度ずつ異なる４つの組み合わせであれば、スタンパーＳＴの押し当て方向はいずれの方向であってもよい。
そして、この場合も、上記実施例の場合と同様に、図５の位置決めプログラムの実行によってスピンドルモータ１１の回転軸１１ａ及びクランプ１２を基準位置に設定した後、スタンパーＳＴとクランプ１２との位置関係を固定したまま、押し当て具１５によるスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向を９０度ずつ変更した４種類のスタンパーＳＴに対して、図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行により、４種類の測定偏心ベクトルを求める。図６の測定偏心ベクトル取得プログラムのステップＳ４８によって取得される回転角度に対するカウント値の４種類の関係曲線は、それぞれ図１５に示すように、およそ９０度ずつ位相のずれた正弦波となる。なお、この図１５の関係曲線においては、「０」の位置が最大値と最小値との中央値になるように、関係曲線を移動して示している。
前記図６の測定偏心ベクトル取得プログラムの実行によって前記４種類の偏心ベクトルを取得した後、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００に図１４のスタンパー偏心ベクトル取得プログラムを実行させる。コントローラ１００は、ステップＳ１００にてこのスタンパー偏心ベクトル取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１０１にて前記４種類の偏心ベクトルを加算し、ステップＳ１０２にて前記加算したベクトルの大きさを「４」で除して大きさを１／４にする。これにより、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルとモータ回転の偏心ベクトルとを加算した測定偏心ベクトルが取得される。これは、図１６に示すように、９０度ずつ方向のずれた押し当て偏心ベクトルは互いに打ち消し合うことで、前記加算して１／４にした測定ベクトルは、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルとモータ回転の偏心ベクトルのみを含むものとなるためである。
前記ステップＳ１０２の処理後、上記実施形態の場合と同様にして、コントローラ１００は、ステップＳ１０３にて前記測定偏心ベクトルからモータ回転偏心ベクトルを減算して、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルを取得して記憶しておく。なお、モータ回転偏心ベクトルに関しては、上記実施形態の場合と同様に、予め測定しておくとよい。前記ステップＳ１０３の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ１０４にて表示装置１０２にスタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルを表示して、ステップＳ１０５にてこのスタンパー偏心ベクトル取得プログラムの実行を終了する。
この変形例によれば、上記実施形態の押し当て偏心量の取得工程が不要となり、スタンパーＳＴの穴の直径とホルダー１３の円筒状凸部１３ａの外径を測定するための精密な測定器及び測定作業が不要となる。また、この変形例においても、モータ回転偏心ベクトルが小さければ、前記ステップＳ１０３によりモータ回転偏心ベクトルの減算処理も不要となる。
（変形例２）
上記実施形態では、スタンパーＳＴはＲＯＭ型の光ディスクを作製するためのもの、すなわちピット列が形成されたものであった。しかし、スタンパーＳＴがＲ型及びＲＷ型の光ディスクを作成するためのもの、すなわちグルーブ及びランド（図１８参照）が形成されたものである場合には、以下のように構成すればよい。すなわち、トラッキングエラー信号生成回路３７を、プッシュプル（Ｐｕｓｈ Ｐｕｌｌ）法によってトラッキングエラー信号を生成する回路に変更する。トラッキングエラー信号生成回路３７で生成されたトラッキングエラー信号は、図１７に示すように、ローパスフィルタ５１を介した後に、微分回路３８及び２値化回路４１に供給するようにする。進行方向変化検出回路３９は、微分回路３８からの微分信号に加えて、トラッキングエラー信号生成回路３７で生成されたトラッキングエラー信号を、ハイパスフィルタ５２を介して入力する。そして、進行方向変化検出回路３９は、前記ハイパスフィルタ５２を通過した信号の振幅値が所定レベルよりも大きいか否かにより信号レベルが変化する２値化信号を作成し、微分回路３８からの微分信号がハイレベルであるときにおける２値化信号のレベルにハイレベルがあるか否かにより、カウント回路４２へのカウントアップ又はカウントダウンを制御するための信号の有無を切換える。
