JP2004022224A - 透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法、および液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】種々の用途に対応できる透明導電膜形成用塗布液、低温焼成で所定の物性を有する透明導電膜の形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製法、および液晶表示装置の提供。
【解決手段】必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、ITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解した塗布液。スピンコート法等により、該塗布液を透明基板上に塗布し・成膜した後、低温焼成して透明導電膜を形成。該塗布液を用いて、層間絶縁膜上に画素電極を形成して液晶表示装置用薄膜トランジスタを得る。この薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置。
【選択図】 図2
【解決手段】必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、ITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解した塗布液。スピンコート法等により、該塗布液を透明基板上に塗布し・成膜した後、低温焼成して透明導電膜を形成。該塗布液を用いて、層間絶縁膜上に画素電極を形成して液晶表示装置用薄膜トランジスタを得る。この薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
【0001】
本発明は、液晶表示素子やタッチパネル、電磁波シールド材、赤外線反射膜等の各種エレクトロニクス素子の分野で好適に用いられる透明導電膜形成用塗布液、ならびにこの塗布液を用いた、透明導電膜の形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、透明導電膜は、液晶表示素子、タッチパネル、電磁波シールド材、赤外線反射膜等の分野で広く使用されている。この透明導電膜としては、錫をドープした酸化インジウム膜(ITO膜)が、優れた電気特性とエッチングによる加工の容易さから最も広く使用されている。このITO膜は、蒸着法やスパッタ法、焼成法(塗布熱分解法とも言う)等により形成されている。
【0003】
ITO透明導電膜を例えば液晶表示装置に使用する場合、この導電膜は図1に示す画素電極として用いられる。この画素電極に要求される透明導電膜の仕様は、塗膜の導電性能が1,000Ω/□以下、塗膜形成時の焼成温度が250℃以下、膜の可視光透過率が95%以上であって、さらに、表示装置の仕様にあわせて膜の形状を成膜後に任意に加工できるようなエッチング性能が要求される。
【0004】
上記ITO透明導電膜形成方法のうち、乾式法の成膜法である蒸着法およびスパッタ法は、気相中で目的物質を基板に堆積させて膜を成長させるものである。これらの方法では、成膜時に真空容器を使用するため、装置が大がかりで高価なうえ原料の使用効率が悪くて生産性が低いという問題点はあるが、低抵抗の透明導電膜を250℃以下の低温で形成することができるという利点があるので、例えば液晶表示装置で透明導線膜を形成するためには、有用な成膜技術である。
【0005】
また、焼成法によるITO透明導電膜形成方法は、スピンコート法、ディップコート法、印刷法等により被処理基板に目的物質の前駆物質を塗布し、これを焼成(熱分解)することで膜を形成するものである。この方法の場合、装置が簡単で生産性に優れ、大面積の成膜が容易であるという利点はあるが、高温での焼成処理が必要である。従って、焼成法では低温焼成という要求性能を満足することができない。
そこで、液晶表示装置の分野では、スパッタ法が、これらの要求性能を満たすITO透明導電膜の形成方法として現行の主流の手法となっている。このスパッタ法を用いる場合、液晶表示装置用ITO透明導電膜は次のようにして形成される。
【0006】
例えば、図1に示すように、ガラス等からなる透明絶縁性基板1上に、スパッタ法等によりCr、Al、Cu、Mo、Taを成膜し、フォトリソグラフィ法によりゲート電極2を形成する。次いで、プラズマCVD法等により酸化シリコンや窒化シリコン等からなるゲート絶縁膜3を全面を覆って形成する。その後、ゲート電極2に対応してゲート絶縁膜3上に分離独立してアモルファスシリコン(以下、a−Siと称す。)からなる膜4である動作層を形成し、このa−Si膜上に不純物をドープした低抵抗アモルファスシリコン(以下、n+a−Siと称す。)からなる膜5であるソース/ドレイン電極コンタクト層を形成する。このようにして順次成膜されたa−Si膜4、n+a−Si膜5を、フォトリソグラフィ法によりパターニングして半導体層を形成する。
【0007】
その後、スパッタ法等により、上記ソース電極コンタクト層およびドレイン電極コンタクト層のそれぞれにコンタクトするソース電極およびドレイン電極を、Cr、Al、Cu、Mo、Taを成膜することにより形成し、フォトリソグラフィ法により、半導体層のソース電極6、ドレイン電極7およびチャンネル部8を形成して薄膜トランジスター(TFT)を形成する。
さらに、TFTによる段差部を無くし、表面が平坦化されるように、感光性のアクリル系透明樹脂等をスピンコート法等により塗布・焼成して層間絶縁膜9である平坦化膜を形成した後、フォトリソグラフィ法による露光・現像処理にてドレイン電極7の表面の一部が露出するようにコンタクトホール部10を形成する。
【0008】
最後に、スパッタ法を用い、基板表面温度を所定温度(例えば、200℃)に設定して酸化インジウムと酸化スズからなるITO透明導電膜を所定の膜厚(例えば、1000Å)に成膜し、所定の温度(例えば、230℃)に一定時間(例えば、60分)保持して熱処理を行う。次いで、フォトリソグラフィ法によりパターニングして画素電極11を形成し、液晶表示装置TFTアレイ基板を得る。画素電極11はコンタクトホール部10のコンタクト面で、ドレイン電極7と電気的に接続されている。
従来技術では、以上のようにして液晶表示装置用薄膜トランジスタを製造し、これと対向基板とを組み合わせ、両基板で液晶材料を挟持して液晶表示装置を得ている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置用途において現行の主流の透明導電膜形成方法となっているスパッタ法には、上記したように、装置が大がかりで高価なうえ原料の使用効率が悪くて生産性が低いという問題点がある。そのため、装置が簡単で生産性に優れ、大面積の成膜が容易であるという焼成法の利点を活かすべく、焼成法によるITO透明導電膜形成方法について種々の提案がなされている。
しかし、焼成法の場合、所望の導電性能を確保するためには、焼成時に400℃から500℃の高温処理を必要とするので、250℃以上の耐熱性能が無い液晶表示装置用途には使用できないという問題点がある。
【0010】
そこで、200℃程度の低温で導電性能を確保した塗膜を形成する手法として、例えば、特開2001−2954号公報に記載されているように、インジウムの有機酸化合物および有機錫化合物を溶解した有機溶媒を使用した技術が提案されている。この場合、200℃程度の焼成温度で、密着性能に優れた塗膜が得られるが、焼成温度が200℃程度という低温で得られた透明導電膜の導電性能はシート抵抗値として100,000Ω/□となり、画素電極として必要な1,000Ω/□以下の導電性能を確保した塗膜を得ることができないという問題がある。
【0011】
