JP5137305B2 - 画像形成装置 - Google Patents
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Description
下記一般式(1)におけるΨ0×Ψ2が0.05以下の正の値であることを特徴とする。
Py:スペーサ表面に垂直な方向の電子放出素子ピッチ[m]
e:単位電荷[c]
Ea:スペーサの電位規定要素の抵抗値の逆数が示す活性化エネルギー[eV]
h:スペーサの高さ[m]
k:ボルツマン定数[J/K]
T:スペーサの任意の位置の温度[K]
Ψ0:下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Ψ2:下記一般式(3)で示されるスペーサ敏感度
Ψ2=γ/20 (3)
γ:h/x0で示されるスペーサ電場影響係数
x0:スペーサの電界影響範囲距離[m]
ΔT 1 :スペーサを挟んで対向するフェースプレート外面の温度とリアプレート外面の温度との温度差[K]
下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率Ψ0が0.5以下の正の値であることを特徴とする。
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W]
下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率Ψ0と、下記一般式(4)で示されるスペーサ電気抵抗分割率Eとが、0<Ψ0<E<1の関係を満たすことを特徴とする。
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W]
E=Resp/(Recfp+Resp+Recrp) (4)
Recfp:スペーサとフェースプレート間の電気抵抗[Ω]
Resp:スペーサの電気抵抗[Ω]
Recrp:スペーサとリアプレート間の電気抵抗[Ω]
外乱要因、内乱要因からパネルの表裏に温度分布が発生する。
スペーサは、FP及びRPを支持するため、各プレートに当接している。当該当接部とプレートとスペーサを伝熱パスとして熱伝導が発生し、高温側熱源から低温側熱源にかけて温度分布が形成される。
一般に電気抵抗値は温度依存性を有している。特に、スペーサの耐電圧を実現するためにスペーサに用いられている誘電材料、高抵抗材料においては、低抵抗材料に比較してその抵抗値の温度依存性が高い。よって、温度分布が生じているスペーサには電気抵抗分布が発生する。
スペーサが電流場により電位規定されている場合には、スペーサ表面の抵抗値分布は電界分布となり、スペーサの高さ方向の各領域の電位が変動を受ける結果となる。
スペーサ近傍は、スペーサ内外で誘電率が異なるため、スペーサ表面を界面として電気力線が屈折する。その結果、界面近傍の電位は連続であるが、電位勾配が不連続となるため電位分布が局所的に変形する。
電子放出素子から放出された電子ビームは加速されてアノード電極に到達するが、スペーサ近傍の電界分布に変形がある場合には、ビーム軌道も変動を受け、所望の位置から変位量Δxだけ到達位置がずれる。
前記ΔT2とΔT1との関係について、図1〜図3を用いて定式化し説明する。尚、図中、1はフェースプレート(FP)、2はリアプレート(RP)、3はスペーサ(SP)を示す。
・熱放射はPlanck’s LawとStefan−Boltzmann’s Law、q=σT4[W/m2]に従う。
・各部材は灰色体であり、キルヒホッフ則に従い、熱放射率ρ、吸収率ρ、反射率1−ρの関係で記述される。
・放射エネルギー交換は相互の幾何学的関係で決定される形態係数Fijに依存する。(下記、放射熱量qiの右辺の第二項の級数部分を意味する。すなわち、あるiが受ける他の面からの吸収熱量は、他の面jの放射率×i面j面間の形態係数Fij×ある面iの吸収率の積の総和(積分値)であらわされる)
・放射熱平衡が成立する。divq=0
比較する評価パラメータは以下の二つである。
熱伝導輸送量 q[W]=K×A×(Tfp−Trp)
放射熱量−吸収熱量 qi[W]=σT4−ρiΣFijqj
K:実効的スペーサ部の熱伝達率[W/m2K]
A:スペーサのFP,RPに平行な方向の断面積[m2]
Tfp:FPの絶対温度[K]
Trp:RPの絶対温度[K]
Fij:領域jから領域iに対する形態係数
qi:領域iの放射エネルギー量[W]
熱伝達率 K[W/m2K]=1/{(1/h1)+(L/λ)+(1/h2)} (6)
T1:上部材6の温度[K]
T2:下部材7の温度[K]
K:熱伝達率[W/m2K]
A:中間部材8の断面積[m2]
L:伝熱経路の長さ(中間部材8の高さ)[m]
h1:上部材6と中間部材8との接触部(接触部1)における熱伝達率[W/m2K]
