JP4278032B2 - 光電式変位検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は空気中を伝わる音の音圧を観測する光電式変位検出装置に係わり、特に光学的検出部において観測対象と媒質と触れ合う変位部の反射面、および光源および受光素子への伝送を行う棒状光導路の支持並びに筐体の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の実用化された光電式変位検出装置の例として特開2000−88520に開示された光学式音響電気信号変換装置の構成を図16に示す。図16に示すごとく平面状の測定媒体面100を用いており、該平面状の測定媒体面100の受音側と反対側の面を光反射面として用い、図16に示すごとく光源、例えば、発光ダイオード等発光素子から放射された光は、投光側の光ファイバ101の一方の端面から入光し、更に、光ファイバ101内を通過し、他方の端面101aより放射され、測定媒体面100の反射面の所定箇所、すなわち、略中央部に投光される。
【0003】
投光された光は、前記測定媒体面100の反射面により反射され、受光側の光ファイバ102の端面102aに到り、該端面102aより入光しさらに光ファイバ102内を通過し、他方の端面より放射され、受光素子の所定面に投光される。尚、測定媒体面100の反射面側に設置される前記投光側の光ファイバ101の端面101aおよび受光側の光ファイバ102の端面102aは光ファイバ光軸に対して所定の角度θに設定し、尚且つ光ファイバ101および光ファイバ102の夫々の光軸が所定の角度αをなすように光ファイバ101および光ファイバ102は保持具103の夫々の貫通103aおよび103bに挿通されて接合面104で接合されるように保持されている。また、光ファイバ101および102の端面と測定媒体面100とのクリアランスが所定の寸法に設定装着されている。
【0004】
また、特開2002−186099に開示された光学式音響電気信号変換装置の構成を図17に示す。この光学式音響電気信号変換装置は、図17に示すごとく、投光側の光ガイド111と受光側の光ガイド112各々を不透明部113を介して平行に隣接させ、夫々の光ファイバの光軸と垂直の最上面111aおよび112aを平面状の膜110の反射面に対して所望のクラクリアランスを保ち、尚且つ、前記光ファイバを垂直に配置せしめ、該光ファイバ111、112の先端部(最上面111aおよび112a)のみならず、側面(上側面111b、112bをも光軸に対して15°の角度をなすように研磨し、膜110の変位を検出する構成となっている。これらの従来例においては、次のような重大な欠点が存在する。
【0005】
以下、従来例の欠点を説明するが、従来例では2本の光ファイバを所定の角度で配置し、更に該光ファイバの先端部を隣接せしめ、しかも端部の投光面と受光面を反射面に対し所定の角度および平坦度を有した状態に加工せねばならず、工数が極めて多くなると共に、加工精度のバラツキが多いことは周知のところである。
【0006】
しかも、前もってファイバ先端部を加工する場合はさらに加工工数が多くなり、加工精度がが得にくいことは勿論のところで、加工精度が得られたとしても左右対称に装着するにおいてもバラツキが発生することは当然のことである。
【0007】
以上のことから、上記従来例は、量産には不向きな構造であるし、量産に対応するためには専用の工作設備等の導入が必要で、更には、前記精度を維持するために、組立て作業の練度向上が必須条件となる。従って、作業者の教育、および訓練等を計らねば、定められた品質の維持を保つことは困難である。すなわち、熟練作業者が常に必要であり、量産を前提とした工業生産を行う場合、大きな障害となることは明白である。
【0008】
また、従来例は、一定の精度を得た光ファイバ先端部が振動板反射面に対向して設置され、尚且つ平面状の振動板を有する構造であるため、反射面は必然的に平面であり、該平面反射面に投光および受光し、その振動板の変異を検知する構造である。従って、実用的な感度を得るために光学構造上反射面および前記ファイバ先端部とのクリアランスは可能な限り狭い状態であることが好ましく、該構造上の特徴から、約10μという極めて狭いクリアランスにて設置せざるを得ないことは周知のところである。