さらに、特開平9−86967号公報および特開2001−332123号公報には、250℃以下の低温で1,000Ω/□以下のシート抵抗値を有する塗膜を得る手法が記載されている。すなわち、予め350℃以上の高温で焼成処理を施したITO微粒子がシリケートマトリックス中に分散した膜を200℃以下で形成する技術が提案されている。しかし、この成膜技術では、基板への密着剤としてシリケート剤が添加されており、塗膜のエッチング等によるパターンニングが困難であり、液晶表示素子等の用途には適していない。また、この手法により、シリケートを含有しないITO微粒子のみで成膜した場合は、いわばITO微粒子が基板にただ乗った状態の薄膜となるに過ぎない。下地の基板と粒子との密着および粒子間の接合を確保する物質が無いため、導電性能および密着性が確保されない薄膜となる。
【0012】
液晶表示装置の画素電極として使用可能なITO透明導電性薄膜を製造するには、薄膜を構成するITOの結晶粒界を十分に成長させる必要がある。導電性能の確保に必要な条件として、高温が有利な理由は、高温になるにつれてITOの結晶粒界が十分に成長するためと推察される。従って、画素電極として必要な1,000Ω/□以下という導電性能を得るには、ITO粒子あるいは薄膜の製造時に350℃以上、好ましくは500℃以上の加熱処理を施す必要があり、この理由の一つに、ITO物質の結晶粒界の成長が挙げられる。一般には、ITO材料の製造時の焼成温度が高いほど、高い導電性が発現されることが知られている。
【0013】
本発明の課題は、以上のような従来技術の問題点を解消するものであり、広範な種類の基板を使用することができると共に、種々の用途に対応できる広範な濃度範囲で容易に調製することができる透明導電膜形成用塗布液、250℃程度以下の低温での焼成でも所望の物性を有する透明導電膜を形成できる透明導電膜形成方法、ならびにこの塗布液を用いた、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記したように、液晶表示装置等の画素電極として使用可能なITO透明導電膜には、形成された膜の導電性能が1,000Ω/□以下であること、その膜の可視光透過率が95%以上であること、また、適用する液晶表示装置等の仕様にあわせて膜の形状を成膜後に任意に加工できるようなエッチング性能が要求されること、さらに、膜形成時の焼成温度が250℃以下であることが必要である。
【0015】
本発明者らは、これらの要求性能を達成するには、要求導電性能を発現する十分な大きさの結晶粒界を確保したITO透明導電薄膜を作製すればよいことから、従来技術の問題点の解決を図るべく、鋭意、研究開発を行ってきた。その結果、所望の導電性能を確保するためには、特定のITO超微粒子粉末、すなわち、インジウムと錫より形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を350℃以上、望ましくは500℃以上で焼成して十分に結晶粒界を成長させたITO超微粒子粉末を用いることにより、また、基板と導電薄膜との密着性能およびITO超微粒子の結晶粒界同士の接合を確保するためには、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機溶媒中に溶解した有機金属ITO溶液中に、上記のように焼成して得られたITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなる混合型の透明導電膜形成用塗布液を調製することにより、従来技術の問題点の解決が図れるという新たな知見を得、本発明を完成させるに至った。
【0016】
本発明の透明導電膜形成用塗布液は、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成される複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなることを特徴とする。
この超微粒子粉末がITO複合酸化物を350〜800℃で焼成して結晶粒界を成長させたITO超微粒子粉末であることが好ましい。350℃未満だと、粒子径は小さくなるが、十分な結晶化が行われず、また、800℃を超えると粒子の成長が著しくなり、粒径が大きくなりすぎる。
【0017】
本発明の透明導電膜形成方法は、上記透明導電膜形成用塗布液を透明基板上に塗布して成膜し、次いで200〜250℃で焼成し、透明導電膜を形成することを特徴とする。250℃を超えると、例えば、液晶表示装置用薄膜トランジスタを製造する際に、層間絶縁膜が熱分解されて、熱分解生成物が生じたり、熱分解により層間絶縁膜に変色が生じて透過率の低下を招く等の問題が生じる。また、200℃未満だと透明導電膜の所望の導電性能が発揮できない。
【0018】
透明導電膜形成用塗布液の透明基板上への塗布は、スピンコート法またはインクジェット法により行われることが好ましい。
透明基板は、ガラスまたは合成樹脂からなる基板であることが好ましい。
上記形成方法で得られた透明導電膜の比抵抗値は0.5Ω・cm以下であり、その基板への密着性能はセバスチャン法により2kgf/mm2以上であり、また、その正味の可視光透過率は95%以上である。
【0019】
本発明の液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法は、透明基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、ならびにソース電極およびドレイン電極を順次設けて薄膜トランジスタを形成する工程と、該透明基板上に該薄膜トランジスタ領域に起因する段差部をなくすように表面が平坦化された透明樹脂からなる層間絶縁膜を形成する工程と、該層間絶縁膜のドレイン電極上部にコンタクトホール部を設け、該コンタクトホールを介して下部のドレイン電極と電気的に接続されるように該層間絶縁膜上に透明導電膜からなる画素電極を形成する工程とからなる液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法において、該透明導電膜を、上記透明導電膜形成方法により形成することを特徴とする。
【0020】
本発明の液晶表示装置は、上記方法で製造された薄膜トランジスタがゲート配線とソース配線との交差部近傍に形成されてなる透明基板と、該透明基板と共に液晶を挟持する対向基板であって、少なくとも対向電極およびカラーフィルタが設けられた対向電極とを備えていることを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態についてさらに詳細に説明する。
最初に、本発明の透明導電膜形成用塗布液および透明導電膜の形成方法について説明する。
本発明の塗布液は、以下述べるように、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機アミンの存在下に溶解した有機溶媒(有機金属ITO溶液)中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解したものである。
【0022】
インジウムの有機化合物としては、例えば、有機酸化合物のギ酸インジウム、酢酸インジウムが挙げられる。また、有機インジウム化合物のインジウム(III)アセチルアセトナート等を用いることができる。
錫の有機化合物としては、例えば、有機錫化合物のt−ブトキシ錫、n−ブトキシ錫等の錫アルコキシド等が、また、有機酸化合物の酢酸錫(IV)等の化合物を用いることができる。
インジウムの有機化合物および錫の有機化合物の配合割合は、インジウム有機化合物の添加量が、塗布液中のインジウムと錫との元素含有比率で50:1〜8:1となるように添加すればよい。
【0023】