これは、次のような理由による。Ｒ型及びＲＷ型の光ディスクのグルーブにはウォブル（図１８）が形成されているため、この光ディスクを作成するためのスタンパーＳＴにもウォブルが形成されている。そして、ウォブルが形成されていると、光スポットがグルーブを横切るときのトラッキングエラー信号には正弦波状の高周波信号が乗り、この高周波信号は光スポットがランドにある場合とグルーブにある場合とで振幅が大きく変化する。正弦波状の信号が最小から最大に変化するとき、光スポットがグルーブを横切る向きが異なる場合、片方はランドを経由し、他の片方はグルーブを経由する。よって、正弦波状の信号が最小から最大に変化するとき、高周波信号の振幅が大きいか小さいかを検出することで光スポットのグルーブを横切る向きを検出できる。図１９Ａ及び図１９Ｂは、この光スポットがグルーブを横切る向きが異なる場合のトラッキングエラー信号生成回路５１からのトラッキングエラー信号、ローパスフィルタ５１の出力信号、ハイパスフィルタ５２の出力信号、及び微分回路３８の出力信号の波形図を示している。
（変形例３）
上記変形例１においては、押し当て偏心ベクトルを除去して、スタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルとモータ回転偏心ベクトルとを加算した偏心ベクトルを求める際に、４種類の偏心ベクトルを求めた後に、これらの４種類の偏心ベクトルを加算して「４」で除することにより偏心ベクトルを求めるようにした。しかし、これに代えて、スタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する４種類のカウント値（径方向ずれ量）を合成して、スタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する１種類のカウント値（径方向）を求めて偏心ベクトルを求めるようにしてもよい。
具体的には、上記変形例１の場合と同様に、スタンパーＳＴの回転開始時におけるスタンパーＳＴとクランプ１２との位置関係を固定したまま、押し当て具１５によってスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向を９０度ずつ変更して、０度、９０度、１８０度及び２７０度ごとに、作業者は、入力装置１０１を操作して、図２０の径方向ずれ量取得プログラムをコントローラ１００に実行させる。この径方向ずれ量取得プログラムのステップＳ２０１〜Ｓ２１８の処理は、上記実施形態の図６の測定偏心ベクトル取得プログラムのステップＳ３１〜Ｓ４８の同じである。したがって、この４回の径方向ずれ量取得プログラムの実行により、０度、９０度、１８０度及び２７０度のそれぞれに対して、図１５の細い実線、破線、一点鎖線及び二点鎖線で示すように、スタンパーＳＴの回転角度に応じて正弦波状に変化する４種類のカウント値（径方向ずれ量）の関係曲線が得られて記憶される。
前記４種類の関係曲線の取得後、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００に図２１の偏心量計算プログラムを実行させる。この偏心量計算プログラムの実行は、ステップＳ２２０にて開始され、コントローラ１００は、ステップＳ２２１にて前記４種類のカウント値（径方向ずれ量）を平均化する、すなわち前記４種類のカウント値（径方向ずれ量）を角度ごとに加算して「４」で除する。その結果、図１５の前記４種類の曲線は、太い実線で示す正弦波状の曲線に合成される。これが、スタンパーＳＴの回転角度に応じて変化するカウント値（径方向ずれ量）の関係曲線であり、この関係曲線は、スタンパーＳＴの押し当て偏心ベクトルを除去したスタンパーＳＴ自身の偏心ベクトルとモータ回転偏心ベクトルとを加算した偏心ベクトルにより発生する所定の径方向位置（１８０度方向）における回転角度ごとの径方向ずれ量を表している。
前記ステップＳ２２１の処理後、コントローラ１００は、ステップＳ２２２にて前記太い実線で示す回転角度に応じて変化する合成後のカウント値（径方向ずれ量）から偏心ベクトルを計算し、ステップＳ２２３にてこの偏心量計算プログラムの実行を終了する。この偏心ベクトルの取得においては、上記実施形態及び変形例１の場合と同様に、前記作成した回転角度に対するカウント値の関係曲線における最大値から最小値を減算する。そして、減算結果にスタンパーＳＴのピット列間距離（ピッチ）を乗算し、減算結果を「２」で除算することにより、偏心量を計算する。そして、カウント値が最大となる回転角度を偏心方向として決定して、この偏心方向と前記計算した偏心量を用いて偏心ベクトルを求める。この測定偏心ベクトルは、図１６にスタンパー＋モータ回転の偏心として示されている。したがって、この偏心ベクトルは、前記変形例１の場合と同様なモータ回転の偏心ベクトルを含むスタンパーＳＴの偏心ベクトルである。