【0009】
従って、従来例に於ける、現状のクリアランスでは、環境変化の大きい状況下において、例えば、湿度が多く、尚且つ温度変化が大きい環境下等では、結露等の現象が頻繁に起きる。このような場合、前記、振動板と光ファイバの間隙に水分が塊として入り込み、振動板の振幅に支障を来たすという検出装置の機能として致命的な事態を発生する等の極めて重大な欠点を有している。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−88520号公報(第2、3頁、図2)
【0011】
【特許文献2】
特開2002−186099号公報(第3頁、図2)
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例のような光学式音響電気信号変換装置を製作する場合、投光用光ファイバおよび、受光用の光ファイバを一定角度を持たせ尚且つ各々の光ファイバの先端部を一定角度に保ちつつ端面研磨が必要であるし、更には一対の光ファイバの取付中心線に直角になるように、夫々光ファイバ中心線の延長線上の交点に振動板が位置するように振動板を固定する必要がある。これらの手法は研磨加工のみならず組立て工程なおいても、所定の精度を要求されるために専用の調整装置および、熟練した作業が必要で調整工程に於ける工数が増加し、生産時に於ける大きなコストアップの要因となっていた。また、更に従来例に於ける、振動板と一対の光ファイバの先端部とのクリアランスでは、環境変化の大きい状況下において、光学式音響電気信号変換装置の機能として致命的な事態を発生させる等の極めて重大な欠点を有している。
【0013】
更に従来例の平面状の反射面を有した光学式音響電気信号変換装置の場合、投光ファイバから出射された光が反射面に反射し、受光ファイバに受光されるまでの間、当然のことながら集光効果は得られない。従って、光学的効率に限度がある点は否めない構造であることは、明らかである。
【0014】
本発明はかかる上記従来例の欠点に鑑みてなされたものであって、その目的とするとするところは、調整機構が簡単であり、調整の工程を減少せしめ、量産性に的し、尚且つ基本的に変位する反射面と対向する導光路の先端部とのクリアランスを広げても差し支えない構造を有し、また、更に光学的効率を向上せしめ、結果的に信頼性に富み且つ品質の安定した音圧の変化検出を目的とした光電式変位検出装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の光電式変位検出装置は、変位部の一部をドーム形状に成型し、該ドーム内面を反射面として用いることにより集光効果をもたせ、一対の投光用および受光用棒状導光路の固定角度を平行に配置しても基本的に支障のない構造とし、更に、前記棒状導光路対の先端部と変位部反射面とのクリアランスを大幅に広げても差し支えない構造とし、かつ前記クリアランスを容易に調整できる構造とした。
【0016】
また、棒状導光路を固定するフォルダを設け、該フォルダに棒状導光路が平行に配置できる所定間隔の孔、若しくは棒状導光を2本まとめて平行に入る孔を設け、該フォルダに前記光ファイバを接着固定した後、フォルダごと投光および受光先端部を研磨する構造、並びに製造方法を採用し、更には、設計目的に応じて該フォルダとしてフェルールを用いることとた。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施例としてを棒状導光路として光ファイバを用い、音圧検出する例を以下図面によって説明する。図1の断面図に示すごとく、フォルダ3および、フォルダケース4および変位体を用いた本実施例の場合、音圧検出を事例とするため、以下変位体を振動板1と記す。該振動板1、および振動板ケース2、および光ファイバ5、6から構成されている。尚、前記フォルダ3に装着した光ファイバ5、6の他方の端部に装着する発光素子、および受光素子、並びに該素子の配置構造および該素子を駆動するための電気回路等は省略してある。
【0018】