上記インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機溶媒に溶解する際、有機アミンの存在下で溶解する。この有機アミンは、インジウムの有機化合物を各種溶媒に対して溶解し易くするために使用される。有機アミンとしては、特に制限されるものではなく、各種有機アミンを使用することができる。例えば、ジヘキシルアミン、n−ブチルアミン、ジ−n−ブチルアミン、およびジエチルアミン等のアルキルアミン、ポリオキシアルキレンアミン類(サンテクノケミカル株式会社製)等の有機アミンを使用することができる。これらの有機アミンは、単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。この有機アミンの添加量としては、インジウムの有機化合物を満足に溶解し得る範囲内であって、得られる塗布液の安定性を満足し得る範囲内であればよい。この好ましい添加量は、例えば、インジウムに対して0.5〜5当量であればよい。
【0024】
有機溶媒としては、有機アミンの存在下、インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解し、かつ、塗布液の使用時(加熱処理時)にこれらの化合物と反応し難いものであればよい。例えば、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類や、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類や、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール等のアルキルエーテル類や、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン等のケトン類や、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類やジメチルスルホキシド等のスルホキシド類等を使用することができる。これらの溶媒は単独でも、2種以上の混合溶媒として使用してもよい。
【0025】
本発明の塗布液中に配合されるインジウムと錫とから形成される複合酸化物のITO超微粒子粉末は、例えば、以下のようにして調製される。
塩化インジウム、硝酸インジウム、硫酸インジウム、酢酸インジウム、シュウ酸インジウム等のインジウム塩の水溶液と、塩化錫、硝酸錫、硫酸錫、酢酸錫、シュウ酸錫等の錫塩の水溶液とからなる混合水溶液を所定の温度に保持し、この混合水溶液と所定温度に保持されたアンモニウム化合物やアルカリ金属化合物等のアルカリ水溶液とを混合し、所定のpHで所定時間共沈反応を行い、水酸化物を沈殿させる。この時の錫の添加量は、インジウムと錫との元素含有比率で100:1〜10:1となるように添加すればよい。その後、所望により沈殿物をイオン交換水により繰返し傾斜洗浄し、上澄み液の電気伝導度が所定の値以下になった時点で、沈殿したインジウム、錫の共沈水酸化物を濾別する。次いで、この共沈水酸化物ケーキを大気中で350〜800℃、好ましくは500〜800℃の温度で焼成処理し、ITO超微粒子粉末を調製する。焼成後の粒子は凝集しているので、粉砕してその凝集粒子をほぐすことが好ましい。
【0026】
上記共沈反応において、反応温度は一般に25〜70℃であり、反応時間は反応温度に依存するが、一般に30〜120分間である。
なお、上記複合酸化物であるITO超微粒子の一部を透明で導電性を有する公知の化合物で置換してもよい。これらの化合物として、例えば、アンチモン添加酸化錫(ATO)、アルミニウム添加酸化亜鉛、フッ素添加酸化インジウム/酸化錫/酸化亜鉛/ITO/ATO等を使用することができる。
【0027】
次いで、上記したようにして調製された導電性ITO超微粒子粉末を、先に調製した有機金属ITO溶液中で、粉砕して、微粉末の凝集をほぐし、溶解することにより、高温で焼成したITO超微粒子粉末を含有した有機金属ITO溶液を調製する。
なお、塗布液中のITO超微粒子粉末および有機金属ITOの含有割合は、任意に調節が可能である。例えば、ITO超微粒子粉末と有機金属ITOとの混合比率に関しては、ITO粉末に対して、2〜10%相当、好ましくは4〜6%相当の重量のインジウム量を含む有機金属ITOを添加すればよい。
【0028】
本発明の透明導電膜の形成方法によれば、まず、上記のようにして調製した塗布液を、無アルカリガラス等のガラスや、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリアリールスルホン、ポリアリーレンスルフィド等の透明な合成樹脂等からなる透明絶縁性基板上に、スピンコート法やインクジェット法等の公知の塗布方法により、焼成後の膜厚が所定の厚さになるように塗布し、好ましくは、大気中で所定の温度で乾燥して成膜する。その後、好ましくは大気中で所定の温度(250℃以下)で所定の時間焼成し、透明導電性薄膜を得る。かくして得られた透明導電膜の比抵抗値は0.5Ω・cm以下であり、膜の基板に対する密着性能はセバスチャン法により2kgf/mm2以上であり、膜の正味の可視光透過率は95%以上である。
【0029】
以下、図1を参照して、上記透明導電膜形成用塗布液を用いた液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置について説明する。
図1は、TFTアレイ基板の製造方法を説明するための概略の構成断面図である。図1において、1はガラス、透明樹脂等からなる透明絶縁性基板であり、2はゲート電極であり、3はゲート絶縁膜であり、4はa−Si膜であり、5はn+a−Si膜であり、6はソース電極であり、7はドレイン電極であり、8はチャネル部であり、9は層間絶縁膜であり、10はコンタクトホール部であり、11は画素電極である。
【0030】
まず、透明絶縁性基板1に、スパッタリング法等によりCr等を成膜し、フォトリソグラフィ法にてゲート電極2を形成する。次いで、プラズマCVD法等により酸化シリコンや窒化シリコンからなるゲート絶縁膜3を全面を覆って形成する。その後、ゲート電極2に対応してゲート絶縁膜3上に分離独立してa−Si膜4、不純物をドープした低抵抗n+a−Si膜5を順次成膜し、フォトリソグラフィ法を用いてa−Si膜4、n+a−Si膜5をパターニングして半導体層を形成する。
その後、スパッタリング法等により、Cr等を成膜し、フォトリソグラフィ法により、半導体層のソース電極6、ドレイン電極7、チャネル部8を形成して薄膜トランジスター(TFT)を形成する。
【0031】
さらに、TFTによる段差部を無くし、表面が平坦化されるように、感光性のアクリル系透明樹脂等をスピンコート法等により塗布・焼成して層間絶縁膜9である平坦化膜を形成した後、フォトリソグラフィ法による露光・現像処理にてドレイン電極7の表面の一部が露出するようにコンタクトホール部10を形成する。
最後に、基板表面温度を25℃に設定して、上記の塗布液をスピンコート法、インクジェット法により塗布し、所定の膜厚約100〜200nmの透明導電膜を形成する。次いで、200〜250℃に所定の時間保持して熱処理を行った後、フォトリソグラフィ法によりパターニングして画素電極11を形成し、所望の液晶表示装置TFTアレイ基板を得る。
【0032】
この画素電極11はコンタクトホール部10のコンタクト面でドレイン電極7と電気的に接続されている。このようにしてえられたTFTアレイのコンタクト面における画素電極11とドレイン電極7とのコンタクトシート抵抗値は、以下の表2および図2に示すように、所定の範囲内に入っている。