h2:下部材7と中間部材8との接触部(接触部2)における熱伝達率[W/m2K]
λ:中間部材8の熱伝導率[W/mK]
ΔT1=T1−T2:上部材6/下部材7の温度差[K]
ΔT2:中間部材8の高さ方向の温度差[K]
とすると、熱流の連続則を適用すれば、一般式(5)より、
q[W]=KA×ΔT1=(λ/L)A×ΔT2
よって、
ΔT2=(L/λK)×ΔT1
である。
ΔT2:スペーサの高さ方向の温度差[K]
L:スペーサの高さh[m]
h1:FPとスペーサとの当接部における熱伝達率tf[W/m2K]
h2:RPとスペーサとの当接部における熱伝達率tr[W/m2K]
λ:スペーサの熱伝導率λ[W/mK]
ΔT2=Ψ0×ΔT1 (8)
Rhcfp:スペーサとFP間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとRP間の熱抵抗[m2K/W]
スペーサの高さ方向の電気抵抗分布ΔRの定式化について説明する。
e:単位電荷量[c]
k:ボルツマン定数[J/K]
T:スペーサの任意の位置の温度[T]
R∞:仮想的な温度無限大時の電気抵抗値[Ω]
スペーサの表面電位の抵抗変化率依存性について、図4及び図5を用いて説明する。図4はパネル内の電界計算イメージモデルであり、FP1側がRP2側に対して高温である場合の電位分布イメージを表現している。図中の11は等電位面、12,12’は電子ビームの軌道である。電界分布は以下のような特徴を有している。
Ey(0,y)=Ey(0,0)+ay
電界の境界条件として一般式(11)を満足するから、
スペーサ近傍の電位変形ΔV2とスペーサ近傍の電子ビーム到達位置の変位Δxについて、図4,図5を用いて説明する。
アノード上における電子ビーム到達位置の変位量:Δx[m]
アノード・カソード間電圧:Va[V]
スペーサ高さ:h[m]
スペーサ表面上の電位分布の影響範囲として:0<x<x0[m]
電子質量:m[kg]
h=γx0
上記条件のもと、図5の座標モデルにおいて、周辺部の電位の境界条件は以下のように表される。
Ψ2=γ/20 (16)
となる一般式(16)で表されるパラメータΨ2を用いると、下記一般式(17)で表される。
Δx=−Ψ2×(ΔR/R)×h (17)
(a)h/Py値を小さくする。
(b)eEa/kT2値を小さくする。
(c)1/kT2値を小さくする。
(d)Ψ0値を小さくする。具体的には0.5以下とする。(第2発明)
(e)Ψ2値を小さくする。具体的には0.25以下とする。
(f)Ψ0×Ψ2値を小さくする。具体的には0.05以下とする。(第1発明)
また、上記(a)〜(e)は組み合わせることによりさらなる効果が得られる。
ディスプレイの画素ピッチPy[m]が与えられた場合、スペーサの高さを抑制することになる。Pyはディスプレイのサイズと解像度(画素数)が規定されると一義的に決定され、通常0.3×10-3〜0.6×10-3m程度である。この条件のもと、一般的に選択されるhの下限は輝度特性と耐圧特性と真空特性により決定され、0.5×10-3〜2×10-3m程度のスペーサ高さが選択される。よって、h/Pyとしては、2〜5程度の値が利用されるが、h/Py値は2.5以下であることが望ましい。
即ち、スペーサの電位規定要素の抵抗値の逆数が示す活性化エネルギーEa[eV]を小さくする。材料選択上、金属材料、バンドギャップが小さい材料、即ち室温時の体積抵抗が低い材料が、Ea値も低い値を示す傾向がある。室温時の体積抵抗は、室温時の上記電位規定要素のシート抵抗Rsと厚みtを用いて、Rs×tと記述されるが、いずれも以下のような下限の制約範囲内で選択することになる。
即ち、スペーサの動作温度を高くする。スペーサ自体のシート抵抗値を下げてジュール熱効果を増大させ、且つ、FP,RPとの伝熱を制限することが考えられる。具体的な手法は、後述のΨ0の抑制と同様である。
Ψ0は好ましくは0.5以下である。スペーサ熱抵抗分割率Ψ0の制御手段について、図6〜図8を用いて説明する。図中の21,22はそれぞれFP1,RP2とスペーサ3との当接部である。前記Ψ0の値が0.5より大きい場合、スペーサ部材の温度差がパネルの温度差と近い状態となり、ビーム位置の制御が不安定になるばかりではなく、スペーサ自体の局所的な動作温度も変動を受けやすくなり、その他の特性として、帯電抑制上の緩和時定数の増大、消費電力の増大などの影響を受けやすくなる。
Recfp:スペーサとFP間(当接部21)の電気抵抗[Ω]
Resp:スペーサの電気抵抗[Ω]
Recrp:スペーサとRP間(当接部22)の電気抵抗[Ω]
