JP5100636B2 - 光応答性基板上へのマスクレスパターン転写のためのリソグラフィ方法 - Google Patents
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サブピクセルスクロール法が、基板110の基板表面素子210を露光する一方で、露光光学機器および基板は互いに対して移動する。基板表面素子のエッジの不鮮明度は、基板表面素子ごとの補正ステップの回数によって変わり、したがって基板表面素子幅の10分の1(1/20mil)の量になり得る。
Claims (18)
- 光応答性基板上へパターンをマスクレス転写するためのリソグラフィ方法であって、
偏向ミラーおよび投影光学機器を用いてデジタルミラーアレイの少なくとも1つのミラー素子の放射表面を前記基板上に結像するステップであって、前記偏向ミラーが走査方向に移動可能であるステップと、
前記少なくとも1つのミラー素子、投影光学機器、および前記偏向ミラーによって露光される基板表面素子を、前記少なくとも1つのミラー素子、前記投影光学機器および前記基板表面素子の位置が変更されるように、前記基板に対して移動させるステップと、
測定システムにより、その位置変更を連続して測定するステップと、
規定された位置変更を到達した後にトリガー信号を生成するステップと、
光線経路における前記偏向ミラーの位置を変更することにより、前記露光された基板表面素子を基板開始位置にリセットするステップであって、前記リセット動作が前記トリガー信号によって引き起こされるステップと、
前記偏向ミラーのリセット能力が尽きるまで前記手順を繰り返すステップと、
前記デジタルミラーアレイの全てのミラー素子をスイッチオフするステップであって、前記スイッチオフが前記基板表面素子の露光を妨げるステップと、
前記偏向ミラーをミラー開始位置にリセットするステップと、
前記基板表面素子の前記露光の継続の為に前記走査方向に前記ミラー素子を準備するステップと、
前記準備されたミラー素子と前記基板表面素子の間で目標位置を測定し、所望の目標に到達するときに第2のトリガー信号を生成するステップと、
前記トリガー信号及び前記露光の継続によって、前記準備されたミラー素子をスイッチオンするステップと、
を含む、リソグラフィ方法。 - 前記光線経路における前記偏向ミラーの前記位置がピエゾアクチュエータによって変更される、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 前記露光された基板表面素子を前記走査方向に垂直にシフトするステップをさらに含む、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 前記露光した基板表面素子の前記シフトが、前記走査方向に垂直な前記光線経路における前記偏向ミラーの前記位置を変更することによって行われる、請求項3に記載のリソグラフィ方法。
- この変更がピエゾアクチュエータによって行われる、請求項4に記載のリソグラフィ方法。
- 前記走査方向における、前記走査方向に対しては垂直な前記基板表面素子のシフトが、前記基板表面素子の一辺の長さの1/2をファクタとする、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 前記ファクタが任意の値を有する、請求項6に記載のリソグラフィ方法。
- 新たな基板表面が露光され、前記新たな基板表面は基板表面素子2つ分より大きい、請求項7に記載のリソグラフィ方法。
- 前記新たな基板表面のエッジが、前記基板表面素子の一辺の長さの1/2をファクタとするグリッド上にある、請求項8に記載のリソグラフィ方法。
- 第1の露光サイクル中、前記基板表面素子が前記ミラー素子によって前記新たな基板表面内で露光され、その前記基板上への投影が、前記走査方向にも前記走査方向に垂直にも変位されない前記偏向ミラーによって行われる、請求項9に記載のリソグラフィ方法。
- 第2の露光サイクル中、前記新たな基板表面のまだ露光されていない部分が、基板表面素子を露光する前記ミラー素子によって露光され、その基板表面素子の位置が、前記基板表面素子の辺の長さに1/2を乗じた積のファクタだけそれぞれの場合に前記走査方向にあり前記走査方向に対しては垂直な前記偏向ミラーの偏向によってシフトされる、請求項10に記載のリソグラフィ方法。
- 請求項10および11に記載の前記基板表面素子の前記露光部分が、前記偏向ミラーの各リセット後に変えられる、請求項11に記載のリソグラフィ方法。
- 光応答性基板上へ画素パターンをマスクレス転写するためのフォトリソグラフィ方法を実行するための装置であって、
デジタル信号プロセッサ、ロジックアレイおよびランダムアクセスメモリと通信するコンピュータシステムであって、前記光応答性基板上へ転写されるように画素パターンのレイアウトデータを処理および通信するように構成された前記コンピュータシステムと、