この実施の形態でゲート電極2としてCrを、またソース電極6、ドレイン電極7としてCrを用いたが、これに限定されることなく、例えば、Al、Cu、Mo、Ta等およびこれらの少なくとも二つの金属を含む合金から選ばれる少なくとも一つの材料を用いてもよい。これらの材料を用いると、シート抵抗値が1,000Ω/□以下の低抵抗な電極および配線が実現できるので好ましい。
【0033】
また、ゲート電極2、ソース電極6、ドレイン電極7は、全て同じ金属材料で構成されている必要はなく、該金属材料の中から選ばれる異なる金属を組み合わせて用いてもよい。このような材料の組み合わせにおいても、本発明の実施の形態によれば、コンタクト面におけるコンタクトシート抵抗値として低い値が実現できる。
以上のようにして形成されたTFTアレイ基板と、従来と同様の対向基板とを組み合わせ、両基板で液晶材料を挟持して液晶表示装置を製造することができる。TFTアレイ基板には従来技術の場合と同様にゲート配線およびソース配線が設けられ、このTFTが、ゲート配線とソース配線の交差部近傍に形成されている。また、対向基板には対向電極やカラーフィルタが設けられている。
なお、前述した実施の形態では、半導体層としてアモルファスシリコンを用いた場合を示したが、多結晶シリコンであってもよい。
【0034】
【実施例】
以下、実施例および比較例により本発明の透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜形成方法についてさらに詳細に説明する。
(実施例1)
ITO超微粒子粉末および有機金属ITO化合物(有機インジウム化合物および有機錫化合物)を含有した混合型有機ITO塗布液の調製法の一例を下記に示す。
まず、有機金属ITO溶液を次の条件により調製した。
【0035】
酢酸インジウム(5.00g)およびジヘキシルアミン(4.76g)を、DMF(45.00g)およびn−ブチルカルビトール(関東化学製)(9.98g)の混合溶媒(有機アミン量はインジウムに対して1.0当量)に分散させ、80℃で2時間加熱撹拌して透明溶液を得た。この溶液を室温まで冷却した後、t−ブトキシ錫(IV)(0.76g)を加えて、インジウムの有機酸化合物および有機錫化合物を溶解した有機溶媒液を調製した。t−ブトキシ錫(IV)の添加量は、塗布液中のインジウムと錫の元素含有比率が9:1となるように添加し、インジウム濃度が3%となる有機金属ITO溶液を調製した。
【0036】
一方、ITO超微粒子粉末を次の条件により調製した。
InCl3水溶液(InCl3として217.00g含有)590.0gと、SnCl4水溶液(SnCl4として2.605g含有)3.157gとを混合し、温度25℃に保持した。このとき、Snの添加量はIn、Snの総モル数に対してSn0.5モル%であった。次いで、この混合水溶液を温度25℃に保持した6.25%のNH3aq1リットル中に滴下し、最終pHが9となるように混合し、40分間共沈反応させた。その後、沈殿物をイオン交換水により繰返し傾斜洗浄を行った。次に、上澄み液の電気伝導度が0.5mS/cm以下になったところで、沈殿したIn、Snの共沈水酸化物を濾別した。更に、この共沈水酸化物ケーキを500℃で2時間焼成し、導電性ITO超微粒子凝集体を得た。この導電性ITO超微粒子凝集体を粉砕してほぐすことにより、導電性ITO超微粒子粉末を得た。
【0037】
かくして得られた導電性ITO超微粒子粉末を、先に調製した有機金属ITO溶液中で粉砕し、さらに微粉末の凝集をほぐすことにより、高温で焼成したITO超微粒子を含有した有機金属ITO溶液を調製した。
なお、塗布液中のITO超微粒子粉末と有機金属ITOとの含有割合は、任意に制御が可能である。本実施例では、表1に示したように、ITO超微粒子の濃度を30%とし、有機金属ITOの添加量を変化させた種々の混合型透明導電膜形成用塗布液(有機ITO溶液)を調製した。
【0038】
(表1)混合型透明導電膜形成用塗布液(有機金属ITO溶液)の構成
【0039】
(実施例2)
本実施例では、実施例1で調製したITO超微粒子粉末含有の有機金属ITO溶液の塗膜評価についての一例を示す。
表1に記載の5種類の塗布液を、洗浄した無アルカリガラス基板上に、スピンコート法により、焼成後の膜厚が300nmになるような条件で塗布し、室温で10分間乾燥させた。その後、大気中で、200℃、250℃、350℃、450℃の各温度条件で40分間熱処理して透明導電膜を得た。得られた導電性薄膜の物性を評価した。導電性薄膜の評価のうち、導電性能は四探針法(ロレスターEP MCP−T360)により、基板との密着性能はセバスチャン法(Quad Group Sebastian V)により、可視光透過率は分光光度計(日立製作所 U−3500)により評価した。250℃で焼成して得た薄膜についての評価結果を表2に示す。
【0040】
(表2)透明導電薄膜の評価結果(250℃焼成)
【0041】
表2から明らかなように、本発明の塗布液を用いた場合は、ITO粉末のみ、有機金属ITOのみの場合と比較して、導電性能の大幅な向上が確認できた。特に、混合型3の混合比において、600Ω/□という優れた導電性能を有している。この透明導電膜の膜厚を走査型電子顕微鏡像により評価したところ、約200nmであった。これより、この透明導電膜の比抵抗値は0.01Ω・cmであり、透過率、密着性能も十分確保された透明導電膜が得られていることが分かる。
【0042】
上記5種類の塗布液を用い、上記各温度で焼成した薄膜について、焼成温度と導電性能(シート抵抗)との関係を図2に示す。図2から明らかなように、導電性能は焼成温度に依存することが明らかである。
なお、上記のようにして成膜された導電性薄膜は、液晶表示装置の仕様にあわせて膜の形状をエッチングにより任意に加工できる。
【0043】
【発明の効果】
本発明の透明導電膜形成用塗布液によれば、インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解して得られるので、種々の用途に対応できる広範な濃度範囲で容易に調製することができる。
本発明の透明導電膜の形成方法によれば、上記塗布液を用いるので、スピンコート法またはインクジェット法等により塗布でき、200〜250℃の低温での焼成でも所望の物性を有する透明導電膜を形成できる。
【0044】
本発明の液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法によれば、上記塗布液を用いて透明導電膜を作製し、画素電極とするので、液晶表示装置の要求性能を満足する薄膜トランジスタを製造することができる。
本発明の液晶表示装置によれば、上記塗布液を用いて形成した透明導電膜からなる画素電極を備えているので、比抵抗値、基板との密着性能、可視光透過率を満足する要求性能が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】画素電極を設けた薄膜トランジスタの構造を説明するための断面図。
【図2】本発明の方法に従って得られた導電性薄膜についての、焼成温度と導電性能との関係を比較例と共に示すグラフ。
【符号の説明】
1 基板 2 ゲート電極
3 ゲート絶縁膜 4 a−Si膜
5 n+a−Si膜 6 ソース電極
7 ドレイン電極 8 チャンネル部
9 層間絶縁膜(平坦化膜) 10 コンタクトホール部
11 画素電極
【0001】
本発明は、液晶表示素子やタッチパネル、電磁波シールド材、赤外線反射膜等の各種エレクトロニクス素子の分野で好適に用いられる透明導電膜形成用塗布液、ならびにこの塗布液を用いた、透明導電膜の形成方法、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、透明導電膜は、液晶表示素子、タッチパネル、電磁波シールド材、赤外線反射膜等の分野で広く使用されている。この透明導電膜としては、錫をドープした酸化インジウム膜(ITO膜)が、優れた電気特性とエッチングによる加工の容易さから最も広く使用されている。このITO膜は、蒸着法やスパッタ法、焼成法(塗布熱分解法とも言う)等により形成されている。