また、上記実施形態において、モータ回転偏心ベクトルを求める際に、４種類の偏心ベクトルを求めた後に、これらの４種類の偏心ベクトルを加算して「４」で除することにより偏心ベクトルを求めるようにした。しかし、この場合も、これに代えて、前述のように、スタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する４種類のカウント値（径方向ずれ量）を合成して、スタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する１種類のカウント値（径方向）を求めて偏心ベクトルを求めるようにしてもよい。ただし、この場合は、モータ回転の偏心ベクトルを求めるので、ホルダー１３に対してスタンパーＳＴを同一方向から押し当てたまま、スタンパーＳＴ及びホルダー１３を０度、９０度、１８０度及び２７０度の４方向に回転させてクランプ１２にそれぞれセットして、コントローラ１００に図２０の径方向ずれ量取得プログラムを実行させる。そして、回転角度に応じて変化する４種類のカウント値（径方向ずれ量）を取得後、前述した図２１の偏心量計算プログラムをコントローラ１００に実行させる。これにより、この場合には、モータ回転の偏心ベクトルが求められることになる。
（その他の変形例）
上記実施形態及び変形例では、スタンパーＳＴの偏心ベクトル、モータ回転の偏心ベクトル、及びスタンパーＳＴの偏心ベクトルにモータ回転の偏心ベクトルを加えた偏心ベクトルを求めるための、図８のスタンパー偏心ベクトル取得プログラム、図６の測定偏心ベクトル取得プログラム、及び図２０の径方向ずれ量取得プログラムにおいては、スタンパーＳＴを１回転だけさせて、スタンパーＳＴの１回転分のカウント値及び回転角度を取り込んで偏心ベクトルを計算するようにした。しかし、スタンパーＳＴの１回転は最低限の回転であり、前記に代えて、スタンパーＳＴを複数回回転させて、スタンパーＳＴの複数回転分のカウント値及び回転角度を取り込んで偏心ベクトルを計算するようにしてもよい。この場合、複数回転分のカウント値を回転角度ごとに平均すればよい。
上記実施形態及び変形例では、モータ回転偏心ベクトル、及びスタンパーＳＴの偏心ベクトルにモータ回転偏心ベクトルを加えた偏心ベクトルを求めるための、図６の測定偏心ベクトル取得プログラム、及び図２０の径方向ずれ量取得プログラムの実行時には、スタンパーＳＴをクランプ１２にセットする方向、及びスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向を互いに正反対の方向を含む４つの異なる方向とした。しかし、前記スタンパーＳＴをクランプ１２にセットする方向、及びスタンパーＳＴをホルダー１３に押し当てる方向は、それぞれの方向において正反対の方向が含まれていればよく、偶数である２・ｎ（ｎ＝１，２，３・・・）個の異なる方向であればよい。すなわち、１８０度方向の異なる２つの方向を最低限とし、１８０度方向の異なる１対の方向を含む偶数個の方向であれば、方向の数は任意である。この場合、方向の数が増加するに従って測定精度は向上する。
また、上記実施形態及び変形例においては、偏心によるレーザスポットに対するスタンパーＳＴの径方向移動を検出するために、ＤＰＤ法又はプッシュプル法によるトラッキングエラー信号を２値化してパルス信号を生成し、生成したパルス信号のパルス数をカウントすることにより、レーザスポットがピット列を横切る回数を検出するようにした。しかし、これに代えて、偏心によるレーザスポットに対するスタンパーＳＴの径方向移動を検出できれば、次のような方法も採用できる。すなわち、図１に破線で示すように、光ピックアップ装置２０の対物レンズ２５を径方向に駆動するトラッキングアクチュエータ６１を設けて、トラッキングサーボ制御回路６２を用いてトラッキングエラー信号に基いてトラッキングアクチュエータ６１を、光スポットがスタンパーＳＴのピット列又はランドやグルーブを追従するように制御する。そして、トラッキングアクチュエータ６１に併設した位置センサ６３により、対物レンズ２５の径方向への移動量を検出するようにしてもよい。また、この場合の対物レンズ２５を径方向へ駆動するトラッキングサーボ制御信号自体を、対物レンズ２５の径方向への移動量の検出に利用してもよい。
また、上記実施形態では、ＲＯＭ型の光ディスクを作製するためのスタンパーＳＴの場合には、ＤＰＤ法のトラッキングエラー信号を２値化してパルス信号を生成し、生成したパルス信号をカウントしてスタンパーＳＴの径方向への移動量を検出するようにした。しかし、これに代えて、プッシュプル法によるトラッキングエラー信号をローパスフィルタを介した後に２値化してパルス信号を生成し、生成したパルス信号をカウントしてスタンパーＳＴの径方向への移動量を検出するようにしてもよい。この場合、ＤＰＤ法のトラッキングエラー信号とは異なり、トラッキングエラー信号からレーザスポットがピット列を横切る方向が切り換わったことが検出できても、レーザスポットがピット列を横切る方向は検出できないので、何らかの方法でこの方向を検出する必要がある。例えば、前記スタンパーＳＴの径方向への移動量の検出後、スタンパーを再度回転させるとともに、トラッキングサーボ制御を行い、回転角度に対応させてトラッキングサーボ信号の瞬時値を検出して、これからレーザスポットがピット列を横切る方向を検出するようにしてもよい。これによれば、トラッキングサーボ制御を行わずに、プッシュプル法によるトラッキングエラー信号からスタンパーＳＴの径方向への移動量を検出する場合において、レーザスポットがピット列を横切る方向を検出できるようになる。
また、上記実施形態では、所定の回転角度を検出した後にスピンドルモータ１１の回転を停止させ、作業者が設定された方向にスタンパーＳＴを押すようにしたが、スピンドルモータ１１の停止を任意の回転角度とし、クランプ１２に回転角度を表示しておいて、作業者はこの表示を確認しながら設定された方向にスタンパーＳＴを押すようにしてもよい。