前記コンピュータシステム、前記ランダムアクセスメモリと通信し、および空間光変調器、走査スレッドおよびリニア測定システムと通信する前記デジタル信号プロセッサおよびプログラム自在ロジックアレイであって、投影レンズシステムの投影光学機器から前記光応答性基板までの正確な距離を測定し前記距離を調整するように配置される投影基板距離測定手段と協働し、前記走査スレッドの走査方向に沿って露光されるように各基板を正確に測定し位置合わせするように配置される基板位置合わせ手段と協働する、前記信号プロセッサおよびロジックアレイと、
紫外光源の集光器から45度ミラーアクチュエータに向けて、紫外光線束の方向を変える前記空間光変調器と、
前記信号プロセッサおよびロジックアレイの制御下で、適切な投影軸経路に沿って、前記UV光線束を前記投影レンズシステムを介して、前記光応答性基板上に光学的にシフトするように配置される前記45度ミラーアクチュエータと、
前記光応答性基板がその上に実装され、前記紫外光線束の前記投影軸経路に配置される移動可能なスレッドであって、前記スレッドの上に実装される前記光応答性基板が、前記投影光学機器に対する前記基板の配置および移動速度が前記信号プロセッサおよびロジックアレイと通信する、投影基板距離手段、基板位置合わせ手段およびリニア測定システム手段への信号およびそれらからの信号によって決定される状態で、前記信号プロセッサおよびロジックアレイの制御下で前記投影レンズシステムの前記投影光学機器に対して移動可能である、前記移動可能な走査スレッドと
を備える、リソグラフィ方法を実行するための装置。 - 前記空間光変調器が、デジタルミラーデバイスを備え、デジタルミラーアレイを有する、請求項13に記載のリソグラフィ方法を実行するための装置。
- 前記光応答性基板上への画素パターンのマスクレス転写を実行するためのフォトリソグラフィ方法であって、この方法は請求項13に記載の前記リソグラフィ方法を実行するための装置上で実行され、
偏向ミラーおよび投影光学機器を用いてデジタルミラーアレイの少なくとも1つのミラー素子の放射表面を前記基板上に結像するステップであって、前記偏向ミラーが走査方向に移動可能であるステップと、
前記少なくとも1つのミラー素子、結像光学機器、および前記ミラー素子によって露光される基板表面素子を、前記少なくとも1つのミラー素子、前記結像光学機器および前記基板表面素子の位置が変更されるように、前記基板に対して移動させるステップと、
測定システムによりその位置変更を連続して測定するステップと、
規定された位置変更を達した後にトリガー信号を生成するステップと、
光線経路における前記偏向ミラーの位置を変更することにより、前記露光された基板表面素子を基板開始位置にリセットするステップであって、前記リセット動作が前記トリガー信号によって引き起こされるステップと、
前記偏向ミラーのリセット能力が尽きるまで前記手順を繰り返すステップと、
前記デジタルミラーアレイのすべてのミラー素子をスイッチオフするステップであって、前記スイッチオフが前記基板表面素子の露光を妨げるステップと、
前記偏向ミラーをミラー開始位置にリセットするステップと、
前記基板表面素子の露光の間に前記走査方向に前記ミラー素子を準備するステップと、
前記準備されたミラー素子と前記基板表面素子の間で目標位置を測定し、所望の目標に到達するときにトリガー信号を生成するステップと、
露光の間に前記トリガー信号によって、前記準備されたミラー素子をスイッチオンするステップと
を含み、これらのステップの組合せが前記光応答性基板上への前記パターンの前記マスクレス転写を可能にする、フォトリソグラフィ方法。 - 光応答性基板上へパターンをマスクレス転写する装置であって、
所定の角度に反射ミラーを配置するためのミラーアクチュエータと、
複数のミラー素子の第1のミラー素子が、前記反射ミラー上およびさらに前記光応答性基板の所定の位置上へUV光線束を反射する前記複数のミラー素子と、
前記反射ミラーと前記光応答性基板の間に配置され、前記UV光線束が通過する投影光学機器と
を備える装置であって、
前記ミラーアクチュエータおよび前記光応答性基板が同時に移動され、前記ミラーアクチュエータがサブピクセルの量だけ前記複数のミラー素子に対して前記反射ミラーを移動させ、前記光応答性基板は、前記UV光線束が前記所定の位置で受光されるように移動する、装置。 - 前記サブピクセル量が2分の1画素である、請求項16に記載の装置。
- 前記サブピクセルの量だけ前記光応答性基板を移動するための手段をさらに備える、請求項16に記載の装置。
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