この実施例の場合、フォルダ3およびフォルダケース4はアルミニューム製であるが、フォルダ3にセラミックまたはプラスチックを用いることもできる。振動板1は、耐熱フィルムを熱圧成型し、形成されたドーム内面に金属蒸着および表面処理等を施し、所定の反射率および、所望の表面粗度を得ている。以下フォルダ3の詳細を説明する。フォルダ3は概ね棒状で、図4の断面図に示すような形状をしており、長さは18mm、最大太さは図で示すところの底部3gは直径6.6mm部分の長さは5.1mmである。
【0019】
更に、該底部3gより左方にねじ部3a(M5細目)を設けてあり、該ねじ部3aの長さは約6mmである。ねじ部3aの左部側には直径4mm、長さ3.8mmのケースガイド部3eが設けられており、更にその上部に直径1.55mm、長さ2.4mmからなるファイバフォルダ部3fが設けられている。該ファイバフォルダ部3fにセンター振り分け0.35mmの位置で、左方に向かって垂直に直径0.26mmの孔(以下、ファイバ先端部保持孔3cと記す)を2箇所設けた。また、該フォルダ右端部より左端部に向けて、直径6.6mm垂直に深さ14.9mmの孔(以下、ファイバ通し孔3bと記す)を併せて設けた。
【0020】
従って、2箇所のファイバ先端部保持孔3cは図のごとく、ファイバ通し孔3bと繋がつており、このファイバ先端部保持孔3cの長さは約2.8mmである。更に、図4(a)の平面図、図4(b)の正面図で示すごとく、ファイバフォルダ部3fおよび前記ケースガイド部3eを幅1.2mm残して、ファイバフォルダ部3fの先端部から左方に向って長さ5.9mmにて切削加工を施している。従って、図4(c)の断面図に示す如ぐ、前記ファイバ前記通し孔3bが露出し、ファイバホルダ3fの右側にはケースガイド部3eを貫通した窓部3dが設けられる構造となる。
【0021】
以下、フォルダケース4の詳細を説明する。概ね筒状で、図2の断面図に示すような形状をしており、長さは14mm、最大太さは図で示す略全域にて直径6.6mmで、左方の振動板押え部4aが振動板ケース2に装着する寸法となっており、直径6mmで、長さが2.2mmとなっている。また、下端部より上方に向かい、ねじ部4b(M5細目)を設けてあり、該ねじ部4bの長さは約6.2mmで、前記フォルダ3に対応したもので更に該ねじ部4bの左方は直径4mmのフォルダケース内面となっており、この部分に前記フォルダのケースガイド部3eが嵌合挿入されるため、この部分の寸法は嵌め合い寸法となっている。
【0022】
以下、振動板ケース2の詳細を説明する。概ねキャップ筒状で図2の断面図に示すような形状をしており、長さは6.2mm、最大太さは図で示すところの全域において直径6.6mmで、右側が振動板1の装着に対応した寸法となっており、直径6mmで該部分(以下、ケース挿入部2cと記す)の長さが2mmとなっている。該ケース挿入部2cに前記フォルダケース4の振動板押え部4aが挿入されるので、該部分の寸法は嵌め合い寸法となっている。更にケース挿入部2cの図面左端部に振動板1が装着される。従って、該ケース挿入部2cの端部は振動板の外径に対応したガイド部を兼ねた構造となっており、ケース挿入部2cの端部は所定寸法の段部および、直径2.4mmの口径を設け、更に該口径の一方は円錐面に拡げられ、最終的に直径5.4mmの口径となり設け、図のようにホーン構造をした音道を設けてある。
【0023】
以下、各部材の組み立て方法を説明する。振動板1を図7のごとく振動板ケース2に設置し、さらに、ケース挿入部2cにフォルダケース4の振動板押え部4aを挿入し、所定の圧力で圧定し、図8のごとく相互の繋ぎ部に接着剤11を塗布し、そのままの状態を保持し、振動板1装着済みの振動板ケース2をフォルダケース4に接着した。
【0024】
また、フォルダ3には図3のように窓部3dよりファイバ先端保持孔3c、3c先端部近傍にファイバ固定用接着剤9(図5に示す)を塗布した後、ファイバ通し孔3bより2本の光ファイバ5、6を入れ、更に光ファイバ5、6夫々の先端部を各々のファイバ先端部保持孔3c、3cに挿入し、更に押し込むと、光ファイバ先端部5a、6aは、図5(b)に示すようにファイバ先端部保持孔3c、3c頂部より出るが、この時点で、光ファイバ5、6頂部にも接着剤9を塗布し、光ファイバ5、6を前後に若干移動させると、光ファイバ5、6の周囲に付着した接着剤9がファイバ先端部保持孔3c、3cに引き込まれ、該ファイバ先端部保持孔3c、3cに存在する光ファイバ5、6の外周部および該ファイバ先端部保持孔3c、3c内の壁部を充満する。この充填状態で尚且つ図5(b)に示すように2本の光ファイバ5、6の先端部5a、6aが、ファイバ先端部保持孔3c、3cより出た状態で、光ファイバ5、6先端部近傍、および窓部3dのファイバ先端保持孔下端部近傍に塗布されたファイバ固定用接着剤9を熱処理、或いはUV光照射等にて硬化せしめた。