【0003】
ITO透明導電膜を例えば液晶表示装置に使用する場合、この導電膜は図1に示す画素電極として用いられる。この画素電極に要求される透明導電膜の仕様は、塗膜の導電性能が1,000Ω/□以下、塗膜形成時の焼成温度が250℃以下、膜の可視光透過率が95%以上であって、さらに、表示装置の仕様にあわせて膜の形状を成膜後に任意に加工できるようなエッチング性能が要求される。
【0004】
上記ITO透明導電膜形成方法のうち、乾式法の成膜法である蒸着法およびスパッタ法は、気相中で目的物質を基板に堆積させて膜を成長させるものである。これらの方法では、成膜時に真空容器を使用するため、装置が大がかりで高価なうえ原料の使用効率が悪くて生産性が低いという問題点はあるが、低抵抗の透明導電膜を250℃以下の低温で形成することができるという利点があるので、例えば液晶表示装置で透明導線膜を形成するためには、有用な成膜技術である。
【0005】
また、焼成法によるITO透明導電膜形成方法は、スピンコート法、ディップコート法、印刷法等により被処理基板に目的物質の前駆物質を塗布し、これを焼成(熱分解)することで膜を形成するものである。この方法の場合、装置が簡単で生産性に優れ、大面積の成膜が容易であるという利点はあるが、高温での焼成処理が必要である。従って、焼成法では低温焼成という要求性能を満足することができない。
そこで、液晶表示装置の分野では、スパッタ法が、これらの要求性能を満たすITO透明導電膜の形成方法として現行の主流の手法となっている。このスパッタ法を用いる場合、液晶表示装置用ITO透明導電膜は次のようにして形成される。
【0006】
例えば、図1に示すように、ガラス等からなる透明絶縁性基板1上に、スパッタ法等によりCr、Al、Cu、Mo、Taを成膜し、フォトリソグラフィ法によりゲート電極2を形成する。次いで、プラズマCVD法等により酸化シリコンや窒化シリコン等からなるゲート絶縁膜3を全面を覆って形成する。その後、ゲート電極2に対応してゲート絶縁膜3上に分離独立してアモルファスシリコン(以下、a−Siと称す。)からなる膜4である動作層を形成し、このa−Si膜上に不純物をドープした低抵抗アモルファスシリコン(以下、n+a−Siと称す。)からなる膜5であるソース/ドレイン電極コンタクト層を形成する。このようにして順次成膜されたa−Si膜4、n+a−Si膜5を、フォトリソグラフィ法によりパターニングして半導体層を形成する。
【0007】
その後、スパッタ法等により、上記ソース電極コンタクト層およびドレイン電極コンタクト層のそれぞれにコンタクトするソース電極およびドレイン電極を、Cr、Al、Cu、Mo、Taを成膜することにより形成し、フォトリソグラフィ法により、半導体層のソース電極6、ドレイン電極7およびチャンネル部8を形成して薄膜トランジスター(TFT)を形成する。
さらに、TFTによる段差部を無くし、表面が平坦化されるように、感光性のアクリル系透明樹脂等をスピンコート法等により塗布・焼成して層間絶縁膜9である平坦化膜を形成した後、フォトリソグラフィ法による露光・現像処理にてドレイン電極7の表面の一部が露出するようにコンタクトホール部10を形成する。
【0008】
最後に、スパッタ法を用い、基板表面温度を所定温度(例えば、200℃)に設定して酸化インジウムと酸化スズからなるITO透明導電膜を所定の膜厚(例えば、1000Å)に成膜し、所定の温度(例えば、230℃)に一定時間(例えば、60分)保持して熱処理を行う。次いで、フォトリソグラフィ法によりパターニングして画素電極11を形成し、液晶表示装置TFTアレイ基板を得る。画素電極11はコンタクトホール部10のコンタクト面で、ドレイン電極7と電気的に接続されている。
従来技術では、以上のようにして液晶表示装置用薄膜トランジスタを製造し、これと対向基板とを組み合わせ、両基板で液晶材料を挟持して液晶表示装置を得ている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置用途において現行の主流の透明導電膜形成方法となっているスパッタ法には、上記したように、装置が大がかりで高価なうえ原料の使用効率が悪くて生産性が低いという問題点がある。そのため、装置が簡単で生産性に優れ、大面積の成膜が容易であるという焼成法の利点を活かすべく、焼成法によるITO透明導電膜形成方法について種々の提案がなされている。
しかし、焼成法の場合、所望の導電性能を確保するためには、焼成時に400℃から500℃の高温処理を必要とするので、250℃以上の耐熱性能が無い液晶表示装置用途には使用できないという問題点がある。
【0010】
そこで、200℃程度の低温で導電性能を確保した塗膜を形成する手法として、例えば、特開2001−2954号公報に記載されているように、インジウムの有機酸化合物および有機錫化合物を溶解した有機溶媒を使用した技術が提案されている。この場合、200℃程度の焼成温度で、密着性能に優れた塗膜が得られるが、焼成温度が200℃程度という低温で得られた透明導電膜の導電性能はシート抵抗値として100,000Ω/□となり、画素電極として必要な1,000Ω/□以下の導電性能を確保した塗膜を得ることができないという問題がある。
【0011】
さらに、特開平9−86967号公報および特開2001−332123号公報には、250℃以下の低温で1,000Ω/□以下のシート抵抗値を有する塗膜を得る手法が記載されている。すなわち、予め350℃以上の高温で焼成処理を施したITO微粒子がシリケートマトリックス中に分散した膜を200℃以下で形成する技術が提案されている。しかし、この成膜技術では、基板への密着剤としてシリケート剤が添加されており、塗膜のエッチング等によるパターンニングが困難であり、液晶表示素子等の用途には適していない。また、この手法により、シリケートを含有しないITO微粒子のみで成膜した場合は、いわばITO微粒子が基板にただ乗った状態の薄膜となるに過ぎない。下地の基板と粒子との密着および粒子間の接合を確保する物質が無いため、導電性能および密着性が確保されない薄膜となる。
【0012】
液晶表示装置の画素電極として使用可能なITO透明導電性薄膜を製造するには、薄膜を構成するITOの結晶粒界を十分に成長させる必要がある。導電性能の確保に必要な条件として、高温が有利な理由は、高温になるにつれてITOの結晶粒界が十分に成長するためと推察される。従って、画素電極として必要な1,000Ω/□以下という導電性能を得るには、ITO粒子あるいは薄膜の製造時に350℃以上、好ましくは500℃以上の加熱処理を施す必要があり、この理由の一つに、ITO物質の結晶粒界の成長が挙げられる。一般には、ITO材料の製造時の焼成温度が高いほど、高い導電性が発現されることが知られている。
【0013】
本発明の課題は、以上のような従来技術の問題点を解消するものであり、広範な種類の基板を使用することができると共に、種々の用途に対応できる広範な濃度範囲で容易に調製することができる透明導電膜形成用塗布液、250℃程度以下の低温での焼成でも所望の物性を有する透明導電膜を形成できる透明導電膜形成方法、ならびにこの塗布液を用いた、液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記したように、液晶表示装置等の画素電極として使用可能なITO透明導電膜には、形成された膜の導電性能が1,000Ω/□以下であること、その膜の可視光透過率が95%以上であること、また、適用する液晶表示装置等の仕様にあわせて膜の形状を成膜後に任意に加工できるようなエッチング性能が要求されること、さらに、膜形成時の焼成温度が250℃以下であることが必要である。
