JP5103279B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は液晶表示装置に係り、特に、IPS(In Plane Switching)型と称される横電界方式の液晶表示装置に関する。
いわゆるアクティブ・マトリックス型の液晶表示装置は、液晶側の基板面の各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号の供給によってオンする薄膜トランジスタと、該オンされた薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極を備えて構成される。
また、IPS型と称される液晶表示装置は、その対向電極が、前記薄膜トランジスタを備える基板(TFT基板)側に形成され、前記画素電極との間に前記基板と平行な成分を含む電界を生じさせるように構成されている。
そして、このような構成において、前記画素電極(あるいは対向電極)は、たとえば、画素領域のほぼ全域にわたって形成された面状の透明導電膜で形成され、対向電極(あるいは画素電極)は、前記画素電極(あるいは対向電極)を被って形成される絶縁膜上に前記画素電極(あるいは対向電極)と重畳して配置される複数の並設された線状の透明導電膜で形成されたものが知られている。
このようなIPS型の液晶表示装置は、画素の開口率を向上でき、また、広視野角に優れたものとして構成することができる。
そして、このような液晶表示装置は、その液晶層の膜厚が比較的薄く形成され、その均一化を図ることにより、コントラストの向上が図れるようになる。 このため、少なくとも、前記TFT基板において、前記薄膜トランジスタを被って形成される保護膜として、塗布によって形成される樹脂膜を用いることにより、その表面を平坦化し、その上面に前記画素電極(あるいは対向電極)および対向電極(あるいは画素電極)を形成する技術が知られるに至っている。
なお、本願に関連する公知文献としては、下記の特許文献1ないし3がある。これら特許文献は、いずれも、塗布型の導電膜を用いた表示装置の記載がなされている。しかし、表示装置としては、上述のIPS型の液晶表示装置を対象としていないものとなっている。
特開2004−191557号公報 特開2004−22224号公報 特開平11−65482号公報
上述したように、IPS型の液晶表示装置において、TFT基板の液晶側の表面を平坦にするため、塗布によって樹脂膜を形成する技術が知られている。
しかし、液晶表示装置のさらなるコントランストの向上を図らんとした場合、上述の樹脂膜だけでは充分な平坦化を得られないということが指摘されている。
また、塗布によって樹脂膜を形成する場合、製造工数の増大をもたらすことになり、たとえば液晶表示装置として必須の部材を形成する際に、同時にTFT基板の液晶側の表面を平坦化できることが要望されている。
本発明の目的は、さらなるコントラストの向上を図ることのできる液晶表示装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、製造工数の増大をもたらすことなく、コントラストの向上を図ることのできる液晶表示装置を提供することにある。
なお、上記した課題以外のその他の課題は、本願明細書全体の記載または図面から明らかにされる。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
(1)本発明の液晶表示装置は、たとえば、液晶側の基板面の各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号の供給によってオンする薄膜トランジスタと、該オンされた薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、この画素電極との間に電界を生じさせる対向電極を備え、
前記画素領域は、反射画素部と透過画素部を有し、
前記画素電極と対向電極のうち一方の電極は、前記薄膜トランジスタを被って形成される保護膜の上面において、前記反射画素部に形成された凹凸面を被って形成される面状の金属電極と、該金属電極をも被って前記透過画素部に形成された面状の透明電極とで構成され、
前記画素電極と対向電極のうち他方の電極は、前記一方の電極をも被って形成された絶縁膜の上面に、前記一方の電極と重畳して並設された複数の線状の電極として構成され、
前記一方の電極のうち前記透明電極は、塗布により形成される透明導電膜で形成されており、
前記透明導電膜は、多層からなり、それらは、ITOの微粒子をインク状にして塗布した後に焼成を経て形成された膜、および導電性ポリマーをインク状にして塗布した後に焼成を経て形成された膜からなることを特徴とする。