【0025】
接着剤9硬化後のフォルダ3、すなわち光ファイバ5、6装着済みフォルダ3の先端部をフェルール先端研磨機に装着し、図5(c)に示すようにフォルダ先端部を研磨したところ良好なファイバ先端部の研磨面3hを得た。そして、精度よく所定間隔に光ファイバ5、6をフォルダ3に極めて強固に装着した状態を得ることができた。図6(a)に示す研磨後のフォルダ3における2本の光ファイバ5、6を図6(b)に示すように一本のチューブ7に納め、更に図6(c)に示すようにファイバ通し孔3bに接着剤10を充填し、フォルダ3右端部にファイバ曲がり防止用のゴム製のスリーブ8を装着した。
【0026】
上記ファイバ装着済みフォルダ3の図6で示す底部3gを冶具に固定し、更に、図8に示すように前記振動板1装着済みフォルダケース4の右方からフォルダ3のファイバフォルダ部3fを挿入すると、フォルダケース4のねじ部4bの右端部およびフォルダ3のねじ部3aの先端部が接触するので、図9に示すように振動板ケース2を軸中心回り回転させねじ込む。所定量ねじ込むと、ケースガイド部3eがフォルダケース4内面に接触し、更にねじ込んで行くと、相互の面がガイドされ、嵌め合い寸法範囲内で光ファイバ5、6先端部は振動板1の反射面に対して位置決めされる。
【0027】
更に、所定の寸法量をねじ込んだ後、フォルダ3の端部より外側に延びた光ファイバ5、6の端部を夫々発光素子、および受光素子のコネクタに接続し、発光および受光をさせると共に、受光素子からの信号を受信可能にし、この信号の出力を計測可能な状態を得た後、振動板に所定の音圧を加え、この音圧により振動板が振動し、振動板反射面からの光が受光素子に投入された信号波形を確認しながら更に振動板ケース2を前記同様に回転させ、最も振動波形が大きい箇所にてねじ込みを止め、フォルダケースのねじ部4bの端部およびフォルダ3のねじ部3aの一部に接着剤11(図1に図示)を塗布てし、硬化せしめ、ねじロックをし、相互を装着せしめ完成となる。本実施例の場合、前記のごとく、ねじ込みにて位置決めを行った。
【0028】
図10に本発明の第2の実施例を示す。この例では光ファイバ5、6を固定するフォルダとしてフェルール12が用いられ、振動板1は振動板ケース2と振動板固定具13の夫々のねじ部2a、13aにより締着されている。フェルール12はフェルールホルダ14に固定され、また、振動板固定具13にガイドされて直進スライド可能となっている。
【0029】
フェルールホルダ14を介してフェルール12を保持するフェルールホルダ固定具15のねじ部15aは振動板固定具13のねじ部13bと螺合し、フェルールホルダ14は光ファイバ5、6の固定されたフェルール12を振動板1に対して直進スライドさせる。このようにフェルール12と振動板1に適度なクリアランスを設けてへリコイド機構などで直進スライドさせ、振動波形が大きい箇所にて接着剤等で固定し、フェルールホルダ14の端部をカバー16で覆う。
【0030】
上記実施例の完成品の場合、実用上差支えない信号レベルを得ることができた。また、ファイバ先端部および振動板との距離も、約1.5mm〜2mmと従来例より150倍〜200倍の距離をとることができたし、更にまた、前記実施例以外にフォルダに光通信用フェルールを用いて次のような実施例の変形例のようなファイバ固定方法、およびファイバ間隔位置、および先端研磨を行ったが、前記と同様、実用上差支えない信号レベルを得ることができ、ファイバ先端部および振動板との距離も、上記同様に約1.5mm〜2mmの距離をとることが可能であった。
【0031】
以下、実施例の変形例におけるフェルール装着の状態を説明する。基本的は前記フォルダの装着と同様でフェルールに設けてあるファイバ用孔に光ファイバを通し、更にファイバ挿入後の該孔に接着剤を充填し、接着剤を硬化し、ファイバをフェルールに固着せしめた後、フェルール先端部を研磨し、光ファイバ先端部が完成される。設計目的、或いは用途によって光ファイバの配置、および研磨形状等を自由に選ぶことが可能である。図11(a)〜(h)は光ファイバの配置を示す各種先端部の正面図である。
