JP5104288B2 - 真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
先ず、第1の実験について説明する。第1の実験では、ヒータが設けられていない従来の真空ポンプ(比較例)及び上述の実施形態と同様の真空ポンプ(実施例)について、温度の分布及び内部の圧力の分布を測定した。この結果を図3A及び図3Bに示す。図3Aは、比較例における分布を示すグラフであり、図3Bは、実施例における分布を示すグラフである。なお、温度の分布は、サーモグラフィにより測定した。また、図3A及び図3B中の実線は温度を示し、破線は圧力を示す。更に、本願発明者らは、両真空ポンプの内部に存在する異物がどの範囲に存在するか確認した。この結果も図3A及び図3B中に示す。
次に、第2の実験について説明する。第2の実験では、ヒータ21及び22の代わりに固定翼領域11及びスペーサ領域12を覆う1つヒータを設け、このヒータの設定温度を変えながら、異物の混入が生じるまでの半導体基板の処理数を調査した。他の構造は上述の実施形態と同様とした。なお、この処理としては、半導体基板上に形成されたAl膜のプラズマエッチングを行った。この結果を図4に示す。
1a:支持部
2:固定翼
3:駆動部
4:シャフト
5:回転翼
6:フランジ
7:吸気口
8:排気口
9:スペーサ
9a:溝
10:回転体
11:固定翼領域
12:スペーサ領域
21、22:ヒータ
101:真空ポンプ
102:チャンバ
103:プラズマ発生源
104:温度制御部
105:ドライポンプ
106:フランジ
Claims (7)
- 吸気口と、
排気口と、
前記吸気口と前記排気口との間に設けられたガス流路と、
前記ガス流路を加熱する第1及び第2の加熱手段と、
を有し、
前記第1の加熱手段は、前記第2の加熱手段よりも前記吸気口に近い位置に設けられ、
前記第2の加熱手段は、前記第1の加熱手段よりも高い温度で前記ガス流路を加熱する
前記第2の加熱手段は、前記第1の加熱手段よりも高い温度で前記ガス流路を加熱し、
前記ガス流路のうち前記第2の加熱手段により加熱される領域の温度は、前記ガス流路のうち前記第1の加熱手段により加熱される領域の温度よりも高いことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記ガス流路は、
前記吸気口と前記排気口との間に設けられた固定翼を備えた固定翼領域と、
前記固定翼領域よりも前記排気口に近い位置に設けられたスペーサ領域と、
を備え
前記第1の加熱手段は前記固定翼領域を加熱し、
前記第2の加熱手段は前記スペーサ領域を加熱することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記第1の加熱手段は、前記ガス流路を70℃以上に加熱することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- 前記ガス流路の温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段による検出の結果に基づいて前記第1の加熱手段及び前記第2の加熱手段の制御を行う温度制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記第1の加熱手段によって加熱される位置の圧力及び前記第2の加熱手段によって加熱される位置の圧力を夫々測定する圧力測定手段を有し、
前記温度制御手段は、前記温度検出手段による検出の結果及び前記圧力測定手段による検出の結果に基づいて前記第1の加熱手段及び前記第2の加熱手段の制御を行うことを特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ。 - 真空ポンプと、
前記真空ポンプによってその内部が真空にされ、半導体基板に対する処理が行われる真空処理室と、
を有し、
前記真空ポンプは、
吸気口と、
排気口と、
前記吸気口と前記排気口との間に設けられたガス流路と、
前記ガス流路を加熱する第1及び第2の加熱手段と、
を有し、
前記第1の加熱手段は、前記第2の加熱手段よりも前記吸気口に近い位置に設けられ、
前記第2の加熱手段は、前記第1の加熱手段よりも高い温度で前記ガス流路を加熱し、
前記ガス流路のうち前記第2の加熱手段により加熱される領域の温度は、前記ガス流路のうち前記第1の加熱手段により加熱される領域の温度よりも高いことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 半導体基板が搬入された真空処理室の内部を、真空ポンプを用いて真空にする工程と、
前記半導体基板の処理を行う工程と、
を有し、
前記真空ポンプとして、
吸気口と、
排気口と、
前記吸気口と前記排気口との間に設けられたガス流路と、
前記ガス流路を加熱する第1及び第2の加熱手段と、
を有し、
前記第1の加熱手段は、前記第2の加熱手段よりも前記吸気口に近い位置に設けられ、
前記第2の加熱手段は、前記第1の加熱手段よりも高い温度で前記ガス流路を加熱し、
前記ガス流路のうち前記第2の加熱手段により加熱される領域の温度は、前記ガス流路のうち前記第1の加熱手段により加熱される領域の温度よりも高いものを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007332796A JP5104288B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007332796A JP5104288B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009156096A JP2009156096A (ja) | 2009-07-16 |
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ID=40960375
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007332796A Expired - Fee Related JP5104288B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5104288B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6453070B2 (ja) * | 2014-12-18 | 2019-01-16 | 株式会社荏原製作所 | ドライ真空ポンプ、およびドライ真空ポンプの製造方法 |
JP2016134585A (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造装置、半導体製造装置の診断システムおよび半導体装置の製造方法 |
JP6776971B2 (ja) | 2017-03-27 | 2020-10-28 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよびポンプ一体型の電源装置 |
CN108131274B (zh) * | 2017-11-15 | 2019-10-15 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种真空抽气系统 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19702456B4 (de) * | 1997-01-24 | 2006-01-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JPH10306790A (ja) * | 1997-05-01 | 1998-11-17 | Daikin Ind Ltd | 分子ポンプ |
JP2003097428A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Aisin Seiki Co Ltd | 真空ポンプ制御装置 |
JP2004346858A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Renesas Technology Corp | 半導体製品製造装置およびその清浄化方法 |
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2007
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009156096A (ja) | 2009-07-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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