なお、上記した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、上記した構成以外の本発明の構成の例は、本願明細書全体の記載または図面から明らかにされる。
このように構成した液晶表示装置は、さらなるコントラストの向上を図ることができるようになる。また、製造工数の増大をもたらすことなく、コントラストの向上を図ることができるようになる。
本発明のその他の効果については、明細書全体の記載から明らかにされる。
本発明の実施例を、図面を参照しながら説明する。なお、各図および各実施例において、同一または類似の構成要素には同じ符号を付し、説明を省略する。
図2(a)は、本発明の液晶表示装置の画素の一実施例を示す平面図である。また、図2(b)は、図2(a)に示した画素の等価回路図で幾何学的に対応させて描いている。
図2(a)に示す画素は、マトリックス状に配置される複数の画素のうち、図中x方向に配列される3個の画素を示している。これら各画素は、図中左側から、赤色(R)を担当する画素、緑色(G)を担当する画素、青色(B)を担当する画素を示し、カラー表示用の単位画素として示している。
各画素は、図中x方向に延在しy方向に並設されるコモン信号線CLとゲート信号線GL、図中y方向に延在しx方向に並設される一対のドレイン信号線DLとの間に形成されるようになっている。なお、図2(a)においては、赤色(R)担当の画素のドレイン信号線はDL(R)、緑色(G)担当の画素のドレイン信号線はDL(G)、青色(B)担当の画素のドレイン信号線はDL(B)で示している。
各画素には薄膜トランジスタTFTを備え、この薄膜トランジスタTFTは、前記ゲート信号線GLに走査信号が供給されるとオンになるようになっている。そして、このオンされた前記薄膜トランジスタTFTを通して、ドレイン信号線DLからの映像信号が画素電極PXに供給されるようになっている。
なお、前記薄膜トランジスタTFTの一端の電極(ソース電極)と画素電極PXとの接続は絶縁膜(図1においてPAS2、PAS1で示す)に形成したスルーホールTHを通してなされるとともに、前記ソース電極は、ドレイン信号線DLおよびコモン信号線CLと重畳するように延在され、これらドレイン信号線DLおよびコモン信号線CLとの間に容量を形成するようになっている。画素電PXに供給された映像信号を比較的長く蓄積させるためである。
また、画素電極PX上には絶縁膜(図1において符号INで示す)を介して対向電極CTが重畳して配置されている。この対向電極CTは、たとえば図中y方向に延在されx方向に並設された複数(図ではたとえば2個)の線状の電極で構成され、前記コモン信号線CLと電気的に接続されている。
このように構成された画素は、いわゆる横電界方式と称され、前記画素電極PXと対向電極CTの間に電圧VLCを与えることにより、基板(図1において符号SUB1で示す)面に沿った成分を含む電界を生じさせ、液晶分子は該基板面内方向にオンオフ制御されるようになっている。
なお、図2に示す画素領域は、たとえば図中y方向において2分され、図中下側において透過画素部TR、図中上側において反射画素部RRとして構成されている。後述する説明で明らかとなるように、透過画素部TRにおける画素電極PXは透明導電膜で形成され、反射画素部RRにおける画素電極PXは反射効率の良好な金属膜を含んで形成されている。
図1は、前記画素の断面図で、図2に示した画素において、ドレイン信号線DL、薄膜トランジスタTFT、透過画素部TRの対向電極CT、スルーホールTH、反射画素部RRの対向電極CTを横切る断面を示している。
図1において、まず、基板SUB1がある。この基板SUB1は図示しない他の基板(図7において符号SUB2で示す)との間に液晶LCを挟持するようになっている。
そして、前記基板SUB1の液晶LC側の面には、ゲート信号線GLが形成され、このゲート信号線GLをも被ってゲート絶縁膜GIが形成されている。
前記ゲート絶縁膜GI上であって前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにして、半導体層SECが形成されている。この半導体層SECは薄膜トランジスタTFTの半導体層となるもので、この半導体層SEC上には、ドレイン信号線DLの一部が重畳されたドレイン電極、およびソース電極STが形成されている。なお、ドレイン電極およびソース電極STの間の半導体層SECは前記ゲート信号線GL上においてチャネル領域を形成するようになっている。前記ソース電極STは、薄膜トランジスタTFTの形成領域を超えて延在され、その端部はスルーホールTHを通して後述する画素電極PXとの電気的接続を図るようになっている。
