JP5162832B2 - 変位検出装置 - Google Patents
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- 発振開始電流以下で駆動された半導体レーザから導入された検出用の光を第1の端面から射出する光ファイバと、
前記第1端面から射出された光を対象面に照射するとともに、その反射光を前記第1端面に照射する第1の集光素子と、
前記第1端面から前記光ファイバに入射した前記反射光に基づき、前記対象面の変位を示す信号を出力する検出信号出力手段とを具備することを特徴とする変位検出装置。 - 前記対象面は、音圧に応じて変位する振動板の面であることを特徴とする請求項1項に記載の変位検出装置。
- 前記光ファイバはシングルモードファイバ又はグレーデッドインデックスファイバであることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 前記検出用の光を発する前記半導体レーザと、
前記半導体レーザからの光を前記光ファイバの第2の端面に照射して前記検出用光の導入を行う第2の集光素子とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記第2集光素子は、前記発光部側のNAが前記発光部の放射角以上で、前記光ファイバ側のNAが、前記光ファイバにおける前記第2端面のNA以下であることを特徴とする請求項4に記載の変位検出装置。
- 前記検出信号出力手段は、
前記第2端面及び第2集光素子間に設けられ、前記第2端面から射出される前記反射光を分岐させる分岐素子と、
分岐された反射光を集光させる第3の集光素子と、
集光された反射光を電気信号に変換する光電変換手段とを有することを特徴とする請求項4又は5に記載の変位検出装置。 - 前記光ファイバは分岐されており、これにより前記第1端面から入射する反射光の一部は分岐された光ファイバ部分の第3の端面から射出されるようになっており、
前記検出信号出力手段は、
前記第3端面から射出される光を集光させる第4の集光素子と、
前記第4集光素子により集光された光を電気信号に変換する光電変換手段とを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記第1集光素子における前記光ファイバ側のNAをk、前記対象面側のNAをmとすれば、m≧kであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の変位検出装置。
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