１０…回転駆動装置、１１…スピンドルモータ、１２…クランプ、１３…ホルダー、１５…押し当て具、２０…光ピックアップ装置、２１…レーザ光源、２５…対物レンズ、２７…シリンドリカルレンズ、２８…フォトディテクタ、３１…スピンドルモータ制御回路、３２…回転角度検出回路、３５…フォーカスエラー信号生成回路、３６…フォーカスサーボ制御回路、３７…トラッキングエラー信号生成回路、３８…微分回路、３９…進行方向変化検出回路、４１…２値化回路、４２…カウント回路、１００…コントローラ

Claims (10)

  1. スタンパーを回転させるためのモータと、
    スタンパーの中央の穴を、中央部に設けた円筒状凸部に嵌め込ませてスタンパーを保持するホルダーと、
    前記モータの回転軸に固定されて前記ホルダーをセットするクランプと、
    前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てるための押し当て具と、
    レーザ光源からのレーザ光を対物レンズで集光して、前記クランプにセットされた前記ホルダーに保持されているスタンパー上に光スポットを形成し、前記光スポットによるスタンパーからの反射光をフォトディテクタで受光して受光信号を出力する光ピックアップ装置と、
    前記モータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
    スタンパーの回転時における回転中心に対するスタンパーの中心の所定の径方向における径方向ずれ量を前記光ピックアップ装置との協働により検出するずれ量検出手段とを備えたスタンパー偏心量測定装置を用いて、スタンパーの偏心量を測定するスタンパー偏心量測定方法であって、
    スタンパーの穴の内周面を一方向から前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に押し当てた際の前記ホルダーの中心とスタンパーの中心とのずれ量を測定して押し当て偏心量として記憶しておく押し当て偏心量測定工程と、
    スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することによりスタンパーを少なくとも１回転させるスタンパー回転工程と、
    前記スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する径方向ずれ量取得工程と、
    前記径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの偏心量及び偏心方向を計算する測定偏心計算工程と、
    前記測定偏心計算工程で計算したスタンパーの偏心量及び偏心方向から定まる測定偏心ベクトルから、前記押し当て偏心量測定工程で記憶した押し当て偏心量及び前記スタンパー回転工程でスタンパーをホルダーに押し当てた方向から定まる押し当て偏心ベクトルを減算する減算処理の手法により、スタンパー自身の偏心量を計算するスタンパー偏心量計算工程と
    を含むようにしたことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  2. 請求項１に記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記押し当て偏心量測定工程は、
    スタンパーの穴の径を測定するとともに、前記ホルダーの円筒状凸部の外径を測定し、
    前記測定したスタンパーの穴の径から前記測定したホルダーの円筒状凸部の外径を減算して「２」で除することにより、スタンパーの穴の内周面を一方向から前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に押し当てた際の前記ホルダーの中心とスタンパーの中心とのずれ量を押し当て偏心量として計算するスタンパー偏心量測定方法。
  3. スタンパーを回転させるためのモータと、
    スタンパーの中央の穴を、中央部に設けた円筒状凸部に嵌め込ませてスタンパーを保持するホルダーと、
    前記モータの回転軸に固定されて前記ホルダーをセットするクランプと、
    前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てるための押し当て具と、
    レーザ光源からのレーザ光を対物レンズで集光して、前記クランプにセットされた前記ホルダーに保持されているスタンパー上に光スポットを形成し、前記光スポットによるスタンパーからの反射光をフォトディテクタで受光して受光信号を出力する光ピックアップ装置と、
    前記モータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
    スタンパーの回転時における回転中心に対するスタンパーの中心の所定の径方向における径方向ずれ量を前記光ピックアップ装置との協働により検出するずれ量検出手段とを備えたスタンパー偏心量測定装置を用いて、スタンパーの偏心量を測定するスタンパー偏心量測定方法であって、
    スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第１スタンパー回転工程と、
    前記第１スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第１径方向ずれ量取得工程と、
    前記スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に前記第１スタンパー回転工程とは反対方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプの前記第１スタンパー回転工程と同一回転位置にセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第２スタンパー回転工程と、
    前記第２スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第２径方向ずれ量取得工程と、
    前記第１径方向ずれ量取得工程で前記スタンパーの回転角度に対応させて記憶した前記スタンパーの径方向ずれ量と、前記第２径方向ずれ量取得工程で前記スタンパーの回転角度に対応させて記憶した前記スタンパーの径方向ずれ量とを用いて、前記スタンパーの穴の内周面の前記ホルダーの円筒状凸部への押し当てによる影響を除去することにより、スタンパー自身の偏心量を計算するスタンパー偏心量計算工程と
    を含むようにしたことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  4. 請求項３に記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記スタンパー偏心量計算工程を、
    前記第１径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第１偏心量及び第１偏心方向を計算する第１測定偏心計算工程と、
    前記第２径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第２偏心量及び第２偏心方向を計算する第２測定偏心計算工程と、
    前記第１測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第１偏心量及び第１偏心方向から定まる第１測定偏心ベクトルと、前記第２測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第２偏心量及び第２偏心方向から定まる第２測定偏心ベクトルとの加算処理の手法により、スタンパー自身の偏心量を計算する加算工程と
    で構成したことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  5. 請求項３に記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記スタンパー偏心量計算工程を、
    前記第１径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量と、前記第２径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量とをスタンパーの回転角度ごとに平均化することにより、スタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を計算する合成工程と、
    前記合成工程により合成されたスタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を用いてスタンパーの偏心量を計算する偏心量計算工程と
    で構成したことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  6. 請求項１乃至５のうちのいずれか一つに記載したスタンパー偏心量測定方法において、さらに、
    前記モータによる前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を取得するモータ回転偏心取得工程を含み、
    前記スタンパー偏心量計算工程は、さらに前記モータ回転偏心取得工程で取得した偏心量及び偏心方向から定まるモータ回転偏心ベクトルの減算処理の手法を加えたうえで、スタンパー自身の偏心量を計算することを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  7. 請求項６に記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記モータ回転偏心取得工程を、
    前記スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第３スタンパー回転工程と、
    前記第３スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第３径方向ずれ量取得工程と、