このようにドレイン信号線DL、ソース電極STが形成された基板SUBの表面には第1保護膜PAS1、および第2保護膜PAS2が形成されている。第1保護膜PAS1は無機絶縁膜によって形成され、第2保護膜PAS2は有機絶縁膜によって形成されている。ここで、第2保護膜PAS2として有機絶縁膜を用いたのは、塗布形成によって表面を平坦化することができるからである。
反射画素領域RRに相当する前記第2保護膜PAS2の表面は、散在された複数の凹面が形成され、これら複数の凹面を被うたとえばAl等の反射効率の良好な金属膜によって画素電極PX1が形成されている。この画素電極PX1は、その表面において、前記第2保護膜PAS2の表面の凹凸が浮上されて形成され、たとえば太陽等の外来光の入射に対して乱反射させる機能をもたせるようになっている。
また、前記第2保護膜PAS2、第1保護膜PAS1には、スルーホールTHが形成され、前記薄膜トランジスタTFTのソース電極STの他端の一部を露出させるようになっている。このスルーホールTHは、たとえば、前記画素電極PX1の形成領域と異なる領域に形成され、該スルーホールTHを通して、次に説明する画素電極PX2を前記ソース電極STに電気的に接続させるようになっている。
前記第2保護膜PAS2の上面を、前記画素電極PX1および前記スルーホールTHをも被って画素電極PX2が形成されている。ここで、この画素電極PX2の材料は、塗布によって形成される透明導電膜(以下、この明細書において塗布型透明導電膜と称する場合がある)によって構成されている。このため、該画素電極PX2の表面は、表面に凹凸が形成されている前記画素電極PX1上、および前記スルーホールTH上においても平坦化させて形成できるという効果を奏するようになる。この画素電極PX2については、後に詳述する。
また、図1、図2に示した液晶表示装置の画素は、透過画素部TRと反射画素部RRを備えたものであるが、必ずしもこれに限定されることはなく、透過画素部TRのみからなる画素を有する液晶表示装置にも適用できる。前記塗布型透明導電膜を画素電極として形成できることに変わりはないからである。
図3(a)ないし(d)は、それぞれ、前記画素電極PX1の材料として用いられる塗布型透明導電膜を示したものである。
図3(a)は、たとえばITO(Indium Tin Oxide)等の金属酸化物の微粒子からなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を示している。図3(b)は、たとえば導電性ポリマーからなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を示している。図3(c)は、たとえばITO等の金属酸化物の微粒子とたとえば導電性ポリマーの混合材からなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を示している。図3(d)は、たとえば導電性ポリマーからなる透明導電膜を上述のように形成し、その上面に、たとえばITO等の金属酸化物の微粒子を上述のように形成した透明導電膜の積層体からなる透明導電膜を示している。なお、図示していないが、たとえばITO微粒子からなる透明導電膜と、たとえば導電性ポリマーからなる透明導電膜の順次積層体からなる透明導電膜であってもよい。なお、前記金属酸化物としてはITOの他に、IZO(Indium Zinc Oxide)、ITZO(Indium Tin Zinc Oxide)等が知られている。これら塗布型透明導電膜は、いずれも、表面を平坦化できる透明導電膜として形成することができる。
前記画素電極PX1は、その上面に画素電極PX2を直接積層させることにより、前記スルーホールTHを通して薄膜トランジスタTFTのソース電極STと電気的に接続させる必要がなく、したがって、該スルーホールTHの近傍における光透過率の向上を図ることができるようになる。
前記画素電極PX2が形成された基板SUBの表面には、該画素電極PX2をも被って絶縁膜INが形成され、この絶縁膜INの上面に対向電極CTが形成されている。前記絶縁膜INは、前記画素電極PX2と対向電極CTの層間絶縁膜としての機能、および前記画素電極PX2と対向電極CTとの間に容量を構成する誘電体膜としての機能を有する。
前記対向電極CTが形成された基板SUBの表面には、該対向電極CTをも被って配向膜ORI1が形成されている。この配向膜ORI1は液晶LCと直接に接触する膜で、該液晶LCの分子の初期配向方向を決定させるようになっている。