【0032】
図11(a)〜(d)に示すものはフェルール12が角状であり、図11(e)〜(h)に示すものはフェルール12が円筒形状である。また、図11(a)(b)(e)および(f)に示すものは光ファイバ5と6の径が異なり、図11(c)(d)(g)および(h)に示すものは光ファイバ5と6の径が同じである。
【0033】
さらに、図11(a)(c)(e)および(g)に示すものは光ファイバ5と6がフェルール12の別々の孔に封入され、図11(b)(d)(f)および(h)に示すものは光ファイバ5と6がフェルール12の同一の孔に封入されている。
【0034】
また、フェルール先端の研磨状態を図12に示すように平面研磨とする以外にも光学的性能を考慮して、図13〜15のような各種の研磨面を選ぶことが可能である。図13はフェルール12先端を球面に研磨した状態を示し、図14はフェルール12先端を円錐面に研磨した状態を示し、図15はフェルール12の投光側の面を斜めとして、受光側の面を平面とした例を示しているが、目的に応じ反対にしても一向に構わない。また、先端形状を示す図12〜15は図11(g)のフェルールに於けるファイバ配置の一例により示しているが、各種先端面形状において前記ファイバ配置の全てを組み合わせることが可能であることは勿論のところである。
【0035】
本実施例の場合、前記のごとく耐熱フィルムを熱圧成型したが、受圧面と反射面を有する変位体が変位部の厚さが50ミクロン以下の薄膜であれば、材質は目的に応じて選べばよいことは勿論である。また、反射面側も反射面でない側も共に一体表裏の受圧面であることで、種々の特徴ある機能、例えば、双指向性等の機能を有することが可能である。
【0036】
本発明における棒状導光路は単に光ファイバと記したが、この光ファイバとは世間一般に多用されているガラス、または光透過性樹脂等からなる光ファイバである。また、棒状導光路として半径方向に連続的に屈折率分布をもつことでレンズ作用を有するガラス細棒を受発光端として使うことによりさらに検出効率を高めることも可能であることは勿論である。
【0037】
本発明の場合、変位体に設けられたドーム状反射面の光学有効面が球面であったが、使用目的に応じて、該ドーム形状を変えてよいことは勿論のことで、例えば、蒲鉾形状を用いても構わないし、更に、ドーム状反射面の光学有効面が非球面の2次曲面あっても、−向に構わないものである。
【0038】
本変位検出装置は、気体、液体または固体を伝わる振動を伝えられた変位部にドーム形状反射面を設けたことで、その集光効果により、製造が容易な光拡散の中心軸が平行な導光路の光でも効率よく利用することが可能となり、簡易な装置構造で、従来の平面状の振動板を用いた検出装置よりも、更に高感度の検出装置を実現することが可能となった。
【0039】
【発明の効果】
この発明の光電式変位検出装置によれば、変位体と光ファイバ先端部とのクリアランスを従来例のものより大幅に広げて設計しても、性能劣化が無い利点を有する。従って、環境変化の大きい状況下において、例えば、湿度が多く、尚且つ温度変化が大きい環境下等に於ける結露等の現象に対しても、露結水分が導光路端と反射面とにブリッジして自由な変位が妨げられることがなく、正常な変位の振幅を得ることが可能となり、検出装置の機能を維持発揮できるという効果を奏する。
【0040】
また、本発明の変位検出装置は、既に世間一般に多用されて、広く頒布している光学用フェルールを流用できることで、安価な装置で生産実現が可能であるともに、用途に応じた脱着式の構造も、極めて容易に提供可能となる利点を有する。発光部および、受光部に於ける導光路先端径のバリエーションの効果は発光および受光端と反射ドームの反射面との間の距離と、導光路と反射ドームの光学的光軸とがなす正弦値の大きさを適宜選ぶことにより収束光の太さを調節できて、適切な変位検出の感度を設定できるものである。
【0041】
