JP5100877B1 - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロール7が設置されていない位置に存在する材料8−1,8−2に帯状光を照射して材料8−1,8−2の表面を検査する際に、しきい値設定手段51は、撮像領域における画素位置毎の反射光の強度から、全体の強度の平均値Aを算出し、平均値Aに基づいて、強度の高い画素位置における平均値Bを算出すると共に、強度の低い画素位置における平均値Cを算出し、これらの平均値B,Cの中点値Dに基づいてしきい値αを設定する。マスク範囲設定手段52は、撮像領域における画素位置毎の反射光の強度としきい値αとを比較し、x軸上で隣り合う画素位置において、反射光の強度がしきい値αを上回ってまたは下回って変化する画素位置を特定し、特定した画素位置からマスク範囲を設定する。
【選択図】図2
Description
〔表面検査装置〕
まず、本発明の実施形態による表面検査装置の全体構成について説明する。図1は、表面検査装置の全体構成を示す概略図である。この表面検査装置1は、照明装置2、カメラ3、PG(パルスジェネレータ)4、処理装置5、記憶装置6及びロール7を備えて構成される。表面検査装置1は、ロール7上を走行する帯状体の材料8−1,8−2の表面を、ロール7が設置されていない位置にて光学的に検査する装置である。材料8−1と材料8−2との間には所定幅のスリットが存在し、材料8−1,8−2は、所定幅のスリットを有する状態で同速度にて走行する。また、ロール7は、材料8−1,8−2の走行に伴って回転する。材料8−1,8−2の走行する向きは、y軸のプラス方向であってもよいしマイナス方向であってもよい。
次に、図1に示した処理装置5について説明する。図2は、処理装置5の構成を示すブロック図である。この処理装置5は、しきい値設定手段51、マスク範囲設定手段52、記憶手段53及び疵検出手段54を備えている。前述のとおり、処理装置5は、マスク範囲設定時において、撮像領域の反射光の強度からしきい値αを求め、撮像領域のマスク範囲を設定する。また、処理装置5は、検査時において、マスク範囲を除く検査対象範囲について疵を検出し、パルス信号から材料8−1,8−2の走行量を算出し、疵の位置、大きさ等の情報を生成する。
次に、図2に示したしきい値設定手段51の詳細について説明する。図3は、しきい値設定手段51の処理を示すフローチャートであり、この処理はマスク範囲設定時に行われる。図4は、画素位置と反射光の強度との関係を示す図である。まず、しきい値設定手段51は、カメラ3から撮像領域の反射光の強度を入力する(ステップS301)。
次に、図2に示したマスク範囲設定手段52の詳細について説明する。図5は、マスク範囲設定手段52の処理を示すフローチャートであり、この処理はマスク範囲設定時に行われる。図6は、画素位置と反射光の強度、2値データ及びマスク範囲との関係を示す図である。以下に示す処理は、x軸上の隣り合う画素位置において、反射光の強度がしきい値αを上回って変化する画素位置、及び反射光の強度がしきい値αよりも下回って変化する画素位置を特定するために、反射光の強度を一旦2値データに変換し、2値データに基づいて、所定の画素位置を特定する。
2 照明装置
3 カメラ
4 PG
5 処理装置
6 記憶装置
7 ロール
8−1,8−2 材料
51 しきい値設定手段
52 マスク範囲設定手段
53 記憶手段
54 疵検出手段
Claims (4)
- ロール上を移動する複数の帯状体の材料に対し、前記複数の材料の間に存在するスリットを含む前記複数の材料の幅方向に、かつ前記ロールが存在しない箇所へ向けて光を照射し、前記照射により得られる反射光の強度に基づいて、所定の検査対象範囲で前記材料の表面を検査する表面検査装置において、
前記スリットを含む複数の材料の幅方向における各位置の反射光の強度から全体の平均値を算出し、前記全体の平均値よりも高い反射光の強度を有する位置を、前記材料が存在する領域として抽出し、前記抽出した全ての位置における反射光の強度から第1の平均値を算出し、前記全体の平均値以下である反射光の強度を有する位置を、前記材料が存在しないスリットを含む領域として抽出し、前記抽出した全ての位置における反射光の強度から第2の平均値を算出し、前記第1の平均値と前記第2の平均値とを平均して中点値を算出し、
前記全体の平均値を算出する処理、前記材料が存在する領域を抽出して第1の平均値を算出する処理、前記材料が存在しないスリットを含む領域を抽出して第2の平均値を算出する処理、及び前記中点値を算出する処理を、前記移動する複数の帯状体の材料に対して所定数分行い、前記所定数分の中点値を平均し、その平均結果をしきい値として設定するしきい値設定手段と、
前記スリットを含む複数の材料の幅方向における各位置の反射光の強度と、前記しきい値設定手段により設定されたしきい値とに基づいて、前記材料の位置及びスリットの位置を特定し、前記特定した位置に基づいて、前記スリットを含むマスク範囲を設定するマスク範囲設定手段と、
前記マスク範囲設定手段により設定されたマスク範囲を検査対象範囲から除外して、前記材料の表面を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1に記載の表面検査装置において、
前記マスク範囲設定手段は、
前記スリットを含む複数の材料の幅方向における各位置の反射光の強度と、前記しきい値設定手段により設定されたしきい値とを比較し、前記隣り合う位置の反射光の強度がしきい値を上回ってまたは下回って変化する位置を特定し、前記特定した位置に基づいて、前記スリットを含むマスク範囲を設定する、ことを特徴とする表面検査装置。 - ロール上を移動する複数の帯状体の材料に対し、前記複数の材料の間に存在するスリットを含む前記複数の材料の幅方向に、かつ前記ロールが存在しない箇所へ向けて光を照射し、前記照射により得られる反射光の強度に基づいて、所定の検査対象範囲で前記材料の表面を検査する表面検査方法において、
前記スリットを含む複数の材料の幅方向における各位置の反射光の強度から全体の平均値を算出する第1のステップと、
前記全体の平均値よりも高い反射光の強度を有する位置を、前記材料が存在する領域として抽出し、前記抽出した全ての位置における反射光の強度から第1の平均値を算出する第2のステップと、
前記全体の平均値以下である反射光の強度を有する位置を、前記材料が存在しないスリットを含む領域として抽出し、前記抽出した全ての位置における反射光の強度から第2の平均値を算出する第3のステップと、
前記第1の平均値と前記第2の平均値とを平均して中点値を算出する第4のステップと、
前記第1のステップ、第2のステップ、第3のステップ及び第4のステップの処理を、前記移動する複数の帯状体の材料に対して所定数分行い、前記所定数分の中点値を平均し、その平均結果をしきい値として設定する第5のステップと、
前記スリットを含む複数の材料の幅方向における各位置の反射光の強度と、前記しきい値設定手段により設定されたしきい値とに基づいて、前記材料の位置及びスリットの位置を特定する第6のステップと、
前記特定した位置に基づいて、前記スリットを含むマスク範囲を設定する第7のステップと、
前記マスク範囲を検査対象範囲から除外して、前記材料の表面を検査する第8のステップと、を有することを特徴とする表面検査方法。 - コンピュータを、請求項1または2に記載の表面検査装置として機能させるための表面検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011209503A JP5100877B1 (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | 表面検査装置 |
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JP2011209503A JP5100877B1 (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | 表面検査装置 |
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JP4733808B2 (ja) * | 2000-05-02 | 2011-07-27 | 株式会社メック | 欠陥検査装置 |
JP5086970B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2012-11-28 | パナソニック株式会社 | 木材の外観検査装置、木材の外観検査方法 |
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2011
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