なお、図1に示した構成では、画素電極PX1はスルーホールTHの形成領域を回避して形成しているが、これに限定されることはなく、該スルーホールTHを被うようにして形成してもよい。
このように構成された液晶表示装置は、画素電極PX2を塗布型透明導電膜によって形成している。このため、該画素電極PX2の表面を平坦化して形成することができる。前記反射画素部RRにおいて前記画素電極PX1の表面は凹凸を有し、前記透過画素部TRにおいて前記薄膜トランジスタTFTの表面は凹凸を有するが、前記塗布型透明導電膜からなる画素電極PX2は、これらの凹凸を吸収し表面に該凹凸を顕在化させないようにすることができる。それ故、この画素電極PXに積層させて形成する絶縁膜IN、対向電極CT、および配向膜ORI1を形成した場合でも、該配向膜ORI1の表面は凹凸が大幅に低減された平坦面とすることができる。したがって、液晶層内に発生する電界の乱れが少なくなり、表示のコントラストを向上させる効果を奏する。
図1に示した構成の場合、保護膜PAS2として塗布により形成した樹脂膜を用いている。このため、光透過部TRにおいて、その表面をある程度平坦化できるが、その上層に前記塗布型透明導電膜からなる画素電極PX2を形成することにより、その表面の平坦化を向上させることができる。
なお、図1に示した構成では、上述の保護膜PAS2を形成しているが、この保護膜PAS2はなくてもよい。塗布導電膜からなる画素電極PX2を形成することによって、液晶と接触する側の表面を平坦化することができるからである。したがって、前記保護膜PAS2を特に形成する必要がなくなり、製造工数の低減を図ることができるようになる。
また、前記塗布型透明導電膜を以下に示す膜厚に設定することにより、画素電極PX2として適切なシート抵抗および光透過率を得ることができる。
図4は、塗布型透明導電膜のシート抵抗と透過率の関係を、複数の試料(A、B、C)を用いて示したグラフである。前記グラフの縦軸は透過率(%)を、横軸はシート抵抗(Ω/□)を示している。透過率の検出に用いた光の波長λは500nmとした。また、前記各試料における特性曲線の近傍に示す数値は膜厚(μm)を示している。
ここで、前記各試料は、いずれも、電流経路が多いと伝導率は高くなり、材料の光吸収係数と膜厚の積で光吸収が決定づけられることから、膜厚の増加によってシート抵抗と透過率はともに減少する性質を有する。
そして、前記塗布型透明導電膜を上述した電極PX2として構成する場合、シート抵抗は、画像表示の駆動周波数に追随させるためにある既定値以下でなければならず、透過率は、輝度を低下させないためにある既定値以上でなければならない。このことから、塗布型透明導電膜の膜厚に対し、シート抵抗の透過率はトレードオフの関係にあり、両者が仕様を同時に満たすためには、膜厚に上限および下限が規定されることとなる。
図4に示すグラフでは、その領域のどこの個所を通過するかは前記試料の種類によって異なり、また、ある領域(ある範囲のシート抵抗とある範囲の透過率によって定まる)を限定することにより、試料とその膜厚が特定されるようになっている。図4のグラフの作成において検査した各試料は、いずれも図3(a)ないし(d)に示すものを用いており、それらは、得ようとする所望のシート抵抗および透過率の範囲によって、膜厚の範囲を設定できるようになっている。
また、図5は、塗布型透明導電膜の膜厚と平坦化率の関係を、前述した試料と同じ試料(A、B、C)を用いて示したグラフである。前記グラフの縦軸は平坦化率を、横軸は膜厚(nm)を示している。
ここで、平坦化率とは、(Rmax−Rmax)/Rmaxで示される値としている。Rmaxは下地層の最大高さ、Rmaxは塗布型透明導電膜の最大高さを示している。すなわち、平坦化率は、塗布型透明導電膜の下地層の凹凸の最大高さと該塗布型透明導電膜の表面の最大高さから算出される値で、完全な平坦化の場合は1に、平坦化効果のない場合は0となる。
平坦化率は膜厚に対しほぼ比例する関係にあるが、その比例係数は塗布型透明導電膜の種類に応じて決まる傾向がある。
このため、図4のグラフを用い、このグラフによって既定した塗布型透明導電膜の種類と膜厚により、どの程度の平坦化が実現できるかを特定することができる。また、逆に、必要な範囲の平坦化率を特定することにより、膜厚の範囲を特定することができる。
下記の表は、上記図4に示すグラフ、および図5に示すグラフに基づいて、たとえば前記電極PX2の膜厚を、用いた塗布型透明導電膜の種類に応じて、設定したものである。これにより、前記電極PX2において、所望のシート抵抗、透過率、および平坦度を得ることができた。
Figure 0005103279