フェルール先端の研磨状態を平面研磨、球面研磨以外、光ファイバなど導光路端部の断面が2次曲線となる非球面研磨等を選択することが可能で、これにより変位体に設けられた反射面の形状の選択と相俟って、検出対象の変位量の検出範囲と目的に合わせて、最適な信号変換を可能ならしめることにより、より一層高性能な検出感度を有した検出装置ができる利点を有する。
【0042】
また、反射面については非球面を採用することで受光部に集光する光束の収差を押さえ込み、収束光を細くして変位検出の感度を高めることに寄与するものであり、検出すべき範囲により適切な反射面が選ばれる利点を有する。従って、これらの発明の各部の構成を目的に応じて組み合わせることにより、生産性、および保守性に優れ、しかも従来例より優れた性能の光電式変位検出装置を提供可能な利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は本発明の第1の実施例である光電式変位検出装置を示す断面図、図1(b)は同光電式変位検出装置を示す正面図である。
【図2】同光電式変位検出装置の組立て状態を説明するための断面図である。
【図3】同光電式変位検出装置の組立て状態を説明するための断面図である。
【図4】図4(a)は同光電式変位検出装置の部材を示す平面図、図4(b)は同部材を示す正面図、図4(c)は図4(b)におけるA−A断面図である。
【図5】図5(a)は同光電式変位検出装置の一部組立て状態を示す断面図、図5(b)および図5(c)は同部分の加工状態を示す拡大断面図である。
【図6】同光電式変位検出装置の一部組立て状態を示す断面図である。
【図7】同光電式変位検出装置の組立て状態を説明するための断面図である。
【図8】同光電式変位検出装置の組立て状態を説明するための断面図である。
【図9】同光電式変位検出装置の組立て状態を説明するための断面図である。
【図10】本発明の第2の実施例である光電式変位検出装置を示す断面図である。
【図11】各実施例の変形例における光ファイバ端面を示す正面図である。
【図12】図12(a)は各実施例の変形例における光ファイバ端面部を示す正面図、図12(b)は同光ファイバ端面部を示す側面図、図12(c)は同光ファイバ端面部を示す斜視図である。
【図13】図13(a)は各実施例の他の変形例における光ファイバ端面部を示す正面図、図13(b)は同光ファイバ端面部を示す側面図、図13(c)は同光ファイバ端面部を示す斜視図である。
【図14】図14(a)は各実施例のさらに他の変形例における光ファイバ端面部を示す正面図、図14(b)は同光ファイバ端面部を示す側面図、図14(c)は同光ファイバ端面部を示す斜視図である。
【図15】図15(a)は各実施例のさらに他の変形例における光ファイバ端面部を示す正面図、図15(b)は同光ファイバ端面部を示す側面図、図15(c)は同光ファイバ端面部を示す斜視図である。
【図16】従来の例を示す断面図である。
【図17】従来の他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 振動板
2 振動板ケース、2a ねじ部、2c ケース挿入部
3 フォルダ、3a ねじ部、3b ファイバ通し穴、3c ファイバ先端部
保持孔、3d 窓部、3e ケースガイド部、3f アァイバフォルダ部
3g 底部、3h 研磨面
4 フォルダケース、4a 振動板押え部、4b ねじ部
5 光ファイバ、5a 先端部
6 光ファイバ、6a 先端部
7 チューブ
8 スリーブ
9、10、11 接着剤
12 フェルール
13 振動板固定具、13a、13b ねじ部
14 フェルールフォルダ
15 フェルールフォルダ固定具、15a ねじ部
16 カバー
100 測定媒体面
101、102 光ファイバ、101a、102a 端面
103、保持部、103a、103b 貫通穴
104 接合面
110 膜
111光ガイド、111a 最上面、111b 上側面
112光ガイド、112a 最上面、112b 上側面
113 不透明部
Claims (15)
