JP5164116B2 - ガス分析装置およびガス分析方法 - Google Patents
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Description
まず距離L伝搬後の弾性表面波(SAW)の振幅を、式(1)と表わす。
なお、式(14)式の右辺は、理想気体の状態方程式から導いたが、分子間引力のある分子にはファンデルワールスの状態方程式を用いることができる。また、式(14)の右辺第2項の係数には、理論式でなく、実験的に測定した漏洩減衰の校正曲線を用いても良い。
図1乃至図6は、本発明の実施の形態のガス分析装置およびガス分析方法を示している。
図1および図2に示すように、ガス分析装置10は、捕集器11と圧縮器12とキャリアガス供給部13とケーシング14と素子収納部15と分離カラム16と弾性表面波素子17と計測部18とコントローラ19とを有している。
まず、捕集器11で集められた試料ガスを圧縮器12の内部に蓄積する。キャリアガスを圧縮器12の内部に供給し、ヒータで圧縮器12の内部の試料ガスを急加熱して、試料ガスをキャリアガスとともに分離カラム16に導入し、分離カラム16の内部を通過させる。次に、弾性表面波発生手段22により、基材21の円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる。これにより、弾性表面波を無回折ビームとして基材21の円環状表面に沿って多重周回させることができる。
1:1で混合された水−エタノール混合ガスに対する遅延時間および振幅の応答を、図4に示す。図4(a)および(b)の上段に示すように、ガス分析装置10により、最初に水蒸気(Water)、2番目にエタノール蒸気(Ethanol)による応答が観測された。図4(a)および(b)の下段に示すように、TCD31においても、ガス分析装置10と同じ時刻に応答が観測された。なお、弾性表面波素子17からTCD31に流れる時間は1s以下であり、図4では、この時間は無視できる。
メタノール(Methanol)、エタノール(Ethanol)、1−プロパノール(i-Propaanol)、2−プロパノール(n-Propaanol)混合ガスに対する振幅応答を、図5に示す。これらの各ガスは等量で、わずかに水(Water)が混入している。図5に示すように、TCD31で測定されたそれぞれのガス成分のピークの大きさ、継続時間に対応するガス分析装置10の振幅応答が見られた。この結果、PdNi合金薄膜を有する弾性表面波素子17を、多種類のアルコールガスに対する検出器として使用できることが示された。
3%水素−窒素混合ガスに対する応答を、図6に示す。図6(a)に示すキャリアガスがアルゴンの場合でも、図6(b)に示すキャリアガスがヘリウムの場合でも、水素(H2)による振幅応答が見られた。これは、PdNi合金薄膜に水素分子が吸蔵されることによる応答である。また、弾性表面波は気体雰囲気に漏洩しており、気体の分子量によってその度合いが規定されるため、図6(a)および(b)の上段に示すように、キャリアガスと分子量の異なる窒素(N2)も検出されている。また、図6(b)に示すように、キャリアガスがヘリウムの場合、水素の熱伝導率とヘリウムの熱伝導率とが近いため、TCD31では水素への応答が検知されなかったが、ガス分析装置10では検知することができた。これは、水素に敏感な感応膜を、弾性表面波素子17の周回路に製膜したことによる利点である。
窒素ガスがガス分析装置10に到達した場合の漏洩減衰を、窒素とキャリアガスとによる漏洩減衰の和と仮定すると、式(22)から、キャリアガスのみの場合より窒素ガス到達時の減衰ΔαN2は、式(25)だけ大きくなる。なお、補正係数はrc=1とおいた。また、窒素検出時のn周目における振幅の時間変化は、式(26)となる。
11 捕集器
12 圧縮器
13 キャリアガス供給部
14 ケーシング
15 素子収納部
16 分離カラム
17 弾性表面波素子
18 計測部
19 コントローラ
21 基材
22 弾性表面波発生手段
23 反応部
24 すだれ状電極
Claims (9)
- 分離カラムと弾性表面波素子と弾性表面波測定手段と分析手段とを有し、
前記分離カラムは、複数種類の成分を含む試料ガスをキャリアガスとともに内部を通過させるよう構成され、前記試料ガスの成分の種類に応じて異なる通過時間を有し、
前記弾性表面波素子は、少なくとも球面の一部から形成されて円環状に連続した円環状表面を有する基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能な弾性表面波発生手段と、前記試料ガスの1または複数種類の成分に反応して、前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の減衰と速度とを変化させるよう、前記円環状表面に沿って設けられた1または複数の反応部とを有し、前記分離カラムを通過した前記試料ガスが前記反応部と反応するよう配置され、
前記弾性表面波測定手段は前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅と、前記速度により決まる遅延時間とを測定し、
前記分析手段は前記弾性表面波測定手段により測定された前記遅延時間から前記弾性表面波の速度を求め、前記弾性表面波測定手段により測定された前記振幅から、前記弾性表面波の互いに異なる複数の周波数での減衰を求め、前記速度と各周波数での減衰とに基づいて前記試料ガスの各成分の分圧を計算する、
ことを特徴とするガス分析装置。 - 前記反応部は前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の減衰を変化させるよう設けられ、
前記弾性表面波測定手段は前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅を測定し、
前記分析手段は、前記弾性表面波測定手段により測定された前記振幅の時間変化から前記弾性表面波の漏洩減衰を求め、前記漏洩減衰に基づいて前記試料ガスの成分の分圧を計算する、
ことを特徴とする請求項1記載のガス分析装置。 - 前記基材は異方性を有する結晶から成り、
前記反応部は、前記基材の前記円環状表面のうち面内変位が大きい部分に、前記試料ガスと反応してせん断弾性率を大きく変化させる感応膜を有し、前記基材の前記円環状表面のうち面外変位が支配的な部分に、前記試料ガスと反応して縦弾性率を大きく変化させる感応膜を有する、