【0015】
本発明者らは、これらの要求性能を達成するには、要求導電性能を発現する十分な大きさの結晶粒界を確保したITO透明導電薄膜を作製すればよいことから、従来技術の問題点の解決を図るべく、鋭意、研究開発を行ってきた。その結果、所望の導電性能を確保するためには、特定のITO超微粒子粉末、すなわち、インジウムと錫より形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を350℃以上、望ましくは500℃以上で焼成して十分に結晶粒界を成長させたITO超微粒子粉末を用いることにより、また、基板と導電薄膜との密着性能およびITO超微粒子の結晶粒界同士の接合を確保するためには、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機溶媒中に溶解した有機金属ITO溶液中に、上記のように焼成して得られたITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなる混合型の透明導電膜形成用塗布液を調製することにより、従来技術の問題点の解決が図れるという新たな知見を得、本発明を完成させるに至った。
【0016】
本発明の透明導電膜形成用塗布液は、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成される複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなることを特徴とする。
この超微粒子粉末がITO複合酸化物を350〜800℃で焼成して結晶粒界を成長させたITO超微粒子粉末であることが好ましい。350℃未満だと、粒子径は小さくなるが、十分な結晶化が行われず、また、800℃を超えると粒子の成長が著しくなり、粒径が大きくなりすぎる。
【0017】
本発明の透明導電膜形成方法は、上記透明導電膜形成用塗布液を透明基板上に塗布して成膜し、次いで200〜250℃で焼成し、透明導電膜を形成することを特徴とする。250℃を超えると、例えば、液晶表示装置用薄膜トランジスタを製造する際に、層間絶縁膜が熱分解されて、熱分解生成物が生じたり、熱分解により層間絶縁膜に変色が生じて透過率の低下を招く等の問題が生じる。また、200℃未満だと透明導電膜の所望の導電性能が発揮できない。
【0018】
透明導電膜形成用塗布液の透明基板上への塗布は、スピンコート法またはインクジェット法により行われることが好ましい。
透明基板は、ガラスまたは合成樹脂からなる基板であることが好ましい。
上記形成方法で得られた透明導電膜の比抵抗値は0.5Ω・cm以下であり、その基板への密着性能はセバスチャン法により2kgf/mm2以上であり、また、その正味の可視光透過率は95%以上である。
【0019】
本発明の液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法は、透明基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、ならびにソース電極およびドレイン電極を順次設けて薄膜トランジスタを形成する工程と、該透明基板上に該薄膜トランジスタ領域に起因する段差部をなくすように表面が平坦化された透明樹脂からなる層間絶縁膜を形成する工程と、該層間絶縁膜のドレイン電極上部にコンタクトホール部を設け、該コンタクトホールを介して下部のドレイン電極と電気的に接続されるように該層間絶縁膜上に透明導電膜からなる画素電極を形成する工程とからなる液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法において、該透明導電膜を、上記透明導電膜形成方法により形成することを特徴とする。
【0020】
本発明の液晶表示装置は、上記方法で製造された薄膜トランジスタがゲート配線とソース配線との交差部近傍に形成されてなる透明基板と、該透明基板と共に液晶を挟持する対向基板であって、少なくとも対向電極およびカラーフィルタが設けられた対向電極とを備えていることを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態についてさらに詳細に説明する。
最初に、本発明の透明導電膜形成用塗布液および透明導電膜の形成方法について説明する。
本発明の塗布液は、以下述べるように、必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機アミンの存在下に溶解した有機溶媒(有機金属ITO溶液)中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解したものである。
【0022】
インジウムの有機化合物としては、例えば、有機酸化合物のギ酸インジウム、酢酸インジウムが挙げられる。また、有機インジウム化合物のインジウム(III)アセチルアセトナート等を用いることができる。
錫の有機化合物としては、例えば、有機錫化合物のt−ブトキシ錫、n−ブトキシ錫等の錫アルコキシド等が、また、有機酸化合物の酢酸錫(IV)等の化合物を用いることができる。
インジウムの有機化合物および錫の有機化合物の配合割合は、インジウム有機化合物の添加量が、塗布液中のインジウムと錫との元素含有比率で50:1〜8:1となるように添加すればよい。
【0023】
上記インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を有機溶媒に溶解する際、有機アミンの存在下で溶解する。この有機アミンは、インジウムの有機化合物を各種溶媒に対して溶解し易くするために使用される。有機アミンとしては、特に制限されるものではなく、各種有機アミンを使用することができる。例えば、ジヘキシルアミン、n−ブチルアミン、ジ−n−ブチルアミン、およびジエチルアミン等のアルキルアミン、ポリオキシアルキレンアミン類(サンテクノケミカル株式会社製)等の有機アミンを使用することができる。これらの有機アミンは、単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。この有機アミンの添加量としては、インジウムの有機化合物を満足に溶解し得る範囲内であって、得られる塗布液の安定性を満足し得る範囲内であればよい。この好ましい添加量は、例えば、インジウムに対して0.5〜5当量であればよい。
【0024】
有機溶媒としては、有機アミンの存在下、インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解し、かつ、塗布液の使用時(加熱処理時)にこれらの化合物と反応し難いものであればよい。例えば、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類や、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類や、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール等のアルキルエーテル類や、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン等のケトン類や、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類やジメチルスルホキシド等のスルホキシド類等を使用することができる。これらの溶媒は単独でも、2種以上の混合溶媒として使用してもよい。
【0025】
本発明の塗布液中に配合されるインジウムと錫とから形成される複合酸化物のITO超微粒子粉末は、例えば、以下のようにして調製される。
