JP5139833B2 - センサ素子の検査方法 - Google Patents
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Description
請求項5の発明は、請求項4に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、前記センサ素子が正常な素子である場合に、実使用時において要求される特性を検査後においても前記センサ素子が維持するための過負荷限界として、前記昇温速度の上限があらかじめ求められており、前記過負荷工程においては、前記昇温速度の上限未満の電圧を過負荷を前記センサ素子に与えることを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項5に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、前記昇温工程においては、昇温による前記ヒータの抵抗値が2Ω以上10Ω以下となる範囲内で、かつ、60秒以上120秒以下の間に最大電圧まで増加するように前記ヒータに電圧が印加されることを特徴とする。
図1は、本発明に係るガスセンサの一例であるガスセンサ100の構成を概略的に示す断面模式図である。ガスセンサ100は、測定対象とするガス(被測定ガス)中の所定ガス成分を検出し、さらにはその濃度を測定するためのものである。本実施の形態においては、ガスセンサ100が窒素酸化物(NOx)を検出対象成分とするNOxセンサである場合を例として説明する。
この発明では、センサ素子101の実使用時よりも大きな電流をヒータ72に一時的に流してセンサ素子101に熱的過負荷を与えてから、当該センサ素子101の状態を検査するが、その代表的な態様としては2つある。
次に、ヒータパターン検査装置200について説明する。
次にクラック検査装置300について説明する。
図11は、ガスセンサ100の製造の流れの概略を示す図である。まず、センサ素子101が製造される(ステップS1)。センサ素子101は、各固体電解質層に対応するセラミックスグリーンシートに所定の加工およびパターン印刷などを行った後に、それらを積層して積層体を形成し、さらに積層体を所定の素子単位に切り分けたものを焼成することによって製造される。
図12は、ステップS2で行われるヒータパターン検査の流れを示す図である。ヒータパターン検査を実施するにあたっては、まず、ヒータパターン検査装置200とセンサ素子101のヒータ電極とを接続される(ステップS21)。すなわち、図7で示したように、ヒータパターン検査装置200とセンサ素子101とが第1ヒータ電極71aおよび第2ヒータ電極71bにて接続される。
図13は、ステップS3で行われるクラック検査の流れを示す図である。クラック検査を実施するにあたっては、まず、センサ素子101のヒータ電極とがセンサ素子治具301を接続することにより、クラック検査装置300と接続される(ステップS31)。図9で示したように、クラック検査装置300とセンサ素子101とがセンサ素子治具301を介してヒータ制御用回路302および特性測定用回路303と接続されることとなる。センサ素子101の第2ヒータ電極71aおよび第2ヒータ電極71b、さらに、センサ素子101の各電極はセンサ素子治具301を通して、ヒータ制御用回路302および特性測定用回路303と接続される。
ヒータパターン検査とクラック検査とを実施する順序は逆であってもよい。但し、クラック検査を先に実施した場合は、一度温度が低下した後にヒータパターン検査を実施するか、温度上昇を考慮して電圧を印加することが好ましい。また、各検査を単独で実施することも可能である。
71 ヒータ電極
71a 第1ヒータ電極
71b 第2ヒータ電極
72 ヒータ
73 スルーホール
74 ヒータ絶縁層
100 ガスセンサ
101 センサ素子
200 ヒータパターン検査装置
201 抵抗値測定器
202 直流電源
203 制御部
300 クラック検査装置
301 センサ素子治具
302 ヒータ制御用回路
302a 可変電源
302b 電圧制御部
303 特性測定用回路
Claims (6)
- 電気抵抗体で形成されたヒータによって温度調整された固体電解質を用いて被測定ガス中のNOxガス成分を検出するNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法であって、
前記センサ素子の実使用時よりも大きな電流を前記ヒータに一時的に流して前記センサ素子に熱的過負荷を与える過負荷工程と、
前記過負荷工程を経た前記センサ素子の状態を検査する検査工程と、
を備え、
前記過負荷工程が、
前記センサ素子の実使用時よりも速い昇圧速度の電圧を前記ヒータに印加することにより、前記センサ素子の実使用時よりも速い昇温速度で前記ヒータの昇温を行う昇温工程、
を含み、
前記検査工程が、
前記昇温工程を経た後の前記センサ素子のNOx濃度特性が所定の条件をみたすか否かを検査する特性検査工程、
を含むことを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。 - 請求項1に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、
前記センサ素子が正常な素子である場合に、実使用時において要求される特性を検査後においても前記センサ素子が維持するための過負荷限界として、前記昇温速度の上限があらかじめ求められており、
前記昇温工程においては、前記昇温速度の上限未満の電圧を過負荷を前記センサ素子に与えることを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。 - 請求項2に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、
前記昇温工程においては、昇温による前記ヒータの抵抗値が2Ω以上10Ω以下となる範囲内で、かつ、60秒以上120秒以下の間に最大電圧まで増加するように前記ヒータに電圧が印加されることを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。 - 電気抵抗体で形成されたヒータによって温度調整された固体電解質を用いて被測定ガス中のNOxガス成分を検出するNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法であって、
前記センサ素子の実使用時よりも大きな電流を前記ヒータに一時的に流して前記センサ素子に熱的過負荷を与える過負荷工程と、
前記過負荷工程を経た前記センサ素子の状態を検査する検査工程と、
を備え、
前記過負荷工程が、
前記センサ素子の実使用時に前記ヒータに印加される電圧よりも高いピーク電圧値を持ったパルス電圧を前記ヒータに印加する高電圧印加工程と、
前記高電圧印加工程を経た前記センサ素子に対して、前記センサ素子の実使用時よりも速い昇圧速度の電圧を前記ヒータに印加することにより、前記センサ素子の実使用時よりも速い昇温速度で前記ヒータの昇温を行う昇温工程と、
を含み、
前記検査工程が、
前記高電圧印加工程を経た前記センサ素子の前記ヒータの抵抗値を測定し、所定の範囲内の抵抗値であるかを検査する抵抗値検査工程と、
前記昇温工程を経た後の前記センサ素子のNOx濃度特性が所定の条件をみたすか否かを検査する特性検査工程と、
を含み、
前記センサ素子が正常な素子である場合に、実使用時において要求される特性を検査後においても前記センサ素子が維持するための過負荷限界として、前記パルス電圧の前記ピーク電圧値とパルス時間幅とのそれぞれの上限があらかじめ求められており、
前記高電圧印加工程においては、前記パルス電圧の前記ピーク電圧を10V以上50V以下とし、前記パルス時間幅を1ms以上100ms以下とすることによって、前記過負荷限界未満の過負荷を前記センサ素子に与える、
ことを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。 - 請求項4に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、
前記センサ素子が正常な素子である場合に、実使用時において要求される特性を検査後においても前記センサ素子が維持するための過負荷限界として、前記昇温速度の上限があらかじめ求められており、
前記過負荷工程においては、前記昇温速度の上限未満の電圧を過負荷を前記センサ素子に与えることを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。 - 請求項5に記載のNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法において、
前記昇温工程においては、昇温による前記ヒータの抵抗値が2Ω以上10Ω以下となる範囲内で、かつ、60秒以上120秒以下の間に最大電圧まで増加するように前記ヒータに電圧が印加されることを特徴とするNOxセンサ用のセンサ素子の検査方法。
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