まず、図1の構成に示すように、電極PX2が電極PX1に直接重畳された部分を有する場合について説明する。電極PX2が電極PX1に直接重畳された部分を有する場合、それらを合わせた画素電極としてシート抵抗が変化(減少)してしまうからである。
塗布型透明導電膜として、図3(a)に示したように、ITOの微粒子からなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0μm以上、3μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E9以下、透過率が90%以下、平坦度は0.2〜0.5にすることができた。
塗布型透明導電膜として、図3(b)に示したように、導電性ポリマーからなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0μm以上、1μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E9以下、透過率が90%以下、平坦度は0.05〜0.3にすることができた。
塗布型透明導電膜として、図3(c)、(d)に示すように、ITO微粒子と導電性ポリマーの混合材、積層体で形成した透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0μm以上、2μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E9以下、透過率が90%以下、平坦度は0.05〜0.4にすることができた。
次に、図1の構成において、反射画素部RRを設けず、透過画素部TRのみの構成とし、したがって画素電極PX1が形成されていない場合の画素電極PX2について説明する。
塗布型透明導電膜として、図3(a)に示したように、ITOの微粒子からなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0.1μm以上、3μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E5以下、透過率が90%以下、平坦度は0.1〜0.5にすることができた。
塗布型透明導電膜として、図3(b)に示したように、導電性ポリマーからなり、それをインク状にして塗布した後に、焼成を経て形成された透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0.05μm以上、1μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E5以下、透過率が90%以下、平坦度は0.01〜0.3にすることができた。
塗布型透明導電膜として、図3(c)、(d)に示すように、ITO微粒子と導電性ポリマーの混合材、積層体で形成した透明導電膜を用いた場合、その膜厚は、0.05μm以上、2μm以下とする。これにより得られる塗布型透明導電膜は、シート抵抗が1.0×10E5以下、透過率が90%以下、平坦度は0.01〜0.4にすることができた。
図6は、図1に示した液晶表示装置の製造方法の一実施例を示す工程図である。図6において、ガラスからなる基板SUBを用意し、該基板SUBを洗浄する(ST1)。前記基板SUBの液晶側の面に、ゲート信号線GL、ゲート絶縁膜GI、半導体層SEC、ドレイン信号線DL、ソース電極ST等を形成することにより、薄膜トランジスタTFTを形成する(ST2)。前記薄膜トランジスタTFTを被って前記基板SUBの面に無機絶縁膜からなる保護膜PAS1を形成する(ST3)。前記保護膜PAS1の上面に有機絶縁膜からなる保護膜PAS2を形成する。なお、この保護膜PAS2は必ずしも形成する必要はない(ST4)。たとえばAlからなる金属膜を前記保護膜PAS2の上面に形成し(ST5)、該金属膜をパターニングすることにより画素電極PX1を形成する(ST6)。塗布型透明導電膜を形成することにより画素電極PX2を形成する(ST7)。前記画素電極PX2をも被って絶縁膜INを形成する(ST8)。前記絶縁膜IN上に対向電極CTを形成する(ST9)。前記対向電極CTをも被って配向膜ORI1を形成する(ST10)。これにより、いわゆるTFT基板が完成する(ST11)。
図7は、図1、図2に示した画素を備える液晶表示装置(パネル)の構成の一実施例を示す斜視分解図である。