ことを特徴とする請求項1または2記載のガス分析装置。 - 前記キャリアガスはヘリウムから成り、
前記反応部は水素ガスに反応して前記弾性表面波の前記減衰と前記速度とを変化させるよう設けられている、
ことを特徴とする請求項1、2または3記載のガス分析装置。 - 分離カラムと弾性表面波素子と弾性表面波測定手段と分析手段とを有し、
前記分離カラムは試料ガスをキャリアガスとともに内部を通過させるよう構成され、前記試料ガスの成分の種類に応じて異なる通過時間を有し、
前記弾性表面波素子は、少なくとも球面の一部から形成されて円環状に連続した円環状表面を有する基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能な弾性表面波発生手段と、前記試料ガスの1または複数種類の成分に反応して、前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の減衰を変化させるよう、前記円環状表面に沿って設けられた1または複数の反応部とを有し、前記分離カラムを通過した前記試料ガスが前記反応部と反応するよう配置され、
前記弾性表面波測定手段は前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅を測定し、
前記分析手段は前記弾性表面波測定手段により測定された前記振幅の時間変化から前記弾性表面波の漏洩減衰を求め、前記漏洩減衰に基づいて前記試料ガスの成分の分圧を計算する、
ことを特徴とするガス分析装置。 - 分離カラムと弾性表面波素子と弾性表面波測定手段と分析手段とを有し、
前記分離カラムは試料ガスをキャリアガスとともに内部を通過させるよう構成され、前記試料ガスの成分の種類に応じて異なる通過時間を有し、
前記弾性表面波素子は、異方性を有する結晶から成り、少なくとも球面の一部から形成されて円環状に連続した円環状表面を有する基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能な弾性表面波発生手段と、前記試料ガスの1または複数種類の成分に反応して、前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の所定の物理量を変化させるよう、前記円環状表面に沿って設けられた反応部とを有し、前記分離カラムを通過した前記試料ガスが前記反応部と反応するよう配置され、前記反応部は、前記基材の前記円環状表面のうち面内変位が大きい部分に、前記試料ガスと反応してせん断弾性率を大きく変化させる感応膜を有し、前記基材の前記円環状表面のうち面外変位が支配的な部分に、前記試料ガスと反応して縦弾性率を大きく変化させる感応膜を有し、
前記弾性表面波測定手段は前記弾性表面波発生手段により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の前記物理量を測定し、
前記分析手段は前記弾性表面波測定手段により測定された前記物理量に基づいて、前記試料ガスの成分を分析する、
ことを特徴とするガス分析装置。 - 複数種類の成分を含む試料ガスの成分の種類に応じて異なる通過時間を有する分離カラムの内部に、キャリアガスとともに前記試料ガスを通過させるカラム通過工程と、
少なくとも球面の一部から形成されて円環状に連続した円環状表面を有する基材に、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波発生工程と、
前記カラム通過工程により前記分離カラムを通過した前記試料ガスを、前記基材の前記円環状表面に沿って設けられ、前記試料ガスの1または複数種類の成分に反応する1または複数の反応部と反応させて、前記弾性表面波発生工程により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の減衰と速度とを変化させる反応工程と、
前記反応工程により変化した前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅と、前記速度により決まる遅延時間とを測定する測定工程と、
前記測定工程により測定された前記遅延時間から前記弾性表面波の速度を求め、前記測定工程により測定された前記振幅から、前記弾性表面波の互いに異なる複数の周波数での減衰を求め、前記速度と各周波数での減衰とに基づいて前記試料ガスの各成分の分圧を計算する分析工程とを、
有することを特徴とするガス分析方法。 - 前記カラム通過工程は互いに異なるキャリアガスを使用して前記試料ガスを通過させ、
前記反応工程は各キャリアガスごとに前記試料ガスを前記反応部と反応させて、前記弾性表面波の減衰を変化させ、
前記測定工程は前記反応工程により変化した前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅を、各キャリアガスごとに測定し、
前記分析工程は、前記測定工程により測定された各キャリアガスごとの前記振幅の時間変化から前記試料ガスによる漏洩減衰を求め、前記漏洩減衰に基づいて前記試料ガスの成分の分圧を計算する、
ことを特徴とする請求項7記載のガス分析方法。 - 試料ガスの成分の種類に応じて異なる通過時間を有する分離カラムの内部に、互いに異なるキャリアガスを使用してキャリアガスとともに前記試料ガスを通過させるカラム通過工程と、
少なくとも球面の一部から形成されて円環状に連続した円環状表面を有する基材に、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波発生工程と、
各キャリアガスごとに前記カラム通過工程により前記分離カラムを通過した前記試料ガスを、前記基材の前記円環状表面に沿って設けられ、前記試料ガスの1または複数種類の成分に反応する1または複数の反応部と反応させて、前記弾性表面波発生工程により発生した前記円環状表面に沿って伝搬する前記弾性表面波の減衰を変化させる反応工程と、
前記反応工程により変化した前記弾性表面波の前記減衰により決まる振幅を、各キャリアガスごとに測定する測定工程と、
前記測定工程により測定された各キャリアガスごとの前記振幅の時間変化から前記試料ガスによる漏洩減衰を求め、前記漏洩減衰に基づいて前記試料ガスの成分の分圧を計算する分析工程とを、
有することを特徴とするガス分析方法。
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