JP5140518B2 - 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 - Google Patents
表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5140518B2 JP5140518B2 JP2008209546A JP2008209546A JP5140518B2 JP 5140518 B2 JP5140518 B2 JP 5140518B2 JP 2008209546 A JP2008209546 A JP 2008209546A JP 2008209546 A JP2008209546 A JP 2008209546A JP 5140518 B2 JP5140518 B2 JP 5140518B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring film
- film
- substrate
- printing liquid
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
特に、Ag微粒子やCu微粒子による配線膜は、下部配線表面のMoN層や、ガラス基板表面のSiN層との接着性が悪い。
酸化マンガン膜を薄膜化するか島状に成膜すれば、コンタクト抵抗の上昇は改善されるが、薄膜化も島状成膜も成膜制御が困難である。
本発明は表示装置用パネルであって、前記基板表面に形成されたSiN層を有し、前記上部配線膜の一部は前記SiN層上に位置し、前記SiN層と前記上部配線膜の間には、底面が前記SiN層と密着し、表面が前記上部配線膜と密着する前記無機接着膜が配置された表示装置用パネルである。
本発明は表示装置用パネルであって、前記下部配線膜は、表面に前記MoN層が形成された低抵抗金属層を有する表示装置用パネルである。
本発明は液晶表示装置であって、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の表示装置用パネルを有する液晶表示装置である。
本発明は、基板上に低抵抗金属層と該低抵抗金属層上に配置されたMoN層とを有する下部配線膜を形成する下部配線膜形成工程と、Zn微粒子とSn微粒子の少なくとも一方が含有された第一の印刷液を前記下部配線膜の一部表面上に塗布する第一の塗布工程と、前記基板を酸素ガスを含有する焼成雰囲気中で加熱し、塗布された前記第一の印刷液によって、Zn酸化物とSn酸化物の少なくとも一方を含有する無機接着膜を形成する第一の焼成工程と、銀微粒子と銅微粒子の少なくとも一方が含有された第二の印刷液を前記無機接着膜表面を含む領域に塗布する第二の塗布工程と、前記基板を加熱し、塗布された前記第二の印刷液によって上部配線膜を形成する第二の焼成工程を有する配線形成方法である。
本発明は、前記基板表面の一部領域にはSiN層が露出された配線形成方法であって、前記第一の塗布工程では、前記下部配線膜の一部表面と前記SiN層の一部表面に前記第一の印刷液を塗布し、前記下部配線膜と前記SiN層表面に前記無機接着膜を形成し、前記第二の塗布工程では、前記下部配線膜表面の前記無機接着膜と、前記SiN層表面の前記無機接着膜との表面に前記第二の印刷液を塗布する配線形成方法である。
本発明は配線形成方法であって、前記第一の印刷液が配置されたインクジェットヘッドから前記第一の印刷液の液滴を吐出し、前記下部配線膜の一部表面と前記SiN層の一部表面上に着弾させることで、前記第一の印刷液を塗布する配線形成方法である。
基板5のうち、図1(a)〜(d)は接続領域5aの断面図、図2(a)〜(d)は配線領域5bの断面図である。
第一の印刷装置30の台32上には印刷ヘッド33が配置されており、台32の外側には液供給系36が配置されている。
液供給系36には、直径が数nm〜数十nmの金属微粒子が溶剤中に分散された第一の印刷液が蓄液されている。印刷ヘッド33は液供給系36に接続されており、液供給系36から第一の印刷液が供給されるようになっている。
第一の印刷装置30には基板移動機構が設けられており、基板移動機構を動作させると基板5は台32上を移動できるようにされている。
印刷ヘッド33の吐出孔34の真下に基板5が位置したところで、印刷ヘッド33から第一の印刷液を吐出させると、第一の吐出液は基板5の表面に着弾する。
図1(c)、図2(c)、図3(c)、図4(c)の符号13は無機接着膜を示している。無機接着膜13の底面はSiN層12又はMoN層23と接触している。
第二の印刷装置の液供給系には、溶剤中に銀微粒子が分散された第二の印刷液が配置され、印刷ヘッドから第二の印刷液の液滴が吐出される点を除いて第一の印刷装置30と同じ構成であり、第二の印刷装置の説明は省略する。
6……表示装置用パネル
11……下部配線膜
12……SiN層
13……無機接着膜
14……上部配線膜
21、23……MoN層
22……低抵抗金属層
Claims (7)
- 基板と、
表面にMoN層が形成され、前記基板上に配置された下部配線膜と、
銀又は銅のいずれか一方を含有し、一部が前記下部配線膜上に位置する上部配線膜と、
Zn酸化物とSn酸化物の少なくとも一方を含有する無機接着膜とを有し、
前記下部配線膜と前記上部配線膜の間には、底面が前記MoN層と密着し、表面が前記上部配線膜と密着する前記無機接着膜が配置された表示装置用パネル。 - 前記基板表面に形成されたSiN層を有し、
前記上部配線膜の一部は前記SiN層上に位置し、
前記SiN層と前記上部配線膜の間には、底面が前記SiN層と密着し、表面が前記上部配線膜と密着する前記無機接着膜が配置された請求項1記載の表示装置用パネル。 - 前記下部配線膜は、表面に前記MoN層が形成された低抵抗金属層を有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の表示装置用パネル。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の表示装置用パネルを有する液晶表示装置。
- 基板上に低抵抗金属層と該低抵抗金属層上に配置されたMoN層とを有する下部配線膜を形成する下部配線膜形成工程と、
Zn微粒子とSn微粒子の少なくとも一方が含有された第一の印刷液を前記下部配線膜の一部表面上に塗布する第一の塗布工程と、
前記基板を酸素ガスを含有する焼成雰囲気中で加熱し、塗布された前記第一の印刷液によって、Zn酸化物とSn酸化物の少なくとも一方を含有する無機接着膜を形成する第一の焼成工程と、
銀微粒子と銅微粒子の少なくとも一方が含有された第二の印刷液を前記無機接着膜表面を含む領域に塗布する第二の塗布工程と、
前記基板を加熱し、塗布された前記第二の印刷液によって上部配線膜を形成する第二の焼成工程を有する配線形成方法。 - 前記基板表面の一部領域にはSiN層が露出された請求項5記載の配線形成方法であって、
