JP5167076B2 - 光半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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λ/n ≦ L ≦ 3.5μm
但し、λは発光波長、
nは(Al z Ga 1-z ) x In 1-x P半導体層の屈折率
で表されるものである。これにより、平坦部は減少して全反射成分を有効に臨界角内光に変換して抑制すると共に、屈折率差を解消してフレネル反射成分を十分に抑制する。
λ/n ≦ L ≦ 3.5μm
但し、λは真空中の発光波長、
nはn型AlGaInPクラッド層11’の屈折率(=3.3)
で表される。ここで、周期Lが光学波長λ/n以上でないと、幾何学的反射の効果がなくなり、全反射成分を有効に臨界角内光に変換できない。また、MOCVD法で成長できるn型AlGaInPクラッド層11’の最大厚さは3μm程度であるので、周期Lの最大厚さは3.5μm程度となる。好ましくは、上述の周期Lは、
λ/n ≦ L ≦ 1.2μm
で表される。
0.8λ/n ≦ H ≦ 3.0μm
好ましくは、
0.8λ/n ≦ H ≦ 1.0μm
で表される。
0 ≦ A ≦ L/2
で表され、底辺Bは、
0 ≦ B ≦ L
で表される。ここで、A=0の場合、台形断面形状は三角断面形状となる。また、上辺Aが小さい程、ライン状凸部111の平坦部が減少して全反射成分を抑制できる。しかし、上辺Aを小さくするために、ライン状凸部111の高さHを大きくする必要があるが、上述のごとく、ライン状凸部111の高さHは制限されている。他方、底辺Bを小さくすれば、ライン状凸部111の高さHを小さくして上辺Aを小さくできるが、この場合、より微細加工精度が必要である。このように、台形断面形状の上辺A及び底辺Bはn型AlGaInPクラッド層11’の厚さ及び微細加工精度によって上述のごとく制限される。
L/2 ≦ ρ ≦ 10L
で表される。
L = a
但し、aは凹部113の周期
としたが、図12の(B)に示すごとく、[110]方向に対して45°の正方格子状に配列し、
L = (1/√2)a
としてもよく、また、図12の(C)に示すごとく、三角格子状に配列し、
L = (√3/2)a
としてもよい。図12の(B)、(C)の場合、マスクの周期より小さな光取出し構造を高密度に製造できる点で有利である。
2:支持体
3:接合層
4:n側電極
11,11’:n型クラッド層
12:活性層
13:p型クラッド層
14:電流拡散層
15:SiO2層
16:反射電極層(p側電極)
21:導電性支持基板
22:中間電極層
23:裏面電極層
101:凸部
101a:平坦部
102:凹部
102a:平坦部
103:短形断面ライン状部
103a:平坦部
111:ライン状凸部
112:レジスト層
113:凹部
S:波状斜面2次元周期凸構造
Claims (9)
- (AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層(0≦z≦1、0≦x≦1)を具備する光半導体装置において、
該(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層の光取り出し面側を、断面形状が三角形を含む台形形状でありかつ側面が曲率を有する波状斜面であるライン状凸部よりなる波状斜面2次元周期凸構造とし、
前記ライン状凸部の周期Lが、
λ/n ≦ L ≦ 3.5μm
但し、λは発光波長、
nは前記(Al z Ga 1-z ) x In 1-x P半導体層の屈折率
で表されることを特徴とする光半導体装置。 - 前記ライン状凸部が前記(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層の[110]方向に沿っている請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記ライン状凸部の波状斜面が前記(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層の(111)A(III族)面である請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記ライン状凸部の高さHが、
0.8λ/n ≦ H ≦ 3.0μm
但し、λは発光波長、
nは前記(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層の屈折率
で表される請求項1に記載の光半導体装置。 - 前記台形形状の上辺の長さAが、
0 ≦ A ≦ L/2
で表され、
前記台形形状の底辺の長さBが、
L/2 ≦ B ≦ L
で表される請求項1に記載の光半導体装置。 - 前記ライン状凸部の波状斜面の前記曲率ρが、
L/2 ≦ ρ ≦ 10L
で表される請求項1に記載の光半導体装置。 - (AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層(0≦z≦1、0≦x≦1)の光取り出し面側に2次元周期の凹部を形成する段階と、
該凹部が形成された(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層を異方性ウェットエッチング法によりエッチングすることにより前記(AlzGa1-z)xIn1-xP半導体層の光取り出し面側を、側面が波状斜面であるライン状凸部よりなる波状斜面2次元周期凸構造とする段階と
を具備する光半導体装置の製造方法。 - 前記2次元周期の凹部は正方格子状に配列された請求項7に記載の光半導体装置の製造方法。
- 前記2次元周期の凹部は三角格子状に配列された請求項7に記載の光半導体装置の製造方法。
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