本発明において、スペーサ敏感度Ψ2としては0.25以下の正の数であることが好ましく、より好ましくは0.15以下である。スペーサ敏感度Ψ2が、0.25より大きい場合は、スペーサ近傍空間の電位変化を大きくし、ビーム位置制御性が悪くなる。さらには、カソード側におけるスペーサの電位規定部のカソード面との高さの違いによって生じる電位面の歪に起因して、ビーム位置変動が大きくなる等の問題が発生する。スペーサ敏感度Ψ2を抑制するには、スペーサの誘電率εsp[F/m]とスペーサ近傍の空間、即ち真空の誘電率εspace[F/m]との誘電比率(比誘電率)を小さくすることにより達成される。好ましくは該比誘電率を40以下とする。
具体的には、Ψ0×Ψ2は0.05以下が好ましい。前記、Ψ0×Ψ2値を0.05以下にすることにより、熱抵抗設計上および、スペーサの誘電率設計上の敏感度の抑制を両立することが可能となる。この結果、パネル表裏に温度差が発生しても、ビーム位置変化を抑制することが可能となり、高品位の電界加速型ディスプレイを提供することが可能となる。
パネル表裏の温度差ΔT1と、該ΔT1に起因するスペーサ近傍での電子ビーム到達位置の変位量Δxを測定し、スペーサの電位規定要素の抵抗値の逆数が示す活性化エネルギーEa、動作温度を決定し、スペーサの高さを測定する。得られた値を一般式(1)に代入し、Ψ0×Ψ2を求める。尚、活性化エネルギーEaは、電流値/電圧値の温度依存性をアレニウスプロットし、その傾きにより求める。この際、縦軸が、対数軸の電流値/電圧値であり、横軸が、絶対温度の逆数値をリニアな軸でとる。
方法1:
アノード・カソード間の温度差ΔT1をパネルの両外表面からヒーター、ペルチェ素子等で規定して、スペーサの高さ方向の熱分布を側面から赤外放射線温度計で測定し、当接部におけるスペーサ側の温度を確定し、ΔT2を得る。得られたΔT2/ΔT1からΨ0を決定する。
スペーサの高さ方向の温度差ΔT2は、高さ方向に並んだ任意の2点の外挿により当接部の不連続温度差の合計値を決定する、温度二点測定により外挿し決定しても良い。具体的な測定方法を図12に示す。図中、31,32,38は基板、33は面状ヒーター、34、35は水冷ヒートシンク、36a,36b,37a,37b,39a,39bは熱電対である。
Rh=1/t=(TS1−TS2)/Q2 (23)
大気圧支持相当の当接状態を再現することや、その他の制限によりΨ0の実測が困難な場合等は、Ψ2,Ψ0×Ψ2の決定により、Ψ0を決定しても良い。
スペーサ近傍の電子放出素子のΨ0×Ψ2の値に関係した、温度敏感度の距離依存性をとり、その影響度の減衰距離xを決定し、スペーサの、スペーサ近傍空間への電界影響範囲距離x0[m]を決定し、各素子毎のγ値を確定し、Ψ2を決定する。この方法に従った決定例を図13に示す。
f’(x1)=0条件を得るxが、スペーサの電界影響範囲距離x0である。最終的にΨ2は、一般式(3)に従い、スペーサ高さhを用いて下記一般式にて決定される。
Ψ2=γ/20 (3)
=h/20x0
部材及び部材間の接触電気抵抗を、一般的なIV測定により行い、得る。
基本的なスペーサの気密容器内の設置方法は、特開2002−157959号公報に開示された実施例1の方法に従った。但し、スペーサの絶縁性基体としては旭硝子社製「PD200」を用い、厚みt=200μm、高さh=1600μm、有効長=900mmとした。また、該基体は予め加熱延伸装置により、母材の凹凸加工品を加熱延伸したものであり、凹凸表面を有している。この絶縁性基体に、電位規定用の高抵抗膜として金属WとGeの焼結体とスパッタの原料ソースとして不活性ガスArとN2とを導入し、高周波スパッタ成膜を行った。室温における側面、アノード・カソードとの当接面のシート抵抗は、それぞれ2.5×1012Ω/□、2×1012Ω/□であった。さらに、スペーサの側面の抵抗値の逆数が示す活性化エネルギーEaを測定したところ、0.35eVであった。
当接部材をCa1.95La0.05Co2-xAlxO5を晶材とする酸化物ペーストに変更した他は実施例1と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.008以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
当接部材をFP側だけに配置し、RP側のスペーサとAg配線との当接率を0.8とした他は実施例2と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.015以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
当接部材を金属Mnとし、光学的パターニングとリフトオフプロセスにより、当接率を0.001となるように配置した以外は実施例1と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.020以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