塩化インジウム、硝酸インジウム、硫酸インジウム、酢酸インジウム、シュウ酸インジウム等のインジウム塩の水溶液と、塩化錫、硝酸錫、硫酸錫、酢酸錫、シュウ酸錫等の錫塩の水溶液とからなる混合水溶液を所定の温度に保持し、この混合水溶液と所定温度に保持されたアンモニウム化合物やアルカリ金属化合物等のアルカリ水溶液とを混合し、所定のpHで所定時間共沈反応を行い、水酸化物を沈殿させる。この時の錫の添加量は、インジウムと錫との元素含有比率で100:1〜10:1となるように添加すればよい。その後、所望により沈殿物をイオン交換水により繰返し傾斜洗浄し、上澄み液の電気伝導度が所定の値以下になった時点で、沈殿したインジウム、錫の共沈水酸化物を濾別する。次いで、この共沈水酸化物ケーキを大気中で350〜800℃、好ましくは500〜800℃の温度で焼成処理し、ITO超微粒子粉末を調製する。焼成後の粒子は凝集しているので、粉砕してその凝集粒子をほぐすことが好ましい。
【0026】
上記共沈反応において、反応温度は一般に25〜70℃であり、反応時間は反応温度に依存するが、一般に30〜120分間である。
なお、上記複合酸化物であるITO超微粒子の一部を透明で導電性を有する公知の化合物で置換してもよい。これらの化合物として、例えば、アンチモン添加酸化錫(ATO)、アルミニウム添加酸化亜鉛、フッ素添加酸化インジウム/酸化錫/酸化亜鉛/ITO/ATO等を使用することができる。
【0027】
次いで、上記したようにして調製された導電性ITO超微粒子粉末を、先に調製した有機金属ITO溶液中で、粉砕して、微粉末の凝集をほぐし、溶解することにより、高温で焼成したITO超微粒子粉末を含有した有機金属ITO溶液を調製する。
なお、塗布液中のITO超微粒子粉末および有機金属ITOの含有割合は、任意に調節が可能である。例えば、ITO超微粒子粉末と有機金属ITOとの混合比率に関しては、ITO粉末に対して、2〜10%相当、好ましくは4〜6%相当の重量のインジウム量を含む有機金属ITOを添加すればよい。
【0028】
本発明の透明導電膜の形成方法によれば、まず、上記のようにして調製した塗布液を、無アルカリガラス等のガラスや、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリアリールスルホン、ポリアリーレンスルフィド等の透明な合成樹脂等からなる透明絶縁性基板上に、スピンコート法やインクジェット法等の公知の塗布方法により、焼成後の膜厚が所定の厚さになるように塗布し、好ましくは、大気中で所定の温度で乾燥して成膜する。その後、好ましくは大気中で所定の温度(250℃以下)で所定の時間焼成し、透明導電性薄膜を得る。かくして得られた透明導電膜の比抵抗値は0.5Ω・cm以下であり、膜の基板に対する密着性能はセバスチャン法により2kgf/mm2以上であり、膜の正味の可視光透過率は95%以上である。
【0029】
以下、図1を参照して、上記透明導電膜形成用塗布液を用いた液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法および液晶表示装置について説明する。
図1は、TFTアレイ基板の製造方法を説明するための概略の構成断面図である。図1において、1はガラス、透明樹脂等からなる透明絶縁性基板であり、2はゲート電極であり、3はゲート絶縁膜であり、4はa−Si膜であり、5はn+a−Si膜であり、6はソース電極であり、7はドレイン電極であり、8はチャネル部であり、9は層間絶縁膜であり、10はコンタクトホール部であり、11は画素電極である。
【0030】
まず、透明絶縁性基板1に、スパッタリング法等によりCr等を成膜し、フォトリソグラフィ法にてゲート電極2を形成する。次いで、プラズマCVD法等により酸化シリコンや窒化シリコンからなるゲート絶縁膜3を全面を覆って形成する。その後、ゲート電極2に対応してゲート絶縁膜3上に分離独立してa−Si膜4、不純物をドープした低抵抗n+a−Si膜5を順次成膜し、フォトリソグラフィ法を用いてa−Si膜4、n+a−Si膜5をパターニングして半導体層を形成する。
その後、スパッタリング法等により、Cr等を成膜し、フォトリソグラフィ法により、半導体層のソース電極6、ドレイン電極7、チャネル部8を形成して薄膜トランジスター(TFT)を形成する。
【0031】
さらに、TFTによる段差部を無くし、表面が平坦化されるように、感光性のアクリル系透明樹脂等をスピンコート法等により塗布・焼成して層間絶縁膜9である平坦化膜を形成した後、フォトリソグラフィ法による露光・現像処理にてドレイン電極7の表面の一部が露出するようにコンタクトホール部10を形成する。
最後に、基板表面温度を25℃に設定して、上記の塗布液をスピンコート法、インクジェット法により塗布し、所定の膜厚約100〜200nmの透明導電膜を形成する。次いで、200〜250℃に所定の時間保持して熱処理を行った後、フォトリソグラフィ法によりパターニングして画素電極11を形成し、所望の液晶表示装置TFTアレイ基板を得る。
【0032】
この画素電極11はコンタクトホール部10のコンタクト面でドレイン電極7と電気的に接続されている。このようにしてえられたTFTアレイのコンタクト面における画素電極11とドレイン電極7とのコンタクトシート抵抗値は、以下の表2および図2に示すように、所定の範囲内に入っている。
この実施の形態でゲート電極2としてCrを、またソース電極6、ドレイン電極7としてCrを用いたが、これに限定されることなく、例えば、Al、Cu、Mo、Ta等およびこれらの少なくとも二つの金属を含む合金から選ばれる少なくとも一つの材料を用いてもよい。これらの材料を用いると、シート抵抗値が1,000Ω/□以下の低抵抗な電極および配線が実現できるので好ましい。
【0033】
また、ゲート電極2、ソース電極6、ドレイン電極7は、全て同じ金属材料で構成されている必要はなく、該金属材料の中から選ばれる異なる金属を組み合わせて用いてもよい。このような材料の組み合わせにおいても、本発明の実施の形態によれば、コンタクト面におけるコンタクトシート抵抗値として低い値が実現できる。
以上のようにして形成されたTFTアレイ基板と、従来と同様の対向基板とを組み合わせ、両基板で液晶材料を挟持して液晶表示装置を製造することができる。TFTアレイ基板には従来技術の場合と同様にゲート配線およびソース配線が設けられ、このTFTが、ゲート配線とソース配線の交差部近傍に形成されている。また、対向基板には対向電極やカラーフィルタが設けられている。
なお、前述した実施の形態では、半導体層としてアモルファスシリコンを用いた場合を示したが、多結晶シリコンであってもよい。
【0034】
【実施例】
以下、実施例および比較例により本発明の透明導電膜形成用塗布液、透明導電膜形成方法についてさらに詳細に説明する。
(実施例1)
ITO超微粒子粉末および有機金属ITO化合物(有機インジウム化合物および有機錫化合物)を含有した混合型有機ITO塗布液の調製法の一例を下記に示す。
まず、有機金属ITO溶液を次の条件により調製した。
【0035】
酢酸インジウム(5.00g)およびジヘキシルアミン(4.76g)を、DMF(45.00g)およびn−ブチルカルビトール(関東化学製)(9.98g)の混合溶媒(有機アミン量はインジウムに対して1.0当量)に分散させ、80℃で2時間加熱撹拌して透明溶液を得た。この溶液を室温まで冷却した後、t−ブトキシ錫(IV)(0.76g)を加えて、インジウムの有機酸化合物および有機錫化合物を溶解した有機溶媒液を調製した。t−ブトキシ錫(IV)の添加量は、塗布液中のインジウムと錫の元素含有比率が9:1となるように添加し、インジウム濃度が3%となる有機金属ITO溶液を調製した。
【0036】
一方、ITO超微粒子粉末を次の条件により調製した。