図7において、まず、TFT基板SUB1があり、このTFT基板SUB1の液晶側の面には、マトリックス状に複数の画素PIXが形成され、これら各画素PIXの周辺には駆動回路SCTが形成されている。前記各画素PXの上面には配向膜ORI1が形成され、この配向膜ORI1は液晶LCと直接に接触する膜となっている。前記TFT基板SUB1の前記液晶LCと反対側の面には偏光板PL1が配置されている。一方、フィルタ基板SUB2があり、このフィルタ基板SUB2の液晶側の面には、カラーフィルタCFが形成されている。前記カラーフィルタCFの上面には配向膜ORI2が形成され、この配向膜ORI2は前記液晶LCと直接に接触する膜となっている。前記フィルタ基板SUB2の前記液晶LCと反対側の面に偏光板PL2が配置されている。
このような構成において、前記配向膜ORI1、ORI2は液晶LCの分子の初期配向方向を決定する膜となっている。また、偏光板PL1、PL2は液晶LCの分子の駆動を可視化できる光学板となっている。
なお、上述した実施例では、塗布型透明導電膜は画素電極PX2を構成するようにして説明したものである。しかし、図1に示す構成において、図中画素電極PX1および画素電極PX1として示す部分を対向電極とし、図中対向電極CTとして示す部分を画素電極として構成することもできる。この場合、図中対向電極CTとして示す部分を薄膜トランジスタTFTと接続し、図中画素電極PX1および画素電極PX1として示す部分を映像信号に対して基準となる信号が供給されるようにする。この場合にあって、前記対向電極を上述した構成からなる塗布型透明導電膜で形成することができる。
図8ないし図11は、図7に示した液晶表示装置(パネル)が備えられた各種機器を示している。図8は、PC用のモニタを示し、該モニタには本発明による液晶表示装置PNLが組み込まれている。図9は、携帯電話を示し、該携帯電話には本発明による液晶表示装置PNLが組み込まれている。図10は、携帯端末を示し、該携帯端末には本発明による液晶表示装置PNLが組み込まれている。図11は、デジタルカメラを示し、該デジタルカメラには本発明による液晶表示装置PNLが組み込まれている。
本発明の液晶表示装置の画素の構成の一実施例を示す断面図である。 本発明の液晶表示装置の画素の構成の一実施例を示す平面図と等価回路図である。 本発明の液晶表示装置に用いられる塗布型透明導電膜の構成の実施例を示す説明図である。 塗布型透明導電膜のシート抵抗と透過率の関係を示すグラフである。 塗布型透明導電膜の膜厚と平坦化率の関係を示すグラフである。 本発明の液晶表示装置の製造方法の一実施例を示す工程図である。 本発明の液晶表示装置の全体を示す斜視分解図である。 本発明の液晶表示装置が適用されるPC用のモニタを示す図である。 本発明の液晶表示装置が適用される携帯電話を示す図である。 本発明の液晶表示装置が適用される携帯端末を示す図である。 本発明の液晶表示装置が適用されるデジタルカメラを示す図である。
符号の説明
GL……ゲート信号線、CL……コモン信号線、DL……ドレイン信号線、TFT……薄膜トランジスタ、PX……画素電極、PX1……画素電極(塗布型透明導電膜)、PX2……画素電極(金属膜)、CT……対向電極、TH……スルーホール、PAS1、PAS2……保護膜、IN……絶縁膜、SUB1……基板(TFT基板)、SUB2……基板(フィルタ基板)、PIX……画素、SCT……周辺回路、ORI1、ORI2……配向膜、PL1、PL2……偏光板、CF……カラーフィルタ、LC……液晶、PNL……液晶表示装置(パネル)。

Claims (1)

  1. 液晶側の基板面の各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号の供給によってオンする薄膜トランジスタと、該オンされた薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、この画素電極との間に電界を生じさせる対向電極を備え、
    前記画素領域は、反射画素部と透過画素部を有し、
    前記画素電極と対向電極のうち一方の電極は、前記薄膜トランジスタを被って形成される保護膜の上面において、前記反射画素部に形成された凹凸面を被って形成される面状の金属電極と、該金属電極をも被って前記透過画素部に形成された面状の透明電極とで構成され、
    前記画素電極と対向電極のうち他方の電極は、前記一方の電極をも被って形成された絶縁膜の上面に、前記一方の電極と重畳して並設された複数の線状の電極として構成され、
    前記一方の電極のうち前記透明電極は、塗布により形成される透明導電膜で形成されており、
    前記透明導電膜は、多層からなり、それらは、ITOの微粒子をインク状にして塗布した後に焼成を経て形成された膜、および導電性ポリマーをインク状にして塗布した後に焼成を経て形成された膜からなる
    ことを特徴とする液晶表示装置。
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