    前記第３径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第３偏心量及び第３偏心方向を計算する第３測定偏心計算工程と、
    前記スタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に前記第３スタンパー回転工程と同一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記第３スタンパー回転工程とは１８０度回転させて前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第４スタンパー回転工程と、
    前記第４スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第４径方向ずれ量取得工程と、
    前記第４径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を用いて、スタンパーの第４偏心量及び第４偏心方向を計算する第４測定偏心計算工程と、
    前記第３測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第３偏心量及び第３偏心方向から定まる第３測定偏心ベクトルと、前記第４測定偏心計算工程で計算したスタンパーの第４偏心量及び第４偏心方向から定まる第４測定偏心ベクトルとの加算処理の手法により、前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を計算する加算工程と
    で構成したことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  8. 請求項６に記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記モータ回転偏心取得工程を、
    前記スタンパーの穴を前記ホルダーの円筒状凸部に嵌め込ませるとともに、前記押し当て具を用いて、前記ホルダーに保持されたスタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第３スタンパー回転工程と、
    前記第３スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第３径方向ずれ量取得工程と、
    前記スタンパーの穴の内周面を前記ホルダーの円筒状凸部の外周面に前記第３スタンパー回転工程と同一方向から押し当てた状態で、前記ホルダーを前記第３スタンパー回転工程とは１８０度回転させて前記クランプにセットして、前記モータを駆動することにより前記スタンパーを少なくとも１回転させる第４スタンパー回転工程と、
    前記第４スタンパー回転工程時に、前記回転角度検出手段によって検出されたモータの回転角度を、前記ホルダーを前記クランプにセットした状態から変化するスタンパーの回転角度として取得するとともに、前記ずれ量検出手段によって検出されたスタンパーの径方向ずれ量を取得して、前記スタンパーの回転角度に対応させて前記スタンパーの径方向ずれ量を記憶する第４径方向ずれ量取得工程と、
    前記第３径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量と、前記第４径方向ずれ量取得工程で記憶したスタンパーの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量とをスタンパーの回転角度ごとに平均化することにより、スタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を計算する合成工程と、
    前記合成工程により合成されたスタンパーの回転角度に応じて変化する合成径方向ずれ量を用いて、前記ホルダーの回転時における回転中心に対する前記ホルダーの中心のずれである偏心量及び偏心方向を計算する偏心計算工程と
    で構成したことを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  9. 請求項１乃至８のうちのいずれか一つに記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記ずれ量検出手段は、トラッキングサーボ制御をかけない状態で、前記フォトディテクタによる受光信号を用いて前記光スポットに対する前記スタンパーの径方向移動量を測定することにより、前記スタンパーの径方向ずれ量を検出することを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
  10. 請求項１乃至８のうちのいずれか一つに記載したスタンパー偏心量測定方法において、
    前記ずれ量検出手段は、トラッキングサーボ制御をかけた状態で前記対物レンズの径方向移動量を測定することにより、前記スタンパーの径方向ずれ量を検出することを特徴とするスタンパー偏心量測定方法。
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