InCl3水溶液(InCl3として217.00g含有)590.0gと、SnCl4水溶液(SnCl4として2.605g含有)3.157gとを混合し、温度25℃に保持した。このとき、Snの添加量はIn、Snの総モル数に対してSn0.5モル%であった。次いで、この混合水溶液を温度25℃に保持した6.25%のNH3aq1リットル中に滴下し、最終pHが9となるように混合し、40分間共沈反応させた。その後、沈殿物をイオン交換水により繰返し傾斜洗浄を行った。次に、上澄み液の電気伝導度が0.5mS/cm以下になったところで、沈殿したIn、Snの共沈水酸化物を濾別した。更に、この共沈水酸化物ケーキを500℃で2時間焼成し、導電性ITO超微粒子凝集体を得た。この導電性ITO超微粒子凝集体を粉砕してほぐすことにより、導電性ITO超微粒子粉末を得た。
【0037】
かくして得られた導電性ITO超微粒子粉末を、先に調製した有機金属ITO溶液中で粉砕し、さらに微粉末の凝集をほぐすことにより、高温で焼成したITO超微粒子を含有した有機金属ITO溶液を調製した。
なお、塗布液中のITO超微粒子粉末と有機金属ITOとの含有割合は、任意に制御が可能である。本実施例では、表1に示したように、ITO超微粒子の濃度を30%とし、有機金属ITOの添加量を変化させた種々の混合型透明導電膜形成用塗布液(有機ITO溶液)を調製した。
【0038】
(表1)混合型透明導電膜形成用塗布液(有機金属ITO溶液)の構成
【0039】
(実施例2)
本実施例では、実施例1で調製したITO超微粒子粉末含有の有機金属ITO溶液の塗膜評価についての一例を示す。
表1に記載の5種類の塗布液を、洗浄した無アルカリガラス基板上に、スピンコート法により、焼成後の膜厚が300nmになるような条件で塗布し、室温で10分間乾燥させた。その後、大気中で、200℃、250℃、350℃、450℃の各温度条件で40分間熱処理して透明導電膜を得た。得られた導電性薄膜の物性を評価した。導電性薄膜の評価のうち、導電性能は四探針法(ロレスターEP MCP−T360)により、基板との密着性能はセバスチャン法(Quad Group Sebastian V)により、可視光透過率は分光光度計(日立製作所 U−3500)により評価した。250℃で焼成して得た薄膜についての評価結果を表2に示す。
【0040】
(表2)透明導電薄膜の評価結果(250℃焼成)
【0041】
表2から明らかなように、本発明の塗布液を用いた場合は、ITO粉末のみ、有機金属ITOのみの場合と比較して、導電性能の大幅な向上が確認できた。特に、混合型3の混合比において、600Ω/□という優れた導電性能を有している。この透明導電膜の膜厚を走査型電子顕微鏡像により評価したところ、約200nmであった。これより、この透明導電膜の比抵抗値は0.01Ω・cmであり、透過率、密着性能も十分確保された透明導電膜が得られていることが分かる。
【0042】
上記5種類の塗布液を用い、上記各温度で焼成した薄膜について、焼成温度と導電性能(シート抵抗)との関係を図2に示す。図2から明らかなように、導電性能は焼成温度に依存することが明らかである。
なお、上記のようにして成膜された導電性薄膜は、液晶表示装置の仕様にあわせて膜の形状をエッチングにより任意に加工できる。
【0043】
【発明の効果】
本発明の透明導電膜形成用塗布液によれば、インジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解して得られるので、種々の用途に対応できる広範な濃度範囲で容易に調製することができる。
本発明の透明導電膜の形成方法によれば、上記塗布液を用いるので、スピンコート法またはインクジェット法等により塗布でき、200〜250℃の低温での焼成でも所望の物性を有する透明導電膜を形成できる。
【0044】
本発明の液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法によれば、上記塗布液を用いて透明導電膜を作製し、画素電極とするので、液晶表示装置の要求性能を満足する薄膜トランジスタを製造することができる。
本発明の液晶表示装置によれば、上記塗布液を用いて形成した透明導電膜からなる画素電極を備えているので、比抵抗値、基板との密着性能、可視光透過率を満足する要求性能が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】画素電極を設けた薄膜トランジスタの構造を説明するための断面図。
【図2】本発明の方法に従って得られた導電性薄膜についての、焼成温度と導電性能との関係を比較例と共に示すグラフ。
【符号の説明】
1 基板 2 ゲート電極
3 ゲート絶縁膜 4 a−Si膜
5 n+a−Si膜 6 ソース電極
7 ドレイン電極 8 チャンネル部
9 層間絶縁膜(平坦化膜) 10 コンタクトホール部
11 画素電極
Claims (10)
- 必須成分としてインジウムの有機化合物および錫の有機化合物を溶解した有機溶媒中に、インジウムと錫とから形成されるITO複合酸化物の超微粒子粉末を溶解してなることを特徴とする透明導電膜形成用塗布液。
- 前記超微粒子粉末がITO複合酸化物を350〜800℃で焼成して結晶粒界を成長させたITO超微粒子粉末であることを特徴とする請求項1記載の透明導電膜形成用塗布液。
- 請求項1または2記載の透明導電膜形成用塗布液を透明基板上に塗布して成膜し、次いで200〜250℃で焼成し、透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電膜形成方法。
- 前記塗布がスピンコート法またはインクジェット法により行われることを特徴とする請求項3記載の透明導電膜形成方法。
- 前記透明基板がガラスまたは合成樹脂からなる基板であることを特徴とする請求項3または4記載の透明導電膜形成方法。
- 前記透明導電膜の比抵抗値が0.5Ω・cm以下であることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の透明導電膜形成方法。
- 前記透明導電膜の密着性能がセバスチャン法により2kgf/mm2以上であることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の透明導電膜形成方法。
- 前記透明導電膜の正味の可視光透過率が95%以上であることを特徴とする請求項3〜7のいずれかに記載の透明導電膜形成方法。
- 透明基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、ならびにソース電極およびドレイン電極を順次設けて薄膜トランジスタを形成する工程と、該透明基板上に該薄膜トランジスタ領域に起因する段差部をなくすように表面が平坦化された透明樹脂からなる層間絶縁膜を形成する工程と、該層間絶縁膜のドレイン電極上部にコンタクトホール部を設け、該コンタクトホールを介して下部のドレイン電極と電気的に接続されるように該層間絶縁膜上に透明導電膜からなる画素電極を形成する工程とからなる液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法において、該透明導電膜を、請求項3〜8のいずれかに記載の透明導電膜形成方法により形成することを特徴とする液晶表示装置用薄膜トランジスタの製造方法。
- 請求項9記載の方法で製造された薄膜トランジスタがゲート配線とソース配線との交差部近傍に形成されてなる透明基板と、該透明基板と共に液晶を挟持する対向基板であって、少なくとも対向電極およびカラーフィルタが設けられた対向電極とを備えていることを特徴とする液晶表示装置。
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