- 空気中を伝わる音の音圧を受圧する受圧面と反射面を有する変位体の反射面と対向する位置に発光部と受光部とを配置し、該発光部および受光部が軸芯からその外周に向かい屈折率分布を有するガラスまたは光透過性樹脂からなる棒状導光路の端部であり、前記変位体反射面に前記発光部から光を放射し、前記変位体反射面からの反射光を前記受光部で受光して前記変位体の変位を検出する光電式変位検出装置において、前記反射面を所望の半径寸法を有したドーム形状の内面とし、該ドーム形状の反射面に対して、前記一対の棒状導光路が所望の間隔で互いの軸芯を平行に配置されており、前記棒状導光路はその先端部から前記反射面と反対方向に向かって外周部全体が固定されていると共に、前記変位体を固定する部材と、前記棒状導光路の先端部を固定するフォルダとがねじを介して連結されており、前記ねじの螺合状態を変化させることにより前記変位体と前記棒状導光路の先端部との間隔を調整可能とし、前記変位体を固定する部材は、前記フォルダとねじを介して連結されたフォルダケースまたは振動板固定具と、前記フォルダケースまたは振動板固定具に固定される音孔を有する振動板ケースとで構成され、前記変位体の周辺部が前記フォルダケースまたは振動板固定具と振動板ケースとで挾持されることを特徴とした光電式変位検出装置。
- 前記フォルダに、棒状導光路の外径に対応した孔を所定の間隔にて設け、該孔に棒状導光路を通し、前記棒状導光路外周部および前記フォルダ孔内壁部を接着用樹脂等にて充填せしめて棒状導光路を前記フォルダに接着固定した後、前記フォルダごと棒状導光路先端部を研磨してなることを特徴とした請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記フォルダに一対の棒状導光路全体の外径に対応した孔を設け、該孔に前記棒状導光路を2本同時に通し、該棒状導光路外周部および前記フォルダ孔内壁部を接着用樹脂にて充填せしめて該棒状導光路を前記フォルダに接着固定した後、該フォルダごと棒状導光路先端部を研磨してなることを特徴とした請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記フォルダの材質がセラミック、金属またはプラスチックであることを特徴とする請求項2または請求項3に記載した光電式変位検出装置。
- 前記フォルダが光ファイバ用フェルールであることを特徴とした請求項2または請求項3に記載した光電式変位検出装置。
- 前記一対の棒状導光路において、2つの棒状導光路の直径が異なることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記発光側および受光側の棒状導光路の端面および、該棒状導光路を固定したフォルダの研磨面が単一面で、尚且つ平面であることを特徴とした請求項2または3の光電式変位検出装置。
- 前記発光側および受光側の棒状導光路の端面および、該棒状導光路を固定したフォルダの研磨面が連続した単一面で且つ球面であることを特徴とした請求項2または3に記載した光電式変位検出装置。
- 前記発光側および受光側の棒状導光路の端面および、該棒状導光路を固定したフォルダの研磨面が連続した単一面で尚且つ非球面であることを特徴とした請求項2または3に記載した光電式変位検出装置。
- 前記フォルダごと各棒状導光路先端部を夫々平面状に研磨する研磨面において、該2つの研磨面のいずれか一方が他方に対して所望の角度を有して研磨されてなることを特徴とした請求項2または3に記載した光電式変位検出装置。
- 前記受圧面と反射面を有する変位体が厚さ50ミクロン以下の薄膜からなり反射面側も反射面でない側もともに一体の受圧面であることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記棒状導光路が半径方向に連続的に屈折率分布を有するガラスまたは光透過性樹脂の棒状レンズであることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記棒状導光路がガラスまたは光透過性樹脂の光ファイバであることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記変位体に設けられたドーム状反射面の光学有効面が球面であることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
- 前記変位体に設けられたドーム状反射面の光学有効面が非球面の2次曲面であることを特徴とする請求項1の光電式変位検出装置。
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