スペーサの絶縁性基体をホウケイ酸ガラスであるコーニング社製「7059」に変更した以外は実施例1と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.008以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
カソード配線及びメタルバック上にそれぞれ、当接率が0.001以下となるように、厚み13μmのAgホイルと厚み13μmのAlホイルを転写し、リフトオフによりパターニングした。さらに、スペーサの絶縁性基体をホウケイ酸ガラスであるコーニング社製「7059」に変更した。それ以外は実施例1と同様にスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.04以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
高抵抗膜をPtAlN膜に変更し、活性化エネルギーを0.20eV、側面の室温でのシート抵抗を2.6×1012Ω/□とした以外は実施例1と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.007以下であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
絶縁性基体として青板ガラスを用い、高抵抗膜のWGeN膜を形成する下地層として10μmの厚みのSiO2の連続膜をスパッタ法にて成膜した以外は実施例1と同一の条件でスペーサを設置し、ビームズレを評価した。その結果、Ψ0×Ψ2は0.04であり、画面内にも温度分布に依存したビームズレは目視では確認できなかった。
2 リアプレート(RP)
3 スペーサ(SP)
4 枠材
6 上部材
7 下部材
8 中間部材
11 等電位面
12,12’ 電子ビームの軌道
21,22 当接部
31,32,38 基板
33 面状ヒーター
34,35 水冷ヒートシンク
36a,36b,37a,37b,39a,39b 熱電対
42 電子放出素子
43 行方向配線
44 列方向配線
45 リアプレート(電子源基板、カソード基板)
46 枠材
47 フェースプレート(アノード基板)
48 蛍光膜
49 メタルバック(アノード電極)
50 スペーサ
55 スペーサ固定部材
Claims (15)
- 複数の電子放出素子と該電子放出素子に電圧を印加する配線とを備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子ビームの照射によって発光する発光部材とアノード電極とを備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して上記リアプレートとフェースプレートと共に真空容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとに接して配置され、電流場により静的に電位規定されて両プレート間距離を保持すると共に、前記真空容器内に露出したスペーサ表面が前記リアプレートとフェースプレートの法線方向に平行な薄板状をなすスペーサと、上記スペーサとフェースプレート及びリアプレートとの当接面の少なくとも一方に介在する、熱電変換材料からなる当接部材とを有する画像形成装置であって、
下記一般式(1)におけるΨ0×Ψ2が0.05以下の正の値であることを特徴とする画像形成装置。
Py:スペーサ表面に垂直な方向の電子放出素子ピッチ[m]
e:単位電荷[c]
Ea:スペーサの電位規定要素の抵抗値の逆数が示す活性化エネルギー[eV]
h:スペーサの高さ[m]
k:ボルツマン定数[J/K]
T:スペーサの任意の位置の温度[K]
Ψ0:下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Ψ2:下記一般式(3)で示されるスペーサ敏感度
Ψ2=γ/20 (3)
γ:h/x0で示されるスペーサ電場影響係数
x0:スペーサの電界影響範囲距離[m]
ΔT 1 :スペーサを挟んで対向するフェースプレート外面の温度とリアプレート外面の温度との温度差[K] - 上記スペーサ熱抵抗分割率Ψ0が0.5以下の正の値である請求項1に記載の画像形成装置。
- 上記スペーサ敏感度Ψ2が0.25以下の正の値である請求項1または2に記載の画像形成装置。
- 上記スペーサの誘電率εsp[F/m]と装置内の真空空間の誘電率εspace[F/m]との比εsp/εspaceが40以下である請求項3に記載の画像形成装置。
- 上記スペーサ熱抵抗分割率Ψ0と、下記一般式(4)で示されるスペーサ電気抵抗分割率Eとが、0<Ψ0<E<1の関係を満たす請求項1〜4のいずれか一項に記載の画像形成装置。