前記第一の塗布工程では、前記下部配線膜の一部表面と前記SiN層の一部表面に前記第一の印刷液を塗布し、前記下部配線膜と前記SiN層表面に前記無機接着膜を形成し、
前記第二の塗布工程では、前記下部配線膜表面の前記無機接着膜と、前記SiN層表面の前記無機接着膜との表面に前記第二の印刷液を塗布する請求項5記載の配線形成方法。 - 前記第一の印刷液が配置されたインクジェットヘッドから前記第一の印刷液の液滴を吐出し、前記下部配線膜の一部表面と前記SiN層の一部表面上に着弾させることで、前記第一の印刷液を塗布する請求項6記載の配線形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008209546A JP5140518B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008209546A JP5140518B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010044300A JP2010044300A (ja) | 2010-02-25 |
JP5140518B2 true JP5140518B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=42015718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008209546A Expired - Fee Related JP5140518B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5140518B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10141497B2 (en) * | 2012-07-31 | 2018-11-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thin film stack |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3916334B2 (ja) * | 1999-01-13 | 2007-05-16 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタ |
JP4226368B2 (ja) * | 2002-06-07 | 2009-02-18 | シャープ株式会社 | 配線基板、表示装置、及び配線基板の製造方法 |
JP4275644B2 (ja) * | 2004-06-23 | 2009-06-10 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板およびその製造方法、並びに電子装置 |
JP2007053333A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corp | 膜パターンの形成方法、デバイス、電気光学装置、電子機器、及びアクティブマトリクス基板の製造方法 |
-
2008
- 2008-08-18 JP JP2008209546A patent/JP5140518B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010044300A (ja) | 2010-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11502269B2 (en) | Light-emitting device with auxiliary electrode and adjacent insular conductive portions | |
KR100805981B1 (ko) | 액티브 매트릭스 기판 및 그 제조 방법과 전자 장치 | |
JP5978577B2 (ja) | 多層配線基板 | |
EP0986112A2 (en) | An efficient method for fabricating organic light emitting diodes | |
US9379349B2 (en) | OLED device with spatially isolated light-emitting areas | |
JP5140518B2 (ja) | 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 | |
JP5150382B2 (ja) | 表示装置用パネル、液晶表示装置、配線形成方法 | |
JP2007035909A (ja) | 電子デバイスおよび電子デバイスの製造方法 | |
US9000454B2 (en) | Electro-optic device and method for manufacturing the same | |
JP2011165762A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
KR20090124156A (ko) | 전기광학소자 및 이의 제작 방법 | |
CN115036275A (zh) | 一种显示面板的制备方法及显示面板 | |
CN103180954A (zh) | 多器件oled | |
JP2009026900A (ja) | 積層構造体、電子素子及びそれらの製造方法、表示装置 | |
JP6441595B2 (ja) | 発光装置 | |
JP4935599B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2023116822A (ja) | 発光装置 | |
US7923837B2 (en) | Microelectronic device patterned by ablating and subsequently sintering said microelectronic device | |
JP2022009669A (ja) | 発光装置 | |
JP6205814B2 (ja) | 配線基体およびその製造方法 | |
TW202314818A (zh) | 用於纏繞電極的多層油墨印刷電極 | |
WO2016151817A1 (ja) | 導電体の形成方法 | |
WO2016151818A1 (ja) | 発光装置 | |
JP2020074328A (ja) | 発光装置 | |
JP4331167B2 (ja) | パターン形成方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121031 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5140518 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |