JP2001059717A - 表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 欠陥の検出が可能な表面欠陥検査方法の提
供。 【解決手段】 明暗パターン１ｂを有した光源１を検査
表面４に写し出してカメラ２を介してコンピュータ３に
画像取込みする工程と、取り込んだ画像の濃度ヒストグ
ラムを作成する工程と、画像の濃度ヒストグラムにより
欠陥６を検出する工程と、を有する表面欠陥検査方法。
供。 【解決手段】 明暗パターン１ｂを有した光源１を検査
表面４に写し出してカメラ２を介してコンピュータ３に
画像取込みする工程と、取り込んだ画像の濃度ヒストグ
ラムを作成する工程と、画像の濃度ヒストグラムにより
欠陥６を検出する工程と、を有する表面欠陥検査方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面欠陥検査方法
に関し、塗装欠陥の検出に利用することができる表面欠
陥検査方法に関する。
に関し、塗装欠陥の検出に利用することができる表面欠
陥検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】車の塗装中に塗装面にほこり、塗料かす
などが付着すると１〜２ｍｍ程度の径の盛り上がった、
ブツと呼ばれる塗装欠陥が生じることがあり、手直しま
たは再塗装される。そのために、塗装欠陥を検出するこ
とが必要となる。従来、塗装欠陥検出は、実開昭６２−
２８１５５号に開示されているように、スリットレーザ
光を照射し、その途切れで欠陥を検出する方法がある。
また、特開平５−１６４６９６号に開示されているよう
に、明暗模様の光を照射し、反射光を画像取込みして濃
度ヒストグラムを作成し、その勾配から塗装面を評価す
る方法がある。
などが付着すると１〜２ｍｍ程度の径の盛り上がった、
ブツと呼ばれる塗装欠陥が生じることがあり、手直しま
たは再塗装される。そのために、塗装欠陥を検出するこ
とが必要となる。従来、塗装欠陥検出は、実開昭６２−
２８１５５号に開示されているように、スリットレーザ
光を照射し、その途切れで欠陥を検出する方法がある。
また、特開平５−１６４６９６号に開示されているよう
に、明暗模様の光を照射し、反射光を画像取込みして濃
度ヒストグラムを作成し、その勾配から塗装面を評価す
る方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、実開昭６２−
２８１５５号の方法では、検査面が曲面の場合レーザ光
が歪んでしまい検査できないという問題がある。また、
特開平５−１６４６９６号の方法では、検査面全体とし
ての評価であるため、欠陥自体を抽出することができ
ず、欠陥手直し時に手直しすべき欠陥とその位置の特定
が困難である。本発明の目的は、検査面が湾曲していて
も検査が可能であり、かつ欠陥の特定が可能な、表面欠
陥検査方法を提供することにある。
２８１５５号の方法では、検査面が曲面の場合レーザ光
が歪んでしまい検査できないという問題がある。また、
特開平５−１６４６９６号の方法では、検査面全体とし
ての評価であるため、欠陥自体を抽出することができ
ず、欠陥手直し時に手直しすべき欠陥とその位置の特定
が困難である。本発明の目的は、検査面が湾曲していて
も検査が可能であり、かつ欠陥の特定が可能な、表面欠
陥検査方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、つぎの通りである。 （１） 明暗パターンを有した光源を検査表面に写し出
してカメラを介してコンピュータに画像取込みする工程
と、取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する工程
と、前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する
工程と、を有する表面欠陥検査方法。 （２） 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出
する工程が、前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が
含まれる所定濃度域を演算で求める工程と、前記所定濃
度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対
応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピク
セルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみから
なる画像を作成する工程と、を有する（１）記載の表面
欠陥検査方法。 （３） 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出
する工程が、前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が
含まれる所定濃度域を演算で求める工程と、前記所定濃
度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対
応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピク
セルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみから
なる画像を作成する工程と、前記欠陥および一部のゆず
肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程
と、を有する（１）記載の表面欠陥検査方法。 （４） 前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからな
る画像から欠陥のみを抽出する工程が、前記欠陥および
一部のゆず肌ノイズのみからなる画像で、欠陥およびゆ
ず肌ノイズに順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げ
てラベリングを施す工程と、欠陥およびゆず肌ノイズの
濃度ヒストグラムを作成する工程と、前記濃度ヒストグ
ラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して
抽出する工程と、を有する（３）記載の表面欠陥検査方
法。
明は、つぎの通りである。 （１） 明暗パターンを有した光源を検査表面に写し出
してカメラを介してコンピュータに画像取込みする工程
と、取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する工程
と、前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する
工程と、を有する表面欠陥検査方法。 （２） 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出
する工程が、前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が
含まれる所定濃度域を演算で求める工程と、前記所定濃
度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対
応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピク
セルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみから
なる画像を作成する工程と、を有する（１）記載の表面
欠陥検査方法。 （３） 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出
する工程が、前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が
含まれる所定濃度域を演算で求める工程と、前記所定濃
度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対
応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピク
セルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみから
なる画像を作成する工程と、前記欠陥および一部のゆず
肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程
と、を有する（１）記載の表面欠陥検査方法。 （４） 前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからな
る画像から欠陥のみを抽出する工程が、前記欠陥および
一部のゆず肌ノイズのみからなる画像で、欠陥およびゆ
ず肌ノイズに順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げ
てラベリングを施す工程と、欠陥およびゆず肌ノイズの
濃度ヒストグラムを作成する工程と、前記濃度ヒストグ
ラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して
抽出する工程と、を有する（３）記載の表面欠陥検査方
法。
【０００５】上記（１）の表面欠陥検査方法では、明暗
パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを画像
取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能であ
り、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾曲に
従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になるという
問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノイズ
を含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノイ
ズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定することが
できる。上記（２）の表面欠陥検査方法では、明暗パタ
ーン、欠陥、ゆず肌ノイズを含む濃度ヒストグラムは暗
の山部と明の山部とその中央の谷部とからなっており、
明暗パターンの暗パターン中の欠陥は濃度ヒストグラム
の暗の山部の谷部側に含まれ、明暗パターンの明パター
ン中の欠陥は濃度ヒストグラムの明の山部の谷部側に含
まれることが見出された。この知見に基づき、濃度ヒス
トグラムが作成されると、暗の山部の谷部側の所定域と
明の山部の谷部側の所定域とを欠陥が含まれる所定濃度
域として決定する。ついで、この所定濃度域以外の濃度
のピクセル（画素）の濃度を真黒に対応する濃度値（た
とえば、０）または真白に対応する濃度値（たとえば、
２５５）として、所定濃度域内の濃度をもつピクセルに
基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズ（ゆず肌ノイズ
のうち明暗パターンの境界近傍にあるゆず肌ノイズ）の
みからなる画像（明暗パターンを除去した画像）を作成
することができる。これによって、欠陥（および一部の
ゆず肌ノイズ）を抽出することができ、欠陥とその位置
を特定することができる。上記（３）の表面欠陥検査方
法では、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する
工程が、上記（２）に加えて、さらに、欠陥および一部
のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出す
る工程を有するので、欠陥が小さな欠陥であっても、ゆ
ず肌ノイズと区別して検出でき、手直しにかけることが
できる。上記（４）の表面欠陥検査方法では、欠陥およ
び一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを
抽出する方法として、ラベリング、濃度ヒストグラムの
作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつも
のを欠陥と判定する方法を提供している。
パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを画像
取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能であ
り、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾曲に
従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になるという
問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノイズ
を含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノイ
ズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定することが
できる。上記（２）の表面欠陥検査方法では、明暗パタ
ーン、欠陥、ゆず肌ノイズを含む濃度ヒストグラムは暗
の山部と明の山部とその中央の谷部とからなっており、
明暗パターンの暗パターン中の欠陥は濃度ヒストグラム
の暗の山部の谷部側に含まれ、明暗パターンの明パター
ン中の欠陥は濃度ヒストグラムの明の山部の谷部側に含
まれることが見出された。この知見に基づき、濃度ヒス
トグラムが作成されると、暗の山部の谷部側の所定域と
明の山部の谷部側の所定域とを欠陥が含まれる所定濃度
域として決定する。ついで、この所定濃度域以外の濃度
のピクセル（画素）の濃度を真黒に対応する濃度値（た
とえば、０）または真白に対応する濃度値（たとえば、
２５５）として、所定濃度域内の濃度をもつピクセルに
基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズ（ゆず肌ノイズ
のうち明暗パターンの境界近傍にあるゆず肌ノイズ）の
みからなる画像（明暗パターンを除去した画像）を作成
することができる。これによって、欠陥（および一部の
ゆず肌ノイズ）を抽出することができ、欠陥とその位置
を特定することができる。上記（３）の表面欠陥検査方
法では、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する
工程が、上記（２）に加えて、さらに、欠陥および一部
のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出す
る工程を有するので、欠陥が小さな欠陥であっても、ゆ
ず肌ノイズと区別して検出でき、手直しにかけることが
できる。上記（４）の表面欠陥検査方法では、欠陥およ
び一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを
抽出する方法として、ラベリング、濃度ヒストグラムの
作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつも
のを欠陥と判定する方法を提供している。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明実施例の表面欠陥検査方法
を、図１〜図１１を参照して、説明する。本発明実施例
の表面欠陥検査方法を実施する表面欠陥検査装置は、図
１に示すように、明暗パターンを有する光源１と、検査
表面（たとえば、車の塗装面）４に写し出された光源１
からの光の明暗パターンを撮像するカメラ（たとえば、
ＣＣＤカメラ）２と、カメラ２に接続されたコンピュー
タ３とを有する。
を、図１〜図１１を参照して、説明する。本発明実施例
の表面欠陥検査方法を実施する表面欠陥検査装置は、図
１に示すように、明暗パターンを有する光源１と、検査
表面（たとえば、車の塗装面）４に写し出された光源１
からの光の明暗パターンを撮像するカメラ（たとえば、
ＣＣＤカメラ）２と、カメラ２に接続されたコンピュー
タ３とを有する。
【０００７】光源１は、電球１ａと明暗パターン１ｂと
を有する。明暗パターン１ｂは、たとえば、光を拡散す
る白色プラスチック板に光を通さない黒色シートを貼付
したものからなる。明暗パターンは、暗部と明部が規則
性をもって交互に表れるパターンであれば如何なるパタ
ーンでもよいが、たとえば図４に示すような黒色菱形と
白色菱形とを半ピッチずらして並べたパターンや、黒色
帯と白色帯とを交互に並べたものなどを、用いることが
できる。カメラ２は、光源１からの照射光の検査表面４
での反射光を受光する。カメラ２の視野は、たとえば、
検査表面４で約１０ｃｍ四方である。検査物（たとえ
ば、塗装した車）とカメラ２との何れか一方を他方に対
して移動させることにより、検査物の全検査表面を検査
することができる。コンピュータ３は、カメラ２が撮像
した画像を取込み、画面に表示するとともに、図２、図
３に示すルーチンの演算を行うプログラムがインストー
ルされている。
を有する。明暗パターン１ｂは、たとえば、光を拡散す
る白色プラスチック板に光を通さない黒色シートを貼付
したものからなる。明暗パターンは、暗部と明部が規則
性をもって交互に表れるパターンであれば如何なるパタ
ーンでもよいが、たとえば図４に示すような黒色菱形と
白色菱形とを半ピッチずらして並べたパターンや、黒色
帯と白色帯とを交互に並べたものなどを、用いることが
できる。カメラ２は、光源１からの照射光の検査表面４
での反射光を受光する。カメラ２の視野は、たとえば、
検査表面４で約１０ｃｍ四方である。検査物（たとえ
ば、塗装した車）とカメラ２との何れか一方を他方に対
して移動させることにより、検査物の全検査表面を検査
することができる。コンピュータ３は、カメラ２が撮像
した画像を取込み、画面に表示するとともに、図２、図
３に示すルーチンの演算を行うプログラムがインストー
ルされている。
【０００８】図２のルーチンは、画像取込みステップ１
０１、電気ノイズを除去する平滑化ステップ１０２、取
り込んだ画像の濃度ヒストグラムの作成ステップ１０
３、欠陥を含む濃度域を選定する欠陥抽出ステップ１０
４、欠陥を含む濃度域以外の濃度域の濃度値を２値化す
る２値化ステップ１０５を有する。ステップ１０１〜１
０５は欠陥およびゆず肌ノイズ（塗装面に必然的にある
ゆず肌状の凹凸で欠陥に比べて小さい）を選択的に検出
するルーチンである。
０１、電気ノイズを除去する平滑化ステップ１０２、取
り込んだ画像の濃度ヒストグラムの作成ステップ１０
３、欠陥を含む濃度域を選定する欠陥抽出ステップ１０
４、欠陥を含む濃度域以外の濃度域の濃度値を２値化す
る２値化ステップ１０５を有する。ステップ１０１〜１
０５は欠陥およびゆず肌ノイズ（塗装面に必然的にある
ゆず肌状の凹凸で欠陥に比べて小さい）を選択的に検出
するルーチンである。
【０００９】図３のルーチンは、図２のステップ１０
４、１０５をさらに詳細に示したもので、ヒストグラム
の最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを算出するステ
ップ１０４ａ、ＭＡＸとＭＩＮの平均から中心Ｒを算出
するステップ１０４ｂ、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させ
て欠陥を含む暗側、明側の濃度域の中心Ｒからの濃度距
離Ｎ１、Ｎ２を算出するステップ１０４ｃ、ＭＡＸとＭ
ＩＮの差に比例させて欠陥を含む暗側の濃度域幅Ｊ１、
欠陥を含む明側の濃度域幅Ｊ２を算出するステップ１０
４ｄ、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度
値以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値（０）
または真白に対応する濃度値（２５５）にする２値化ス
テップ１０５を有する。
４、１０５をさらに詳細に示したもので、ヒストグラム
の最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを算出するステ
ップ１０４ａ、ＭＡＸとＭＩＮの平均から中心Ｒを算出
するステップ１０４ｂ、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させ
て欠陥を含む暗側、明側の濃度域の中心Ｒからの濃度距
離Ｎ１、Ｎ２を算出するステップ１０４ｃ、ＭＡＸとＭ
ＩＮの差に比例させて欠陥を含む暗側の濃度域幅Ｊ１、
欠陥を含む明側の濃度域幅Ｊ２を算出するステップ１０
４ｄ、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度
値以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値（０）
または真白に対応する濃度値（２５５）にする２値化ス
テップ１０５を有する。
【００１０】図２のルーチンは、ステップ１０１〜１０
５に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズの
みからなる画像で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号
を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施すス
テップ１０６、欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグ
ラムを作成するステップ１０７、濃度ヒストグラムで所
定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して抽出する
ステップ１０８を、有していてもよい。ステップ１０６
〜１０８は、ステップ１０１〜１０５により作成した欠
陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から、欠
陥のみを抽出するルーチンを構成する。
５に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズの
みからなる画像で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号
を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施すス
テップ１０６、欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグ
ラムを作成するステップ１０７、濃度ヒストグラムで所
定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して抽出する
ステップ１０８を、有していてもよい。ステップ１０６
〜１０８は、ステップ１０１〜１０５により作成した欠
陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から、欠
陥のみを抽出するルーチンを構成する。
【００１１】つぎに、本発明実施例の表面欠陥検査方法
を説明する。本発明実施例の表面欠陥検査方法は、明暗
パターン１ｂを有した光源１を検査表面（たとえば、車
の塗装面）４に写し出してカメラ２を介してコンピュー
タ３に画像取込みする工程と（画像取込み中を図１に示
し、取り込んだ画像を図４に示す）、取り込んだ画像の
濃度ヒストグラム（図５、図６の示すもの）を作成する
工程と、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥（および一
部のゆず肌ノイズ）を抽出する工程と（抽出した画像を
図８に示す）を、有する。
を説明する。本発明実施例の表面欠陥検査方法は、明暗
パターン１ｂを有した光源１を検査表面（たとえば、車
の塗装面）４に写し出してカメラ２を介してコンピュー
タ３に画像取込みする工程と（画像取込み中を図１に示
し、取り込んだ画像を図４に示す）、取り込んだ画像の
濃度ヒストグラム（図５、図６の示すもの）を作成する
工程と、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥（および一
部のゆず肌ノイズ）を抽出する工程と（抽出した画像を
図８に示す）を、有する。
【００１２】図２は、上記工程をさらに詳細に示してい
る。すなわち、画像取込みステップ１０１で検査表面４
に写し出された明暗パターンをコンピュータ３に画像取
込みする。コンピュータ３の画面には、図４に示すよう
に、明暗パターン５、欠陥６、ゆず肌ノイズ７が表示さ
れる。明暗パターン５のうち暗部（黒い部分）の欠陥６
は黒に近いグレーとなり、明部（白い部分）の欠陥６は
白に近いグレー（灰色）となる。その理由は、検査表面
の明暗パターンの黒色部は光源の明暗パターン１ｂの暗
部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６は盛
り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗パタ
ーン１ｂの明部も一部写してしまい、白色の成分が混じ
って、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわりがほ
とんど黒色のため黒に近いグレーである。反対に、検査
表面の明暗パターンの白色部は光源の明暗パターン１ｂ
の明部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６
は盛り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗
パターン１ｂの暗部も一部写してしまい、黒色の成分が
混じって、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわり
がほとんど白色のため白に近いグレーである。
る。すなわち、画像取込みステップ１０１で検査表面４
に写し出された明暗パターンをコンピュータ３に画像取
込みする。コンピュータ３の画面には、図４に示すよう
に、明暗パターン５、欠陥６、ゆず肌ノイズ７が表示さ
れる。明暗パターン５のうち暗部（黒い部分）の欠陥６
は黒に近いグレーとなり、明部（白い部分）の欠陥６は
白に近いグレー（灰色）となる。その理由は、検査表面
の明暗パターンの黒色部は光源の明暗パターン１ｂの暗
部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６は盛
り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗パタ
ーン１ｂの明部も一部写してしまい、白色の成分が混じ
って、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわりがほ
とんど黒色のため黒に近いグレーである。反対に、検査
表面の明暗パターンの白色部は光源の明暗パターン１ｂ
の明部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６
は盛り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗
パターン１ｂの暗部も一部写してしまい、黒色の成分が
混じって、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわり
がほとんど白色のため白に近いグレーである。
【００１３】ゆず肌ノイズも同様で、明暗パターンの黒
色中のノイズは黒色に近いグレーとなり、明暗パターン
の白色中のノイズは白色に近いグレーとなる。ただし、
ゆず肌ノイズは微小の凹凸であるため、光の反射角の変
化も小さいため、明暗パターンの黒色と白色の境界に近
い部分のゆず肌ノイズのみが画面に表示される。明暗パ
ターンの黒色部の中央にあるゆず肌ノイズは、そこの反
射角が少し変わっても光源の明暗パターン１ｂの黒色部
を見るので、グレーにはならず、黒のままであって、画
面に表示されない。明暗パターンの白色部の中央にある
ゆず肌ノイズは、そこの反射角が少し変わっても光源の
明暗パターン１ｂの白色部を見るので、グレーにはなら
ず、白のままであって、画面に表示されない。かくし
て、コンピュータ３に取り込まれた画像は図４のように
なる。
色中のノイズは黒色に近いグレーとなり、明暗パターン
の白色中のノイズは白色に近いグレーとなる。ただし、
ゆず肌ノイズは微小の凹凸であるため、光の反射角の変
化も小さいため、明暗パターンの黒色と白色の境界に近
い部分のゆず肌ノイズのみが画面に表示される。明暗パ
ターンの黒色部の中央にあるゆず肌ノイズは、そこの反
射角が少し変わっても光源の明暗パターン１ｂの黒色部
を見るので、グレーにはならず、黒のままであって、画
面に表示されない。明暗パターンの白色部の中央にある
ゆず肌ノイズは、そこの反射角が少し変わっても光源の
明暗パターン１ｂの白色部を見るので、グレーにはなら
ず、白のままであって、画面に表示されない。かくし
て、コンピュータ３に取り込まれた画像は図４のように
なる。
【００１４】ついで、ステップ１０２で画像の高周波成
分をとって滑らかにし電気的ノイズを取る平滑化処理を
施す。電気的ノイズの除去と同時に、小さなゆず肌ノイ
ズが除去されるかもしれないが、ステップ１０２はゆず
肌ノイズを除去することを主目的とするものではない。
分をとって滑らかにし電気的ノイズを取る平滑化処理を
施す。電気的ノイズの除去と同時に、小さなゆず肌ノイ
ズが除去されるかもしれないが、ステップ１０２はゆず
肌ノイズを除去することを主目的とするものではない。
【００１５】ステップ１０３で、ステップ１０１で取り
込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する。濃度ヒスト
グラムの横軸は濃度（明るさ）を示し、０〜２５５に区
分されている。０は真黒に対応し、２５５は真白に対応
する。濃度ヒストグラムの縦軸は、対象とする濃度の、
１画面（１画面には５１２×５１２の画素数がある）中
のピクセル（画素）数である。濃度ヒストグラムの全濃
度の全ピクセル数の総和は５１２×５１２である。濃度
ヒストグラムにおいて、濃度が小側の山は画像中、明暗
パターンの暗部に対応する部分８であり、濃度が大側の
山は画像中、明暗パターンの明部に対応する部分９であ
る。図からわかるように、明暗パターンの暗部といって
も真黒ではなく、明暗パターンの明部といっても真白で
はない。
込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する。濃度ヒスト
グラムの横軸は濃度（明るさ）を示し、０〜２５５に区
分されている。０は真黒に対応し、２５５は真白に対応
する。濃度ヒストグラムの縦軸は、対象とする濃度の、
１画面（１画面には５１２×５１２の画素数がある）中
のピクセル（画素）数である。濃度ヒストグラムの全濃
度の全ピクセル数の総和は５１２×５１２である。濃度
ヒストグラムにおいて、濃度が小側の山は画像中、明暗
パターンの暗部に対応する部分８であり、濃度が大側の
山は画像中、明暗パターンの明部に対応する部分９であ
る。図からわかるように、明暗パターンの暗部といって
も真黒ではなく、明暗パターンの明部といっても真白で
はない。
【００１６】濃度ヒストグラムにおいて、暗部の欠陥６
および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズのうち明暗
パターンの黒中で明暗パターン５の境界近傍にあるゆず
肌ノイズ）は明暗パターンの暗部に対応する部分８より
濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１０に位置し、明部
の欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズの
うち明暗パターンの白中で明暗パターン５の境界近傍に
あるゆず肌ノイズ）は明暗パターンの明部に対応する部
分９より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１１に位置
することが、発明者によって見出された。この部分１
０、１１だけの濃度のピクセルだけを抽出して画像に示
せば、欠陥６と一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズの
うち明暗パターン５の境界近傍にあるゆず肌ノイズ）だ
けを含む、図８に示すような画面が得られることにな
る。なお、埃などの異物の場合は濃度ヒストグラムに示
された時に図６のＮ１〜Ｎ２の間の広い範囲に分布する
ので、欠陥と埃などの異物との区別が可能である。
および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズのうち明暗
パターンの黒中で明暗パターン５の境界近傍にあるゆず
肌ノイズ）は明暗パターンの暗部に対応する部分８より
濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１０に位置し、明部
の欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズの
うち明暗パターンの白中で明暗パターン５の境界近傍に
あるゆず肌ノイズ）は明暗パターンの明部に対応する部
分９より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１１に位置
することが、発明者によって見出された。この部分１
０、１１だけの濃度のピクセルだけを抽出して画像に示
せば、欠陥６と一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズの
うち明暗パターン５の境界近傍にあるゆず肌ノイズ）だ
けを含む、図８に示すような画面が得られることにな
る。なお、埃などの異物の場合は濃度ヒストグラムに示
された時に図６のＮ１〜Ｎ２の間の広い範囲に分布する
ので、欠陥と埃などの異物との区別が可能である。
【００１７】濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工
程は、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度
域１０、１１を決定するステップ１０４と、所定濃度域
１０、１１以外の濃度のピクセルの濃度を真黒に対応す
る濃度値「０」または真白に対応する濃度値「２５５」
とし、所定濃度域１０、１１内の濃度をもつピクセルに
基づいて欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからな
る画像を作成するステップ１０５（２値化ステップ）
と、を有する。
程は、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度
域１０、１１を決定するステップ１０４と、所定濃度域
１０、１１以外の濃度のピクセルの濃度を真黒に対応す
る濃度値「０」または真白に対応する濃度値「２５５」
とし、所定濃度域１０、１１内の濃度をもつピクセルに
基づいて欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからな
る画像を作成するステップ１０５（２値化ステップ）
と、を有する。
【００１８】図３は、図２の欠陥が含まれる所定濃度域
１０、１１を決定するステップ１０４と、２値化ステッ
プ１０５をさらに詳細に示したものである。図３におい
て、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域
１０、１１を決定するに際し、ステップ１０４ａで濃度
ヒストグラムの最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを
算出する。最大濃度値ＭＡＸは濃度ヒストグラムが濃度
大側で横軸と交わる点の濃度値であり、最小濃度値ＭＩ
Ｎは濃度ヒストグラムが濃度小側で横軸と交わる点の濃
度値である。ついで、ステップ１０４ｂでＭＡＸとＭＩ
Ｎの平均から濃度ヒストグラムの濃度値中心Ｒを算出す
る。ＭＡＸとＭＩＮが決定されれば濃度域１０、１１の
中心Ｒからの濃度距離Ｎ１、Ｎ２、濃度域１０、１１の
幅が、予め行ったテストから予想できる。したがって、
ステップ１０４ｃで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させ
て、欠陥を含む暗側、明側の濃度域１０、１１の中心Ｒ
からの濃度距離Ｎ１、Ｎ２を算出する。ついで、ステッ
プ１０４ｄで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて、欠陥
を含む暗側の濃度域１０の幅Ｊ１、欠陥を含む明側の濃
度域１１の幅Ｊ２を算出する。ついで、ステップ１０５
で、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値
以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値「０」ま
たは真白に対応する濃度値「２５５」にして２値化を実
行する。
１０、１１を決定するステップ１０４と、２値化ステッ
プ１０５をさらに詳細に示したものである。図３におい
て、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域
１０、１１を決定するに際し、ステップ１０４ａで濃度
ヒストグラムの最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを
算出する。最大濃度値ＭＡＸは濃度ヒストグラムが濃度
大側で横軸と交わる点の濃度値であり、最小濃度値ＭＩ
Ｎは濃度ヒストグラムが濃度小側で横軸と交わる点の濃
度値である。ついで、ステップ１０４ｂでＭＡＸとＭＩ
Ｎの平均から濃度ヒストグラムの濃度値中心Ｒを算出す
る。ＭＡＸとＭＩＮが決定されれば濃度域１０、１１の
中心Ｒからの濃度距離Ｎ１、Ｎ２、濃度域１０、１１の
幅が、予め行ったテストから予想できる。したがって、
ステップ１０４ｃで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させ
て、欠陥を含む暗側、明側の濃度域１０、１１の中心Ｒ
からの濃度距離Ｎ１、Ｎ２を算出する。ついで、ステッ
プ１０４ｄで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて、欠陥
を含む暗側の濃度域１０の幅Ｊ１、欠陥を含む明側の濃
度域１１の幅Ｊ２を算出する。ついで、ステップ１０５
で、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値
以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値「０」ま
たは真白に対応する濃度値「２５５」にして２値化を実
行する。
【００１９】Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下
の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値「０」とする
と、濃度ヒストグラムは図７に示すようになり、Ｊ１以
上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値をそのま
ま、または「２５５」にし、画像に示して黒、白を反転
させれば図８が得られる。Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２
以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値
「２５５」とすると、濃度ヒストグラムは図７の濃度値
「０」の山が濃度値「２５５」に移動した濃度ヒストグ
ラムとなり、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下
の濃度値をそのまま、または「０」にし、画像に示せば
図８が得られる。かくして、欠陥６および一部のゆず肌
ノイズ（明暗パターンの暗部と明部の境界近傍のゆず肌
ノイズ）だけが抽出された画像（図８）が得られる。
の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値「０」とする
と、濃度ヒストグラムは図７に示すようになり、Ｊ１以
上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値をそのま
ま、または「２５５」にし、画像に示して黒、白を反転
させれば図８が得られる。Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２
以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値
「２５５」とすると、濃度ヒストグラムは図７の濃度値
「０」の山が濃度値「２５５」に移動した濃度ヒストグ
ラムとなり、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下
の濃度値をそのまま、または「０」にし、画像に示せば
図８が得られる。かくして、欠陥６および一部のゆず肌
ノイズ（明暗パターンの暗部と明部の境界近傍のゆず肌
ノイズ）だけが抽出された画像（図８）が得られる。
【００２０】本発明実施例の表面欠陥抽出方法は、欠陥
６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像（図
８）から欠陥６のみを抽出する工程を含んでもよい。欠
陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像から
欠陥６のみを抽出する工程は、図２において、ステップ
１０５に続いて設けられ、欠陥６および一部のゆず肌ノ
イズ７のみからなる画像で、図９に示すように欠陥６お
よびゆず肌ノイズ７に順に番号を付すとともに濃度を１
づつ上げてラベリングを施すステップ１０６と、欠陥６
およびゆず肌ノイズ７のみを含む図１０の濃度ヒストグ
ラムを作成するステップ１０７と、該濃度ヒストグラム
で所定面積以上の面積をもつものを欠陥６と判定して抽
出し、その他をゆず肌ノイズ７と判定し、欠陥６のみの
画像を作成するステップ１０８と、を有する。
６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像（図
８）から欠陥６のみを抽出する工程を含んでもよい。欠
陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像から
欠陥６のみを抽出する工程は、図２において、ステップ
１０５に続いて設けられ、欠陥６および一部のゆず肌ノ
イズ７のみからなる画像で、図９に示すように欠陥６お
よびゆず肌ノイズ７に順に番号を付すとともに濃度を１
づつ上げてラベリングを施すステップ１０６と、欠陥６
およびゆず肌ノイズ７のみを含む図１０の濃度ヒストグ
ラムを作成するステップ１０７と、該濃度ヒストグラム
で所定面積以上の面積をもつものを欠陥６と判定して抽
出し、その他をゆず肌ノイズ７と判定し、欠陥６のみの
画像を作成するステップ１０８と、を有する。
【００２１】ステップ１０６では、図８で欠陥６（１つ
の欠陥の画素数がたとえば６０〜９０））およびゆず肌
ノイズ７（１つのゆず肌ノイズの画素数がたとえば１０
〜２０）がたとえば１００個あったとすると、たとえば
左上から右下方向に順に欠陥６、ゆず肌ノイズにＮｏ．
１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、・・・・、Ｎｏ．
１００の番号を付し、Ｎｏ．１の欠陥またはゆず肌ノイ
ズに濃度値「１」を付与し、Ｎｏ．２の欠陥またはゆず
肌ノイズに濃度値「２」を付与し、Ｎｏ．ｎの欠陥また
はゆず肌ノイズに濃度値「ｎ」を付与し、Ｎｏ．１００
番目の欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「１００」を付
与する。ラベリング後、図９のようになる。
の欠陥の画素数がたとえば６０〜９０））およびゆず肌
ノイズ７（１つのゆず肌ノイズの画素数がたとえば１０
〜２０）がたとえば１００個あったとすると、たとえば
左上から右下方向に順に欠陥６、ゆず肌ノイズにＮｏ．
１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、・・・・、Ｎｏ．
１００の番号を付し、Ｎｏ．１の欠陥またはゆず肌ノイ
ズに濃度値「１」を付与し、Ｎｏ．２の欠陥またはゆず
肌ノイズに濃度値「２」を付与し、Ｎｏ．ｎの欠陥また
はゆず肌ノイズに濃度値「ｎ」を付与し、Ｎｏ．１００
番目の欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「１００」を付
与する。ラベリング後、図９のようになる。
【００２２】濃度値「１」はゆず肌ノイズで画素数がた
とえば１０個、濃度値「２」はゆず肌ノイズで画素数が
たとえば１０個、濃度値「４０」は欠陥で画素数がたと
えば８０個、濃度値「５０」は欠陥で画素数がたとえば
８０個、濃度値「１００」はゆず肌ノイズで画素数がた
とえば１０個、といった具合である。これをステップ１
０７で、横軸に濃度値をとり、縦軸に画素数をとって、
図９の画像の濃度ヒストグラムを作成したものが、図１
０の濃度ヒストグラムである。
とえば１０個、濃度値「２」はゆず肌ノイズで画素数が
たとえば１０個、濃度値「４０」は欠陥で画素数がたと
えば８０個、濃度値「５０」は欠陥で画素数がたとえば
８０個、濃度値「１００」はゆず肌ノイズで画素数がた
とえば１０個、といった具合である。これをステップ１
０７で、横軸に濃度値をとり、縦軸に画素数をとって、
図９の画像の濃度ヒストグラムを作成したものが、図１
０の濃度ヒストグラムである。
【００２３】図１０において、各濃度値の頻度で、画素
数の多いもの、したがって面積の大なものが欠陥６であ
り、画素数の少ないもの、したがって面積の小なものが
ゆず肌ノイズ７である。したがって、ステップ１０８
で、所定面積（たとえば、我素数「５０」）以上のもの
を欠陥６として判別し、それ以外のものをゆず肌ノイズ
７と判定する。そして、欠陥６のみを画像で示すと図１
１となる。これによって、欠陥６を特定でき、その位置
も特定できる。また、レーザ光をあてて欠陥を検出する
場合に問題となっていた検査表面の湾曲も問題とならな
い。
数の多いもの、したがって面積の大なものが欠陥６であ
り、画素数の少ないもの、したがって面積の小なものが
ゆず肌ノイズ７である。したがって、ステップ１０８
で、所定面積（たとえば、我素数「５０」）以上のもの
を欠陥６として判別し、それ以外のものをゆず肌ノイズ
７と判定する。そして、欠陥６のみを画像で示すと図１
１となる。これによって、欠陥６を特定でき、その位置
も特定できる。また、レーザ光をあてて欠陥を検出する
場合に問題となっていた検査表面の湾曲も問題とならな
い。
【００２４】上記のルーチンにより抽出した欠陥６を、
コンピュータ３に予め入力した検査表面（車の塗装面）
の図に欠陥６とその位置をマーキングし、プリントアウ
トして塗装の手直し工程に送り、欠陥を手直しする。車
の塗装面は多層塗装であるが、各層の塗装段階で欠陥検
出、手直しを行ってもよいし、あるいはトップ層の塗装
を終えた段階で欠陥検出、手直しを行ってもよい。
コンピュータ３に予め入力した検査表面（車の塗装面）
の図に欠陥６とその位置をマーキングし、プリントアウ
トして塗装の手直し工程に送り、欠陥を手直しする。車
の塗装面は多層塗装であるが、各層の塗装段階で欠陥検
出、手直しを行ってもよいし、あるいはトップ層の塗装
を終えた段階で欠陥検出、手直しを行ってもよい。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の表面欠陥検査方法によれば、
明暗パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを
画像取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能
であり、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾
曲に従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になると
いう問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノ
イズを含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノ
イズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定すること
ができる。請求項２の表面欠陥検査方法によれば、画像
の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、画像
の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域を
決定する工程と、所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃
度を真黒または真白に対応する濃度値として所定濃度域
内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆ
ず肌ノイズのみからなる画像を作成する工程と、を有す
るので、欠陥（および一部のゆず肌ノイズ）を抽出する
ことができ、欠陥とその位置を特定することができる。
請求項３の表面欠陥検査方法によれば、画像の濃度ヒス
トグラムにより欠陥を抽出する工程が、請求項２の工程
に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみ
からなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有するの
で、欠陥をゆず肌ノイズと区別して検出でき、手直しに
かけることができる。請求項４の表面欠陥検査方法によ
れば、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像
から欠陥のみを抽出する方法として、ラベリング、濃度
ヒストグラムの作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上
の面積をもつものを欠陥と判定するので、コンピュータ
で、欠陥のみを抽出することができる。
明暗パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを
画像取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能
であり、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾
曲に従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になると
いう問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノ
イズを含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノ
イズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定すること
ができる。請求項２の表面欠陥検査方法によれば、画像
の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、画像
の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域を
決定する工程と、所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃
度を真黒または真白に対応する濃度値として所定濃度域
内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆ
ず肌ノイズのみからなる画像を作成する工程と、を有す
るので、欠陥（および一部のゆず肌ノイズ）を抽出する
ことができ、欠陥とその位置を特定することができる。
請求項３の表面欠陥検査方法によれば、画像の濃度ヒス
トグラムにより欠陥を抽出する工程が、請求項２の工程
に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみ
からなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有するの
で、欠陥をゆず肌ノイズと区別して検出でき、手直しに
かけることができる。請求項４の表面欠陥検査方法によ
れば、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像
から欠陥のみを抽出する方法として、ラベリング、濃度
ヒストグラムの作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上
の面積をもつものを欠陥と判定するので、コンピュータ
で、欠陥のみを抽出することができる。
【図１】本発明実施例の表面欠陥検査方法を実施する表
面欠陥検査装置の概略側面図である。
面欠陥検査装置の概略側面図である。
【図２】本発明実施例の表面欠陥検査方法を実行するル
ーチンのフローチャートである。
ーチンのフローチャートである。
【図３】本発明実施例の表面欠陥検査方法の欠陥抽出工
程を実行するルーチンのフローチャートである。
程を実行するルーチンのフローチャートである。
【図４】本発明実施例の表面欠陥検査方法で取込んだ画
像である。
像である。
【図５】本発明実施例の表面欠陥検査方法の途中の工程
で作成された濃度ヒストグラムである。
で作成された濃度ヒストグラムである。
【図６】図５の濃度ヒストグラムで、欠陥を含む所定濃
度域を決定する図である。
度域を決定する図である。
【図７】図６の濃度ヒストグラムで、欠陥を含む所定濃
度域を抽出する図である。
度域を抽出する図である。
【図８】図４の画像から欠陥および一部のゆず肌ノイズ
を抽出した画像である。
を抽出した画像である。
【図９】図８の画像で、欠陥および一部のゆず肌ノイズ
にラベリングを施した画像である。
にラベリングを施した画像である。
【図１０】図９の画像での欠陥および一部のゆず肌ノイ
ズの濃度ヒストグラムである。
ズの濃度ヒストグラムである。
【図１１】図８の画像から欠陥のみを抽出した画像であ
る。
る。
１ 光源 １ａ 電球 １ｂ 明暗パターン ２ カメラ ３ コンピュータ ４ 検査表面 ５ 明暗パターン ６ 欠陥 ７ ゆず肌ノイズ ８ 濃度ヒストグラムで明暗パターンの暗部に対応する
部分 ９ 濃度ヒストグラムで明暗パターンの明部に対応する
部分 １０ 明暗パターンの暗部に対応する部分８より濃度ヒ
ストグラムの中央寄り側部分 １１ 明暗パターンの明部に対応する部分９より濃度ヒ
ストグラムの中央寄り側部分
部分 ９ 濃度ヒストグラムで明暗パターンの明部に対応する
部分 １０ 明暗パターンの暗部に対応する部分８より濃度ヒ
ストグラムの中央寄り側部分 １１ 明暗パターンの明部に対応する部分９より濃度ヒ