E=Resp/(Recfp+Resp+Recrp) (4)
Recfp:スペーサとフェースプレート間の電気抵抗[Ω]
Resp:スペーサの電気抵抗[Ω]
Recrp:スペーサとリアプレート間の電気抵抗[Ω] - 複数の電子放出素子と該電子放出素子に電圧を印加する配線とを備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子ビームの照射によって発光する発光部材とアノード電極とを備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して上記リアプレートとフェースプレートと共に真空容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとに接して配置され、電流場により静的に電位規定されて両プレート間距離を保持すると共に、前記真空容器内に露出したスペーサ表面が前記リアプレートとフェースプレートの法線方向に平行な薄板状をなすスペーサと、上記スペーサとフェースプレート及びリアプレートとの当接面の少なくとも一方に介在する、熱電変換材料からなる当接部材とを有する画像形成装置であって、
下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率Ψ0が0.5以下の正の値であることを特徴とする画像形成装置。
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W] - 複数の電子放出素子と該電子放出素子に電圧を印加する配線とを備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子ビームの照射によって発光する発光部材とアノード電極とを備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して上記リアプレートとフェースプレートと共に真空容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとに接して配置され、電流場により静的に電位規定されて両プレート間距離を保持すると共に、前記真空容器内に露出したスペーサ表面が前記リアプレートとフェースプレートの法線方向に平行な薄板状をなすスペーサと、上記スペーサとフェースプレート及びリアプレートとの当接面の少なくとも一方に介在する、熱電変換材料からなる当接部材とを有する画像形成装置であって、
下記一般式(2)で示されるスペーサ熱抵抗分割率Ψ0と、下記一般式(4)で示されるスペーサ電気抵抗分割率Eとが、0<Ψ0<E<1の関係を満たすことを特徴とする画像形成装置。
Ψ0=Rhsp/(Rhcfp+Rhsp+Rhcrp) (2)
Rhcfp:スペーサとフェースプレート間の熱抵抗[m2K/W]
Rhsp:スペーサの熱抵抗[m2K/W]
Rhcrp:スペーサとリアプレート間の熱抵抗[m2K/W]
E=Resp/(Recfp+Resp+Recrp) (4)
Recfp:スペーサとフェースプレート間の電気抵抗[Ω]
Resp:スペーサの電気抵抗[Ω]
Recrp:スペーサとリアプレート間の電気抵抗[Ω] - スペーサ熱抵抗分割率Ψ0が0.5以下の正の値である請求項7に記載の画像形成装置。
- 上記スペーサが比誘電率が40以下の基体からなる請求項1〜8のいずれかに記載の画像形成装置。
- 上記スペーサが絶縁性基体の表面に該基体よりも抵抗値の低い高抵抗膜を被覆しなり、絶縁性基体の比誘電率が40以下であり、高抵抗膜の比誘電率が60以下で且つ体積抵抗が1×107Ωcm以上である請求項1〜8のいずれかに記載の画像形成装置。
- 上記熱電変換材料が、Te含有合金または強相関電子系酸化物からなる請求項1に記載の画像形成装置。
- 上記Te含有合金が、AgPbBiTe3,Bi2Te3,PbTe,Sb2Te3のいずれかである請求項11に記載の画像形成装置。
- 上記強相関電子系酸化物は、層状コバルト酸化物である請求項11に記載の画像形成装置。
- 上記強相関電子系酸化物が、Na1.2Co2-xCuxO4,NaCl2O4,Ca1.95La0.05Co2-xAlxO5のいずれかである請求項11に記載の画像形成装置。
- 上記フェースプレート及びリアプレートと、上記スペーサとの間に、それぞれ当接部材が介在されており、上記当接部材及びスペーサのフェースプレート及びリアプレートに平行な方向の断面積をそれぞれScr 及びSspとしたとき、両者の比Scr/Sspが0.05以下である請求項1〜14のいずれか一項に記載の画像形成装置。
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