ストグラムの中央寄り側部分
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB05 CC11 CC31 FF42 GG02 GG15 HH06 HH07 HH12 JJ03 JJ08 JJ26 LL41 LL49 QQ00 QQ03 QQ06 QQ08 QQ21 QQ24 QQ28 QQ29 QQ32 QQ34 QQ42 QQ43 RR05 SS02 SS13 2G051 AA89 AB07 AB12 BB07 CA03 CA04 EA11 EA16 EB01 EC02
Claims (4)
- 【請求項１】 明暗パターンを有した光源を検査表面に
写し出してカメラを介してコンピュータに画像取込みす
る工程と、 取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する工程と、 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程
と、を有する表面欠陥検査方法。 - 【請求項２】 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥
を抽出する工程が、 前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定
濃度域を決定する工程と、 前記所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒また
は真白に対応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度
をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイ
ズのみからなる画像を作成する工程と、を有する請求項
１記載の表面欠陥検査方法。 - 【請求項３】 前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥
を抽出する工程が、 前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定
濃度域を決定する工程と、 前記所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒また
は真白に対応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度
をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイ
ズのみからなる画像を作成する工程と、 前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像か
ら欠陥のみを抽出する工程と、を有する請求項１記載の
表面欠陥検査方法。 - 【請求項４】 前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみ
からなる画像から欠陥のみを抽出する工程が、 前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像
で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号を付すとともに
濃度を１づつ上げてラベリングを施す工程と、 欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグラムを作成する
工程と、 前記濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつもの
を欠陥と判定して抽出する工程と、を有する請求項３記
載の表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23795899A JP3757694B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23795899A JP3757694B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 表面欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001059717A true JP2001059717A (ja) | 2001-03-06 |
| JP3757694B2 JP3757694B2 (ja) | 2006-03-22 |
Family
ID=17022995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23795899A Expired - Fee Related JP3757694B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3757694B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005038445A1 (ja) * | 2003-10-21 | 2005-04-28 | Daihatsu Motor Co., Ltd. | 表面欠陥検査方法及び装置 |
| JP2005148047A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-06-09 | Daihatsu Motor Co Ltd | 被検査面の検査方法及び装置 |
| WO2005100960A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-27 | Daihatsu Motor Co., Ltd. | 表面欠陥検査装置 |
| WO2006135948A1 (de) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Polymer Competence Center Leoben Gmbh | Verfahren zur analyse der oberflächeneigenschaften eines materials |
| WO2009007130A1 (de) * | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und vorrichtung zum optischen inspizieren einer oberfläche an einem gegenstand |
| WO2010121913A1 (de) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | Manroland Ag | Verfahren zur bestimmung der qualität eines druckprodukts |
| JP2012032174A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光源装置及び評価方法 |
| GB2526866A (en) * | 2014-06-05 | 2015-12-09 | Univ Bristol | Apparatus for and method of inspecting surface topography of a moving object |
| CN115876784A (zh) * | 2023-01-31 | 2023-03-31 | 眉山博雅新材料股份有限公司 | 一种工件缺陷检测方法、系统和设备 |
-
1999
- 1999-08-25 JP JP23795899A patent/JP3757694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
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